特許 5904098 物品搬送設備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5904098

(24)【登録日】2016年3月25日

(45)【発行日】2016年4月13日

(54)【発明の名称】物品搬送設備

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/00 20060101AFI20160331BHJP

   B65G 47/61 20060101ALI20160331BHJP

【ＦＩ】

   B65G1/00 501F

   B65G47/61 Z

【請求項の数】7

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2012-245743(P2012-245743)

(22)【出願日】2012年11月7日

(65)【公開番号】特開2014-94788(P2014-94788A)

(43)【公開日】2014年5月22日

【審査請求日】2014年11月10日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】100107308

【弁理士】

【氏名又は名称】北村 修一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100120352

【弁理士】

【氏名又は名称】三宅 一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100149331

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 昌人

(72)【発明者】

【氏名】村山 繁人

【審査官】 大谷 光司

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−１３７９６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−０９８００１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−１７１７７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−２５８１４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０４−０４６０１９（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ１／００−１／１３３，１／１４−１／２０

Ｂ６５Ｇ２５／００−２５／１２

Ｂ６５Ｇ４７／５２，４７／５６−４７／６２，４７／６６

Ｂ６５Ｇ４７／８０，４７／８４−４７／８６，４７／９０−４７／９６

Ｈ０１Ｌ２１／６７−２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１搬送箇所と第２搬送箇所との間で物品を搬送する搬送装置が設けられ、
前記第１搬送箇所として、低位置第１搬送箇所と、当該低位置第１搬送箇所より高い位置に設定された高位置第１搬送箇所と、が設定され、
前記第２搬送箇所として、低位置第２搬送箇所と、当該低位置第２搬送箇所より高い位置に設定された高位置第２搬送箇所と、が設定され、
前記搬送装置として、物品を載置する低位置用の載置部を水平方向に沿って移動させて物品を前記低位置第１搬送箇所と前記低位置第２搬送箇所との間で搬送する低位置搬送装置と、物品を載置する高位置用の載置部を水平方向に沿って移動させて物品を前記高位置第１搬送箇所と前記高位置第２搬送箇所との間で搬送する高位置搬送装置と、が設けられている物品搬送設備であって、
前記高位置用の載置部が、前記低位置用の載置部における物品を載置する載置面の高さより高く且つ前記低位置用の載置部に載置された物品の上端より低い高さに設けられ、
前記低位置用の載置部は、当該低位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡が前記高位置用の載置部の移動軌跡及びその高位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが前記低位置用の載置部の移動方向に沿って並ぶ状態で設けられ、
前記高位置用の載置部は、当該高位置用の載置部の移動軌跡及びその高位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡が前記低位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが前記高位置用の載置部の移動方向に沿って並ぶ状態で設けられている物品搬送設備。

【請求項2】

前記低位置搬送装置が、前記低位置用の載置部を鉛直方向に沿う軸心周りに旋回移動自在に設けられ、
前記高位置搬送装置が、前記高位置用の載置部を鉛直方向に沿う軸心周りに旋回移動自在に設けられている請求項１記載の物品搬送設備。

【請求項3】

前記低位置用の載置部と前記高位置用の載置部とが同一軸心周りに旋回移動自在に設けられている請求項２記載の物品搬送設備。

【請求項4】

前記搬送装置が、複数枚の基板を収納自在な容器を物品として搬送するように構成され、
前記基板に対して処理を行う基板処理装置が設けられ、
前記低位置用の載置部に載置された状態で前記低位置第２搬送箇所に位置する前記容器から前記基板を取り出して前記基板処理装置に搬送し、且つ、前記高位置用の載置部に載置された状態で前記高位置第２搬送箇所に位置する前記容器から前記基板を取り出して前記基板処理装置に搬送する基板搬送装置が設けられている請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品搬送設備。

【請求項5】

前記低位置第１搬送箇所と前記高位置第１搬送箇所とが上下方向視で同じ位置に設定されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品搬送設備。

【請求項6】

水平方向に移動自在で且つ前記第１搬送箇所との間で物品を搬送する搬送車が設けられ、
前記搬送車が、前記低位置第１搬送箇所及び前記高位置第１搬送箇所に対して共通して設定された停止位置に停止した状態で、前記低位置第１搬送箇所もしくは前記高位置第１搬送箇所との間で物品を搬送自在に構成されている請求項５記載の物品搬送設備。

【請求項7】

天井に配設された走行レールに案内支持された状態で前記走行レールに沿って走行自在で且つ物品を支持する支持体を昇降自在に備えた天井搬送車が設けられ、
前記天井搬送車は、物品を前記低位置用の載置部に卸すべく前記支持体を下降移動させて前記低位置第１搬送箇所に物品を搬送し、且つ、物品を前記高位置用の載置部に卸すべく前記支持体を下降移動させて前記高位置第１搬送箇所に物品を搬送し、且つ、物品を前記低位置用の載置部から持ち上げるべく前記支持体を上昇移動させて前記低位置第１搬送箇所から物品を搬送し、且つ、物品を前記高位置用の載置部から持ち上げるべく前記支持体を上昇移動させて前記高位置第１搬送箇所から物品を搬送するように構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の物品搬送設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、第１搬送箇所と第２搬送箇所との間で物品を搬送する搬送装置が設けられ、前記第１搬送箇所として、低位置第１搬送箇所と、当該低位置第１搬送箇所より高い位置に設定された高位置第１搬送箇所と、が設定され、前記第２搬送箇所として、低位置第２搬送箇所と、当該低位置第２搬送箇所より高い位置に設定された高位置第２搬送箇所と、が設定され、前記搬送装置として、物品を載置する低位置用の載置部を水平方向に沿って移動させて物品を前記低位置第１搬送箇所と前記低位置第２搬送箇所との間で搬送する低位置搬送装置と、物品を載置する高位置用の載置部を水平方向に沿って移動させて物品を前記高位置第１搬送箇所と前記高位置第２搬送箇所との間で搬送する高位置搬送装置と、が設けられている物品搬送設備に関する。

