特許 5887084 シート貼付装置、および、その方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5887084

(24)【登録日】2016年2月19日

(45)【発行日】2016年3月16日

(54)【発明の名称】シート貼付装置、および、その方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20160303BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2011-173836(P2011-173836)

(22)【出願日】2011年8月9日

(65)【公開番号】特開2013-38256(P2013-38256A)

(43)【公開日】2013年2月21日

【審査請求日】2014年5月2日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 平野 崇

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−０７３９５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３１０８８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０２−０６９９５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２９３５０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 欧州特許出願公開第０１８７３８１２（ＥＰ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体に所定形状の接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
基材シートの一方の面に接着剤層を有する前記接着シートが、当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
所定情報を記録可能な磁気記録層を、ロータリースクリーン印刷、ソルベントコーティング法、グラビア印刷、スクリーン印刷、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷のいずれかにより前記接着シートに積層する積層手段と、
前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記磁気記録層に所定情報を記録する出力手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

被着体に所定形状の接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
基材シートの一方の面に接着剤層を有する前記接着シートが、当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
入力手段と、
前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
制御手段とを備え、
前記繰出手段によって繰り出される前記原反の接着シートは、所定情報を記録可能な磁気記録層を有し、
前記入力手段は、前記磁気記録層に記録された所定情報を読み取り、
前記制御手段は、前記入力手段が読み取った所定情報に基づいて、当該シート貼付装置の動作を制御することを特徴とするシート貼付装置。

【請求項4】

被着体に所定形状の接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
基材シートの一方の面に接着剤層を有する前記接着シートが、当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す工程と、
所定情報を記録可能な磁気記録層を、ロータリースクリーン印刷、ソルベントコーティング法、グラビア印刷、スクリーン印刷、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷のいずれかにより前記接着シートに積層する工程と、
前記接着シートを剥離シートから剥離する工程と、
前記剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを備えることを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置、および、その方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、接着シートを介して、板状部材としての半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）をリングフレームで支持させる構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１に記載の構成では、リングフレームの内側にパターン面を下に向けてウェハをマウントテーブルに載置し、ウェハおよびリングフレーム上に供給された接着シートの上から貼付ローラを押圧して転動させることで接着シートを貼付する。この後、保護テープが除去されたウェハに刻印された製造番号を文字認識部で認識し、当該製造番号がバーコード化されて印刷されたラベルをプリンタで発行してウェハに貼付している。

【0003】

また、ウェハをリングフレームで支持させる際に用いる接着シートに、データキャリアを設けた構成が知られている（例えば、特許文献２参照）。
この特許文献２に記載の構成では、ＩＣチップと、このＩＣチップに接続された送受信用の導電性コイルとから構成される、いわゆるＲＦメモリをデータキャリアとして用い、当該データキャリアを接着シートの接着剤層の上に貼付している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００３−７７９８８号公報

【特許文献2】特開２００８−２９３５０８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載のような構成では、ウェハに貼付されたラベルには、新たな情報を記録することができないという問題点がある。このような問題点を解決するために、特許文献２に記載のデータキャリアをラベルの代わりに貼付することも考えられるが、データキャリアは、高価なため、コストダウンを容易に図ることができない。また、データキャリアは、接着シートとは別に廃棄する必要があり、分別作業が煩わしい。

【0006】

本発明の目的は、新たな情報を適切に記録できるとともにコストダウンと廃棄が容易な接着シートを被着体に貼付可能なシート貼付装置、および、その方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、被着体に所定形状の接着シートを貼付するシート貼付装置であって、基材シートの一方の面に接着剤層を有する前記接着シートが、当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、 所定情報を記録可能な磁気記録層を、ロータリースクリーン印刷、ソルベントコーティング法、グラビア印刷、スクリーン印刷、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷のいずれかにより前記接着シートに積層する積層手段と、前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備える、という構成を採用している。

【0008】

この際、本発明のシート貼付装置では、前記磁気記録層に所定情報を記録する出力手段を備える、ことが好ましい。

【0009】

また、本発明のシート貼付装置は、被着体に所定形状の接着シートを貼付するシート貼付装置であって、基材シートの一方の面に接着剤層を有する前記接着シートが、当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、入力手段と、前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、制御手段とを備え、前記繰出手段によって繰り出される前記原反の接着シートは、所定情報を記録可能な磁気記録層を有し、前記入力手段は、前記磁気記録層に記録された所定情報を読み取り、前記制御手段は、前記入力手段が読み取った所定情報に基づいて、当該シート貼付装置の動作を制御する、という構成を採用している。

