特許 5912022 シート製造装置及び製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5912022

(24)【登録日】2016年4月8日

(45)【発行日】2016年4月27日

(54)【発明の名称】シート製造装置及び製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20160414BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

【請求項の数】4

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2011-211951(P2011-211951)

(22)【出願日】2011年9月28日

(65)【公開番号】特開2013-74100(P2013-74100A)

(43)【公開日】2013年4月22日

【審査請求日】2014年6月5日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100101188

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 義雄

(72)【発明者】

【氏名】石原 崇

【審査官】 鈴木 和樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−０２１２４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０５８４５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０７７４４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１５１１９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１２０２３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０１２８０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１６５３６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３１０８７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１１２７８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０４０８７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０８１０６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１９２８５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１１１７２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１２／０１３５１７６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００８−０９８２７８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込に連なるとともに、前記不要シートを複数に分割することのない短冊状切込を形成する切断刃を備えていることを特徴とするシート製造装置。

【請求項2】

前記短冊状切込は、前記原反の繰出方向に延出して複数設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート製造装置。

【請求項3】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込に連なる短冊状切込を形成して短冊部を形成する短冊刃部を備えた切断刃を有し、前記短冊刃部は、前記切断刃の複数箇所に設けられ、各短冊刃部は、前記短冊状切込を形成できる位置に選択的に配置可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。

【請求項4】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込に連なるとともに、前記不要シートを複数に分割することのない短冊状切込を形成することを特徴とするシート製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート製造装置及び製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で円形状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置では、切込形成後であって、接着シートを剥離シートから剥離する前に、切込の外側に形成された不要シートを剥離シートから剥離して巻き取る巻取手段を有するものが知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−１１６９２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、近時、ウエハにあっては大径化される傾向があり、これに応じて接着シートの径寸法も大きくなる。従って、図４（Ａ）に示されるように、接着シートＡＳは、その繰出方向先端部における当該接着シートＡＳの繰出方向に沿った一定の間隔（以下、「先端縦間隔Ｓｘ」という）に対し、先端縦間隔Ｓｘ進んだ位置での接着シートＡＳの繰出方向に直交する方向に沿った間隔（以下、「先端横間隔Ｓｙ」という）の割合（以下「先端縦横比Ｓｘｙ」という）が大きくなり、微視的に見ると恰も直線であるかのような状態となる。この先端縦横比Ｓｘｙが大きくなると、巻取手段で接着シートＡＳの繰出方向先端部の不要シートを接着シートＡＳから切り離すときに、その切り離しが一挙に広範囲で行われることになる。このような場合、切断手段で形成した切込が不十分で、例えば、接着シートＡＳと不要シートとが完全に分断されていなかったり、接着シートＡＳと不要シートとの接着剤同士が再接着してしまったりしていた場合、接着シートＡＳと不要シートとの切り離しに要する力が接着シートＡＳと剥離シートとの剥離に要する力を上回ってしまう場合があり、当該接着シートＡＳが不要シートと共に巻取手段で巻き取られて接着シートＡＳの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。

【0005】

［発明の目的］
本発明の目的は、繰出方向先端部や後端部に円弧部や直線部を有する接着シートでも、不要シートの剥離、ひいては、接着シートの貼付を良好に行うことができるシート製造装置及び製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0012】

前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込に連なるとともに、前記不要シートを複数に分割することのない短冊状切込を形成する切断刃を備える、という構成を採っている。
ここで、前記短冊状切込は、前記原反の繰出方向に延出して複数設けられる、という構成を採っている。
更に、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込に連なる短冊状切込を形成して短冊部を形成する短冊刃部を備えた切断刃を有し、前記短冊刃部は、前記切断刃の複数箇所に設けられ、各短冊刃部は、前記短冊状切込を形成できる位置に選択的に配置可能に設けられる、という構成を採っている。

【0013】

また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込に連なるとともに、前記不要シートを複数に分割することのない短冊状切込を形成する、という方法を採っている。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、短冊状切込を形成して短冊部を形成するので、不要シートだけを剥離シートから剥離するときに、短冊部から接着シートと不要シートとを切り離すことができる。従って、接着シートの円弧部分が大径であったり、直線であったりしても、短冊部毎、つまり、小領域毎に段階的に切り離し可能となり、先端縦横比が大きな接着シートであっても切り離しが一挙に広範囲で行われることはない。これにより、切断手段で形成した切込が不十分だった場合や、接着シートと不要シートとの接着剤同士が再接着してしまった場合でも、接着シートと不要シートとの切り離しに要する力が接着シートと剥離シートとの剥離に要する力を上回るようなことを極力抑えることができ、接着シートが不要シートとの切り離しの確実性を高め、それらが共に巻き取られることを回避でき、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、不要シートと共に接着シートが巻き取られてしまい、部分的に接着シートが仮着されていない原反が生産されてしまうことを防止することができる上、冊状切込が形成された原反を準備しておき、当該原反をシート貼付装置や貼付方法に用いた場合、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。

