発明の名称 投影光学系
出願人 リソテック株式会社 (識別番号 711009349)
特許公開件数ランキング 13870 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 11686 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-5903809
公報発行日 2016年4月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5903809
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