【0011】

一方、本発明のシート貼付方法は、被着体に所定形状の接着シートを貼付するシート貼付方法であって、基材シートの一方の面に接着剤層を有する前記接着シートが、当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す工程と、所定情報を記録可能な磁気記録層を、ロータリースクリーン印刷、ソルベントコーティング法、グラビア印刷、スクリーン印刷、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷のいずれかにより前記接着シートに積層する工程と、前記接着シートを剥離シートから剥離する工程と、前記剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを備える、という構成を採用している。

【発明の効果】

【0012】

以上のような本発明によれば、被着体に接着シートを貼付する際に、所定情報を記録可能な磁気記録層を接着シートに積層している。また、他の本発明では、被着体に接着シートを貼付する際に、磁気記録層を有する接着シートを繰り出して、当該磁気記録層に所定情報を記録している。このように、接着シートに所定情報の記録機能を設けるための構成として、磁気記録層を採用することで、接着シートに磁気記録層を設けた後であっても、新たな情報を記録することができる。また、ＲＦメモリのようなデータキャリアを採用する構成と比べて、コストダウンを容易に図ることができる。さらには、接着シートと、磁気記録層との分別が不要となり、接着シートを容易に廃棄できる。
この際、磁気記録層の所定情報を読み取る入力手段と、入力手段が読み取った所定情報に基づいて、シート貼付装置の動作を制御する制御手段を備えていれば、例えば、接着シートに応じた適切な貼付条件で当該接着シートを被着体に貼付できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

【図2】前記第１実施形態のシート貼付装置の要部の斜視図。

【図3】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

【図4】本発明の第３実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２〜第３実施形態において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。

【0016】

［第１実施形態］
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図１および図２において、シート貼付装置１は、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとを有する原接着シートＳ０が所定間隔で帯状の剥離シートＲＬ上に仮着された原反Ｒ１を繰り出す繰出手段１０と、繰り出された原反Ｒ１の原接着シートＳ０に磁気記録層ＭＬを積層して接着シートＳ１を形成する積層手段３０と、磁気記録層ＭＬを硬化させる硬化手段４０と、磁気記録層ＭＬに記録された所定情報を読み取る入力手段としての磁気リーダ５０と、磁気記録層ＭＬに所定情報を記録する出力手段としての磁気ライタ６０と、接着シートＳ１を剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板７０と、剥離板７０で剥離した接着シートＳ１をウェハＷに押圧して貼付する押圧手段８０と、ウェハＷと押圧手段８０とを相対移動させる移動手段９０とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段１００によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。

【0017】

繰出手段１０は、原反Ｒ１をロール状に巻回して支持する支持ローラ１１と、支持ローラ１１から引き出された原反Ｒ１を案内するガイドローラ１２，１３と、駆動機器としての回動モータ１４によって駆動する駆動ローラ１５と、駆動ローラ１５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ１６と、駆動機器としての回動モータ１７によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ１８とを備えている。

【0018】

積層手段３０は、ロータリースクリーン印刷機であり、図１中左右方向に搬送される基材シートＢＳの上方に設けられ、駆動機器としての回動モータ３３により回転可能に設けられた円筒状のロータリースクリーン３１と、このロータリースクリーン３１内に設けられた図示しないスキージと、原反Ｒ１を挟んでロータリースクリーン３１と対向配置され、駆動機器としての回動モータ３４により回転可能に設けられた圧胴３２とを備えている。この積層手段３０は、ロータリースクリーン３１と圧胴３２とを回転させ、ロータリースクリーン３１の内部に貯留された磁気記録剤を、当該ロータリースクリーン３１の表面に形成された図示しない孔を通じてスキージにより押し出すように構成されている。
また、ロータリースクリーン３１には、直動モータ３５が接続され、図１中上下方向に昇降可能に設けられている。

