特許 5910020 ブルー相方式の液晶パネル製造装置およびブルー相方式の液晶パネルの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5910020

(24)【登録日】2016年4月8日

(45)【発行日】2016年4月27日

(54)【発明の名称】ブルー相方式の液晶パネル製造装置およびブルー相方式の液晶パネルの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/13 20060101AFI20160414BHJP

   H01J 65/00 20060101ALI20160414BHJP

   G02F 1/1334 20060101ALI20160414BHJP

【ＦＩ】

   G02F1/13 101

   H01J65/00 B

   G02F1/1334

【請求項の数】21

【全頁数】36

(21)【出願番号】特願2011-252630(P2011-252630)

(22)【出願日】2011年11月18日

(65)【公開番号】特開2013-109074(P2013-109074A)

(43)【公開日】2013年6月6日

【審査請求日】2014年10月21日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102212

【氏名又は名称】ウシオ電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100078754

【弁理士】

【氏名又は名称】大井 正彦

(72)【発明者】

【氏名】菱沼 宣是

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 信二

【審査官】 鈴木 俊光

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−２５１３３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−１３６８７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２０７２７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−３２９４２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−３１９３７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１２９４００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０９８０２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１８９７９５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｆ １／１３

Ｇ０２Ｆ １／１３３４

Ｈ０１Ｊ ６５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

内部に液体冷媒を有し、当該液体冷媒に、液晶、カイラル剤および紫外線硬化性樹脂を含有し、特定の温度でブルー相を示す液晶組成物よりなる液晶層を有するブルー相方式の液晶パネル材料を浸漬するための冷媒槽と、
当該冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料に当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射する紫外線光源と、
当該紫外線光源に電力を供給する給電手段と、
当該冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料の温度が当該液晶パネル材料の液晶層においてブルー相が出現するブルー相出現温度となるように、冷媒槽内の液体冷媒の温度を調整する温調手段とを備えてなるブルー相方式の液晶パネル製造装置であって、
前記紫外線光源は、当該紫外線光源と前記液晶パネル材料との間に液体冷媒と大気との境界面が存在しないように配置されており、
前記冷媒槽は、液体冷媒の流入口および流出口を具備し、当該流出口が当該流入口より上方に位置するように設けられており、
当該流入口から冷媒槽内に液体冷媒を供給する液体冷媒供給源を有することを特徴とするブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項2】

前記紫外線光源から放出される紫外線を含む光を反射する反射鏡を更に有し、
当該反射鏡は、当該反射鏡の反射面と当該紫外線光源との間に液体冷媒と大気との境界面が存在しないように配置されることを特徴とする請求項１に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項3】

前記液体冷媒供給源は、前記流出口から排出される液体冷媒を循環して前記流入口から前記冷媒槽内に流入させる液体冷媒循環手段の一部を構成することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項4】

前記冷媒槽内の液体冷媒の温度を計測する温度センサーと、制御部とを有し、
前記制御部は、前記温度センサーからの液体冷媒の温度情報に基づいて前記温調手段を動作させることにより、冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料の温度がブルー相出現温度となるように当該冷媒槽内の液体冷媒の温度を制御することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項5】

前記流入口は、第１の流入口と第２の流入口とからなり、
前記液体冷媒供給源は、ブルー相出現温度より高い第１の温度の液体冷媒を当該第１の流入口から冷媒槽内に供給する第１の液体冷媒供給源と、ブルー相出現温度より低い第２の温度の液体冷媒を当該第２の流入口から冷媒槽内に供給する第２の液体冷媒供給源とからなり、
前記第１の流入口と前記第１の液体冷媒供給源との間には、当該第１の流入口から冷媒槽内に流入する液体冷媒の単位時間あたりの流量を制御する第１の流量制御手段が設けられており、
前記第２の流入口と前記第２の液体冷媒供給源との間には、当該第２の流入口から冷媒槽内に流入する液体冷媒の単位時間あたりの流量を制御する第２の流量制御手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項6】

前記冷媒槽内の液体冷媒の温度を計測する温度センサーと、制御部とを有し、
前記制御部は、前記温度センサーからの液体冷媒の温度情報に基づいて、前記第１の流入口から冷媒槽内に流入する液体冷媒の単位時間あたりの流量と前記第２の流入口から冷媒槽内に流入する液体冷媒の単位時間あたりの流量との比を調整することにより、冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料の温度がブルー相出現温度となるように当該冷媒槽内の液体冷媒の温度を制御することを特徴とする請求項５に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項7】

前記液晶パネル材料を冷媒槽の外部から冷媒槽内へ搬送して前記紫外線光源から放出される紫外線を含む光が照射される領域を通過させ、冷媒槽内において光照射されることにより当該液晶パネル材料の液晶層においてブルー相が出現された状態で紫外線硬化性樹脂が硬化することによって得られたブルー相方式の液晶パネルを冷媒槽内から冷媒槽の外部へと搬送する搬送機構が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項8】

前記紫外線光源は、複数のエキシマランプを並列に配置してなる構成を有するものであることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項9】

前記紫外線光源を構成するエキシマランプは、誘電体材料からなり、内部に放電媒質が充填された放電容器の外表面に一方の放電用電極が配置され、他方の放電用電極が当該放電容器の内部に配置され、これらの放電用電極が給電手段と電気的に接続されており、
放電容器の外表面に配置された放電用電極は、グラウンド電位とされているか、もしくは接地されていることを特徴とする請求項８に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項10】

前記エキシマランプは、前記放電容器の内部にて発生するエキシマ光により励起されて紫外光を放射する蛍光体を含有する蛍光体層が当該放電容器の内表面に設けられていることを特徴とする請求項９に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項11】

前記紫外線光源を構成するエキシマランプは、内部に放電媒質が充填された、誘電体材料からなる、外形が略円筒状であって一端が封じられ他端が開口した外側管および内側管が略同軸上に配置されており、外側管の開口側の端部と当該内側管の開口側の端部とが封着されてなる放電容器を有し、
一方の放電用電極が当該放電容器の外側管側の外表面に配置され、他方の放電用電極が当該放電容器の内側管側の外表面に配置され、これらの放電用電極が給電手段と電気的に接続されており、
放電容器の外側管側の外表面に配置された放電用電極は、グラウンド電位とされているか、もしくは接地されており、当該放電容器の外側管側の外表面に配置された放電用電極のみが前記冷媒槽内の液体冷媒と接触していることを特徴とする請求項８に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項12】

前記エキシマランプは、前記放電容器の内部にて発生するエキシマ光により励起されて紫外光を放射する蛍光体を含有する蛍光体層が当該放電容器の外側管側の内表面に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項13】

前記紫外線光源を構成するエキシマランプは、内部に放電媒質が充填された、誘電体材料からなる、外形が略円筒状の外側管および内側管が略同軸上に配置されており、当該外側管および当該内側管の各々の両端部が封着されてなる中空円筒状の放電容器を有し、
一方の放電用電極が放電容器の外側管側の外表面に配置され、他方の放電用電極が当該放電容器の内側管側の外表面に配置され、これらの放電用電極が給電手段と電気的に接続されており、
放電容器の外側管側の外表面に配置された放電用電極は、グラウンド電位とされているか、もしくは接地されており、当該放電容器の外側管側の外表面に配置された放電用電極のみが前記冷媒槽内の液体冷媒と接触していることを特徴とする請求項８に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項14】

前記エキシマランプは、前記放電容器の内部にて発生するエキシマ光により励起されて紫外光を放射する蛍光体を含有する蛍光体層が当該放電容器の外側管側の内表面に設けられていることを特徴とする請求項１３に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項15】

前記紫外線光源は、発光管である放電容器の内部に希ガスが封入され、当該放電容器の外表面に互いに離間して放電容器の管軸方向に沿って一対の外部電極が配設されており、当該一対の外部電極の端部に給電端子が接続されてなる希ガス蛍光ランプの複数が並列に配置されてなる構成を有するものであることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項16】

前記希ガス蛍光ランプは、前記放電容器を全体に覆う透光性を有する筒状の外管と、当該外管の両端開口を塞ぐ絶縁性を有する蓋部材とを備えており、当該放電容器の外表面に設けられた外部電極に接続された給電端子は、当該蓋部材を貫通して当該外管の外部に突出しており、当該給電端子における突出した部分が給電手段に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１５に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項17】

前記給電端子における突出した部分は、前記冷媒槽の外部に露出していることを特徴とする請求項１６に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項18】

前記希ガス蛍光ランプは、冷却ガス導入手段を更に具備し、
前記外管の両端開口を塞ぐ蓋部材は冷媒槽の外部に位置されており、一方の蓋部材には、当該却ガス導入手段から供給される冷却ガスを当該外管の内部に導入する冷却ガス導入部が設けられており、他方の蓋部材には、当該外管の内部に導入された冷却ガスを排出する冷却ガス排出部が設けられていることを特徴とする請求項１６または請求項１７に記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置。

【請求項19】

前記請求項１乃至請求項１８のいずれかに記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置を用い、液晶、カイラル剤および紫外線硬化性樹脂を含有し、特定の温度でブルー相を示す液晶組成物よりなる液晶層を有するブルー相方式の液晶パネル材料からブルー相方式の液晶パネルを得るためのブルー相方式の液晶パネルの製造方法であって、
冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料の液晶層の温度が当該液晶層においてブルー相が出現するブルー相出現温度となるように冷媒槽内の液体冷媒の温度を設定し、
当該液晶層においてブルー相が出現した状態の液晶パネル材料に対して紫外線光源によって当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射する工程を有することを特徴とするブルー相方式の液晶パネルの製造方法。

【請求項20】

請求項５乃至請求項１８のいずれかに記載のブルー相方式の液晶パネル製造装置を用い、液晶、カイラル剤および紫外線硬性樹脂を含有し、特定の温度でブルー相を示す液晶組成物よりなる液晶層を有するブルー相方式の液晶パネル材料からブルー相方式の液晶パネルを得るためのブルー相方式の液晶パネルの製造方法であって、
冷媒槽内に流入する第１の温度の液体冷媒の単位時間あたりの流量と第２の温度の液体冷媒の単位時間あたりの流量との比を調整することにより、冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料の液晶層の温度が当該液晶層においてブルー相が出現するブルー相出現温度となるように冷媒槽内の液体冷媒の温度を設定し、
当該液晶層においてブルー相が出現した状態の液晶パネル材料に対して紫外線光源によって当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射する工程を有することを特徴とするブルー相方式の液晶パネルの製造方法。

【請求項21】

冷媒槽内の液体冷媒の温度を計測し、得られた液体冷媒の温度の値に基づいて、前記第１の温度の液体冷媒の単位時間あたりの流量と前記第２の温度の液体冷媒の単位時間あたりの流量との比を調整することを特徴とする請求項２０に記載のブルー相方式の液晶パネルの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ブルー相方式の液晶パネル製造装置およびブルー相方式の液晶パネルの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、液晶パネルにおいては、表示の切り替え応答速度の高速化の要請が高く、様々な液晶駆動方式の検討が進められている。このような応答速度の高速化を実現する液晶駆動方式としては、液晶をブルー相（blue phase）状態に維持して液晶パネルを駆動することが提案されている。

【0003】

ブルー相とは、コレステリック相と等方相との間に出現する液晶相であり、電界や磁界などにより入射光の回折角や偏光状態をマイクロ秒オーダーの応答時間で変化させることができる電気光学特性を示す。よって、ブルー相状態の液晶素子は、従来の液晶パネルにおける液晶素子を遥かに凌ぐ応答速度を実現することが可能となる。また、ブルー相状態の液晶素子を液晶パネルに用いる場合、配向膜が不要であり、かつ、広視野角を達成できるので、このような液晶パネルの実用化が期待されている。

【0004】

しかしながら、ブルー相は、コステリック相と等方相との間の数℃の温度範囲（一般的には１〜３℃の温度範囲）という極めて狭い温度範囲内においてしか出現しない。よって、液晶素子の高精度な温度制御が必要であるため、ブルー相状態の液晶素子を用いた液晶パネルの実用化は困難である。

【0005】

このような問題に対処すべく、ブルー相状態の液晶素子を用いた液晶パネル、すなわちブルー相方式の液晶パネルを実用化するための手法について、種々の提案がなされている（例えば、特許文献１および特許文献２参照。）。
具体的に、特許文献１には、特定の温度においてブルー相を示す低分子の液晶中に特定の化学構造を有するモノマーに由来の高分子ネットワークを形成することにより、この液晶中に高分子ネットワークが形成されてなる液晶材料においては、当該液晶材料を構成する液晶においてブルー相が出現する温度範囲よりも大きな温度範囲が得られること、すなわちブルー相が出現する温度範囲を拡大することができることが開示されている。

【0006】

このような構成の液晶材料は、液晶中に光重合または熱重合によって重合するモノマーを混入し、この液晶とモノマーとが混合された液晶組成物を構成する液晶においてブルー相が出現する温度条件下にてモノマーを重合することにより得られるものである。
また、液晶材料を得るために熱重合によって重合するモノマーを用いた場合には、重合温度を液晶にブルー相が出現される温度範囲内に設定することが困難である場合があり、しかも高分子ネットワークの形態が加熱条件によって変化する可能性がある。よって、液晶組成物を得るためのモノマーとしては、光重合によって重合するモノマーを用いることが好ましい。

【0007】

光重合によって重合するモノマーを用いて、液晶中に高分子ネットワークが形成されてなる構成の液晶材料を液晶層として有するブルー相方式の液晶パネルを得るための手法としては、液晶、当該液晶を螺旋構造に配向させてブルー相を出現させるためのカイラル剤、光硬化材樹脂および光重合開始剤を含有する液晶組成物によって液晶層が形成されたブルー相方式の液晶パネル材料を作製し、得られたブルー相方式液晶パネル材料の液晶層の温度を制御しながら当該液晶層に対して光硬化性樹脂および光重合開始剤が反応する波長の光（例えば紫外光）を照射する方法が提案されている（特許文献２参照。）。

