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特許第5899271号(P5899271)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5899271硫黄がドープされたレーザーによってミクロ構造化された表面層を有するシリコンベースの検出器製造方法

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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