【0019】

ここで、磁気記録層ＭＬは、例えば、バインダー中に磁性粉を均一分散して成層されたものであり、バインダーとしては、ポリエステル樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。また、これらの樹脂は、単独または２種以上を混合して用いることもできる。
一方、磁性粉としては、例えば、γ−Ｆｅ₂Ｏ₃、バリウムフェライト、ストロンチウムフェライト等の強磁性体が挙げられるが、記録された情報が通常の永久磁石により消去または減衰することを防止するためには、バリウムフェライト、ストロンチウムフェライトのような保磁力が１５００エルステッド〜５０００エルステッドの高保磁力材料を使用することが好ましいが、これに限定されるものではない。

【0020】

また、磁気記録層ＭＬを形成するための塗料またはインク（以下、磁気記録剤という場合がある）は、例えば、上述のバインダー、磁性粉、および必要に応じて分散剤、硬化剤、顔料などを加え、適当な溶剤中に分散して得られるが、これに限定されるものではない。
得られた塗料またはインクは、ロータリースクリーン印刷、ソルベントコーティング法、グラビア印刷、スクリーン印刷、さらには、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷等のあらゆる印刷法により塗布することができ、塗料やインクを基材シートＢＳに積層（塗布）できる限りにおいて何ら限定されるものではない。

【0021】

硬化手段４０は、ロータリースクリーン３１における原反Ｒ１の搬送方向下流側に設けられ、磁気記録層ＭＬの硬化特性に応じて、熱風、紫外線、赤外線、マイクロ波、冷風等を吹き付けて磁気記録層ＭＬを硬化させたり乾燥させたりするものである。

【0022】

磁気リーダ５０および磁気ライタ６０は、磁気記録層ＭＬの移動経路の上方に設けられている。磁気リーダ５０は、磁気記録層ＭＬに記録された所定情報を読み取って、制御手段１００に出力する。一方、磁気ライタ６０は、制御手段１００の制御により所定情報を磁気記録層ＭＬに書き込む。
なお、磁気記録層ＭＬに記録される所定情報としては、例えば、原接着シートＳ０や接着シートＳ１の種類、材質、品名、コード、厚さ、長さ、幅、直径などの規格寸法、さらには、原反Ｒ１のロットナンバー、原接着シートＳ０や接着シートＳ１の品質保証期限、原接着シートＳ０や接着シートＳ１を最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートＳ１を最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力などの接着シートＳ１の貼付条件、原接着シートＳ０、接着シートＳ１、原反Ｒ１についての相談窓口の連絡先などが例示できる。また、シート貼付装置１に設けられた図示しないモニタに磁気記録層ＭＬから読み取った情報を表示させたり、読み取った情報を基に当該シート貼付装置１の貼付条件を設定したりすることができる。

【0023】

剥離板７０は、原反Ｒ１の剥離シートＲＬを折り返すことで、当該剥離シートＲＬから接着シートＳ１を剥離する。
押圧手段８０は、支持部８２を介して回転可能に支持されるとともに、接着シートＳ１をウェハＷおよびリングフレームＲＦに向かって押圧して貼付する押圧ローラ８１と、支持部８２に出力軸８３が固定され、押圧ローラ８１を図１中上下方向に移動させる駆動機器としての直動モータ８４とを備えている。
移動手段９０は、ウェハＷおよびリングフレームＲＦが載置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によって当該ウェハＷおよびリングフレームＲＦを吸着保持可能なテーブル９１と、テーブル９１の下面にスライダ９２が固定された駆動機器としての単軸ロボット９３とを備えている。
制御手段１００は、図示しないメモリを有し、例えば、磁気リーダ５０で読み取った情報を当該メモリに記憶させたり、当該情報に基づきシート貼付装置１全体を制御したりすることが可能に設けられている。

【0024】

以上のシート貼付装置１の動作について説明する。
まず、原反Ｒ１を図１に示すようにセットする。そして、図示しない操作手段によって起動信号が入力されると、制御手段１００は、予め設定された条件で、回動モータ１４，１７を駆動して原反Ｒ１を繰り出す。そして、１枚目の原接着シートＳ０がロータリースクリーン３１の直下所定位置に達すると、直動モータ３５を駆動してロータリースクリーン３１を下降させ、回動モータ３３，３４を駆動して原反Ｒ１の繰り出しに同期させてロータリースクリーン３１、圧胴３２を回転させる。これにより、基材シートＢＳの他方の面（図１中上面）に磁気記録層ＭＬが塗布されて積層された接着シートＳ１が形成される。その後、上記同様の動作が行われ、図１に示すように、１枚目の接着シートＳ１の繰出方向先端部が剥離板７０によって所定量剥離され、当該先端部が図示しないセンサに検出されると、回動モータ１４，１７，３３，３４の駆動を停止してスタンバイ状態となる。なお、基材シートＢＳ上に積層された磁気記録層ＭＬは、硬化手段４０により硬化させられている。また、接着シートＳ１が磁気ライタ６０の下方を通過するときに、当該磁気ライタ６０によって磁気記録層ＭＬに上記所定情報を記録することができる。