【背景技術】

【0002】

かかる物品搬送設備では、例えば、第１搬送箇所との間で物品を授受可能な天井搬送車を設けて、当該天井搬送車にて低位置第１搬送箇所及び高位置第１搬送箇所との間で物品を搬送し、第２搬送箇所との間で物品を授受可能なスタッカークレーンを設けて、当該スタッカークレーンにて低位置第２搬送箇所及び高位置第２搬送箇所との間で物品を搬送するようになっている。そして、低位置搬送装置の低位置用の載置部を移動させて、物品を低位置第１搬送箇所と低位置第２搬送箇所との間で搬送し、高位置搬送装置の高位置用の載置部を移動させて、物品を高位置第１搬送箇所もしくは高位置第２搬送箇所との間で搬送するように構成されている。このように第１搬送箇所と第２搬送箇所との間で物品を搬送する経路を２経路設けることで物品を効率よく搬送するようになっている。
物品搬送設備の従来例として、高位置用の載置部及び低位置用の載置部の夫々が、他方の載置部の移動軌跡及び他方の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する状態で設けられて、高位置搬送装置と低位置搬送装置との水平方向での設置スペースの省スペース化が図られているものがある（例えば、特許文献１参照。）。
そして、上記特許文献１の物品搬送設備では、高位置搬送装置を、低位置用の載置部に載置された物品の上端より高い高さに設けて、低位置搬送装置にて物品を搬送するときに、当該物品が高位置搬送装置に干渉しないように構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０−１３７９６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上記した従来の物品搬送設備では、低位置搬送装置と高位置搬送装置とを上下方向視で重複する状態で設けることで、水平方向での設置スペースの省スペース化が図られているものの、低位置搬送装置にて物品を搬送するときに低位置用の載置部やその低位置用の載置部に載置された物品が高位置搬送装置と干渉することを回避するために、高位置搬送装置は、低位置用の載置部に載置された物品の上端より高い高さに設けられている。そのため、高位置搬送装置と低位置搬送装置とが上下方向に大きく離れた状態で設置されることとなり、高位置搬送装置と低位置搬送装置とを設置するために上下方向に大きな設置スペースが必要であった。

【0005】

本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、高位置搬送装置と低位置搬送装置とを設けて搬送効率を向上させながら高位置搬送装置と低位置搬送装置との設置スペースの省スペース化を図ることができる物品搬送設備を提供する点にある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明にかかる物品搬送設備は、第１搬送箇所と第２搬送箇所との間で物品を搬送する搬送装置が設けられ、前記第１搬送箇所として、低位置第１搬送箇所と、当該低位置第１搬送箇所より高い位置に設定された高位置第１搬送箇所と、が設定され、前記第２搬送箇所として、低位置第２搬送箇所と、当該低位置第２搬送箇所より高い位置に設定された高位置第２搬送箇所と、が設定され、前記搬送装置として、物品を載置する低位置用の載置部を水平方向に沿って移動させて物品を前記低位置第１搬送箇所と前記低位置第２搬送箇所との間で搬送する低位置搬送装置と、物品を載置する高位置用の載置部を水平方向に沿って移動させて物品を前記高位置第１搬送箇所と前記高位置第２搬送箇所との間で搬送する高位置搬送装置と、が設けられているものであって、その第１特徴構成は、
前記高位置用の載置部が、前記低位置用の載置部における物品を載置する載置面の高さより高く且つ前記低位置用の載置部に載置された物品の上端より低い高さに設けられ、前記低位置用の載置部は、当該低位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡が前記高位置用の載置部の移動軌跡及びその高位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが前記低位置用の載置部の移動方向に沿って並ぶ状態で設けられ、前記高位置用の載置部は、当該高位置用の載置部の移動軌跡及びその高位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡が前記低位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが前記高位置用の載置部の移動方向に沿って並ぶ状態で設けられている点にある。

【0007】

すなわち、低位置用の載置部の移動軌跡が、高位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する部分を有し、また、高位置用の載置部の移動軌跡が、低位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する部分を有する状態で、低位置用の載置部及び高位置用の載置部が設けられている。

【0008】

そのため、高位置用の載置部及びその高位置用の載置部に載置された物品が、低位置用の載置部の移動軌跡と上下方向視で重複しない状態では、物品を載置した低位置用の載置部を移動させたときに、高位置用の載置部やその高位置用の載置部に載置された物品が邪魔にならず、低位置用の載置部を低位置第１搬送箇所に対応する位置と低位置第２搬送箇所に対応する位置とに移動させることで、物品を低位置第１搬送箇所と低位置第２搬送箇所との間で搬送することができる。
また、低位置用の載置部に載置された物品が、高位置用の載置部及びその高位置用の載置部に載置された物品と上下方向視で重複しない状態では、物品を載置した高位置用の載置部を移動させたときに、低位置用の載置部に載置された物品が邪魔にならず、高位置用の載置部を高位置第１搬送箇所に対応する位置と高位置第２搬送箇所に対応する位置とに移動させることで、物品を高位置第１搬送箇所もしくは高位置第２搬送箇所との間で搬送することができる。
第１搬送箇所と第２搬送箇所との間で物品を搬送する経路として、低位置用の載置部を移動させて物品を搬送する経路と、高位置用の載置部を移動させて物品を搬送する経路との２経路が設けられているため、第１搬送箇所と第２搬送箇所との間で物品を効率よく搬送することができる。

【0009】

そして、低位置用の載置部の移動軌跡と高位置用の載置部の移動軌跡及びその高位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡とを上下方向視で一部重複させることで、低位置搬送装置と高位置搬送装置との水平方向での設置スペースの省スペース化を図ることができる。
また、高位置用の載置部が、低位置用の載置部における物品を載置する載置面の高さより高く且つ低位置用の載置部に載置された物品の上端より低い高さに設けられているため、低位置搬送装置と高位置搬送装置との上下方向での設置スペースの省スペース化を図ることができる。

【0010】

このように、高位置搬送装置と低位置搬送装置とを設けて搬送効率を向上させながら高位置搬送装置と低位置搬送装置との水平方向及び上下方向での設置スペースの省スペース化を図ることができる。

【0011】

本発明にかかる物品搬送設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記低位置搬送装置が、前記低位置用の載置部を鉛直方向に沿う軸心周りに旋回移動自在に設けられ、前記高位置搬送装置が、前記高位置用の載置部を鉛直方向に沿う軸心周りに旋回移動自在に設けられている点にある。

