特許5901048半導体基材およびその製造方法

発明の名称　半導体基材およびその製造方法

出願人　国立大学法人東京工業大学　（識別番号 304021417）

　　　　特許公開件数ランキング 340 位（165件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 364 位（153件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5901048

公報発行日　2016年4月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5901048

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