【0025】

そして、図示しない搬送手段がテーブル９１上にウェハＷとリングフレームＲＦとを載置すると、図示しない吸着保持手段がこれらウェハＷおよびリングフレームＲＦを吸着保持する。その後、単軸ロボット９３の駆動によってテーブル９１は搬送され、当該テーブル９１が所定の位置に達したことが図示しないセンサに検出されると、制御手段１００は、回動モータ１４，１７を駆動して、テーブル９１の搬送に同期させて接着シートＳ１を繰り出し、押圧ローラ８１が接着シートＳ１をウェハＷおよびリングフレームＲＦに押圧して貼付する。このとき、制御手段１００は、操作手段による設定に基づいて、接着シートＳ１の繰出速度、押圧ローラ８１の昇降量、および、テーブル９１の移動速度を制御する上、上記と同様に、ロータリースクリーン３１の直下に繰り出される原接着シートＳ０に磁気記録層ＭＬを塗布して積層するように制御する。

【0026】

なお、磁気記録層ＭＬを有する複数の接着シートＳ１が剥離シートＲＬに仮着された図示しない原反が支持ローラ１１にセットされた場合、制御手段１００は、直動モータ３５を駆動してロータリースクリーン３１が接着シートＳ１に接触しないように離間させる。次いで、当該図示しない原反の繰り出しにより、接着シートＳ１が磁気リーダ５０の下方を通過するときに、当該磁気リーダ５０によって磁気記録層ＭＬに記録された所定情報を読み取り、この読み取られた所定情報に基づき、シート貼付装置１全体を制御することができる。この制御は、例えば、磁気記録層ＭＬに記録された情報のうち、接着シートＳ１の推奨繰出速度を基にして、回動モータ１４，１７の回転速度や、単軸ロボット９３でテーブル９１を移動させる移動速度を決定したり、推奨押圧力を基にして、押圧ローラ８１を昇降させる直動モータ８４の昇降量や出力トルクを決定し、押圧力を設定したりすることができる。
なお、基材シートＢＳ上に積層された磁気記録層ＭＬを当該基材シートＢＳとで挟み込むように、磁気記録層ＭＬの幅よりも幅の広い他の接着シートを貼付する保護シート貼付手段を設け、磁気記録層ＭＬを保護するように構成してもよい。

【0027】

以上のような第１実施形態によれば、接着シートＳ１に所定情報の記録機能を設けるための構成として、磁気記録層ＭＬを採用しているため、接着シートＳ１に磁気記録層ＭＬを設けた後であっても、新たな情報を記録することができる。また、コストダウンを容易に図ることができる上、基材シートＢＳと、磁気記録層ＭＬとの分別が不要となり、接着シートＳ１を容易に廃棄できる。