【0008】

ここに、ブルー相方式の液晶パネル材料からブルー相方式の液晶パネルを得るための具体的な方法としては、例えばブルー相方式の液晶パネル材料の液晶層を等方相まで加熱した後、徐々に降温させてブルー相にまで相転移させ、ブルー相が出現した温度を保持した状態で光照射を行う手法、あるいは、ブルー相方式の液晶パネル材料の液晶層を等方相まで加熱した後、ブルー相と等方相との間の相転移温度から＋５℃以内の状態（等方相出現状態）で光照射を行う手法などが挙げられる。

【0009】

このようにしてブルー相方式の液晶パネル材料からブルー相方式の液晶パネルを得るためには、ブルー相方式の液晶パネル材料の液晶層を当該液晶層においてブルー相が出現している状態、あるいはブルー相方式の液晶パネル材料の液晶層の温度を当該液晶層におけるブルー相と等方相との間の相転移温度に係る特定の温度範囲内に維持しながら光照射を行う必要がある。然るに、ブルー相方式の液晶パネル材料の液晶層においてブルー相が出現する温度は、当該液晶層を構成する液晶においてブルー相が出現する温度であり、前述したように液晶においてブルー相が出現する温度が極めて狭い温度範囲内であるため、ブルー相方式の液晶パネル材料の液晶層に対して光照射を行う場合においても、当該液晶層の温度を極めて狭い温度範囲内に制御する必要がある。

【0010】

また、近年、液晶パネルにおいては、その基板サイズが大型化している。よって、前述ブルー相方式の液晶パネルを得るための手法において用いられるブルー相方式の液晶パネル材料も大型化されることとなるが、大型のブルー相方式の液晶パネル材料を、例えば温度調整可能なステージに配置し、当該ブルー相方式の液晶パネル材料の温度分布を調整して液晶層の温度を特定の狭い温度範囲内に維持することは困難である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】特許３７７９９３７号公報

【特許文献2】特開２０１１−８２４２号公報

【0012】

而して、発明者らは、大型のブルー相方式の液晶パネルを得るための手法について検討を重ねた結果、図１２に示すように、被処理体Ｗとしてのブルー相方式の液晶パネル材料を、冷媒槽１１内において、純水のような熱容量の大きい液体冷媒Ｌ中に浸漬した状態となるように配置し、当該冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度を温調手段（図示省略）によって所定の温度に調整することにより、ブルー相方式の液晶パネル材料の温度分布を液晶層においてブルー相が出現する温度範囲内に維持し、そして、ブルー相が出現した状態のブルー相方式液晶パネル材料の液晶層に対して、冷媒槽１１の外部における上方（図１２において上方）に設けられた、複数のランプ９０よりなる光源からの光（例えば紫外線）を液体冷媒Ｌを介して照射することを考えた。

【0013】

しかしながら、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの表面、すなわち液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳの状態は必ずしも安定ではなく、例えば冷媒槽１１の外部からの不所望な振動などによりゆらぎ（波打ち）が発生する。一方、冷媒槽１１の外部に配置された光源からの光は、液体冷媒Ｌに入射する際に大気と液体冷媒Ｌとの境界面ＬＳで屈折する。そのため、液体冷媒Ｌの表面にゆらぎが発生すると、大気と液体冷媒Ｌとの境界面ＬＳが平面状ではなくなり、このように境界面ＬＳの形状が波うち状態となった場合には、予め液状冷媒の表面が平面状である場合においてブルー相方式の液晶パネル材料の光照射面における放射照度分布が均一になるように光源からの光を調整していたとしても、大気と液体冷媒Ｌとの境界面ＬＳが平面状ではないので、ブルー相方式の液晶パネル材料の光照射面における光の放射照度分布が不均一になる。しかも時間的に放射照度分布が変化してしまう。よって、ブルー相方式の液晶パネル材料の液晶層を構成する光硬化性樹脂の硬化状態が場所的に不均一となる。すなわち、得られるブルー相方式の液晶パネルの液晶層におけるブルー相状態（ブルー相の出現）にむらが生じる、という問題がある。
なお、図１２には、光源から放出された光が被処理体Ｗの至るまでの光路の例（大気中における光路および液体冷媒Ｌ中における光路）が矢印によって示されている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0014】

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、液体冷媒に浸漬した状態のブルー相方式の液晶パネル材料の液晶層の全面に均一な光照射を行うことができ、従って、ブルー相方式の液晶パネル材料が大型のものであっても、液晶層をむらのないブルー相状態とすることのできるブルー相方式の液晶パネルを製造することのできるブルー相方式の液晶パネル製造装置およびブルー相方式の液晶パネルの製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0015】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置は、内部に液体冷媒を有し、当該液体冷媒に、液晶、カイラル剤および紫外線硬化性樹脂を含有し、特定の温度でブルー相を示す液晶組成物よりなる液晶層を有するブルー相方式の液晶パネル材料を浸漬するための冷媒槽と、
当該冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料に当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射する紫外線光源と、
当該紫外線光源に電力を供給する給電手段と、
当該冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料の温度が当該液晶パネル材料の液晶層においてブルー相が出現するブルー相出現温度となるように、冷媒槽内の液体冷媒の温度を調整する温調手段とを備えてなるブルー相方式の液晶パネル製造装置であって、
前記紫外線光源は、当該紫外線光源と前記液晶パネル材料との間に液体冷媒と大気との境界面が存在しないように配置されており、
前記冷媒槽は、液体冷媒の流入口および流出口を具備し、当該流出口が当該流入口より上方に位置するように設けられており、
当該流入口から冷媒槽内に液体冷媒を供給する液体冷媒供給源を有することを特徴とする。

【0016】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記紫外線光源から放出される紫外線を含む光を反射する反射鏡を更に有し、
当該反射鏡は、当該反射鏡の反射面と当該紫外線光源との間に液体冷媒と大気との境界面が存在しないように配置されることが好ましい。

【0018】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記液体冷媒供給源は、前記流出口から排出される液体冷媒を循環して前記流入口から前記冷媒槽内に流入させる液体冷媒循環手段の一部を構成することが好ましい。

【0019】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記冷媒槽内の液体冷媒の温度を計測する温度センサーと、制御部とを有し、
前記制御部は、前記温度センサーからの液体冷媒の温度情報に基づいて前記温調手段を動作させることにより、冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料の温度がブルー相出現温度となるように当該冷媒槽内の液体冷媒の温度を制御することが好ましい。

【0020】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記流入口は、第１の流入口と第２の流入口とからなり、
前記液体冷媒供給源は、ブルー相出現温度より高い第１の温度の液体冷媒を当該第１の流入口から冷媒槽内に供給する第１の液体冷媒供給源と、ブルー相出現温度より低い第２の温度の液体冷媒を当該第２の流入口から冷媒槽内に供給する第２の液体冷媒供給源とからなり、
前記第１の流入口と前記第１の液体冷媒供給源との間には、当該第１の流入口から冷媒槽内に流入する液体冷媒の単位時間あたりの流量を制御する第１の流量制御手段が設けられており、
前記第２の流入口と前記第２の液体冷媒供給源との間には、当該第２の流入口から冷媒槽内に流入する液体冷媒の単位時間あたりの流量を制御する第２の流量制御手段が設けられていることが好ましい。

【0021】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記冷媒槽内の液体冷媒の温度を計測する温度センサーと、制御部とを有し、
前記制御部は、前記温度センサーからの液体冷媒の温度情報に基づいて、前記第１の流入口から冷媒槽内に流入する液体冷媒の単位時間あたりの流量と前記第２の流入口から冷媒槽内に流入する液体冷媒の単位時間あたりの流量との比を調整することにより、冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料の温度がブルー相出現温度となるように当該冷媒槽内の液体冷媒の温度を制御することが好ましい。

【0022】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記液晶パネル材料を冷媒槽の外部から冷媒槽内へ搬送して前記紫外線光源から放出される紫外線を含む光が照射される領域を通過させ、冷媒槽内において光照射されることにより当該液晶パネル材料の液晶層においてブルー相が出現された状態で紫外線硬化性樹脂が硬化することによって得られたブルー相方式の液晶パネルを冷媒槽内から冷媒槽の外部へと搬送する搬送機構が設けられていることが好ましい。

【0023】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記紫外線光源は、複数のエキシマランプを並列に配置してなる構成を有するものであることが好ましい。

【0024】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記紫外線光源を構成するエキシマランプは、誘電体材料からなり、内部に放電媒質が充填された放電容器の外表面に一方の放電用電極が配置され、他方の放電用電極が当該放電容器の内部に配置され、これらの放電用電極が給電手段と電気的に接続されており、
放電容器の外表面に配置された放電用電極は、グラウンド電位とされているか、もしくは接地されていることが好ましい。
このような構成の本発明のブルー相方式の液晶パネル装置においては、前記エキシマランプは、前記放電容器の内部にて発生するエキシマ光により励起されて紫外光を放射する蛍光体を含有する蛍光体層が当該放電容器の内表面に設けられていてもよい。

【0025】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記紫外線光源を構成するエキシマランプは、内部に放電媒質が充填された、誘電体材料からなる、外形が略円筒状であって一端が封じられ他端が開口した外側管および内側管が略同軸上に配置されており、外側管の開口側の端部と当該内側管の開口側の端部とが封着されてなる放電容器を有し、
一方の放電用電極が当該放電容器の外側管側の外表面に配置され、他方の放電用電極が当該放電容器の内側管側の外表面に配置され、これらの放電用電極が給電手段と電気的に接続されており、
放電容器の外側管側の外表面に配置された放電用電極は、グラウンド電位とされているか、もしくは接地されており、当該放電容器の外側管側の外表面に配置された放電用電極のみが前記冷媒槽内の液体冷媒と接触していることが好ましい。
このような構成の本発明のブルー相方式の液晶パネル装置においては、前記エキシマランプは、前記放電容器の内部にて発生するエキシマ光により励起されて紫外光を放射する蛍光体を含有する蛍光体層が当該放電容器の外側管側の内表面に設けられていてもよい。

【0026】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記紫外線光源を構成するエキシマランプは、内部に放電媒質が充填された、誘電体材料からなる、外形が略円筒状の外側管および内側管が略同軸上に配置されており、当該外側管および当該内側管の各々の両端部が封着されてなる中空円筒状の放電容器を有し、
一方の放電用電極が放電容器の外側管側の外表面に配置され、他方の放電用電極が当該放電容器の内側管側の外表面に配置され、これらの放電用電極が給電手段と電気的に接続されており、
放電容器の外側管側の外表面に配置された放電用電極は、グラウンド電位とされているか、もしくは接地されており、当該放電容器の外側管側の外表面に配置された放電用電極のみが前記冷媒槽内の液体冷媒と接触していることが好ましい。
このような構成の本発明のブルー相方式の液晶パネル装置においては、前記エキシマランプは、前記放電容器の内部にて発生するエキシマ光により励起されて紫外光を放射する蛍光体を含有する蛍光体層が当該放電容器の外側管側の内表面に設けられていてもよい。

【0027】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記紫外線光源は、発光管である放電容器の内部に希ガスが封入され、当該放電容器の外表面に互いに離間して放電容器の管軸方向に沿って一対の外部電極が配設されており、当該一対の外部電極の端部に給電端子が接続されてなる希ガス蛍光ランプの複数が並列に配置されてなる構成を有するものであることが好ましい。

【0028】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記希ガス蛍光ランプは、前記放電容器を全体に覆う透光性を有する筒状の外管と、当該外管の両端開口を塞ぐ絶縁性を有する蓋部材とを備えており、当該放電容器の外表面に設けられた外部電極に接続された給電端子は、当該蓋部材を貫通して当該外管の外部に突出しており、当該給電端子における突出した部分が給電手段に電気的に接続されていることが好ましい。

【0029】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記給電端子における突出した部分は、前記冷媒槽の外部に露出していることが好ましい。

【0030】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、前記希ガス蛍光ランプは、冷却ガス導入手段を更に具備し、
前記外管の両端開口を塞ぐ蓋部材は冷媒槽の外部に位置されており、一方の蓋部材には、当該却ガス導入手段から供給される冷却ガスを当該外管の内部に導入する冷却ガス導入部が設けられており、他方の蓋部材には、当該外管の内部に導入された冷却ガスを排出する冷却ガス排出部が設けられていることが好ましい。

【0031】

本発明のブルー相方式の液晶パネルの製法方法は、前記のブルー相方式の液晶パネル製造装置を用い、液晶、カイラル剤および紫外線硬化性樹脂を含有し、特定の温度でブルー相を示す液晶組成物よりなる液晶層を有するブルー相方式の液晶パネル材料からブルー相方式の液晶パネルを得るためのブルー相方式の液晶パネルの製造方法であって、
冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料の液晶層の温度が当該液晶層においてブルー相が出現するブルー相出現温度となるように冷媒槽内の液体冷媒の温度を設定し、
当該液晶層においてブルー相が出現した状態の液晶パネル材料に対して紫外線光源によって当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射する工程を有することを特徴とする。

【0032】

本発明のブルー相方式の液晶パネルの製法方法は、前記のブルー相方式の液晶パネル製造装置を用い、液晶、カイラル剤および紫外線硬化性樹脂を含有し、特定の温度でブルー相を示す液晶組成物よりなる液晶層を有するブルー相方式の液晶パネル材料からブルー相方式の液晶パネルを得るためのブルー相方式の液晶パネルの製造方法であって、
冷媒槽内に流入する第１の温度の液体冷媒の単位時間あたりの流量と第２の温度の液体冷媒の単位時間あたりの流量との比を調整することにより、冷媒槽内において液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料の液晶層の温度が当該液晶層においてブルー相が出現するブルー相出現温度となるように冷媒槽内の液体冷媒の温度を設定し、
当該液晶層においてブルー相が出現した状態の液晶パネル材料に対して紫外線光源によって当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射する工程を有することを特徴とする。