【0015】

また、切断手段の切断刃が短冊刃部を有する場合、切込を形成するときに短冊状切込を簡単に形成することが可能となる。

【0016】

更に、複数の短冊刃部が初期剥離領域の切込に連なって短冊状切込を形成し得るように選択的に配置可能となるので、１の短冊刃部が摩耗等によって劣化しても、各短冊刃部の位置を変えて他の短冊刃部を利用できる。

【0017】

また、短冊刃部での切断を複数回行うことで、短冊状切込の深さを安定して所定の深さとすることが可能となる。

【0018】

更に、付勢手段を有する場合、短冊部に張力が加わるので、当該短冊部を確実に短冊毎に接着シートから段階的に切り離すことができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。

【図2】切込形成後の原反の概略斜視図。

【図3】刃基板及び切断刃の展開図。

【図4】（Ａ）及び（Ｂ）は不要シートの剥離要領の説明図。

【図5】変形例の場合の図１のＡｄ矢視図。

【図6】（Ａ）〜（Ｃ）は変形例を示す切込形成後の原反の平面図。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。

【0021】

図１〜図４において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、付勢手段１７と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。

【0022】

前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。

【0023】

前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側で回転可能に設けられたダイカットローラ３６と、原反ＲＳの剥離シートＲＬ側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられたプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を回転させる駆動機器としての回動モータＤＭ３と、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する間隔調整手段であって図示しない直動モータ等の駆動機器とを備えている。

【0024】

前記ダイカットローラ３６は、帯状シートＷＳを切断して切込ＣＵを形成する切断刃４０と、この切断刃４０が表面に突設される刃基板４１と、この刃基板４１を外周に巻き付け可能な円柱状のマグネットシリンダ４３とを備えている。

【0025】

前記切断刃４０は、切込ＣＵを形成するときに、帯状シートＷＳの厚み方向に高さを有するように刃基板４１から突設されている。切断刃４０は、図３に示されるように、刃基板４１を平面に展開したときに、略円形の形状に設けられ、当該形状と同形となる切込ＣＵ（図２参照）を形成可能な円形刃部４６と、この円形刃部４６の周方向９０°間隔毎に４箇所形成され、短冊状切込Ｓｔを形成して短冊部ＴＳを形成可能な短冊刃部４７とを備えている。円形刃部４６の径寸法は、リングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さく、直径４００ｍｍに設定されている。短冊刃部４７は、図３に示されるように、所定間隔毎、具体的には４ｍｍ間隔に設けられた複数の直線状の刃からなり、これら刃の基部が円形刃部４６に連なっている。本実施形態の場合、刃基板４１をエッチング加工して切断刃４０が形成されている。なお、短冊刃部４７の各刃の長さは、同図上及び右側に示されるように、中央に向かうに従って長くなるように形成したり、同図下側に示されるように、それぞれ同じ長さに形成したり、同図左側に示されるように、自由端側を同一直線上に並ぶ長さに形成したり、中央に向かうに従って短くなるように形成したりしてもよい。

【0026】

前記刃基板４１は、マグネットシリンダ４３に磁力を介して着脱可能に設けられている。刃基板４１は、平面に展開したときに、略正方形状に形成され、その４辺に沿うように各短冊刃部４７設けられている。また、刃基板４１は、一辺の長さがマグネットシリンダ４３の外周長さ以下に設けられ、展開した状態から相対する２辺が対向する状態でマグネットシリンダ４３に巻き付け可能となっている。従って、刃基板４１をマグネットシリンダ４３に装着したときに、切断刃４０における短冊刃部４７は、マグネットシリンダ４３の軸方向両側及び周方向両側に位置し、短冊刃部４７の各刃は当該軸方向或いは周方向に平行に延びることとなる。ここで、切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が剥離板１８によって剥離シートＲＬから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Ｓａ（図２参照）となる。初期剥離領域Ｓａは、その繰出方向先端部に円弧部ＳＣを有している。なお、刃基板４１は、マグネットシリンダ４３に巻き付けるときに、対向する２辺を他の２辺に変更したり、マグネットシリンダ４３の軸方向に対する向きを反対にしたりしてもよい。これにより、４つの短冊刃部４７の何れでも初期剥離領域Ｓａにおける切込ＣＵを形成可能となり、短冊刃部４７の劣化状態等に応じて何れかの短冊刃部４７を選択的に利用することが可能となる。

