特許5888337クロロポリシランの製造方法および流動床反応装置

発明の名称　クロロポリシランの製造方法および流動床反応装置

出願人　東亞合成株式会社　（識別番号 3034）

　　　　特許公開件数ランキング 744 位（35件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 363 位（77件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5888337

公報発行日　2016年3月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5888337

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