【0012】

すなわち、低位置用の載置部に物品を載置させた状態で、低位置用の載置部を旋回移動させることで物品を低位置第１搬送箇所と低位置第２搬送箇所との間で搬送することができ、また、高位置用の載置部に物品を載置させた状態で、高位置用の載置部を旋回移動させることで物品を高位置第１搬送箇所と高位置第２搬送箇所との間で搬送することができる。
そして、載置部の旋回移動は、例えば、鉛直方向に沿う回転軸心周りに回転自在な連結部に載置部を連結してその連結部を電動モータにて回転させる等の簡単な構成で実現できるため、搬送装置の構成の簡素化を図ることができる。

【0013】

本発明にかかる物品搬送設備の第３特徴構成は、第２特徴構成において、前記低位置用の載置部と前記高位置用の載置部とが同一軸心周りに旋回移動自在に設けられている点にある。

【0014】

すなわち、低位置用の載置部と高位置用載置部とが同一軸心周りに旋回自在に設けられているため、これらの載置部を異なる軸心周りに旋回自在に設ける場合に比べて、軸心が離れていない分、水平方向での設置スペースの省スペース化を図ることができる。

【0015】

本発明にかかる物品搬送設備の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記搬送装置が、複数枚の基板を収納自在な容器を物品として搬送するように構成され、前記基板に対して処理を行う基板処理装置が設けられ、前記低位置用の載置部に載置された状態で前記低位置第２搬送箇所に位置する前記容器から前記基板を取り出して前記基板処理装置に搬送し、且つ、前記高位置用の載置部に載置された状態で前記高位置第２搬送箇所に位置する前記容器から前記基板を取り出して前記基板処理装置に搬送する基板搬送装置が設けられている点にある。

【0016】

すなわち、高位置用の載置部が、低位置用の載置部における物品を載置する載置面の高さより高く且つ低位置用の載置部に載置された物品の上端より低い高さに設けられているので、高位置用の載置部と低位置用の載置部との高低差が小さい。そのため、低位置用の載置部に載置された容器及び高位置用の載置部に載置された容器との間で基板を搬送するときに必要となる基板を取り出すための基板搬送装置の昇降移動量を抑えることができ、これらの容器と基板処理装置との間で基板を搬送する基板搬送装置を上下方向にコンパクトに構成することができる。
また、搬送装置の載置部に容器を載置させた状態で、基板搬送装置にて基板を取り出すことができるため、搬送装置の載置部上から基板取り出し用に設定された基板取出箇所等の別箇所に容器を搬送する必要がなく、効率よく基板を搬送することができる。

【0017】

本発明にかかる物品搬送設備の第５特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記低位置第１搬送箇所と前記高位置第１搬送箇所とが上下方向視で同じ位置に設定されている点にある。

【0018】

すなわち、低位置第１搬送箇所と高位置第１搬送箇所とが上下方向視で同じ位置に設定されているため、低位置第１搬送箇所との間で物品と搬送するときと高位置第１搬送箇所との間で物品を搬送するときとで、物品を搬送する第１搬送箇所の位置が水平方向で同じ位置であるため、低位置第１搬送箇所や高位置第１搬送箇所との間で物品を搬送し易くなる。

【0019】

本発明にかかる物品搬送設備の第６特徴構成は、第５特徴構成において、水平方向に移動自在で且つ前記第１搬送箇所との間で物品を搬送する搬送車が設けられ、前記搬送車が、前記低位置第１搬送箇所及び前記高位置第１搬送箇所に対して共通して設定された停止位置に停止した状態で、前記低位置第１搬送箇所もしくは前記高位置第１搬送箇所との間で物品を搬送自在に構成されている点にある。

【0020】

すなわち、低位置第１搬送箇所と高位置第１搬送箇所とが上下方向視で同じ位置に設定されており、搬送車は、低位置第１搬送箇所との間で物品を搬送するときも、高位置第１搬送箇所との間で物品を搬送するときも、共通の停止位置に停止した状態で物品を搬送することができる。そのため、例えば、搬送車にて容器を低位置第１搬送箇所に卸した後、当該搬送車を水平方向に移動させることなく高位置第１搬送箇所から物品を持ち上げることができる等、搬送車にて物品を効率良く搬送することができる。

【0021】

本発明にかかる物品搬送設備の第７特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、天井に配設された走行レールに案内支持された状態で前記走行レールに沿って走行自在で且つ物品を支持する支持体を昇降自在に備えた天井搬送車が設けられ、前記天井搬送車は、物品を前記低位置用の載置部に卸すべく前記支持体を下降移動させて前記低位置第１搬送箇所に物品を搬送し、且つ、物品を前記高位置用の載置部に卸すべく前記支持体を下降移動させて前記高位置第１搬送箇所に物品を搬送し、且つ、物品を前記低位置用の載置部から持ち上げるべく前記支持体を上昇移動させて前記低位置第１搬送箇所から物品を搬送し、且つ、物品を前記高位置用の載置部から持ち上げるべく前記支持体を上昇移動させて前記高位置第１搬送箇所から物品を搬送するように構成されている点にある。

【0022】

すなわち、高位置用の載置部が、低位置用の載置部における物品を載置する載置面の高さより高く且つ低位置用の載置部に載置された物品の上端より低い高さに設けられているので、高位置用の載置部と低位置用の載置部との高低差が小さい。そのため、低位置用の載置部の高さを高い位置に設けることができ、天井搬送車にて低位置第１搬送箇所との間で物品を搬送するときの昇降体の昇降量を抑えることができ、低位置第１搬送箇所との間で物品を効率よく搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】物品搬送設備の斜視図

【図2】物品搬送設備の平面図

【図3】物品搬送設備の側面図

【図4】低位置搬送装置と高位置搬送装置とを示す斜視図

【図5】低位置搬送装置と高位置搬送装置とを示す平面図

【図6】低位置用の載置部に載置された容器の移動軌跡と高位置用の載置部及びその載置部に載置された容器の移動軌跡とを示す平面図

【図7】高位置用の載置部に載置された容器の移動軌跡と低位置用の載置部及びその載置部に載置された容器の移動軌跡とを示す平面図

【図8】載置部の支持構造を示す図

【図9】制御ブロック図

【図10】フローチャート

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図３に示すように、物品搬送設備には、第１搬送箇所１（図２及び図３参照）と第２搬送箇所２（図２及び図３参照）との間で複数枚の基板４を収納自在な容器３を搬送する搬送装置５と、第１搬送箇所１との間で容器３を搬送する天井搬送車６と、基板４に対して処理を行う基板処理装置７と、第２搬送箇所２に位置する容器３と基板処理装置７との間で基板４を搬送する基板搬送装置８と、が設けられている。