【0033】

本発明のブルー相方式の液晶パネルの製法方法においては、冷媒槽内の液体冷媒の温度を計測し、得られた液体冷媒の温度の値に基づいて、前記第１の温度の液体冷媒の単位時間あたりの流量と前記第２の温度の液体冷媒の単位時間あたりの流量との比とを調整することが好ましい。

【発明の効果】

【0034】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、液体冷媒が満たされた状態の冷媒槽内において、液体冷媒に浸漬した状態のブルー相方式の液晶パネル材料に対して、当該液晶パネル材料との間に液体冷媒と大気との境界面が存在しないように配置された紫外線光源からの光が照射されるため、当該液晶パネル材料の温度分布が略均一となるように液晶パネル材料の温度を調整することが容易にできると共に、液体冷媒と大気との境界面にゆらぎ（波打ち）が発生した場合であっても、紫外線光源から放出される光は液体冷媒と大気との境界面の状態に影響を受けることなく液晶パネル材料に到達することから、紫外線光源から放出される光を調整することのみにより、液晶パネル材料の光照射面における光の放射照度分布を略均一にすることができる。
従って、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置によれば、液体冷媒に浸漬した状態のブルー相方式の液晶パネル材料の液晶層の全面に均一な光照射を行うことができるため、ブルー相方式の液晶パネル材料が大型のものであっても、液晶層をむらのないブルー相状態とすることのできるブルー相方式の液晶パネルを得ることができる。

【0035】

本発明のブルー相方式の液晶パネルの製造方法によれば、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置を用いることにより、液体冷媒中において液晶層においてブルー相が出現した状態の液晶パネル材料に対して、当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を、当該液晶層の全面に均一に照射することができるため、液晶層をむらのないブルー相状態とすることのできるブルー相方式の液晶パネルを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0036】

【図1】本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置の構成の一例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。

【図2】（ａ）は、図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置における紫外線光源からの光の光路を示す説明図であり、（ｂ）は、図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置において、反射鏡を用いない場合の紫外線光源からの光の光路を示す説明図である。

【図3】図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置において、紫外線光源としてエキシマランプを用いた場合の構成の一例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。

【図4】図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置において、紫外線光源としてエキシマランプを用いた場合の構成の他の例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。

【図5】図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置において、紫外線光源としてエキシマランプを用いた場合の構成の更に他の例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。

【図6】（ａ）は、図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置において、紫外線光源として希ガス蛍光ランプを用いた場合の構成の一例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線断面拡大図である。

【図7】（ａ）は、図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置において、紫外線光源として希ガス蛍光ランプを用いた場合の構成の他の例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線断面拡大図である。

【図8】本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置の構成の他の例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。

【図9】図８のブルー相方式の液晶パネル製造装置を用いてブルー相方式の液晶パネル材料からブルー相方式の液晶パネルを得るための当該ブルー相方式の液晶パネル製造装置の操作手順を示すフローチャートであって、途中までのステップを示すものである。

【図10】図９のフローチャートの続きのステップを示すフローチャートである。

【図11】本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置の構成の更に他の例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。

【図12】ブルー相方式の液晶パネル材料を液体冷媒に浸漬してランプからの光を照射する状態の一例を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0037】

以下、本発明の実施の形態について説明する。

【0038】

〔第１の実施の形態〕
図１は、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置の構成の一例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。
第１の実施の形態に係るブルー相方式の液晶パネル製造装置（以下、「第１の液晶パネル製造装置」ともいう。）１０は、液晶、当該液晶を螺旋構造に配向させてブルー相を出現させるためのカイラル剤、紫外線硬化材樹脂および必要に応じて紫外線重合開始剤を含有し、特定の温度でブルー相を示す液晶組成物よりなる液晶層を有するブルー相方式の液晶パネル材料（以下、「ブルー相パネル材料」ともいう。）を被処理体Ｗとし、このブルー相パネル材料から、当該ブルー相パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を、当該液晶層にブルー相が出現されている状態で硬化することによって得られる、ブルー相方式の液晶パネルを製造するものである。

【0039】

第１の液晶パネル製造装置１０は、液体冷媒Ｌを収容し、液体冷媒Ｌが満たされた状態において、被処理体Ｗを液体冷媒Ｌに浸漬するための冷媒槽１１を備えており、この冷媒槽１１内には、液体冷媒Ｌに浸漬した状態の被処理体Ｗに対して当該被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射するための紫外線光源が、当該冷媒槽１１内に液体冷媒Ｌが満たされた状態において、紫外線光源と被処理体Ｗとの間に液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳが存在することのないように、被処理体Ｗと共に液体冷媒Ｌに浸漬した状態で設けられてなるものである。紫外線光源は、複数（図の例においては８つ）の紫外線ランプ（以下、「ＵＶランプ」ともいう。）２０によって構成されており、これらの複数のＵＶランプ２０は、適宜の固定部材によって固定されて被処理体Ｗの配置位置の上方（図１における上方）において並列に配置されている。

【0040】

この第１の液晶パネル製造装置１０においては、冷媒槽１１は、液体冷媒Ｌの流入口１２と、液体冷媒Ｌの流出口１３とを具備しており、この流入口１２および流出口１３には液体冷媒Ｌの循環路１４が設けられている。また、循環路１４には、液体冷媒Ｌを循環させるための液体冷媒循環手段１５と、チラーよりなる温調手段１６とが設けられており、この循環路１４と液体冷媒循環手段１５とによって流入口１２から冷媒槽１１内に液体冷媒Ｌを供給するための液体冷媒供給源が形成されている。
また、冷媒槽１１内には、当該冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度を計測するための温度センサー１７と、紫外線光源を構成する複数のＵＶランプ２０に共通の反射鏡１９とが、液体冷媒Ｌが満たされた冷媒槽１１内において、液体冷媒Ｌに浸漬した状態となるように設けられている。また、冷媒槽１１の外部には、紫外線光源を構成する複数のＵＶランプ２０に共通の給電手段２９と、温度センサー１７からの温度情報に基づいて給電手段２９、温調手段１６および液体冷媒循環手段１５を制御する機能を有する制御部１８が設けられている。
図の例においては、循環路１４における液体冷媒Ｌの循環方向が矢印で示されている。

【0041】

紫外線光源を構成するＵＶランプ２０としては、放電ランプが用いられる。
放電ランプとしては、石英ガラス製の発光管内に互いに対向した一対の放電電極を有し、当該発光管内に高純度の水銀と希ガスとが封入されてなる水銀ランプ、石英ガラス製の発光管内に互いに対向した一対の放電電極を有し、当該発光管内に高純度の水銀とハロゲン化金属（メタルハライド）が封入されてなるメタルハライドランプ、誘電体バリア放電などを利用して発光するエキシマランプ、および希ガス蛍光ランプなどが挙げられる。
なお、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置およびブルー相方式の液晶パネルの製造方法においては、被処理体Ｗとしてのブルー相パネル材料の液晶層を構成する液晶組成物に含有される紫外線硬化材樹脂が紫外線が照射されることによって硬化するものであることから、紫外線光源が用いられている。

【0042】

ＵＶランプ２０を構成する放電ランプの好ましい具体例としては、比較的発熱量が小さく、液体中において安定に発光しやすいエキシマランプおよび希ガス蛍光ランプが挙げられる。すなわち、第１の液晶パネル製造装置１０においては、エキシマランプまたは希ガス蛍光ランプから放出される紫外線により重合反応が進行する紫外線硬化樹脂および必要に応じて紫外線重合開始剤を含有する液晶層を有するブルー相パネル材料を被処理体Ｗとすることが好ましい。
また、ＵＶランプ２０としては、水銀ランプおよびメタルハライドランプなどの放電電極間のアーク放電により発光する放電ランプを用いた場合には、これらの放電ランプはランプ自体の発熱が大きく、しかもランプを安定に発光させるためのランプの最冷点制御も複雑であることに起因して弊害が生じるおそれがある。具体的には、液体冷媒Ｌによるブルー相パネル材料の温度制御を行うためにランプ自体の発熱の影響を考慮せねばならず、またランプ自体においても安定な発光を実現することが困難となる。更には、液体冷媒Ｌ中に配置されることによってランプ自体が冷却されるため、発光管内に封入されている水銀などの封入物の蒸気圧が規制されることとなるため、それに起因してランプの発光動作に不具合が生じるおそれがある。

【0043】

液体冷媒Ｌの具体例としては、例えば大きな熱容量を有する純水が挙げられる。
液体冷媒Ｌは、純水に限定されるものではなく、熱容量が比較的大きく、紫外線光源を構成するＵＶランプ２０および被処理体Ｗであるブルー相パネル材料に影響を及ぼさない（例えば、ブルー相パネル材料と化学反応を生じない）液体を用いることができる。

【0044】

第１の液晶パネル製造装置１０においては、冷媒槽１１の流入口１２および流出口１３に設けられた循環路１４と、当該循環路１４上に設けられた液体冷媒循環手段１５および温調手段１６と、温度センサー１７の温度情報に基づいて液体冷媒循環手段１５および温調手段１６を制御する制御部１８とによって循環型冷却媒体供給機構が形成されている。この循環型冷却媒体供給機構において、液体冷媒Ｌはポンプなどの液体冷媒循環手段１５により循環される。すなわち、液体冷媒Ｌは循環路１４から冷媒槽１１に設けられた流入口１２から冷媒増１１内に流入し、流出口１３から冷媒槽１１外に排出される。そして、流出口１３から循環路１４に排出された液体冷媒Ｌは、チラーよりなる温調手段１６に流入し、チラーにおける熱交換により所定の温度に調整された後、流入口１２より再び冷媒槽１１内に流入する。
ここに、液体冷媒Ｌに係る「所定の温度」とは、被処理体Ｗであるブルー相パネ材料の液晶層においてブルー相の出現がされ、そのブルー相状態を維持することのできる温度である。

【0045】

また、循環型冷却媒体供給機構においては、液体冷媒循環手段１５および温調手段１６の動作は制御部１８により制御される。制御部１８は、冷媒槽１１内に設けられている温度センサー１７により測定された冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度に関する温度信号を受信して冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度情報を得、この液体冷媒Ｌの温度情報と予め記憶されている温度目標値とを比較し、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度、すなわち制御部１８において得られる液体冷媒Ｌの温度情報（液体冷媒Ｌの温度の値）が温度目標値となるように温調手段１６の動作を調整する。

【0046】

第１の液晶パネル製造装置１０においては、液体冷媒Ｌを循環させることにより、紫外線光源による光照射により加熱される被処理体Ｗとの熱交換により温度上昇した液体冷媒Ｌが当該被処理体Ｗの近傍から除去されるため、加熱された被処理体Ｗとの熱交換によって温度上昇した液体冷媒Ｌが当該被処理体Ｗの近傍に滞留することに起因して被処理体Ｗ上における温度分布が不均一となることが抑制される。また、点灯状態のＵＶランプ２０（具体的には、例えばエキシマランプおよび希ガス蛍光ランプ）においても液体冷媒Ｌとの熱交換によりランプ温度の高温化が抑制されるため、ランプ動作が安定化する。

【0047】

また、第１の液晶パネル製造装置１０を構成する冷媒槽１１においては、図１に示されているように、流出口１３が流入口１２より上方に位置するように設けられていることが好ましい。
冷媒槽１１において流出口１３が流入口１２より上方に位置することにより、流入口１２から流入される液体冷媒Ｌが流出口１３に至るまでの過程において、被処理体Ｗの配設領域を通過した後に、ＵＶランプ２０の配設領域を通過する割合が大きくなる。すなわち、流入口１２から流入された液体冷媒Ｌの大部分が、先ず被処理体Ｗに到達し、その後、ＵＶランプ２０に到達することとなる。よって、点灯状態にあって高温化したＵＶランプ２０との熱交換により温度上昇した液体冷媒Ｌによって被処理体Ｗが加熱されて不具合が生じることを抑制することができる。

【0048】

また、第１の液晶パネル製造装置１０においては、図１に示されているように、反射鏡１９が、当該反射鏡１９の反射面１９Ａと紫外線光源との間に液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳが存在しないように配設されていることが好ましい。
この図の例においては、紫外線光源を構成する複数のＵＶランプ２０に共通の平板状の反射鏡１９が設けられており、この反射鏡１９は、液体冷媒Ｌが満たされた状態の冷媒槽１１内において、紫外線光源を構成する複数のＵＶランプ２０の上方であって当該複数のＵＶランプ２０と液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳとの間に位置され、液体冷媒Ｌに浸漬された状態とされている。

【0049】

反射鏡１９が、当該反射鏡１９の反射面１９Ａと紫外線光源との間に、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳが存在しないように設けられていることにより、ＵＶランプ２０から液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳに向かう方向に放出される光が、当該境界面ＬＳではなく反射鏡１９により反射されるため、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳにゆらぎが生じた場合であっても、その境界面ＬＳのゆらぎの影響を排除することが可能となる。
すなわち、ＵＶランプ２０から液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳに向かう方向に放出された光は、図２（ａ）に示すように、反射鏡１９によって反射されることとなり、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳにおいて反射されることがなく、しかも、反射鏡１９の反射面形状は、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳ（液体冷媒Ｌの表面）にゆらぎが発生した場合であっても、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳとは異なり、変形することがないため、反射鏡１９に反射されて被処理体Ｗに到達する光（図２（ａ）における一点鎖線の矢印Ｂで示される光路を進む光）の当該被処理体Ｗ上での放射照度分布が一定となり、時間的にも変化することがない。よって、反射鏡１９の形状を適宜設定（例えば、図に示されているような平面形状）することにより、反射鏡１９から反射されて被処理体Ｗに到達する光の当該被処理体Ｗ上での放射照度分布を略均一にすることができる。
一方、反射鏡１９が設けられていない場合においては、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層を構成する光硬化性樹脂の硬化状態が場所的に不均一となるおそれがある。すなわち、被処理体Ｗ（ブルー相パネル材料）から得られるブルー相方式の液晶パネルの液晶層におけるブルー相状態（ブルー相の出現）にむらが生じてしまうおそれがある。
すなわち、ＵＶランプ２０から放出されて被処理体Ｗに照射される紫外線を含む光は、図２（ｂ）に示すように、ＵＶランプ２０から被処理体Ｗに向かう方向に放出され当該被処理体Ｗに照射される直射光（図２（ｂ）における実線の矢印Ａで示される光路を進む光）と、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳに向かう方向に放出され当該境界面ＬＳにより反射されて被処理体Ｗに到達する液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳからの反射光（図２（ｂ）における一点鎖線の矢印Ｂで示される光路を進む光）とからなる。そのため、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳ（液体冷媒Ｌの表面）にゆらぎが発生すると、大気と液体冷媒Ｌとの境界面ＬＳが平面状ではなくなり、その形状が波うち状態、すなわち曲面状となるが、このような曲面状の液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳにより反射されて被処理体Ｗに到達する光の当該被処理体Ｗ上での放射照度分布は、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳのゆらぎに依存し、必ずしも所望の放射照度分布とはならない。液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳからの反射光の強度は、前記直射光の強度よりは小さいものの、被処理体Ｗとしてのブルー相パネル材料の種類によっては、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳからの反射光の影響を無視できない場合もあり、このような場合においては、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層を構成する光硬化性樹脂の硬化状態が場所的に不均一となる。すなわち、得られるブルー相方式の液晶パネルの液晶層におけるブルー相状態（ブルー相の出現）にむらが生じてしまう。

