特許5894288窒化珪素質焼結体および加熱装置ならびに吸着装置

発明の名称　窒化珪素質焼結体および加熱装置ならびに吸着装置

出願人　京セラ株式会社　（識別番号 6633）

　　　　特許公開件数ランキング 59 位（419件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 27 位（659件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5894288

公報発行日　2016年3月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5894288

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5894288「窒化珪素質焼結体および加熱装置ならびに吸着装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録