【0025】

そして、物品搬送設備は、天井搬送車６にて容器３を第１搬送箇所１に搬送し、搬送装置５にて容器３を第１搬送箇所１から第２搬送箇所２に搬送し、基板搬送装置８にて、第２搬送箇所２に位置する容器３から基板４を取り出して当該基板４を基板処理装置７へ搬送するように構成されている。
また、物品搬送設備は、基板搬送装置８にて、基板処理装置７による処理が完了した基板４を基板処理装置７から第２搬送箇所２に位置する容器３へ搬送して当該基板４を容器３に収納し、搬送装置５にて容器３を第２搬送箇所２から第１搬送箇所１に搬送し、天井搬送車６にて容器３を第１搬送箇所１から搬送するように構成されている。

【0026】

物品搬送設備は、クリーンルーム内に設置されており、基板４として、液晶パネル等に用いられる矩形状に形成されたガラス基板が容器３に収納されている。容器３は、搬送装置５にて搬送される物品に相当し、横側面には基板４を出し入れするための開口が形成され、天井搬送車６の支持体２１に支持されるフランジ部が上面に設けられている。また、図示は省略するが、基板４は、水平姿勢で且つ上下方向に隣接する基板４同士の間に隙間が形成された状態で容器３に収納されている。
尚、基板処理装置７では、基板４に対して塗布、露光及び現像等の所定の処理が行われている。

【0027】

図３に示すように、天井搬送車６が設けられて当該天井搬送車にて容器３が搬送される容器搬送領域Ｅ１と、基板処理装置７や基板搬送装置８が設けられて当該基板搬送装置にて基板４が搬送される基板搬送領域Ｅ２とが、仕切壁９にて仕切られている。そして、搬送装置５は、容器搬送領域Ｅ１に突出自在な状態で基板搬送領域Ｅ２に設けられており、容器搬送領域Ｅ１と基板搬送領域Ｅ２との間で容器３を搬送するように構成されている。
尚、第１搬送箇所１は容器搬送領域Ｅ１に設定され、第２搬送箇所２は、基板搬送領域Ｅ２に設定されている。

【0028】

図４及び図５に示すように、第１搬送箇所１として、低位置第１搬送箇所１Ｌと、当該低位置第１搬送箇所より高い位置に設定された高位置第１搬送箇所１Ｈと、が設定され、第２搬送箇所２として、低位置第２搬送箇所２Ｌと、当該低位置第２搬送箇所２Ｌより高い位置に設定された高位置第２搬送箇所２Ｈと、が設定されている。
そして、搬送装置５は、容器３を載置する単一の載置部１１を水平方向に沿って移動させることで、容器３を第１搬送箇所１と第２搬送箇所２との間で搬送するように構成されている。単一の載置部１１は、上下方向視でコ字状に形成された板状部材にて構成されている。

【0029】

搬送装置５として、容器３を載置する低位置用の載置部１１Ｌを水平方向に沿って移動させて容器３を低位置第１搬送箇所１Ｌと低位置第２搬送箇所２Ｌとの間で搬送する低位置搬送装置５Ｌと、容器３を載置する高位置用の載置部１１Ｈを水平方向に沿って移動させて容器３を高位置第１搬送箇所１Ｈと高位置第２搬送箇所２Ｈとの間で搬送する高位置搬送装置５Ｈと、が設けられている。

【0030】

図１及び図３に示すように、低位置搬送装置５Ｌと高位置搬送装置５Ｈとの一対の搬送装置５の組は、上下方向に並ぶ状態で２組設けられている。これら、上側の低位置搬送装置５Ｌ及び高位置搬送装置５Ｈと、下側の低位置搬送装置５Ｌ及び高位置搬送装置５Ｈとは、高さが異なる以外は同様に構成されている。また、上側の低位置搬送装置５Ｌ及び高位置搬送装置５Ｈと下側の低位置搬送装置５Ｌ及び高位置搬送装置５Ｈとは、同じ支持フレーム１２に上下方向で異なる高さに支持されている。

【0031】

低位置搬送装置５Ｌは、低位置用の載置部１１Ｌを鉛直方向に沿う軸心Ｐ周りに旋回移動自在に設けられている。
説明を加えると、図８に示すように、低位置電動モータ１３Ｌの出力軸に低位置連結部１４Ｌが軸心Ｐ周りに回転自在に連結されており、その低位置連結部１４Ｌに低位置用の載置部１１Ｌが片持ち状に連結されている。そして、低位置電動モータ１３Ｌにて低位置連結部１４Ｌが軸心Ｐ周りに回転駆動することで、低位置用の載置部１１Ｌを軸心Ｐ周りに旋回移動させて容器３を低位置第１搬送箇所１Ｌと低位置第２搬送箇所２Ｌとの間で搬送するように構成されている。
また同様に、高位置搬送装置５Ｈも、高位置用の載置部１１Ｈを鉛直方向に沿う軸心Ｐ周りに旋回移動自在に設けられており、高位置電動モータ１３Ｈにて高位置連結部１４Ｈが軸心Ｐ周りに回転駆動することで、高位置用の載置部１１Ｈを軸心Ｐ周りに旋回移動させて容器３を高位置第１搬送箇所１Ｈと高位置第２搬送箇所２Ｈとの間で搬送するように構成されている。
このように、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとは同一軸心周りに旋回移動自在に設けられている。

【0032】

低位置電動モータ１３Ｌ及び高位置電動モータ１３Ｈは、低位置電動モータ１３Ｌが高位置電動モータ１３Ｈより上方に位置する状態で支持フレーム１２に支持されている。
低位置電動モータ１３Ｌは、出力軸が上方に向けて突出する姿勢で設けられており、その低位置電動モータ１３Ｌの出力軸に、低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａから上方に突出した上突出部分１４ｃが一体回転する状態で連結されている。
また、高位置電動モータ１３Ｈは、出力軸が下方に向けて突出する姿勢で設けられており、その高位置電動モータ１３Ｈの出力軸に、高位置連結部１４Ｈの下側連結部分１４ｂから下方に突出した下突出部分１４ｄが一体回転する状態で連結されている。