【0050】

このような構成の第１の液晶パネル製造装置１０においては、液体冷媒Ｌが満たされた冷媒槽１１内において、液体冷媒Ｌに浸漬した状態の紫外線光源の下方における所定の位置に、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料を配置し、この液体冷媒Ｌに浸漬した状態の液晶パネル材料の液晶層の温度が当該液晶層においてブルー相が出現するブルー相出現温度となるように当該冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度を設定し、当該液晶層においてブルー相が出現した状態の液晶パネル材料に対して紫外線光源によって当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射する高分子安定化処理工程を経ることにより、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料において、当該ブルー相パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂が、当該液晶層にブルー相が出現されている状態で硬化され、これにより、ブルー相方式の液晶パネルが製造される。

【0051】

而して、第１の液晶パネル製造装置１０によれば、液体冷媒Ｌが満たされた冷媒槽１１内において、液体冷媒Ｌに浸漬した状態の被処理体Ｗに対して、当該被処理体Ｗとの間に液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳが存在しないように配置された紫外線光源からの光が照射されるため、被処理体の温度分布が略均一となるように被処理体Ｗの温度を調整することが容易にできる。また、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳにゆらぎ（波打ち）が発生した場合であっても、紫外線光源から放出される光は液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳの状態に影響を受けることなく被処理体Ｗに到達することから、紫外線光源から放出される光を調整することのみにより、被処理体Ｗの光照射面における光の放射照度分布を略均一にすることができる。
従って、第１の液晶パネル製造装置１０によれば、液体冷媒Ｌに浸漬した状態の被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層の全面に均一な光照射を行うことができるため、ブルー相方式の液晶パネル材料が大型のものであっても、液晶層においてブルー相が出現した状態の液晶パネル材料に対して、紫外線光源によって当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射することにより、液晶層をむらのないブルー相状態とすることのできるブルー相方式の液晶パネルを得ることができる。

【0052】

以下、第１の液晶パネル製造装置１０において、紫外線光源を構成するＵＶランプ２０としてエキシマランプおよび希ガス蛍光ランプを用いる場合について、図を用いて説明する。

【0053】

図３は、図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置（第１の液晶パネル製造装置１０）において、紫外線光源としてエキシマランプを用いた場合の構成の一例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。
図３においては、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置の紫外線光源として用いられるエキシマランプの構成および当該エキシマランプの配置状態の一例が示されており、その説明の都合上、エキシマランプおよび当該エキシマランプの配置状態を説明するために必要とされる構成部材以外の構成部材、具体的には、冷媒槽１１における流入口１２および流出口１３を含む循環型冷却媒体供給機構、温度センサー１７および反射鏡１９などは図示が省略されている。また、同図において、エキシマランプ３０は、当該エキシマランプ３０の管軸を含む平面における断面が示されている。

【0054】

この図３に係る第１の液晶パネル製造装置を構成するエキシマランプ（以下、「第１のエキシマランプ」ともいう。）３０は、石英ガラスなどの透光性を有する誘電体材料よりなり、内部に放電空間Ｓを形成する直管状の放電容器３１を備え、この放電容器３１の放電空間Ｓに、放電によってエキシマ分子を生成する放電媒質としてキセノン、アルゴンおよびクリプトンなどの希ガスが封入されており、また、必要に応じてフッ素ガス、塩素ガスなどのハロゲンガスが封入されてなるものである。なお、放電媒質として封入されるガスの種類は、ランプより放出させる光の波長に応じて、適宜選択される。
この第１のエキシマランプ３０には、放電容器３１の外表面に網状の第１の放電用電極３２が設けられ、当該放電容器３１の内部に第２の放電用電極３３が設けられており、これにより、第１の放電用電極３２と第２の放電用電極３３とは、誘電体としての放電容器３１および放電空間Ｓを介在して配置されており、当該誘電体は、第１の放電用電極３２と放電空間Ｓとの間に位置されている。また、第１の放電用電極３２と第２の放電用電極３３とはリード線２８を介して給電手段２９に電気的に接続されており、この給電手段２９により高周波電圧が第１の放電用電極３２と第２の放電用電極３３との間に印加されることにより、誘電体が介在された状態の両電極間において放電が形成される。その結果、放電容器３１の放電空間Ｓに励起されたエキシマ分子が形成され、このエキシマ分子が基底状態に遷移する際、エキシマ光が放出される。
ここに、放電媒質としてキセノンガスおよび塩素ガスを用いた場合には、放電により中心波長３０８ｎｍの紫外光が発生する。

【0055】

このような構成の第１のエキシマランプ３０は、その一端部（図３における左端部）が冷媒槽１１に設けられたシール部３５において固定されている。シール部３５においては、Ｏリングなどのシール部材３６によって冷媒槽１１と第１のエキシマランプ３０との気密構造が形成されており、これにより、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌがシール部３５から冷媒槽１１の外部に流出することなく、当該シール部３５において第１のエキシマランプ３０の一端部が支持されている。
この図の例においては、第１のエキシマランプ３０の一端部の端部が冷媒槽１１の外部に突出した状態とされている。また、第１のエキシマランプ３０の他端部（図３における右端部）は、冷媒槽１１内に設けられたランプ支持手段３７によって支持されている。すなわち、第１のエキシマランプ３０は、冷媒槽１１に設けられたシール部３５およびランプ支持手段３７により、当該第１のエキシマランプ３０と被処理体Ｗとの間において、冷媒槽１１に満たされた液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳが存在することのないように、液体冷媒Ｌに浸漬された状態で配置されている。

【0056】

また、第１のエキシマランプ３０には、当該第１のエキシマランプ３０から放出される光がシール部３５を介して冷媒槽１１の外部に漏れ出ることを防止するために、当該第１のエキシマランプ３０の一端部におけるシール部３５に位置される部分およびその近傍部分の放電容器３１の外表面に遮光膜３８が設けられていてもよい。遮光膜３８としては、例えばアルミニウム膜などが用いられる。

【0057】

また、第１のエキシマランプ３０においては、放電容器３１の外表面に設けられた第１の放電用電極３２がグラウンド電位とされているか、もしくは接地（アース）されていることが好ましい。
第１の放電用電極３２がグラウンド電位とされているか、もしくは接地（アース）されていることにより、放電容器３１の内部に設けられた第２の放電用電極３３が高電圧側とされるため、図３に示されているように第１のエキシマランプ３０の一端部の端部が冷媒槽１１の外部に突出した状態とすることにより、給電手段２９と第２の放電用電極３３とを結線するリード線２８を液体冷媒Ｌに曝されることのないようにすることができる。よって、給電手段２９と第２の放電用電極３３との間における絶縁対策を比較的容易に行うことができる。
一方、第２の放電用電極３３がグラウンド電位とされているか、もしくは接地（アース）され、第１の放電用電極３２が高電圧側とされた場合には、給電手段２９と第１の放電用電極３２とを結線するリード線２８の一部が冷媒槽１１内において液体冷媒Ｌに曝されることとなるため、冷媒槽１１内などにおいて不所望な絶縁破壊が生じるおそれがある。

【0058】

このような構成を有する図３に係る第１の液晶パネル製造装置において、第１のエキシマランプ３０は、その一端部の端部以外の部分が液体冷媒Ｌが満たされた冷媒槽１１内において液体冷媒Ｌ中に位置される。よって、第１のエキシマランプ３０が循環型冷却媒体供給機構によって循環される液体冷媒Ｌによって冷却されるため、当該第１のエキシマランプ３０を高い効率で発光させることができる。

【0059】

図４は、図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置（第１の液晶パネル製造装置１０）において、紫外線光源としてエキシマランプを用いた場合の構成の他の例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。
図４においては、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置の紫外線光源として用いられるエキシマランプの構成および当該エキシマランプの配置状態の一例が示されており、その説明の都合上、エキシマランプおよび当該エキシマランプの配置状態を説明するために必要とされる構成部材以外の構成部材、具体的には、冷媒槽１１における流入口１２および流出口１３を含む循環型冷却媒体供給機構、温度センサー１７および反射鏡１９などは図示が省略されている。また、同図において、エキシマランプ４０は、当該エキシマランプ４０の管軸を含む平面における断面が示されている。

【0060】

図４に係る第１の液晶パネル製造装置は、図３に係る第１の液晶パネル製造装置において、紫外線光源を構成するエキシマランプとして第１のエキシマランプ３０とは異なる構成のエキシマランプが用いられていること以外は、当該図３に係る第１の液晶パネル製造装置と同様の構成を有するものである。

【0061】

この図４に係る第１の液晶パネル製造装置を構成するエキシマランプ（以下、「第２のエキシマランプ」ともいう。）４０は、石英ガラスなどの透光性を有する誘電体材料よりなる、外側管４２および内側管４３が略同軸上に配置されてなる放電容器４１を有する略二重管構造を有するものである。具体的には、放電容器４１は、外形が略円筒状であって一端（図４において右端）が封じられ他端（図４において左端）が開口した外側管４２および内側管４３が略同軸上に配置されており、外側管４２の開口側の端部と内側管４３の開口側の端部とが封着されており、これにより、当該放電容器４１の内部に円筒状の放電空間Ｓが形成されてなるものである。すなわち、放電容器４１の一端部においては、内側管４３の端部が外側管４２とは独立に封着されると共に、外側管４２の端部が内側管４３とは独立に封着されており、内側管４３の封着部が外側管４２の封着部の内部に配置されている。一方、放電容器４１の他端部においては、内側管４３の端部と外側管４２の端部とが封着されている。よって、内側管４３の外表面と外側管４２の内表面に包囲された円筒状の放電空間Ｓが形成され、また、内側管４３は、一端のみが封着され、他端部が外部に開放された構造とされており、当該内側管４３の内部（内表面）が外部に開放されている。
このような構成の放電容器４１の放電空間Ｓには、第１のエキシマランプ３０と同様に、放電によってエキシマ分子を生成する放電媒質、および必要に応じてハロゲンガスが封入される。

【0062】

この第２のエキシマランプ４０には、放電容器４１における外側管４２の外表面（放電容器４１の外側管４２側の外表面）に網状の第１の放電用電極４４が設けられ、当該放電容器４１における内側管４３の内表面（放電容器４１の内側管４３側の外表面）には、例えば円筒状の形状を有する第２の放電用電極４５が設けられており、これにより、第１の放電用電極４４と第２の放電用電極４５とは、誘電体としての放電容器４１および放電空間Ｓを介在して配置されており、当該誘電体は、第１の放電用電極４４と放電空間Ｓとの間および第２の放電用電極４５と放電空間Ｓとの間に位置されている。また、第１の放電用電極４４と第２の放電用電極４５とはリード線２８を介して給電手段２９に電気的に接続されており、この給電手段２９により高周波電圧が第１の放電用電極４４と第２の放電用電極４５との間に印加されることにより、誘電体が介在された状態の両電極間において放電が形成される。その結果、放電容器４１の放電空間Ｓに励起されたエキシマ分子が形成され、このエキシマ分子が基底状態に遷移する際、エキシマ光が放出される。
ここに、放電媒質としてキセノンガスおよび塩素ガスを用いた場合には、放電により中心波長３０８ｎｍの紫外光が発生する。

【0063】

また、第２のエキシマランプ４０においては、放電容器４１の外側管４２側の外表面に配置された第１の放電用電極４４のみが冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌと接触していることから、図３に係る第１のエキシマランプ３０と同様の理由により、放電容器４１における外側管４２の外表面に設けられた第１の放電用電極４４がグラウンド電位とされているか、もしくは接地（アース）されていることが好ましい。
また、図３に係る第１のエキシマランプ３０と同様の理由により、第２のエキシマランプ４０の一端部におけるシール部３５に位置される部分およびその近傍部分の放電容器４１の外表面に遮光膜３８が設けられていてもよい。

【0064】

このような構成を有する図４に係る第１の液晶パネル製造装置において、第２のエキシマランプ４０は、その一端部の端部以外の部分が液体冷媒Ｌが満たされた状態の冷媒槽１１内において液体冷媒Ｌ中に位置される。よって、第２のエキシマランプ４０が循環型冷却媒体供給機構によって循環される液体冷媒Ｌによって冷却されるため、当該第２のエキシマランプ４０を高い効率で発光させることができる。

【0065】

図５は、図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置（第１の液晶パネル製造装置１０）において、紫外線光源としてエキシマランプを用いた場合の構成の更に他の例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。
図５においては、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置の紫外線光源として用いられるエキシマランプの構成および当該エキシマランプの配置状態の一例が示されており、その説明の都合上、エキシマランプおよび当該エキシマランプの配置状態を説明するために必要とされる構成部材以外の構成部材、具体的には、冷媒槽１１における流入口１２および流出口１３を含む循環型冷却媒体供給機構、温度センサー１７および反射鏡１９などは図示が省略されている。また、同図において、エキシマランプ５０は、当該エキシマランプ５０の管軸を含む平面における断面が示されている。