【0027】

ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。

【0028】

前記巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。

【0029】

前記付勢手段１７は、剥離ローラ５０と巻取軸５１との間に設けられ、コンプレッサやタービン等の図示しない加圧手段に接続された排気管６０を備えている。

【0030】

次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。

【0031】

まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。本実施形態では、図１に示されるように、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない領域の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔｒｔとし、当該スタート位置Ｓｔｒｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。

【0032】

そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。この切込ＣＵの形成と共に、短冊刃部４７によって不要シートＵＳに接着シートＡＳの初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＣＵに連なる短冊状切込Ｓｔが形成され、短冊部ＴＳが形成される。短冊状切込Ｓｔは、不要シートＵＳにおいて、接着シートＡＳの初期剥離領域Ｓａ隣接位置を含む切込ＣＵの周方向４箇所位置に形成されている。

【0033】

切込ＣＵの形成後、繰り出された原反ＲＳは、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１に巻き取られる。この不要シートＵＳの剥離において、接着シートＡＳの初期剥離領域Ｓａと不要シートＵＳとの切り離しは、図４に示されるように行われる。同図において、剥離ローラ５０によって不要シートＵＳが剥離力を受け始める位置を、同図中一点鎖線で示すスタート位置ＳＰとする。不要シートＵＳの巻き取りを進行すると、初期剥離領域Ｓａに隣接する短冊状切込Ｓｔが剥離ローラ５０方向に繰り出される。そして、短冊部ＴＳの同図中右端を形成する切込ＣＵがスタート位置ＳＰを通過したときに、その短冊部ＴＳでの不要シートＵＳと接着シートＡＳとが切り離される。この切り離しは、同図（Ａ）に示されるように、先ず、接着シートＡＳの繰り出し方向最前部、つまり、原反ＲＳの幅方向中央部における短冊部ＴＳで最初に行われる。次いで、同図（Ｂ）に示されるように、同図（Ａ）で切り離された短冊部ＴＳの上下両隣りの短冊部ＴＳ右端の切込ＣＵでスタート位置ＳＰを通過して切り離しが行われる。これにより、剥離ローラ５０のスタート位置ＳＰを通過した順に、短冊部ＴＳ毎に段階的に切り離しを行えるようになる。このとき、排気管６０から気体を噴出し、短冊部ＴＳに張力を付与するようにしてもよい。この気体の噴出は、複数の短冊部ＴＳに同時に付勢が行えるように構成してもよいし、排気管６０に複数の噴出口を設け、それぞれの噴出口を個別に開閉し、各短冊部ＴＳ毎に付勢が行えるように構成してもよい。

【0034】

不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、スタート位置Ｓｔｒｔがプラテンローラ３７に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。
ここで、先端縦間隔Ｓｘが１ｍｍの位置での接着シートＡＳと不要シートＵＳとの切り離し状態を微視的に観た場合、当該先端縦間隔Ｓｘが１ｍｍの位置では、先端横間隔Ｓｙが約４０ｍｍとなるので、先端縦横比Ｓｘｙが４０となり、接着シートＡＳは、その剛性のよっては不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりする場合がある。しかしながら、本実施形態の場合、図４（Ａ）に示されるように、短冊刃部４７の間隔が４ｍｍに設定されているため、幅４ｍｍとされた短冊部ＴＳによって先端縦間隔Ｓｘが１ｍｍの位置では、不要シートＵＳが９段階に分けて切り離が行われることになる。つまり、接着シートＡＳの剛性が低くても、先端縦横比を非常に小さくすることができるので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすることを極力抑制することができる。

【0035】

従って、このような実施形態によれば、不要シートＵＳに短冊状切込Ｓｔを形成したので、短冊部ＴＳ毎に接着シートＡＳと不要シートＵＳとの切り離しが行われ、それらの切り離しが段階的に行われるようになる。これにより、接着シートＡＳと不要シートＵＳとの切り離しが一挙に広範囲で行われることを防止することができ、接着シートＡＳ外縁の曲率に拘わらず、切り離しの確実性を高めて接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすること防止することができる。