【0033】

そして、低位置連結部１４Ｌの下側連結部分１４ｂは、軸心Ｐ周りに回転自在な状態で高位置連結部１４Ｈの下突出部分１４ｄに連結されており、高位置連結部１４Ｈの上側連結部分１４ａは、軸心Ｐ周りに回転自在な状態で低位置連結部１４Ｌの上突出部分１４ｃに連結されている。
また、低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａと高位置連結部１４Ｈの下側連結部分１４ｂとの間には支持フレーム１２に支持された部材１５が介在しており、低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａは、軸心Ｐ周りに回転自在な状態で部材１５の上端部に連結され、高位置連結部１４Ｈの下側連結部分１４ｂは、軸心Ｐ周りに回転自在な状態で部材１５の下端部に連結されている。

【0034】

このように、低位置連結部１４Ｌ及び高位置連結部１４Ｈは、低位置電動モータ１３Ｌと高位置電動モータ１３Ｈとの間に上下方向に挟まれる状態で設けられている。そして、上から、高位置連結部１４Ｈの上側連結部分１４ａ、低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａ、高位置連結部１４Ｈの下側連結部分１４ｂ、低位置連結部１４Ｌの下側連結部分１４ｂ、の順に並べて、高位置連結部１４Ｈの上側連結部分１４ａと下側連結部分１４ｂとの間に低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａを位置させ、低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａと下側連結部分１４ｂとの間に高位置連結部１４Ｈの下側連結部分１４ｂを位置させることで、低位置連結部１４Ｌ及び高位置連結部１４Ｈの夫々を上下方向に広い間隔で支持フレーム１２側に連結することができながら、低位置連結部１４Ｌと高位置連結部１４Ｈとの上下方向での設置スペースの省スペース化が図られている。
そして、低位置連結部１４Ｌに連結された低位置用の載置部１１Ｌ及び高位置連結部１４Ｈに連結された高位置用の載置部１１Ｈは、高位置用の載置部１１Ｈが、低位置用の載置部１１Ｌにおける容器３を載置する載置面（載置部１１Ｈの上面）の高さより高く且つ低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の上端より低い高さに位置する状態で設けられている。

【0035】

次に、低位置用の載置部１１Ｌ及び高位置用の載置部１１Ｈの旋回移動及び上下方向視での位置関係について説明する。尚、容器搬送領域Ｅ１と基板搬送領域Ｅ２とが並ぶ方向を設備前後方向（図２及び図５にて矢印Ｘで示す方向）と称し、設備前後方向と直交する方向を設備左右方向（図２及び図５にて矢印Ｙで示す方向）と称して説明する。

【0036】

図５に示すように、支持フレーム１２は基板搬送領域Ｅ２に設置されており、軸心Ｐは基板搬送領域Ｅ２に位置している。
低位置用の載置部１１Ｌは、軸心Ｐを中心に上下方向視で反時計回りに旋回移動させて容器搬送領域Ｅ１に突出移動させることで、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応する位置（図５（ａ）に実線で示す位置）に旋回移動するように構成されている。このとき、低位置用の載置部１１Ｌは、軸心Ｐに対して設備前後方向の容器搬送領域Ｅ１が位置する側に位置している。
また、低位置用の載置部１１Ｌは、軸心Ｐを中心に上下方向視で時計回りに旋回移動させて基板搬送領域Ｅ２に引退移動させることで、低位置第２搬送箇所２Ｌに対応する位置（図５（ａ）に仮想線で示す位置）に旋回移動するように構成されている。このとき、低位置用の載置部１１Ｌは、軸心Ｐに対して設備左右方向の一方側（天井搬送車６の走行方向上手側）に位置している。

【0037】

そして、高位置用の載置部１１Ｈは、軸心Ｐを中心に上下方向視で時計回りに旋回移動させて容器搬送領域Ｅ１に突出移動させることで、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置（図５（ｂ）に実線で示す位置）に旋回移動するように構成されている。このとき、高位置用の載置部１１Ｈは、軸心Ｐに対して設備前後方向の容器搬送領域Ｅ１が位置する側に位置している。
また、高位置用の載置部１１Ｈは、軸心Ｐを中心に上下方向視で反時計回りに旋回移動させて基板搬送領域Ｅ２に引退移動させることで、高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置（図５（ｂ）に仮想線で示す位置）に旋回移動するように構成されている。このとき、高位置用の載置部１１Ｈは、軸心Ｐに対して設備左右方向の他方側（天井搬送車６の走行方向下手側）に位置している。

【0038】

尚、搬送箇所（低位置第１搬送箇所１Ｌ等）に対応する位置とは、容器３が搬送箇所に位置するときに当該容器３を載置している載置部１１が存在している位置である。また、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとの夫々の揺動角度は９０°に設定されている。
ちなみに、図３における上側に位置する低位置搬送装置５Ｌと高位置搬送装置５Ｈとの組は、図５（ｂ）に示す位置関係となっており、図３における下側に位置する低位置搬送装置５Ｌと高位置搬送装置５Ｈとの組は、図５（ａ）に示す位置関係となっている。

【0039】

図８に示すように、低位置第１搬送箇所１Ｌと高位置第１搬送箇所１Ｈとは、共に軸心Ｐに対して設備前後方向の容器搬送領域Ｅ１が位置する側に設定されており、低位置第１搬送箇所１Ｌと高位置第１搬送箇所１Ｈとが上下方向視で同じ位置に設定されている。そして、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応した位置に旋回移動した低位置用の載置部１１Ｌと、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応した位置に旋回移動した高位置用の載置部１１Ｈとは、共に軸心Ｐに対して設備前後方向の容器搬送領域Ｅ１が位置する側に移動しており、これら低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとは上下方向視で同じ位置に位置している。

【0040】

また、低位置第２搬送箇所２Ｌは軸心Ｐに対して設備左右方向の一方側に設定され、高位置第２搬送箇所２Ｈは軸心Ｐに対して設備左右方向の他方側に設定されており、低位置第２搬送箇所２Ｌと高位置第２搬送箇所２Ｈとが上下方向視で異なる位置に設定されている。そして、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応した位置に旋回移動した低位置用の載置部１１Ｌは、軸心Ｐに対して設備左右方向の一方側に移動し、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応した位置に旋回移動した高位置用の載置部１１Ｈは、軸心Ｐに対して設備左右方向の他方側に移動しており、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとは上下方向視で異なる位置に位置している。