【0066】

図５に係る第１の液晶パネル製造装置は、図３に係る第１の液晶パネル製造装置において、紫外線光源を構成するエキシマランプとして第１のエキシマランプ３０とは異なる構成のエキシマランプを用い、また、冷媒槽１１にランプ支持部材３７が設けられておらず、当該エキシマランプが冷媒槽１１に設けられた２つのシール部３５によって支持されていること以外は、当該図３に係る第１の液晶パネル製造装置と同様の構成を有するものである。

【0067】

この図５に係る第１の液晶パネル製造装置を構成するエキシマランプ（以下、「第３のエキシマランプ」ともう。）５０は、石英ガラスなどの透光性を有する誘電体材料よりなる、外側管５２および内側管５３が略同軸上に配置されてなる放電容器５１を有する略二重管構造を有するものである。具体的には、放電容器５１は、外形が略円筒状であって両端が開口した外側管５２および内側管５３が略同軸上に配置されており、外側管５２および内側管５３の各々の両端部が封着されることにより、当該放電容器５１の内部に中空円筒状の放電空間Ｓが形成されてなるものである。すなわち、放電容器５１の両端部においては、各々、内側管５３の端部と外側管５２の端部とが封着されている。よって、内側管５３の外表面と外側管５２の内表面に包囲された中空円筒状の放電空間Ｓが形成されており、また、内側管５３の内部（内表面）が外部に開放されている。
このような構成の放電容器５１の放電空間Ｓには、第１のエキシマランプ３０と同様に、放電によってエキシマ分子を生成する放電媒質、および必要に応じてハロゲンガスが封入される。

【0068】

この第３のエキシマランプ５０には、放電容器５１における外側管５２の外表面（放電容器５１の外側管５２側の外表面）に網状の第１の放電用電極５４が設けられ、当該放電容器５１における内側管５３の内表面（放電容器５１の内側管５３側の外表面）に膜状の第２の放電用電極５５が、例えば円筒状に設けられており、これにより、第１の放電用電極５４と第２の放電用電極５５とは、誘電体としての放電容器５１および放電空間Ｓを介在して配置されており、当該誘電体は、第１の放電用電極５４と放電空間Ｓとの間および第２の放電用電極５５と放電空間Ｓとの間に位置されている。また、第１の放電用電極５４と第２の放電用電極５５とはリード線２８を介して給電手段２９に電気的に接続されており、この給電手段２９により高周波電圧が第１の放電用電極５４と第２の放電用電極５５との間に印加されることにより、誘電体が介在された状態の両電極間において放電が形成される。その結果、放電容器５１の放電空間Ｓに励起されたエキシマ分子が形成され、このエキシマ分子が基底状態に遷移する際、エキシマ光が放出される。
ここに、放電媒質としてキセノンガスおよび塩素ガスを用いた場合には、放電により中心波長３０８ｎｍの紫外光が発生する。

【0069】

このような構成の第３のエキシマランプ５０は、その両端部の各々が冷媒槽１１に設けられたシール部３５において固定されている。すなわち、第３のエキシマランプ５０は、冷媒槽１１に設けられた２つのシール部３５により、当該第３のエキシマランプ５０と被処理体Ｗとの間において、冷媒槽１１に満たされた液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳが存在することのないように、液体冷媒Ｌに浸漬された状態で配置されている。
この図の例においては、第３のエキシマランプ５０の両端部の各々の端部が冷媒槽１１の外部に突出した状態とされている。

【0070】

第３のエキシマランプ５０においては、放電容器５１の外側管５２側の外表面に配置された第１の放電用電極５４のみが冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌと接触していることから、図３に係る第１のエキシマランプ３０と同様の理由により、放電容器５１における外側管５２の外表面に設けられた第１の放電用電極５４がグラウンド電位とされているか、もしくは接地（アース）されていることが好ましい。
また、図３に係る第１のエキシマランプ３０と同様の理由により、第３のエキシマランプ５０の一端部におけるシール部３５に位置される部分およびその近傍部分の放電容器５１の外表面に遮光膜３８が設けられていてもよい。

【0071】

このような構成を有する図５に係る第１の液晶パネル製造装置においては、第３のエキシマランプ５０は、その両端部の端部以外の部分が液体冷媒Ｌが満たされた状態の冷媒槽１１内において液体冷媒Ｌ中に位置される。よって、第３のエキシマランプ５０が循環型冷却媒体供給機構によって循環される液体冷媒Ｌによって冷却されるため、当該第３のエキシマランプ５０を高い効率で発光させることができる。

【0072】

図６（ａ）は、図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置（第１の液晶パネル製造装置１０）において、紫外線光源として希ガス蛍光ランプを用いた場合の構成の一例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ線断面拡大図である。
図６（ａ）においては、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置の紫外線光源として用いられる希ガス蛍光ランプの構成および当該希ガス蛍光ランプの配置状態の一例が示されており、その説明の都合上、希ガス蛍光ランプおよび当該希ガス蛍光ランプの配置状態を説明するために必要とされる構成部材以外の構成部材、具体的には、冷媒槽１１における流入口１２および流出口１３を含む循環型冷却媒体供給機構、温度センサー１７および反射鏡１９などは図示が省略されている。また、同図において、希ガス蛍光ランプ６０は、Ａ−Ａ線の右側において、当該希ガス蛍光ランプ６０の管軸を含む平面における断面が示されている。

【0073】

この図６に係る第１の液晶パネル製造装置を構成する希ガス蛍光ランプ（以下、「第１の二重管型希ガス蛍光ランプ」ともいう。）６０は、両端に封止部が形成された、例えば石英ガラスなどの透光性を有する誘電体材料よりなる円筒状の発光管からなる放電容器６１を有し、この放電容器６１内の放電空間Ｓに希ガスが封入され、当該放電容器６１の内表面には、当該放電容器６１の管軸方向に伸びる光放射用アパーチャ部６２以外の領域に紫外線反射膜６５が設けられており、当該紫外線反射膜６５および光放射用アパーチャ部６２に係る内表面に、低軟化点ガラス層６６および蛍光体層６７がこの順に積層されてなる希ガス蛍光ランプ本体６０Ａを有するものである。ここに、低軟化点ガラス層６６は、例えばホウケイ酸ガラスやアルミノケイ酸ガラスなどの硬質ガラスからなり、蛍光体層６７は、例えばセリウム付活アルミン酸マグネシウムランタン（Ｌａ−Ｍｇ−Ａｌ−Ｏ：Ｃｅ）蛍光体からなる。
この希ガス蛍光ランプ本体６０Ａには、放電容器６１の外表面に互いに離間して放電容器６１の管軸方向に沿って一対の第１の外部電極６３および第２の外部電極６４が配設されている。
また、第１の外部電極６３と第２の外部電極６４とはリード線２８を介して給電手段２９に電気的に接続されており、この給電手段２９により高周波電圧が第１の外部電極６３と第２の外部電極６４との印加されることにより、放電容器６１よりなる誘電体が介在された状態の両電極間において放電が形成される。その結果、放電容器６１の放電空間Ｓに励起されたエキシマ分子が形成され、このエキシマ分子が基底状態に遷移する際、エキシマ光が放出される。そしてこのエキシマ光によって蛍光体層６７を構成する蛍光体が励起され、当該蛍光体層６７から紫外光が発生し、この紫外光が直接、あるいは紫外線反射膜６５で反射され、光放射用アパーチャ部６２から外部に放射される。
なお、必要に応じて第１の外部電極６３および第２の外部電極６４の外表面には保護膜（図示省略）が設けられていてもよい。

【0074】

また、希ガス蛍光ランプ本体６０Ａは、図６（ａ）および（ｂ）にも示されているように、希ガス蛍光ランプ本体６０Ａから放出される紫外線に対して透光性を有し、かつ、電気的な絶縁性を有する筒状の外管６８と、当該外管６８の両端開口を塞ぐ、耐熱性および電気的な絶縁性を有する蓋部材６９とによって覆われていることが好ましい。すなわち、第１の液晶パネル製造装置において紫外線光源を構成する希ガス蛍光ランプとしては、希ガス蛍光ランプ本体６０Ａの放電容器６１が両端開口が蓋部材６９に閉塞された外管６８に覆われてなる構成の二重管型希ガス蛍光ランプを用いることが好ましい。
その理由は、希ガス蛍光ランプ本体６０Ａは、第１の外部電極６３および第２の外部電極６４が放電容器６１の外表面に設けられているものであることから、そのままの状態で液体冷媒Ｌ中に設置した場合には、第１の外部電極６３および第２の外部電極６４が液体冷媒Ｌ中に浸漬されることとなり、給電手段２９と第１の外部電極６３とを結線するリード線２８および当該給電手段２９と第２の外部電極６４とを結線するリード線２８の一部が冷媒槽１１内において液体冷媒Ｌに曝されることとなるため、冷媒槽１１内などにおいて不所望な絶縁破壊が生じるおそれがあるためである。

【0075】

また、外管６８は、液体冷媒Ｌによる第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０の冷却効率の観点から、その内径が、当該外管６８の内表面と、希ガス蛍光ランプ本体６０Ａの放電容器６１の外表面との間隙が小さくなるよう、小径であることが好ましく、また、当該外管６８の管軸と希ガス蛍光ランプ本体６０Ａの管軸とは一致していることが好ましい。

【0076】

この図６に係る第１の液晶パネル製造装置を構成する第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０は、希ガス蛍光ランプ本体６０Ａが、両端開口が蓋部材６９によって閉塞されている円筒状の外管６８内に、当該外管６８の両端部に設けられているホルダー（図示省略）により、その全体が外管６８によって覆われるように保持されている。また、一方（図６（ａ）における左方）の蓋部材６９には、当該蓋部材６９を貫通して当該外管６８の外部に突出するように２つの給電端子７１が設けられており、この２つの給電端子７１の突出部分の端部、すなわち外管６８の外部に位置する端部にはリード線２８を介して給電手段２９が電気的に接続されており、また給電端子７１における外管６８内に位置する端部には、希ガス蛍光ランプ６０における第１の外部電極６３および第２の外部電極６４が電気的に接続されている。ここで、蓋部材６９と外管６８、および蓋部材６９と給電端子７１は、例えば高い耐熱性および電気的な絶縁性を有する接着剤などにより封止される。
このような構成を有する第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０によれば、図６（ａ）に示されているように、給電端子７１が設けられている第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０の一端部の端部を冷媒槽１１の外部に突出した状態とすることにより、給電手段２９と第１の外部電極６３および第２の外部電極６４とを結線するリード線２８を液体冷媒Ｌが曝されることのないようにすることができる。よって、給電手段２９と第１の外部電極６３および第２の外部電極６４との間における絶縁対策を比較的容易に行うことができる。

【0077】

このような構成の第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０は、その一端部（図６（ａ）における左端部）が冷媒槽１１に設けられたシール部３５において固定されている。シール部３５においては、Ｏリングなどのシール部材３６によって冷媒槽１１と第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０との気密構造が形成されており、これにより、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌがシール部３５から冷媒槽１１の外部に流出することなく、当該シール部３５において第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０の一端部が支持されている。
この図の例においては、第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０の一端部の端部が冷媒槽１１の外部に突出した状態とされている。また、第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０の他端部（図６（ａ）における右端部）は、冷媒槽１１内に設けられたランプ支持手段３７によって支持されている。すなわち、第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０は、冷媒槽１１に設けられたシール部３５およびランプ支持手段３７により、当該第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０と被処理体Ｗであるブルー相パネル材料との間において、冷媒槽１１に満たされた状態の液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳが存在することのないように、液体冷媒Ｌに浸漬された状態で配置されている。

【0078】

また、第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０には、当該第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０から放出される光がシール部３５を介して冷媒槽１１の外部に漏れ出ることを防止するために、当該第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０の一端部におけるシール部３５に位置される部分およびその近傍部分の外管６８の外表面に遮光膜３８が設けられていてもよい。遮光膜３８としては、例えばアルミニウム膜などが用いられる。

【0079】

このような構成を有する図６に係る第１の液晶パネル製造装置においては、第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０は、その一端部の端部以外の部分が液体冷媒Ｌが満たされた冷媒槽１１内において液体冷媒Ｌ中に位置される。よって、第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０が循環型冷却媒体供給機構によって循環される液体冷媒Ｌによって冷却され、具体的には第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０を構成する希ガス蛍光ランプ本体６０Ａが間接的に冷却されるため、当該第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０を構成する希ガス蛍光ランプ本体６０Ａを高い効率で発光させることができる。

【0080】

図７（ａ）は、図１のブルー相方式の液晶パネル製造装置（第１の液晶パネル製造装置１０）において、紫外線光源として希ガス蛍光ランプを用いた場合の構成の他の例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＢ−Ｂ線断面拡大図である。
図７（ａ）においては、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置の紫外線光源として用いられる希ガス蛍光ランプの構成および当該希ガス蛍光ランプの配置状態の一例が示されており、その説明の都合上、希ガス蛍光ランプおよび当該希ガス蛍光ランプの配置状態を説明するために必要とされる構成部材以外の構成部材、具体的には、冷媒槽１１における流入口１２および流出口１３を含む循環型冷却媒体供給機構、温度センサー１７および反射鏡１９などは図示が省略されている。また、同図において、希ガス蛍光ランプ７０は、Ｂ−Ｂ線の右側において、当該希ガス蛍光ランプ７０の管軸を含む平面における断面が示されている。

【0081】

図７に係る第１の液晶パネル製造装置は、図６に係る第１の液晶パネル製造装置において、紫外線光源を構成する希ガス蛍光ランプとして第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０とは異なる構成の二重管型希ガス蛍光ランプを用い、冷媒槽１１にランプ支持部材３７が設けられておらず、当該二重管型希ガス蛍光ランプが冷媒槽１１に設けられた２つのシール部によって支持されていること以外は、当該図６に係る第１の液晶パネル製造装置と同様の構成を有するものである。

