特許5890323光インプリント用樹脂組成物、パターン形成方法及びエッチングマスク

発明の名称　光インプリント用樹脂組成物、パターン形成方法及びエッチングマスク

出願人　丸善石油化学株式会社　（識別番号 157603）

　　　　特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12103 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5890323

公報発行日　2016年3月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5890323

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