【0041】

そして、図５〜図７に示すように、低位置用の載置部１１Ｌは、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応する位置に移動させた状態では、高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡及びその高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複し、低位置第２搬送箇所２Ｌに対応する位置に移動させた状態では、高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡及びその高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複しないように設けられている。
また、高位置用の載置部１１Ｈは、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置に移動させた状態では、低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡及びその低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複し、高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置に移動させた状態では、低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡及びその低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複しないように設けられている。

【0042】

尚、図６においては、低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡を、一点鎖線３ＬＴで示し、高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡及びその高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡を、一点鎖線１１ＨＴで示している。また、図７においては、高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡を、一点鎖線３ＨＴで示し、低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡及びその低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡を、一点鎖線１１ＬＴで示している。

【0043】

このように、低位置用の載置部１１Ｌは、当該低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡及びその低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡が、高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡及びその高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが低位置用の載置部１１Ｌの移動方向に沿って並ぶ状態で設けられている。また、高位置用の載置部１１Ｈは、当該高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡及びその高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡が、低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡及びその低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが高位置用の載置部１１Ｌの移動方向に沿って並ぶ状態で設けられている。

【0044】

そして、高位置用の載置部１１Ｈ及び低位置用の載置部１１Ｌの夫々は、他方の載置部１１Ｌ，１１Ｈが重複しない箇所に位置する状態で容器３を第１搬送箇所１と第２搬送箇所２との間で搬送自在に構成されている。
つまり、図５（ａ）に示すように、高位置用の載置部１１Ｈが高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置に位置する状態では、高位置用の載置部１１Ｈやこの高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３に接触することなく、低位置用の載置部１１Ｌを、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応する位置や低位置第２搬送箇所２Ｌに対応する位置に移動させて、容器３を低位置第１搬送箇所１Ｌや低位置第２搬送箇所２Ｌに搬送できるようになっている。
また、図５（ｂ）に示すように、低位置用の載置部１１Ｌが低位置第２搬送箇所２Ｌに対応する位置に位置する状態では、低位置用の載置部１１Ｌやこの低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３に接触することなく、高位置用の載置部１１Ｈを、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置や高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置に移動させて、容器３を高位置第１搬送箇所１Ｈや高位置第２搬送箇所２Ｈに搬送できるようになっている。

【0045】

基板搬送装置８は、設備前後方向で搬送装置５と基板処理装置７との間に設置された昇降移動自在な昇降台１７と、その昇降台１７上を設備左右方向に移動自在な移動ロボット１８と、を備えて構成されている。移動ロボット１８には、昇降移動自在、鉛直軸心周りに回転移動自在、及び、水平方向に出退移動自在にフォーク状の支持部１８ａが備えられている。
この基板搬送装置８は、昇降台１７の昇降移動及び移動ロボット１８の設備左右方向に沿う移動、並びに、支持部１８ａの昇降、回転及び出退によって、低位置用の載置部１１Ｌに載置された状態で低位置第２搬送箇所２Ｌに位置する容器３から基板４を取り出して当該基板４を基板処理装置７に搬送し、高位置用の載置部１１Ｈに載置された状態で高位置第２搬送箇所２Ｈに位置する容器３から基板４を取り出して当該基板４を基板処理装置７に搬送し、且つ、基板処理装置７にて処理を終えた基板４を高位置用もしくは低位置用の載置部１１に載置されて第２搬送箇所２に位置する容器３へ搬送して当該基板４を容器３に収納するように構成されている。

【0046】

基板搬送装置８は、容器３が４箇所の第２搬送箇所２（２箇所の低位置第２搬送箇所２Ｌ及び２箇所の高位置第２搬送箇所２Ｈ）のいずれに位置する状態でも、容器３から基板４を出し入れ自在に構成されている。そして、４箇所の第２搬送箇所２のうち、基板搬送装置８にて基板４を出し入れしている容器３が存在している第２搬送箇所２以外の第２搬送箇所２を、容器３を一時的に保管するバッファとして利用することができるようになっている。

【0047】

図１〜図３に示すように、天井搬送車６は、天井に配設された走行レール２０に案内支持された状態で走行レール２０に沿って走行自在で且つ容器３を支持する支持体２１を昇降自在で且つ上下方向に沿う軸心周りに回転自在に備えて構成されている。ちなみに、天井搬送車６は、搬送装置５の近傍においては、設備左右方向に沿って一方向（図１において左上から右下）に走行するようになっている。また、天井搬送車６が、水平方向に移動自在で且つ第１搬送箇所１との間で物品を搬送する搬送車に相当する。
そして、天井搬送車６は、図３に示すように、支持体２１を上昇位置に上昇移動させた状態で走行移動自在に構成され、且つ、支持体２１を上昇位置から下降移動させて載置部１１上に容器３を卸す形態で第１搬送箇所１に容器３を搬送し、支持体２１を上昇位置に上昇移動させて載置部１１上から容器３を引き上げる形態で第１搬送箇所１から容器３を搬送するように構成されている。

【0048】

説明を加えると、天井搬送車６は、第１搬送箇所１の真上の停止位置に停止した状態で、容器３を支持した支持体２１を下降移動させ、支持体２１による容器３に対する支持を解除して容器３を載置部１１へ卸し、第１搬送箇所１に容器３が搬送されるように構成されている。
また、天井搬送車６は、第１搬送箇所１の真上の停止位置に停止した状態で、容器３を支持しない支持体２１を下降移動させ、支持体２１により第１搬送箇所１に位置する容器３を支持し、容器３を支持した支持体２１を上昇移動させることにより、第１搬送箇所１から容器３を搬送するように構成されている。

【0049】

そして、天井搬送車６が、低位置第１搬送箇所１Ｌ及び高位置第１搬送箇所１Ｈに対して共通して設定された停止位置に停止した状態で、低位置第１搬送箇所１Ｌもしくは高位置第１搬送箇所１Ｈとの間で容器３を搬送自在に構成されている。
ちなみに、天井搬送車６を停止位置に停止させた状態において、第１搬送箇所１に対応する位置に低位置用の載置部１１Ｌが位置しているときは、低位置第１搬送箇所１Ｌとの間で容器３が搬送され、第１搬送箇所１に対応する位置に高位置用の載置部１１Ｈが位置しているときは、高位置第１搬送箇所１Ｈとの間で容器３が搬送される。