【0082】

この図７に係る第１の液晶パネル製造装置を構成する希ガス蛍光ランプ（以下、「第２の二重管型希ガス蛍光ランプ」ともう。）７０は、第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０のように液体冷媒Ｌにより外管６８を直接的に冷却することによって当該外管６８内に保持されている希ガス蛍光ランプ本体６０Ａを間接的に冷却するのではなく、希ガス蛍光ランプ本体６０Ａを直接的に冷却する構成を有するものであり、蓋部材に外管内に冷却ガスを導入および排出するための冷却ガス導入部および冷却ガス排出部が設けられており、外管の外径が大径とされていること以外は第１の二重管型希ガス蛍光ランプと同様の構成を有している。
具体的には、第２の二重管型希ガス蛍光ランプ７０においては、外管６８の両端開口を閉塞する蓋部材６９のうちの一方（図７における左方）の蓋部材６９には冷却ガス導入ノズル７５よりなる冷却ガス導入部が設けられており、他方（図７における右方）の蓋部材６９には冷却ガス排出ノズル７６よりなる冷却ガス排出部が設けられている。冷却ガス導入ノズル７５には冷却ガス導入手段７４が連結されており、当該冷却ガス導入手段７４から冷却ガス導入ノズル７５を介して乾燥空気などの冷却ガスが外管６８内に導入される。外管６８内に導入された冷却ガスは熱交換により外管６８内の希ガス蛍光ランプ本体６０Ａを冷却した後、冷却ガス排出ノズル７６から外部へ排出される。
また、第２の二重管型希ガス蛍光ランプ７０においては、一方の蓋部材６９に冷却ガス導入ノズル７５を設け、他方の蓋部材６９に冷却ガス排出ノズル７６を設ける必要があることから、外管６８の外径は、第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０を構成する外管６８の外径に比して大きくなっている。
ここに、図７においては、理解を容易にするため、外管６８の管軸と外管６８の内部に配置される希ガス蛍光ランプ本体６０Ａの管軸とは一致しておらず、当該希ガス蛍光ランプ本体６０Ａは外管６８の内周面に対して下側に偏った状態で配置されているが、外管６８内における希ガス蛍光ランプ本体６０Ａの配置位置はこれに限るものではなく、外管６８の位置と希ガス蛍光ランプ本体６０Ａとの位置とが同軸上になるようにしてもよい。

【0083】

このような構成の第２の二重管型希ガスランプ７０は、その両端部の各々が冷媒槽１１に設けられたシール部３５において固定されている。すなわち、第２の二重管型希ガスランプ７０は、図５に係る第３のエキシマランプ５０と同様に、冷媒槽１１に設けられた２つのシール部３５により、当該第２の二重管型希ガスランプ７０と被処理体Ｗとの間において、冷媒槽１１に満たされた状態の液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳが存在することのないように、液体冷媒Ｌに浸漬された状態で配置されている。
この図の例においては、第２の二重管型希ガスランプ７０の両端部の各々の端部が冷媒槽１１の外部に突出した状態とされている。

【0084】

第２の二重管型希ガスランプ７０においては、第１の二重管型希ガスランプ６０と同様の理由により、当該第２の二重管型希ガスランプ７０の一端部におけるシール部３５に位置される部分およびその近傍部分の外管６８の外表面に遮光膜３８が設けられていてもよい。

【0085】

このような構成を有する図７に係る第１の液晶パネル製造装置においては、第２の二重管型希ガス蛍光ランプ７０は、希ガス蛍光ランプ本体６０Ａが配置されている外管６８内部を流通する冷却ガスによって当該希ガス蛍光ランプ本体６０Ａが直接的に冷却されるため、当該希ガス蛍光ランプ本体６０Ａをより高い効率で発光させることができる。

【0086】

以上において、第１の液晶パネル製造装置の紫外線光源を構成するＵＶランプ２０として用いられるエキシマランプおよび希ガス蛍光ランプの具体例について、図を用いて説明したが、ＵＶランプ２０として用いられるエキシマランプおよび希ガス蛍光ランプは、上記の実施の形態に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、ＵＶランプ２０を構成するエキシマランプは、放電容器の内部にて発生するエキシマ光により励起されて紫外光を放射する蛍光体を含有する蛍光体層が当該放電容器の放電空間を囲繞する表面に設けられなる構成を有するもの、すなわちエキシマ光により励起された蛍光体から発生した光（紫外光）が放射される蛍光ランプの構造を有するものであってもよい。
具体的には、図３に示す第１のエキシマランプ３０において、放電容器３１の内表面に、放電容器３１の内部にて発生するエキシマ光により励起されて紫外光を放射する蛍光体を含有する蛍光体層が設けられてなる構成の蛍光ランプ（以下、「第１の蛍光ランプ」ともいう。）であってもよい。また、図４に示す第２のエキシマランプ４０において、放電容器４１における外側管４２の内表面に、放電容器４１の内部にて発生するエキシマ光により励起されて紫外光を放射する蛍光体を含有する蛍光体層が設けられてなる構成の蛍光ランプ（以下、「第２の蛍光ランプ」ともいう。）であってもよく、あるいは、図５に示す第３のエキシマランプ５０において、放電容器５１における外側管５２の内表面に、放電容器５１の内部にて発生するエキシマ光により励起されて紫外光を放射する蛍光体を含有する蛍光体層が設けられてなる構成の蛍光ランプ（以下、「第３の蛍光ランプ」ともいう。）であってもよい。
第１の蛍光ランプ、第２の蛍光ランプおよび第３の蛍光ランプのいずれにおいても、放電空間Ｓに形成されたエキシマ分子が基底状態に遷移する際に放出されるエキシマ光により上記蛍光体が励起され、当該蛍光体から紫外光が発生し、その光が放電容器の外部に放射される。

【0087】

第１の蛍光ランプ、第２の蛍光ランプおよび第３の蛍光ランプにおいては、放電容器（３１，４１，５１）の放電空間（Ｓ）には、放電によってエキシマ分子を生成する放電媒質としてキセノン、アルゴンなどの希ガスが封入される。

【0088】

ここに、本明細書中においては、放電空間に形成されたエキシマ分子が基底状態に遷移する際に放出されるエキシマ光により励起される蛍光体から発生する光（紫外光）を放射光とする蛍光ランプのうち、例えば図６および図７に示されているように、発光管である放電容器の内部に希ガスのみが封入され、当該放電容器の外表面に互いに離間して放電容器の管軸方向に沿って一対の外部電極が配設されてなる構造を有する蛍光ランプを「希ガス蛍光ランプ」と称している。よって、希ガス蛍光ランプと称される図６および図７に係る希ガス蛍光ランプ本体６０Ａ、第１の二重管型希ガス蛍光ランプ６０、第２の二重管型希ガス蛍光ランプ７０は、蛍光ランプの一例に相当する。
なお、上記希ガス蛍光ランプ以外の構造を包含する蛍光ランプについては、便宜上、単に「蛍光ランプ」（具体的には、例えば「第１の蛍光ランプ」、「第２の蛍光ランプ」および「第３の蛍光ランプ」）と称している。

【0089】

〔第２の実施の形態〕
図８は、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置の構成の他の例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。
第２の実施の形態に係るブルー相方式の液晶パネル製造装置（以下、「第２の液晶パネル製造装置」ともいう。）は、図１に係る第１の液晶パネル製造装置１０において、冷媒槽１１に２つの流入口（具体的には第１の流入口１２Ａおよび第２の流入口１２Ｂ）が設けられており、循環型冷却媒体供給機構に代えて、冷媒槽１１に対して液体冷媒Ｌを供給するための２つの液体冷媒供給ラインを有し、この２つの液体冷媒供給ラインから冷媒槽１１に温度の異なる液体冷媒Ｌを供給することによって冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度の調整を行う構成の２系統型冷却媒体供給機構が設けられていること以外は、当該図１に係る第１の液晶パネル製造装置１０と同様の構成を有するものである。

【0090】

この第２の液晶パネル製造装置において、２系統型冷却媒体供給機構を構成する２つの液体冷媒供給ラインのうちの一方の液体冷媒供給ラインは、冷媒槽１１の第１の流入口１２Ａに設けられた第１の液体冷媒供給路８３Ａと、当該第１の流入口１２Ａからブルー相出現温度より高い第１の温度Ｔ１に温度調整された液体冷媒Ｌを冷媒槽１１内に供給する機能を有する第１の液体冷媒供給源８１Ａと、第１の流入口１２Ａと第１の液体冷媒供給源８１Ａとの間に設けられた、当該第１の流入口１２Ａから冷媒槽１１内に流入する液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量を制御する第１の流量制御手段８２Ａとからなる。この液体冷媒供給ラインにおいては、第１の液体冷媒供給源８１Ａから供給される液体冷媒Ｌは、第１の流量制御手段８２Ａにより流量を制御されて、第１の流入口１２Ａから冷媒槽１１内に流入する。また、他方の液体冷媒供給ラインは、冷媒槽１１の第２の流入口１２Ｂに設けられた第２の液体冷媒供給路８３Ｂと、当該第２の流入口１２Ｂからブルー相出現温度より低い第２の温度Ｔ２に温度調整された液体冷媒Ｌを冷媒槽１１内に供給する機能を有する第２の液体冷媒供給源８１Ｂと、第２の流入口１２Ｂと第２の液体冷媒供給源８１Ｂとの間に設けられた、当該第２の流入口１２Ｂから冷媒槽１１内に流入する液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量を制御する第２の流量制御手段８２Ｂとからなる。この液体冷媒供給ラインにおいては、第２の液体冷媒供給源８１Ｂから供給される液体冷媒Ｌは、第２の流量制御手段８２Ｂにより流量を制御されて、第２の流入口１２Ｂから冷媒槽１１内に流入する。
この図の例においては、制御部８４は、温度センサー１７からの温度情報に基づいて給電手段２９、第１の液体冷媒供給源８１Ａ、第２の液体冷媒供給源８１Ｂ、第１の流量制御手段８２Ａおよび第２の流量制御手段８２Ｂを制御する機能を有するものである。

【0091】

このような構成の第２の液晶パネル製造装置においては、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料を、冷媒槽１１内に液体冷媒Ｌが満たされた状態において、当該液体冷媒Ｌに浸漬した状態の紫外線光源の下方における所定の位置に配置し、冷媒槽１１内に流入する第１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量と第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量との比を調整することにより、当該冷媒槽１１内において液体冷媒Ｌに浸漬した状態の液晶パネル材料の液晶層の温度が当該液晶層においてブルー相が出現するブルー相出現温度となるように当該冷媒槽内の液体冷媒Ｌの温度を設定し、当該液晶層においてブルー相が出現した状態の液晶パネル材料に対して紫外線光源によって当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射する高分子安定化処理工程を経ることにより、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料において、当該ブルー相パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂が、当該液晶層にブルー相が出現されている状態において硬化され、これにより、ブルー相方式の液晶パネルが製造される。

【0092】

具体的に、図８に係る第２の液晶パネル製造装置を用いてブルー相パネル材料からブルー相方式の液晶パネルを製造する製造工程について、図９および図１０に示す第２の液晶パネル製造装置の操作手順のフローチャートを用いて説明する。
ここに、被処理体Ｗとしてのブルー相パネル材料の液晶層は、液晶、当該液晶を螺旋構造に配向させブルー相を出現させるためのカイラル剤、紫外線硬化性樹脂および紫外線重合開始剤を含む液晶組成物よりなる液晶層を有するものであり、紫外線光源を構成するＵＶランプ２０は、被処理体Ｗとしてのブルー相パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させるのに適した波長の紫外線を放出するものとする。
また、被処理体Ｗとしてのブルー相パネル材料の液晶層を等方相まで加熱することができるとされる液体冷媒Ｌの温度をＴｅ、当該液晶層においてブルー相を出現させることのできるとされる、すなわち液晶層の温度をブルー相出現温度とすることができるとされる冷液体冷媒Ｌの温度をＴｂとするとき、これらの温度ＴｅおよびＴｂと、第１の液体冷媒供給源８１Ａから供給される液体冷媒Ｌの温度（第１の温度Ｔ１）と、第２の液体冷媒供給源８１Ｂから供給される液体冷媒Ｌの温度（第２の温度Ｔ２）とは、Ｔ１＞Ｔｅ＞Ｔｂ＞Ｔ２の関係を満たすものとする。
なお、理解を容易にするために、第１の流入口１２Ａから単位時間あたりに冷媒槽１１内に流入する液体冷媒Ｌの流量と第２の流入口１２Ｂから単位時間あたりに冷媒槽１１内に流入する液体冷媒Ｌの流量との総和は一定であるものとする。

【0093】

（ステップＳ１０１）
第２の液晶パネル製造装置における冷媒槽１１内に被処理体Ｗであるブルー相パネル材料（図９および図１０においては「ワーク」と示す。）を配置する。被処理体Ｗの設置位置は、ＵＶランプ２０から放出される紫外線を含む光が照射される光照射範囲内である。

【0094】

（ステップＳ１０２）
制御部８４は、第１の液体冷媒供給源８１Ａ（図９および図１０においては「液体冷媒供給源Ａ」と示す。）および第２の液体冷媒供給源８１Ｂ（図９および図１０においては「液体冷媒供給源Ｂ」と示す。）からの液体冷媒Ｌの供給を開始させると共に、第１の流量制御手段８２Ａ（図９および図１０においては「流量コントローラＡ」と示す。）および第２の流量制御手段８２Ｂ（図９および図１０においては「流量コントローラＢ」と示す。）を制御して、第１の流入口１２Ａから冷媒槽１１内に流入する第１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量と、第２の流入口１２Ｂから冷媒槽１１内に流入する第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量との比が特定の流量比Ｒｅとなるように設定する。
ここに、第１の流入口１２Ａから冷媒槽１１内に流入する第１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量をＶ_T1e とし、第２の流入口１２Ｂから冷媒槽１１内に流入する第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量をＶ_T2e とするとき、これらの流量Ｖ_T1e およびＶ_T2e は、Ｖ_T1e ＋Ｖ_T2e ＝Ｖ_s （一定）の関係を満たす。
また、「特定の流量比Ｒｅ」とは、冷媒槽１１内において第１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌと第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌとが混合することによって得られる液体冷媒Ｌの温度が、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層を等方相まで加熱することのできる温度Ｔｅとするために予め設定された値であり、式Ｒｅ＝Ｖ_T1e／Ｖ_T2e によって示される。この特定の流量比Ｒｅの値は予め制御部８４に記憶されている。また、流量Ｖ_T1e および流量Ｖ_T2e の値も予め制御部８４に記憶されている。