【0028】

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
第２実施形態の接着シートＳ１１は、図３に示すように、繰出手段１０と、原反Ｒ１の原接着シートＳ０から剥離シートＲＬを剥離する剥離ローラ１１０Ａと、原接着シートＳ０から剥離された剥離シートＲＬを迂回させる一対の迂回ローラ１２１Ａを備えた迂回手段１２０Ａと、原接着シートＳ０の接着剤層ＡＤに磁気記録層ＭＬを積層して接着シートＳ１１を形成する積層手段３０Ａと、硬化手段４０と、駆動機器としての回動モータ１３３Ａにより回転可能に設けられた誘導ローラ１３１Ａとピンチローラ１３２Ａとで迂回させた剥離シートＲＬに接着シートＳ１１を仮着する再仮着手段１３０Ａと、磁気リーダ５０と、磁気ライタ６０と、剥離板７０と、押圧手段８０と、移動手段９０とを備え、制御手段１００Ａによってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
そして、原反Ｒ１を図３に示すようにセットする。この状態で、各ローラを回転させて原反Ｒ１を繰り出すと、剥離ローラ１１０Ａによって原接着シートＳ０が剥離シートＲＬから剥離される。次いで、当該原接着シートＳ０の接着剤層ＡＤには積層手段３０Ａにより磁気記録層ＭＬが塗布されて積層される。この後、この磁気記録層ＭＬが硬化手段４０により硬化させられ、シートＳ１１は、迂回してきた剥離シートＲＬに再仮着手段１３０Ａにより再仮着される。そして、制御手段１００Ａは、第１実施形態の制御手段１００と同様に、磁気記録層ＭＬに所定情報を記録したり、記録されていた情報をメモリに記憶して当該情報に基づく貼付条件で接着シートＳ１１をウェハＷおよびリングフレームＲＦに貼付する。なお、積層手段３０Ａによる磁気記録層ＭＬの塗布は、原接着シートＳ０から剥離された剥離シートＲＬにおける原接着シートＳ０の剥離面側（図３中左右方向に搬送される剥離シートＲＬの上面側）に行うように構成してもよい。また、接着剤層ＡＤに積層された磁気記録層ＭＬを当該接着剤層ＡＤとで挟み込むように、磁気記録層ＭＬの幅よりも幅の広い他の接着シートまたはシート材を貼付する保護シート貼付手段を設け、磁気記録層ＭＬを保護するように構成してもよい。

【0029】

［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
シート貼付装置１Ｂは、図４に示すように、帯状基材シートＢＳ１および剥離シートＲＬを繰り出す繰出手段１０Ｂと、帯状基材シートＢＳ１に磁気記録層ＭＬを積層する積層手段３０Ａと、硬化手段４０と、磁気記録層ＭＬが積層された帯状基材シートＢＳ１に接着剤層ＡＤを積層することで原接着シートＳ４を形成する接着剤層形成手段１４０Ｂと、原接着シートＳ４を所定形状に切断して接着シートＳ２１を形成する切断手段１５０Ｂと、磁気リーダ５０と、磁気ライタ６０（不図示）と、剥離板７０と、押圧手段８０（不図示）と、移動手段９０（不図示）とを備え、制御手段１００Ｂによってその全体的な動作が制御されるように構成されている。なお、磁気ライタ６０、押圧手段８０、移動手段９０については、第１実施形態と同様の位置に配置され、かつ、同様の動作を行うため、図４では省略している。

【0030】

繰出手段１０Ｂは、帯状基材シートＢＳ１を繰り出す基材シート繰出手段２０Ｂと、剥離シートＲＬを繰り出す剥離シート繰出手段２１Ｂと、剥離シートＲＬを原接着シートＳ４に仮着する仮着手段２２Ｂと、接着シートＳ２１の周囲に形成される不要シートＳ２２を巻き取る巻取手段２３Ｂと、駆動機器としての回動モータ２４Ｂによって回転するガイドローラ２５Ｂと、ガイドローラ１３と、回動モータ１４によって駆動する駆動ローラ１５と、ピンチローラ１６と、回動モータ１７によって駆動する回収ローラ１８とを備えている。

【0031】

基材シート繰出手段２０Ｂは、帯状基材シートＢＳ１をロール状に巻回して支持するとともに駆動機器としての回動モータ２０４Ｂにより駆動される支持ローラ２０１Ｂと、駆動機器としての回動モータ２０５Ｂにより駆動する駆動ローラ２０２Ｂと、この駆動ローラ２０２Ｂとの間に帯状基材シートＢＳ１を挟み込むピンチローラ２０３Ｂとを備えている。
剥離シート繰出手段２１Ｂは、剥離シートＲＬをロール状に巻回して支持するとともに駆動機器としての回動モータ２１２Ｂにより駆動される支持ローラ２１１Ｂを備えている。

【0032】

仮着手段２２Ｂは、駆動機器としての回動モータ２２３Ｂにより回転可能に設けられ、剥離シート繰出手段２１Ｂから繰り出される剥離シートＲＬを左方向に誘導する誘導ローラ２２１Ｂと、誘導ローラ２２１Ｂに対向して設けられたピンチローラ２２２Ｂとを備えている。
巻取手段２３Ｂは、不要シートＳ２２を剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ２３１Ｂと、駆動機器としての回動モータ２３３Ｂにより回転し剥離ローラ２３１Ｂで剥離された不要シートＳ２２を巻き取る巻取ローラ２３２Ｂとを備えている。

