特許5909737イットリア膜の成膜方法

発明の名称　イットリア膜の成膜方法

出願人　有限会社　渕田ナノ技研　（識別番号 504273254）

　　　　特許公開件数ランキング 30226 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24536 位（0件）（共同出願を含む）

出願人　第一稀元素化学工業株式会社　（識別番号 208662）

　　　　特許公開件数ランキング 3170 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1733 位（13件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5909737

公報発行日　2016年4月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5909737

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