【0095】

（ステップＳ１０３）
第１の流入口１２Ａおよび第２の流入口１２Ｂより液体冷媒Ｌが冷媒槽１１内に流入し、被処理体Ｗ、ＵＶランプ２０および反射鏡１９が液体冷媒Ｌに完全に浸漬し、流出口１３より液体冷媒Ｌが冷媒槽１１から外部へ流出するようになった時点で、制御部８４は温度センサー１７から冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度に関する温度信号を受信する。

【0096】

（ステップＳ１０４）
制御部８４は、受信した温度信号により、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度Ｔｅ’を求める。

【0097】

（ステップＳ１０５）
制御部８４は予め記憶しておいた温度Ｔｅの値と温度Ｔｅ’の値の大小を検定する。
ここに、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層を等方相まで加熱することのできる冷却槽１１内の液体冷媒Ｌの温度Ｔｅの許容範囲幅の値をΔＴｅとする。すなわち、｜Ｔｅ−Ｔｅ’｜≦ΔＴｅである場合において、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層は等方相まで加熱される。

【0098】

Ｔｅ−Ｔｅ’＞ΔＴｅである場合にはステップＳ１０６へ移行する。またＴｅ−Ｔｅ’ ＜−ΔＴｅである場合にはステップＳ１０８へ移行する。それ以外の場合（具体的には、｜Ｔｅ−Ｔｅ’｜≦ΔＴｅである場合）には、ステップＳ１１０へ移行する。

【0099】

（ステップＳ１０６）
ステップＳ１０５においてＴｅ−Ｔｅ’＞ΔＴｅである場合には、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度Ｔｅ’が被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層を等方相まで加熱するには低すぎる状態である。すなわち、第２の液体冷媒供給源８１Ｂから供給され第２の流入口１２Ｂより冷媒槽１１内に流入する第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌの流量が過大な状態である。
そこで、制御部８４は、第１の流量制御手段８２Ａまたは第２の流量制御手段８２Ｂを制御して、第１の流入口１２Ａから冷媒槽１１内に流入する第１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量をＶ_T1e から変更してＶ_T1e ’（Ｖ_T1e ＜Ｖ_T1e ’）とし、第２の流入口１２Ｂから冷媒槽１１内に流入する第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量をＶ_T2e から変更してＶ_T2e ’（Ｖ_T2e ＞Ｖ_T2e ’）とし、これらの流量の比を特定の流量比Ｒｅから変更して流量比Ｒｅ’（Ｒｅ’＝Ｖ_T1e ’／Ｖ_T2e ’）とする。なお、Ｖ_T1e ＋Ｖ_T2e ＝Ｖ_T1e ’＋Ｖ_T2e ’＝Ｖ_s （一定）とする。

【0100】

（ステップＳ１０７）
制御部８４は、流量比Ｒｅ’を設定することによって冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度分布がある程度均一になるまでの時間が経過した後、温度センサー１７から冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度に関する温度信号を受信する。その後、再び冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度の値と温度Ｔｅの値との大小を検定するため、ステップＳ１０４に移行する。

【0101】

（ステップＳ１０８）
ステップＳ１０５においてＴｅ−Ｔｅ’ ＜−ΔＴｅである場合には、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度Ｔｅ’が被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層を等方相まで加熱するには高すぎる状態である。すなわち、第１の液体冷媒供給源８１Ａから供給され第１の流入口１２Ａより冷媒槽１１内に流入する第１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌの流量が過大な状態である。
そこで、制御部８４は、第１の流量制御手段８２Ａおよび第２流量制御手段８２Ｂを制御して、第１の流入口１２Ａから冷媒槽１１内に流入する第１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量をＶ_T1e から変更してＶ_T1e ’ ’（Ｖ_T1e ＞Ｖ_T1e ’ ’）とし、第２の流入口１２Ｂから冷媒槽１１内に流入する第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量をＶ_T2e から変更してＶ_T2e ’ ’（Ｖ_T2e ＜Ｖ_T2e ’ ’）とし、これらの流量の比を特定の流量比Ｒｅから変更して流量比Ｒｅ’ ’（Ｒｅ’ ’（＝Ｖ_T1e ’ ’／Ｖ_T2e ’ ’）とする。なお、Ｖ_T1e ＋Ｖ_T2e ＝Ｖ_T1e ’ ’＋Ｖ_T2e ’ ’＝Ｖ_s （一定）とする。

【0102】

（ステップＳ１０９）
制御部８４は、流量比Ｒｅ’’を設定して冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度分布がある程度均一になるまでの時間が経過した後、温度センサー１７から冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度に関する温度信号を受信する。その後、再び槽内の液体冷媒Ｌの温度の値と温度Ｔｅの値との大小を検定するため、ステップＳ１０４に移行する。

【0103】

（ステップＳ１１０）
ステップＳ１０５において｜Ｔｅ−Ｔｅ’｜≦ΔＴｅである場合には、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度Ｔｅ’が被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層を等方相まで加熱するのに適した温度となっている状態である。よって、他のステップ（具体的には、ステップＳ１０６およびステップＳ１０７、あるいはステップＳ１０８およびステップＳ１０９）を経ることなくステップＳ１１０に移行する。
制御部８４は、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料における液晶層の温度が上昇して、当該液晶層が等方相に転移するまで待機する。
ここに、ブルー相パネル材料の液晶層が等方相に転移するまでに要する待機時間は、例えば、ステップＳ１０５において｜Ｔｅ−Ｔｅ’｜≦ΔＴｅであることが検定されてから、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度分布がある程度均一となり、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層が（場所的に）略均一に等方相に転移するまでの時間であり、この待機時間の値は予め制御部８４に記憶されているものとする。待機時間の計時は、例えば、カウンタ（図示省略）などの計時手段を用いて行われる。なお計時手段ならびに計時方法は周知技術であるので、ここでは説明を省略する。

【0104】

以上のステップＳ１０２からステップＳ１１０までの手順を経ることにより、ブルー相パネル材料の液晶層は、等方相まで加熱される。

【0105】

（ステップＳ１１１）
制御部８４は、第１の流量制御手段８１Ａおよび第２の流量制御手段８１Ｂを制御して、第１の流入口１２Ａから冷媒槽１１内に流入する第１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量と、第２の流入口１２Ｂから槽内に流入する第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量との比が特定の流量比Ｒｂとなるように設定する。
ここに、第１の流入口１２Ａから冷媒槽１１内に流入する第４１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量をＶ_T1b とし、第２の流入口Ｂから槽内に流入する第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量をＶ_T2b とするとき、これらの流量Ｖ_T1b およびＶ_T2b は、Ｖ_T1b ＋Ｖ_T2b ＝Ｖ_Ｓ（一定）の関係を満たす。
また、「特定の流量比Ｒｂ」とは、冷媒槽１１内において第１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌと第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌとが混合することによって得られる液体冷媒Ｌの温度が、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層においてブルー相を出現させることのできる温度Ｔｂとするために予め設定された値であり、式Ｒｂ＝Ｖ_T1b ／Ｖ_T2bによって示される。この特定の流量比Ｒｂの値は予め制御部８４に記憶されている。また、流量Ｖ_T1b およびＶ_T2b の値も予め制御部８４に記憶されている。

【0106】

（ステップＳ１１２）
制御部８４は、流量比Ｒｂを設定することによって冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度分布がある程度均一になるまでの時間（待機時間）が経過した後、温度センサー１７から冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度に関する温度信号を受信する。

【0107】

（ステップＳ１１３）
制御部８４は、受信した温度信号により、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度Ｔｂ’を求める。

【0108】

（ステップＳ１１４）
制御部８４は予め記憶しておいた温度Ｔｂの値と温度Ｔｂ’の値の大小を検定する。
ここに、ブルー相パネル材料Ｗの液晶層にブルー相を出現させることのできる液体冷媒Ｌの温度Ｔｂの許容範囲幅の値をΔＴｂとする。すなわち、｜Ｔｂ−Ｔｂ’｜≦ΔＴｂである場合において、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層においてブルー相が出現する。

【0109】

Ｔｂ−Ｔｂ’＞ΔＴｂである場合にはステップＳ１１５へ移行する。またＴｂ−Ｔｂ’ ＜−ΔＴｂである場合には、ステップＳ１１７へ移行する。それ以外の場合（具体的には、｜Ｔｂ−Ｔｂ’｜≦ΔＴｂである場合）には、ステップＳ１１９へ移行する。

【0110】

（ステップＳ１１５）
ステップＳ１１４においてＴｂ−Ｔｂ’＞ΔＴｂである場合には、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度Ｔｂ’が被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層にブルー相を出現させるには低すぎる状態である。すなわち、第２の液体冷媒供給源８１Ｂから供給され第２の流入口１２Ｂより冷媒槽１１内に流入する温度Ｔ２の液体冷媒Ｌの流量が過大な状態である。
そこで、制御部８４は、第１の流量制御手段８２Ａおよび第２の流量制御手段８２Ｂを制御して、第１の流入口１２Ａから冷媒槽１１内に流入する第１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量をＶ_T1b から変更してＶ_T1b ’（Ｖ_T1b ＜Ｖ_T1b ’）とし、第２の流入口１２Ｂから冷媒槽１１内に流入する第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量をＶ_T2b から変更してＶ_T2b ’（Ｖ_T1b ＞Ｖ_T2b ’）として、これらの流量の比を特定の流量比Ｒｂから変更して流量比Ｒｂ’（Ｒｂ’＝Ｖ_T1b ’／Ｖ_T2b ’）とする。なお、Ｖ_T1b ＋Ｖ_T2b ＝Ｖ_T1b ’＋Ｖ_T2b ’＝Ｖ_s （一定）とする。

【0111】

（ステップＳ１１６）
制御部８４は、特定の流量比Ｒｅ’を設定することによって冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度分布がある程度均一になるまでの時間が経過した後、温度センサー１７から冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度に関する温度信号を受信する。その後、再び冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度の値と温度Ｔｂの値との大小を検定するため、ステップＳ１１４に移行する。

【0112】

（ステップＳ１１７）
ステップＳ１１４においてＴｂ−Ｔｂ’ ＜−ΔＴｂである場合には、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度Ｔｂ’ が被処理体Ｗであるがブルー相パネル材料の液晶層にブルー相を出現させるには高すぎる状態である。すなわち、第１の液体冷媒供給源８１Ａから供給され第１の流入口Ａより槽内に流入する温度Ｔ１の液体冷媒Ｌの流量が過大な状態である。
そこで、制御部８４は、第１の流量制御手段８１Ａおよび第２の流量制御手段８１Ｂを制御して、第１の流入口１２Ａから冷媒槽１１内に流入する第１の温度Ｔ１の液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量をＶ_T1b から変更してＶ_T1b ’ ’（Ｖ_T1b ＞Ｖ_T1b ’ ’）とし、第２の流入口１２Ｂから冷媒槽１１内に流入する第２の温度Ｔ２の液体冷媒Ｌの量単位時間あたりの流量をＶ_T2b から変更してＶ_T2b ’ ’（Ｖ_T2b ＜Ｖ_T2b ’ ’）として、これらの流量の比を特定の流量比Ｒｂから変更して流量比Ｒｂ’ ’（Ｒｂ’ ’＝Ｖ_T1b ’ ’／Ｖ_T2b ’ ’）とする。なお、Ｖ_T1b ＋Ｖ_T2b ＝Ｖ_T1b ’ ’＋Ｖ_T2b ’ ’＝Ｖ_s （一定）とする。

【0113】

（ステップＳ１１８）
制御部８４は、流量比Ｒｂ’’を設定することによって冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度分布がある程度均一になるまでの時間が経過した後、温度センサー１７から冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度に関する温度信号を受信する。その後、再び冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度の値と温度Ｔｂの値との大小を検定するため、ステップＳ１１４に移行する。

【0114】

（ステップＳ１１９）
ステップＳ１１４において｜Ｔｂ−Ｔｂ’｜≦ΔＴｂである場合には、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度Ｔｂ’が被処理体Ｗであるブルー相パネル材料における液晶層にブルー相を出現させるのに適した温度となっている状態である。よって、他のステップ（具体的には、ステップＳ１１５およびステップＳ１１６、あるいはステップＳ１１７およびステップＳ１１８）を経ることなくステップＳ１１９に移行する。
制御部８４は、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料における液晶層の温度が変化して、当該液晶層がブルー相に転移するまで待機する。
ここに、ブルー相パネル材料の液晶層がブルー相に転移するまでに要する待機時間は、例えば、ステップＳ１１４において｜Ｔｂ−Ｔｂ’｜≦ΔＴｂであることが検定されてから、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度分布がある程度均一となり、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層が（場所的に）略均一にブルー相に転移するまでの時間であり、この待機時間の値は予め制御部８４に記憶されているものとする。待機時間の計時は、例えば、カウンタ（図示省略）などの計時手段を用いて行われる。なお計時手段ならびに計時方法は周知技術であるので、ここでは説明を省略する。

【0115】

以上のステップＳ１１１からステップＳ１１９までの手順を経ることにより、ブルー相パネル材料の液晶層においてブルー相が出現する。

【0116】

（ステップＳ１２０）
制御部８４は、冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度分布がある程度均一になるまでの時間（待機時間）が経過し、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層においてほぼ均一にブルー相が出現した後、給電手段２９にＵＶランプ２０への給電開始信号を送信する。