【0036】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0037】

例えば、前記巻取手段１６を省略し、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、図５に示されるように、剥離板１８で剥離シートＲＬと不要シートＵＳとが折り曲げられたときに、短冊部ＴＳ毎に接着シートＡＳと不要シートＵＳとの切り離しが行われ、それらの切り離しが段階的に行われるようになる。これにより、剥離板１８で初期剥離領域Ｓａが剥離できず、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。このとき、付勢手段１７は、剥離板１８の下方に吸引ポンプや真空エジェクタ等で短冊部ＴＳを吸引したり、剥離板１８で折り返された剥離シートＲＬの上から、ピン等で短冊部ＴＳを下方に押し下げたりする構成を採用することができる。

【0038】

また、切込ＣＵの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、初期剥離領域Ｓａに隣接する不要シートＵＳにおける短冊状切込Ｓｔの切断を複数回行ってもよい。

【0039】

更に、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、繰出手段１４の繰出方向後端部が別途利用されるシート貼付装置等の初期剥離領域Ｓａとなるので、少なくとも接着シートＡＳにおける繰出手段１４の繰出方向後端部に対応する切込ＣＵに連なるように短冊状切込Ｓｔを形成するように切断手段１５を構成すればよい。

【0040】

また、接着シートＡＳ及び切断刃４０の平面形状は、前記実施形態に限定されるものでなく、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等に変更が可能である。
更に、短冊刃部４７及び短冊状切込Ｓｔの平面形状は、例えば、短冊刃部４７を増減したり、１本としたりしてもよい。当該短冊刃部４７の本数を１本とした場合、短冊部ＴＳは、短冊状切込Ｓｔを挟んで原反ＲＳの幅方向に２枚形成されることとなる。
また、短冊刃部４７の間隔は、４ｍｍよりも大きくしたり小さくしたりしてもよい。
更に、図６（Ａ）に示されるように、短冊状切込Ｓｔが接着シートＡＳの繰出方向に直交する方向に延出するようにしたり、同図（Ｂ）に示されるように、短冊状切込Ｓｔが接着シートＡＳの繰出方向に交差する方向に延出するようにしたり、同図（Ｃ）に示されるように、それぞれ平行でない短冊状切込Ｓｔとしたりしてもよい。なお、短冊状切込Ｓｔは、直線形状でなくてもよく、曲線形状、折線形状、それらの組み合わさった形状でもよい。

【0041】

更に、前記実施形態において、初期剥離領域Ｓａに隣接する短冊刃部４７以外の少なくとも一つの短冊刃部４７を省略してもよい。
また、刃基板４１を円形や多角形に形成することで、選択的に利用できる短冊刃部４７の数を増やすことができる。

【0042】

また、切断手段１５は、前記切込ＣＵ及び短冊状切込Ｓｔを形成できる限りにおいて、レーザ光線等の他の切断手段を用いてもよい。
更に、切断刃４０は、エッチング加工により形成されるもの以外に、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。
また、付勢手段１７は、熱気や冷気を噴き付けるようにしてもよいし、帯状シートＷＳが加熱や冷却によって収縮するものの場合、切断手段１５に設けられた図示しないエネルギー付与手段や、冷風送風機等を新たに採用して付勢手段１７とすることもできるし、駆動機器を介して短冊状切込Ｓｔを個別または全体的に押して付勢したり、弾性部材で押して付勢したりする構成としてもよい。

【0043】

更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、種々の設計変更が可能である。
また、間隔調整手段を所謂ベアラで構成してもよいし、間隔調整手段による切断刃４０とプラテンローラ３７との相対間隔は、原反ＲＳの厚みや性質、特に剥離シートＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
更に、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、何ら限定されることはない。
また、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよいし、

【0044】

更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【0045】

また、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。

【符号の説明】

【0046】

１０ シート貼付装置
１４ 繰出手段
１５ 切断手段
１８ 剥離板（剥離手段）
１９ 押圧ローラ（押圧手段）
４０ 切断刃
４７ 短冊刃部
ＡＤ 接着剤層
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＵ 切込
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反
Ｓａ 初期剥離領域（接着シートの繰出方向先端部）
Ｓｔ 短冊状切込
ＴＳ 短冊部
ＵＳ 不要シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ 帯状シート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】