【0050】

第１搬送箇所１（低位置第１搬送箇所１Ｌ及び高位置第１搬送箇所１Ｈ）は、載置部１１に載置された状態で第１搬送箇所１に位置する容器３の上端が、走行用状態の天井搬送車６の支持体２１の下端より下方で且つ走行用状態の天井搬送車６に支持された容器３の下端より上方に位置する箇所に設定されている。
そのため、第１搬送箇所１が天井搬送車６に近く、天井搬送車６が第１搬送箇所１に搬送するときの支持体２１の下降量を少なくでき、容器３を第１搬送箇所１に迅速に搬送することができる。また、第１搬送箇所１に容器３が存在していたとしても、容器３を支持しない走行用状態の天井搬送車６を自由に走行移動させることができる。

【0051】

図９に示すように、物品搬送設備には、搬送装置５、天井搬送車６及び基板搬送装置８の作動を制御する搬送制御装置Ｈが設けられている。
搬送制御装置Ｈは、天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上に位置する停止位置まで走行移動させる授受前走行処理と、天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置から走行移動させる授受後走行処理と、天井搬送車６にて容器３を第１搬送箇所１に搬送する卸し処理と、天井搬送車６にて容器３を第１搬送箇所１から搬送する掬い処理と、を実行するべく、天井搬送車６の作動を制御するように構成されている。
また、搬送制御装置Ｈは、載置部１１を第１搬送箇所１に対応する位置から第２搬送箇所２に対応する位置に移動させる引退処理と、載置部１１を第２搬送箇所２に対応する位置から第１搬送箇所１に対応する位置に移動させる突出処理と、を実行するべく、搬送装置５の作動を制御するように構成されている。

【0052】

次に、図１０に示すフローチャートに基づいて、搬送制御装置Ｈが卸し処理を実行することにより、天井搬送車６にて低位置第１搬送箇所１Ｌに容器３を搬送し、搬送制御装置Ｈが掬い処理を実行することにより、天井搬送車６にて高位置第１搬送箇所１Ｈから容器３を搬送する場合を例に挙げて、天井搬送車６と搬送装置５との間で容器３を搬送する搬送制御について説明する。尚、通常は、載置部１１は第２搬送箇所２に対応する位置に移動している。

【0053】

搬送制御装置Ｈは、容器３を低位置第２搬送箇所２Ｌに搬送する搬入指令が指令されると、まず、授受前走行処理と突出処理とを実行して、搬入対象の容器３を支持した天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置に走行させ且つ低位置用の載置部１１Ｌを低位置第１搬送箇所１Ｌに対応する位置に突出移動させるべく、天井搬送車６及び搬送装置５の作動を制御する。その後、搬送制御装置Ｈは、卸し処理を実行して、低位置用の載置部１１Ｌ上に容器３を卸して容器３を低位置第１搬送箇所１Ｌに搬送させるべく、天井搬送車６の作動を制御し、引退処理を実行して、低位置用の載置部１１Ｌを低位置第２搬送箇所２Ｌに対応する位置に移動させて容器３を低位置第２搬送箇所２Ｌに搬送するべく、搬送装置５の作動を制御する。
ちなみに、授受前走行処理と突出処理とでは、通常では授受前走行処理の方が長い時間を要し、天井搬送車６が第１搬送箇所１の真上の停止位置まで移動する前に載置部１１は第１搬送箇所１に対応する位置への移動を完了している。そのため、天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上に走行させた後、載置部１１が第１搬送箇所１に突出移動するまで卸し処理の開始を待機させる必要なく、迅速に第１搬送箇所１に容器３を搬送できるようになっている。

【0054】

上述の如く、搬送制御装置Ｈは、引退処理を実行して容器３を低位置第２搬送箇所２Ｌに搬送した後、搬出指令が指令されていなければ、授受後走行処理を実行して、容器３を支持していない天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置から走行させるべく、天井搬送車６の作動を制御する。
また、搬送制御装置Ｈは、搬出指令があれば、突出処理を実行して、高位置用の載置部１１Ｈを高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置に突出移動させるべく、搬送装置５の作動を制御する。その後、搬送制御装置Ｈは、掬い処理を実行して、搬出対象の容器３を天井搬送車６にて支持した後、授受後走行処理と引退処理とを実行して、搬出対象の容器３を支持した天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置から走行させ且つ高位置用の載置部１１Ｈを高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置に引退移動させるべく、天井搬送車６及び搬送装置５の作動を制御する。

【0055】

そして、搬送制御装置Ｈは、搬入指令が指令されておらず、搬出指令のみが指令されている場合は、まず、授受前走行処理と突出処理とを実行して、容器３を支持していない天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置に走行させ且つ高位置用の載置部１１を高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置に突出移動させるべく、天井搬送車６及び搬送装置５の作動を制御する。その後、搬送制御装置Ｈは、掬い処理を実行して、搬出対象の容器３を天井搬送車６にて支持した後、授受後走行処理と引退処理とを実行して、搬出対象の容器３を支持した天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置から走行させ且つ高位置用の載置部１１Ｈを高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置に引退移動させるべく、天井搬送車６及び搬送装置５の作動を制御する。

【0056】

このように、低位置第１搬送箇所１Ｌと高位置第１搬送箇所１Ｈとが上下方向視で同じ位置に設定されているため、天井搬送車６が低位置第１搬送箇所１Ｌと高位置第１搬送箇所１Ｈとのうちの一方の第１搬送箇所１に容器３を受け渡した後、当該天井搬送車６は、走行移動することなく、他方の第１搬送箇所１から容器３を受け取ることができる。
また、高位置用の載置部１１Ｈが、低位置用の載置部１１Ｌにおける容器３を載置する載置面の高さより高く且つ低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の上端より低い高さに設けられているため、低位置搬送装置５Ｌと高位置搬送装置５Ｈとの上下方向での設置スペースの省スペース化を図ることができる。また、低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡と高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡及びその高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３とを上下方向視で一部重複させることで、低位置搬送装置５Ｌと高位置搬送装置５Ｈとの水平方向での設置スペースの省スペース化を図ることができる。