【0117】

（ステップ１２１）
給電開始信号を受信した給電手段２９は、ＵＶランプ２０に電力を供給してＵＶランプ２０を点灯させる。

【0118】

（ステップＳ１２２）
所定時間経過後、制御部８４は給電手段２９にＵＶランプ２０への給電終了信号を送信する。
ここに、「所定時間」とは、ＵＶランプ２０からブルー相パネル材料Ｗに対して紫外線を含む光の照射が開始されてから、当該ブルー相パネル材料Ｗの液晶層を構成する紫外線硬化樹脂が硬化して高分子安定化処理工程が終了するまでの時間である。

【0119】

（ステップＳ１２３）
給電終了信号を受信した給電手段２９は、ＵＶランプ２０への電力供給を停止してＵＶランプ２０を消灯させる。

【0120】

以上のステップＳ１２０からステップＳ１２３までの手順を経ることにより、ブルー相パネル材料の液晶層においてブルー相が出現している状態で、ＵＶランプ２０から紫外線を含む光が所定時間にわたって当該ブルー相パネル材料に照射され、これにより、ブルー相パネル材料の液晶層において紫外線硬化性樹脂が硬化することによってブルー相方式の液晶パネルが製造される。

【0121】

以上のように第２の液晶パネル製造装置によれば、液体冷媒Ｌが満たされた状態の冷媒槽１１内において、液体冷媒Ｌに浸漬した状態の被処理体Ｗに対して、当該被処理体Ｗとの間に液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳが存在しないように配置された紫外線光源からの光が照射されるため、被処理体Ｗ上の温度分布が略均一となるように被処理体Ｗの温度を調整することが容易にできる。また、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳにゆらぎ（波打ち）が発生した場合であっても、紫外線光源から放出される光は液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳの状態に影響を受けることなく被処理体Ｗに到達することから、紫外線光源から放出される光を調整することのみにより、被処理体Ｗの光照射面における光の放射照度分布を略均一にすることができる。
従って、第２の液晶パネル製造装置によれば、液体冷媒Ｌに浸漬した状態の被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層の全面に均一な光照射を行うことができるため、ブルー相方式の液晶パネル材料が大型のものであっても、液晶層においてブルー相が出現した状態の液晶パネル材料に対して、紫外線光源によって当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射することにより、液晶層をむらのないブルー相状態とすることのできるブルー相方式の液晶パネルを得ることができる。

【0122】

しかも、第２の液晶パネル製造装置においては、第１の流入口１２Ａより冷媒槽１１内に流入する液体冷媒Ｌと、第２の流入口１２Ｂより冷媒槽１１内に流入する液体冷媒Ｌとは互いに温度が相違するものであるため、これらの流量比を制御することにより、冷媒槽１１内における液体冷媒Ｌの温度を第１の温度Ｔ１と第２の温度Ｔ２との間の任意の温度に設定することが可能となる。そして、互いに温度の異なる液体冷媒Ｌを、単位時間あたりの流入量を互いに異にして冷媒槽１１内に供給して混合することにより冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度を調整するものであるため、図１に係る第１の液晶パネル装置１０と比較すると、短時間で冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度を調整することが可能となり、よって大型のブルー相パネル材料を被処理体Ｗとした場合において、当該ブルー相パネル材料の液晶層にブルー層を出現させるまで時間を短縮化することが可能となる。
具体的には、例えば被処理体であるブルー相パネル材料における液晶層を最初に等方相まで加熱した後、徐々に降温させてブルー相まで相転移させてブルー相が出現する温度を保持する場合において、制御部８４によって第１の流量制御手段８２Ａおよび第２の流量制御手段８２Ｂを制御して、第１の流入口１２Ａから冷媒槽１１内に流入する液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量と第２の流入口１２Ｂから冷媒槽１１内に流入する液体冷媒Ｌの単位時間あたりの流量との比を適宜調整することにより、ブルー相パネル材料における液晶層の温度制御を比較的短時間で行うことが可能となる。

【0123】

ここに、第１の液晶パネル製造装置１０において、被処理体Ｗとして大型のブルー相パネル材料を用いる場合においては、前述のように、液体冷媒Ｌは熱容量が大きいものであることから冷媒槽１１内における液体冷媒Ｌの温度分布の偏差が小さいため、液体冷媒Ｌに大型のブルー相パネル材料を浸漬させることにより、当該ブルー相パネル材料の場所的な温度分布が略均一となるようにブルー相パネル材料の温度を調整することは比較的容易である。しかしながら、熱容量の大きい液体冷媒Ｌの温度を循環型冷却媒体供給機構においてチラーなどの温調手段によって調整するものであることから、冷媒槽１１内における液体冷媒Ｌの温度調整には長時間を要してしまう。そのため、図１に係る第１の液晶パネル製造装置においては、被処理体Ｗである大型のブルー相パネル材料の液晶層にブルー層を出現させるまでに大きな時間を要してしまう。

【0124】

〔第３の実施の形態〕
図１１は、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置の構成の更に他の例を、ブルー相方式の液晶パネル材料と共に示す説明図である。
第３の実施の形態に係るブルー相方式の液晶パネル製造装置（以下、「第３の液晶パネル製造装置」ともいう。）は、図１に係る第１の液晶パネル製造装置１０において、被処理体Ｗを冷媒槽１１の外部から冷媒槽１１内へ搬送して紫外線光源から放射される紫外線を含む光が照射される領域を通過させ、冷媒槽１１内から冷媒槽１１の外部へと搬送する搬送機構が設けられており、また、冷媒槽１１には２つの流入口が具備されていると共に流出口が設けられておらず、当該冷媒槽１１の側面部に、当該側面部に沿って冷媒槽１１を一巡するように、冷媒槽１１の開口縁部から溢れ出る液体冷媒Ｌを回収するためのバッファー槽９３が設けられており、このバッファー槽９３に具備されている２つの液体冷媒流出口９４および当該２つの流入口１２には液体冷媒Ｌの循環路９５が設けられていること以外は、当該図１に係る第１に液晶パネル製造装置１０と同様の構成を有するものである。
ここに、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料は、搬送機構によって冷媒槽１１の外部から冷媒槽１１内へ搬送されて紫外線光源から放射される紫外線を含む光が照射される領域を通過し、冷媒槽１１内から冷媒槽１１の外部へと搬送される過程において、冷媒槽１１内において光照射されることにより、液晶パネル材料の液晶層においてブルー相が出現された状態で紫外線硬化性樹脂が硬化され、ブルー相方式の液晶パネルとされる。

【0125】

この第３の液晶パネル製造装置において、搬送機構は、複数の搬送用ローラー９１と、当該複数の搬送用ローラー９１に共通の搬送用ローラー駆動制御手段９２とを備えており、複数の搬送用ローラー９１が、被処理体Ｗを搬送すべき搬送路に従って配置されてなる構成を有するものである。このような構成の搬送機構によれば、冷媒槽１１の外部に位置する搬送用ローラー９１上にブルー相パネル材料Ｗを載置し、搬送用ローラー駆動制御手段９２によって複数の搬送用ローラー９１の駆動制御を行うことにより、ブルー相パネル材料Ｗを搬送することができる。
この図の例において、搬送用ローラー駆動制御手段９２は、制御部９６により、温度センサー１７の温度情報に基づいてその操作が制御される。また、制御部９６は、搬送用ローラー駆動制御手段９２を制御する機能を有すると共に、温度センサー１７の温度情報に基づいて液体冷媒循環手段１５および温調手段１６を制御するする機能を有するものである。

【0126】

また、第３の液晶パネル製造装置においては、冷媒槽１１の２つの流入口１２およびバッファー槽９３の２つ液体冷媒流出口９４に設けられた枝分かれ構造を有する循環路９５、当該循環路９５上に設けられた液体冷媒循環手段１５、温調手段１６、温度センサー１７の温度情報に基づいて液体冷媒循環手段１５および温調手段を制御する制御部９６によって循環型冷却媒体供給機構が形成されている。この循環型冷却媒体供給機構において、液体冷媒Ｌは、ポンプなどの液体冷媒循環手段１５により循環され、循環路９５から冷媒槽１１に設けられた流入口１２より冷媒槽１１内に流入し、冷媒槽１１の開口縁部から当該冷媒槽１１外に排出されてバッファー槽９３によって回収される。そして、バッファー槽によって回収された液体冷媒Ｌは当該バッファー槽９３の液体冷媒流出口９４から循環路９５に排出されてチラーよりなる温調手段１６に流入し、チラーにおける熱交換により所定の温度に調整された後、流入口１２より再び冷媒槽１１内に流入する。

【0127】

このような構成の第３の液晶パネル製造装置１０においては、液体冷媒Ｌが満たされた状態の冷媒槽１１内において、搬送機構によって液体冷媒Ｌに浸漬した状態の紫外線光源の下方における所定の位置に被処理体Ｗであるブルー相パネル材料を搬送し、その搬送過程において、液体冷媒Ｌに浸漬した状態の液晶パネル材料の液晶層の温度が当該液晶層においてブルー相が出現するブルー相出現温度となるように当該冷媒槽１１内の液体冷媒Ｌの温度を設定し、当該液晶層においてブルー相が出現した状態の液晶パネル材料に対して紫外線光源によって当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射する高分子安定化処理工程を経ることにより、被処理体Ｗであるブルー相パネル材料において、当該ブルー相パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂が、当該液晶層にブルー相が出現された状態において硬化され、これにより、ブルー相方式の液晶パネルが製造される。

【0128】

而して、第３の液晶パネル製造装置によれば、液体冷媒Ｌが満たされた状態の冷媒槽１１内において、液体冷媒Ｌに浸漬した状態の被処理体Ｗに対して、当該被処理体Ｗとの間に液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳが存在しないように配置された紫外線光源からの光が照射されるため、被処理体上の温度分布が略均一となるように被処理体Ｗの温度を調整することが容易にできる。また、例えば搬送機構によって被処理体Ｗを液体冷媒Ｌ内に搬送する際、および被処理体Ｗを液体冷媒Ｌ外に搬送する際などに、液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳにゆらぎ（波打ち）が発生することとなるが、そのような場合であっても、紫外線光源から放出される光は液体冷媒Ｌと大気との境界面ＬＳの状態に影響を受けることなく被処理体Ｗに到達することから、紫外線光源から放出される光を調整することのみにより、被処理体Ｗの光照射面における光の放射照度分布を略均一にすることができる。
従って、第３の液晶パネル製造装置によれば、液体冷媒Ｌに浸漬した状態の被処理体Ｗであるブルー相パネル材料の液晶層の全面に均一な光照射を行うことができるため、ブルー相方式の液晶パネル材料が大型のものであっても、液晶層においてブルー相が出現した状態の液晶パネル材料に対して、紫外線光源によって当該液晶パネル材料の液晶層を構成する紫外線硬化性樹脂を硬化させる波長の紫外線を含む光を照射することにより、液晶層をむらのないブルー相状態とすることのできるブルー相方式の液晶パネルを得ることができる。

【0129】

本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置およびブルー相方式の液晶パネルの製造方法においては、上記の実施の形態に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、本発明のブルー相方式の液晶パネル製造装置においては、紫外線光源と被処理体としてのブルー相パネル材料とは、液体冷媒が満たされた冷媒槽内において、当該紫外線光源とブルー相パネル材料との間に液体冷媒と大気との境界面が存在しないように配置されていればよく、紫外線光源とブルー相パネル材料との間には、液体冷媒の大気以外のものとの境界面が存在していてもよい。具体的には、例えば紫外線光源とブルー相パネル材料との間に、紫外線に対する透光性を有する板状体が介在されており、当該板状体と液体冷媒との境界面が存在していてもよい。

【符号の説明】

【0130】

１０ ブルー相方式の液晶パネル製造装置（第１の液晶パネル製造装置）
１１ 冷媒槽
１２，１２Ａ，１２Ｂ 流入口
１３ 流出口
１４ 循環路
１５ 液体冷媒循環手段
１６ 温調手段
１７ 温度センサー
１８ 制御部
１９ 反射鏡
１９Ａ 反射面
２０ 紫外線ランプ（ＵＶランプ）
２８ リード線
２９ 給電手段
３０ エキシマランプ（第１のエキシマランプ）
３１ 放電容器
３２ 第１の放電用電極
３３ 第２の放電用電極
３５ シール部
３６ シール部材
３７ ランプ支持手段
３８ 遮光膜
４０ エキシマランプ（第２のエキシマランプ）
４１ 放電容器
４２ 外側管
４３ 内側管
４４ 第１の放電用電極
４５ 第２の放電用電極
５０ エキシマランプ（第３のエキシマランプ）
５１ 放電容器
５２ 外側管
５３ 内側管
５４ 第１の放電用電極
５５ 第２の放電用電極
６０ 希ガス蛍光ランプ（第１の二重管型希ガス蛍光ランプ）
６０Ａ 希ガス蛍光ランプ本体
６１ 放電容器
６２ アパーチャ部
６３ 第１の外部電極
６４ 第２の外部電極
６５ 紫外線反射膜
６６ 低軟化点ガラス層
６７ 蛍光体層
６８ 外管
６９ 蓋部材
７０ 希ガス蛍光ランプ（第２の二重管型希ガス蛍光ランプ）
７１ 給電端子
７４ 冷却ガス導入手段
７５ 冷却ガス導入ノズル
７６ 冷却ガス排出ノズル
８１Ａ 第１の液体冷媒供給源
８１Ｂ 第２の液体冷媒供給源
８２Ａ 第１の流量制御手段
８２Ｂ 第２の流量制御手段
８３Ａ 第１の液体冷媒供給路
８３Ｂ 第２の液体冷媒供給路
８４ 制御部
９０ ランプ
９１ 搬送用ローラー
９２ 搬送用ローラー駆動制御手段
９３ バッファー槽
９４ 液体冷媒流出口
９５ 循環路
９６ 制御部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】