特許5892014窒化物半導体装置及びその作製条件特定方法

発明の名称　窒化物半導体装置及びその作製条件特定方法

出願人　沖電気工業株式会社　（識別番号 295）

　　　　特許公開件数ランキング 72 位（347件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 140 位（191件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5892014

公報発行日　2016年3月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5892014

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