【0057】

さらに、高位置用の載置部１１Ｈが高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置に位置する状態では、低位置用の載置部１１Ｌを移動させても、低位置用の載置部１１Ｌに支持された容器３が高位置用の載置部１１Ｈやその高位置用の載置部１１Ｈに支持された容器３に干渉することがなく、容器３を低位置第１搬送箇所１Ｌと低位置第２搬送箇所２Ｌとの間で搬送することができる。
また、低位置用の載置部１１Ｌが低位置第２搬送箇所２Ｌに対応する位置に位置する状態では、高位置用の載置部１１Ｈを移動させても、高位置用の載置部１１Ｈやその高位置用の載置部１１Ｈに支持された容器３が低位置用の載置部１１Ｌに支持された容器３に干渉することがなく、容器３を高位置第１搬送箇所１Ｈと高位置第２搬送箇所２Ｈとの間で搬送することができる。
そのため、低位置搬送装置５Ｌと高位置搬送装置５Ｈとを水平方向及び上下方向での設置スペースの省スペース化を図りながら、低位置搬送装置５Ｌにて低位置第１搬送箇所１Ｌと低位置第２搬送箇所２Ｌとの間で容器３を搬送することができ、また、高位置搬送装置５Ｈにて高位置第１搬送箇所１Ｈと高位置第２搬送箇所２Ｈとの間で容器３を搬送することができるようになっている。

【0058】

〔別実施形態〕
（１） 上記実施形態では、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとを同一軸心周りに旋回移動自在に設けたが、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとを異なる軸心周りに旋回移動自在に設けてもよい。
また、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとの夫々を、鉛直方向に沿う軸心周りに旋回移動させることで第１搬送箇所１に対応する位置と第２搬送箇所２に対応する位置とに移動させるように構成したが、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとの夫々を、水平方向に沿って直線移動させることで第１搬送箇所１に対応する位置と第２搬送箇所２に対応する位置とに移動させるように構成してもよい。

【0059】

（２） 上記実施形態では、天井搬送車６にて、第１搬送箇所１との間で物品を搬送するように構成したが、例えば、載置部１１を昇降自在に備えて床面上を走行移動自在な移動台車等、別の形態の装置にて第１搬送箇所１との間で物品を搬送するように構成してもよい。
また、上記実施形態では、基板搬送装置８にて、第２搬送箇所２に位置する容器３に対して基板４を出し入れするように構成したが、物品搬送装置を設けて、物品搬送装置にて第２搬送箇所２との間で容器３（物品）を搬送するように構成してもよい。

【0060】

（３） 上記実施形態では、低位置第２搬送箇所２Ｌと高位置第２搬送箇所２Ｈとを上下方向視で異なる位置に設定したが、低位置第２搬送箇所２Ｌと高位置第２搬送箇所２Ｈとを上下方向視で同じ位置に設定してもよい。
ちなみに、低位置第１搬送箇所１Ｌと高位置第１搬送箇所１Ｈとを上下方向視で同じ位置に設定し、低位置第２搬送箇所２Ｌと高位置第２搬送箇所２Ｈとを上下方向視で同じ位置に設定する場合は、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとを、これらの載置部１１にて上下方向視で円形状の移動軌跡を形成するように設けることが考えられる。

【0061】

（４） 上記実施形態では、低位置第１搬送箇所１Ｌと高位置第１搬送箇所１Ｈとを上下方向視で同じ位置に設定したが、低位置第１搬送箇所１Ｌと高位置第１搬送箇所１Ｈとを上下方向視で異なる位置に設定してもよい。
ちなみに、低位置第１搬送箇所１Ｌと高位置第１搬送箇所１Ｈとを上下方向視で異なる位置に設定し、低位置第２搬送箇所２Ｌと高位置第２搬送箇所２Ｈとを上下方向視で異なる位置に設定する場合は、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとを、これらの載置部１１にて上下方向視でＸ状の移動軌跡を形成するように設けることが考えられる。

【0062】

（５） 上記実施形態では、複数枚の基板４を収納した容器３を物品として搬送したが、パレット及びそれに載置した荷を物品として搬送する、又は、カートンケースを物品として搬送する等、物品の形態は適宜変更してもよい。
また、搬送装置５にて、高さの異なる複数種類の物品を搬送してもよく、その場合は、高位置用の載置部１１Ｈを、最も背の高い種類の物品を低位置用の載置部１１Ｌに載置した場合において、当該物品の上端より低い高さに設ければよい。

【0063】

（６） 上記実施形態では、低位置用の載置部１１Ｌを、その低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡が高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とを有する状態で設け、高位置用の載置部１１Ｈを、その高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡が低位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とを有する状態で設けたが、これら低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとを、移動軌跡を上下方向視で重複しない状態で設けてもよい。
具体的には、例えば、上記実施形態において、載置部１１の平面視形状をくし歯状に形成する等により、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応する位置の低位置用の載置部１１Ｌと、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置の高位置用の載置部１１Ｈとが、上下方向視で重ならないように構成して、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとを、移動軌跡が上下方向視で重複しない状態で設けてもよい。

【0064】

（７） 上記実施形態では、搬送車を、天井搬送車６にて構成して、天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上に停止させた状態で支持体２１を昇降移動させることで、物品を第１搬送箇所１との間で搬送するように構成したが、天井搬送車を、走行レール２０に沿って走行し、天井搬送車を第１搬送箇所１の横側方に停止させた状態で支持体を水平移動及び昇降移動させることで、物品を第１搬送箇所との間で搬送するように構成してもよい。

【符号の説明】

【0065】

１ 第１搬送箇所
１Ｌ 低位置第１搬送箇所
１Ｈ 高位置第１搬送箇所
２ 第２搬送箇所
２Ｌ 低位置第２搬送箇所
２Ｈ 高位置第２搬送箇所
３ 容器（物品）
４ 基板
５ 搬送装置
５Ｌ 低位置搬送装置
５Ｈ 高位置搬送装置
６ 天井搬送車（搬送車）
７ 基板処理装置
８ 基板搬送装置
１１ 載置部
１１Ｌ 低位置用の載置部
１１Ｈ 高位置用の載置部
２０ 走行レール
２１ 支持体
Ｐ 軸心

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】