【0033】

接着剤層形成手段１４０Ｂは、積層手段３０Ａと同様のロータリースクリーン印刷機であり、図４中左右方向に搬送される帯状基材シートＢＳ１の下方に設けられ、駆動機器としての回動モータ１４３Ｂにより回転可能に設けられたロータリースクリーン１４１Ｂと、図示しないスキージと、帯状基材シートＢＳ１を挟んでロータリースクリーン１４１Ｂと対向配置され、駆動機器としての回動モータ１４４Ｂにより回転可能に設けられた圧胴１４２Ｂとを備えている。この接着剤層形成手段１４０Ｂは、ロータリースクリーン１４１Ｂの内部に貯留された接着剤をスキージにより押し出すように構成されている。

【0034】

切断手段１５０Ｂは、原接着シートＳ４に円形の切り込みＣＵを形成する切込刃１５１Ｂを備えたダイカットローラ１５２Ｂと、原接着シートＳ４および剥離シートＲＬを挟んでダイカットローラ１５２Ｂと対向して配置されたプラテンローラ１５３Ｂとを備えている。切込刃１５１Ｂは、帯状基材シートＢＳ１側から剥離シートＲＬを貫通しない深さの切り込みＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に円形の接着シートＳ２１を形成する。なお、ダイカットローラ１５２Ｂおよびプラテンローラ１５３Ｂは、駆動機器としての回動モータ１５４Ｂ，１５５Ｂにより同期して回転可能に設けられている。また、切込刃１５１Ｂには、原接着シートＳ４の接着剤が付着しないように、フッ素樹脂コート等の不接着処理を施しておくことが好ましい。

【0035】

以上のシート貼付装置１Ｂにおいて、接着シートＳ２１をウェハＷおよびリングフレームＲＦに貼付する手順としては、まず、巻回された帯状基材シートＢＳ１を支持ローラ２０１Ｂにセットするとともに、巻回された剥離シートＲＬを支持ローラ２１１Ｂにセットする。
この状態で、制御手段１００Ｂは、回動モータ２０４Ｂ，２０５Ｂを駆動して支持ローラ２０１Ｂ、駆動ローラ２０２Ｂを回転させて帯状基材シートＢＳ１を繰り出し、回動モータ２０４Ｂ，２０５Ｂに同期して回動モータ３３，３４，１４３Ｂ，１４４Ｂ，２１２Ｂ，２２３Ｂ，１５４Ｂ，１５５Ｂ，２３３Ｂ，２４Ｂ，１４，１７を駆動して、ロータリースクリーン３１、圧胴３２、ロータリースクリーン１４１Ｂ、圧胴１４２Ｂ、支持ローラ２１１Ｂ、誘導ローラ２２１Ｂ、ダイカットローラ１５２Ｂ、プラテンローラ１５３Ｂ、巻取ローラ２３２Ｂ、ガイドローラ２５Ｂ、回収ローラ１８を回転させる。

【0036】

各ローラが回転すると、積層手段３０Ａによって、帯状基材シートＢＳ１の一方の面（図４中下面）には磁気記録層ＭＬが積層され、この磁気記録層ＭＬは、硬化手段４０により硬化させられる。そして、接着剤層形成手段１４０Ｂによって、磁気記録層ＭＬを覆うように接着剤層ＡＤが積層され、原接着シートＳ４が形成される。

【0037】

この形成された原接着シートＳ４は、仮着手段２２Ｂによって、剥離シート繰出手段２１Ｂから繰り出された剥離シートＲＬに仮着される。この後、剥離シートＲＬに仮着された原接着シートＳ４は、切断手段１５０Ｂによって、切り込みＣＵが形成され、切り込みＣＵの内側に円形の接着シートＳ２１が形成され、切り込みＣＵの外側に不要シートＳ２２が形成される。この不要シートＳ２２は、巻取手段２３Ｂで剥離シートＲＬから剥離されて巻き取られる。
この後、制御手段１００Ｂは、第１実施形態の制御手段１００と同様に、磁気記録層ＭＬに所定情報を記録して、操作手段による設定に基づいて、シート制御装置１Ｂ全体を制御して、接着シートＳ２１をウェハＷおよびリングフレームＲＦに貼付することができる。
なお、磁気記録層ＭＬを有する帯状基材シートＢＳ１を、上記シート貼付装置１Ｂの支持ローラ２０１Ｂにセットして、磁気記録層ＭＬの形成を行わずに、接着剤層ＡＤの積層および接着シートＳ２１の形成を行い、接着シートＳ２１の磁気記録層ＭＬから所定情報の読み取り、この読み取った情報をメモリに記憶して当該情報に基づく貼付条件で接着シートＳ２１をウェハＷおよびリングフレームＲＦに貼付することもできる。
なお、接着剤層形成手段１４０Ｂによる接着剤層ＡＤの塗布は、剥離シートＲＬにおける原接着シートＳ４に仮着される面側（図４中左右方向に搬送される剥離シートＲＬの上面側）に行うように構成してもよい。また、積層手段３０Ａによる磁気記録層ＭＬの塗布は、剥離シートＲＬ上に塗布された接着剤層ＡＤ上に行うように構成してもよい。さらに、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に積層された磁気記録層ＭＬを当該基材シートＢＳとで挟み込むように、接着剤層ＡＤ側から磁気記録層ＭＬの幅よりも幅の広い他の接着シートまたはシート材を貼付する保護シート貼付手段を設け、磁気記録層ＭＬを保護するように構成してもよい。

【0038】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定
の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0039】

例えば、第２，第３実施形態の接着シートＳ１１，Ｓ２１が剥離シートＲＬに仮着された原反を、第１実施形態のシート貼付装置１の支持ローラ１１にセットして、磁気記録層ＭＬの形成を行わずに、接着シートＳ１１，Ｓ２１の磁気記録層ＭＬに対する所定情報の読み取りや記録を行った後、接着シートＳ１１，Ｓ２１をウェハＷおよびリングフレームＲＦに貼付してもよい。
また、第１〜第３実施形態において、磁気リーダ５０および磁気ライタ６０のうち少なくとも一方を設けなくてもよいし、制御手段１００，１００Ａ，１００Ｂに磁気記録層ＭＬに記録された情報に基づき、シート貼付装置１，１Ａ，１Ｂ全体を制御する機能を設けなくてもよい。

【0040】

また、本発明における接着シートＳ１，Ｓ１１，Ｓ２１の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、接着シートＳ１，Ｓ１１，Ｓ２１は、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
また、押圧手段８０は、前記実施形態で示したもの以外のもので構成してもよく、押圧手段８０は被着体に接着シートが貼付できる限りにおいて何ら限定されるものではなく、例えば、ブレード材、エア噴き付け、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができる。
また、磁気記録層ＭＬの形状は、直線形状に限らず、円形、楕円径、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。つまり、磁気記録層ＭＬは、印刷法によって形成されるので、より複雑で細やかな形状とすることができる。
また、接着剤層ＡＤを紫外線やマイクロ波等のエネルギー線で硬化するエネルギー線硬化型の材料で構成してもよい。
さらに、磁気記録層ＭＬは、ウェハＷに重なる位置に設けてもよい。
また、積層手段３０，３０Ａ、接着剤層形成手段１４０Ｂは、ロータリースクリーン印刷以外の塗布方法を採用することができ、例えば、ソルベントコーティング法、グラビア印刷、スクリーン印刷、さらには、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷等あらゆる印刷法を採用することができ、積層する材料を被積層物に積層（塗布）できる限りにおいて何ら限定されるものではない。
さらに、接着シートＳ１，Ｓ１１，Ｓ２１は、リングフレームＲＦでウェハＷを保持させるものに限定されることはなく、ウェハＷやその他のものだけに貼付されるものであってもよい。

【0041】

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0042】

１，１Ａ，１Ｂ…シート貼付装置
１０，１０Ｂ…繰出手段
３０，３０Ａ…積層手段
５０…磁気リーダ（入力手段）
６０…磁気ライタ（出力手段）
７０…剥離板（剥離手段）
８０…押圧手段
１００，１００Ａ，１００Ｂ…制御手段
ＡＤ…接着剤層
ＢＳ…基材シート
ＭＬ…磁気記録層
Ｒ１…原反
Ｓ１，Ｓ１１，Ｓ２１…接着シート
Ｗ…ウェハ（被着体）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】