特許 5921371 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5921371

(24)【登録日】2016年4月22日

(45)【発行日】2016年5月24日

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20160510BHJP

   B65D 85/86 20060101ALI20160510BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65D85/38 R

【請求項の数】5

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2012-157410(P2012-157410)

(22)【出願日】2012年7月13日

(65)【公開番号】特開2014-22434(P2014-22434A)

(43)【公開日】2014年2月3日

【審査請求日】2014年10月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112335

【弁理士】

【氏名又は名称】藤本 英介

(74)【代理人】

【識別番号】100101144

【弁理士】

【氏名又は名称】神田 正義

(74)【代理人】

【識別番号】100101694

【弁理士】

【氏名又は名称】宮尾 明茂

(74)【代理人】

【識別番号】100124774

【弁理士】

【氏名又は名称】馬場 信幸

(72)【発明者】

【氏名】小川 統

(72)【発明者】

【氏名】藤森 義昭

【審査官】 儀同 孝信

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００６−２４５１３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−２０４６２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−２０５９９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０７７１６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−００４５３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１４５２６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０６−１７１６８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−０８７４８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−２２００１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０８６８０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０６４３７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０８６７７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−０５８６３３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８５／８６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

丸い基板を収納可能な容器本体と、この容器本体に収納された基板を支持する支持体と、容器本体の開口部を開閉する蓋体と、容器本体の開口部を閉じる蓋体を施錠する施錠機構とを含み、容器本体を略箱形に形成してその相対向する両端面をそれぞれ開口部に形成し、蓋体に、容器本体の開口部内周に接触してシール状態を形成するシールガスケットを取り付けるとともに、蓋体の側面には、施錠機構用の施錠溝を形成した基板収納容器であって、
支持体を、容器本体の内側部に設けられる装着壁と、この装着壁に設けられる棚片と、この棚片の表面に設けられ、基板の裏面周縁部を略水平に支持する支持突部と、棚片の表面に設けられ、支持突部に支持された基板の周縁側部に接触可能な位置ずれ防止壁とから構成し、支持突部の表面よりも位置ずれ防止壁の表面を高位に位置させ、位置ずれ防止壁の基板の周縁側部に接触可能な接触面を基板の周縁側部に応じて湾曲させ、
施錠機構を、容器本体の開口部における周縁側方に支持され、施錠位置と解錠位置との間を移動可能な被操作部材と、容器本体の開口部における周縁側方と被操作部材との間に介在され、被操作部材の移動に応じて容器本体の少なくとも両端面方向に移動する施錠部材とから構成し、施錠部材の容器本体に対向する対向部に、容器本体を貫通して蓋体の施錠溝に接触する施錠爪を形成し、施錠部材の被操作部材に対向する対向部に、被操作部材の複数のカム溝にそれぞれスライド可能に嵌まるカム突起を形成し、
施錠機構の被操作部材が施錠位置に移動した場合には、施錠爪が容器本体の開口部に対向していた蓋体を移動させ、容器本体の開口部と蓋体とを接触させて蓋体のシールガスケットをシール状態とし、施錠機構の被操作部材が解錠位置に移動した場合には、施錠爪が容器本体の開口部から蓋体を離隔するよう移動させて蓋体のシールガスケットのシール状態を解除し、容器本体の開口部から蓋体を一方向に取り外すようにしたことを特徴とする基板収納容器。

【請求項2】

容器本体の開口部における周縁上方と周縁両側方とにフランジを形成し、このフランジ内に蓋体を下方から嵌め入れ、容器本体の開口部に蓋体を対向させるようにした請求項１記載の基板収納容器。

【請求項3】

容器本体を、一対のハーフ容器に略均等に二分割し、この一対のハーフ容器の開口した分割対向部の周縁に、相互に対向する接合フランジをそれぞれ形成し、この複数の接合フランジを密封シール部材を介して接合した請求項１又は２記載の基板収納容器。

【請求項4】

容器本体の開口部における周縁側方のフランジに施錠機構用の取付部を設け、この取付部に施錠機構を設置した請求項２又は３記載の基板収納容器。

【請求項5】

支持体の位置ずれ防止壁を、平面視で容器本体の前後部から略中央部に向かうに従い徐々に細くなるよう形成し、この位置ずれ防止壁の両端部を太くして基板の周縁側部にそれぞれ接触可能とした請求項１ないし４いずれかに記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウェーハの収納、保管、搬送、輸送等に使用される基板収納容器に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体の製造ラインでは、半導体ウェーハに代表される各種の基板が取り扱われるが、この基板の搬送には、図示しない基板収納容器が利用されている（特許文献１、２、３参照）。
この種の基板収納容器は、例えば複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能な容器本体と、この容器本体の正面を開閉する蓋体と、容器本体の正面に嵌合した蓋体を施錠する施錠機構とを備え、半導体の製造工程で基板の搬送に利用される（特許文献１参照）。

【0003】

容器本体は、正面のみが開口したフロントオープンボックスに成形され、内部の両側に、半導体ウェーハを水平に支持する左右一対の支持片が対設されている。また、施錠機構は、蓋体に内蔵されるタイプが主ではあるが、容器本体の側壁に設置されるタイプも存在する（特許文献２参照）。
このような基板収納容器は、半導体の製造装置に併設された蓋体開閉装置に搭載して位置決めされ、容器本体の正面に嵌合された蓋体が蓋体開閉装置により取り外された後、容器本体の開口した正面から基板がローディングされたり、アンローディングされたりする。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第３５９３１２２号

【特許文献2】特開２０１２‐４５３０号公報

【特許文献3】特許第３５４５１６７号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、半導体の製造装置には、容器本体の正面から基板にアクセスできれば十分な製造装置もあれば、容器本体の正面と背面との二方向から基板にアクセスできると、作業時間を短縮して効率的な製造装置も存在する。

【0006】

しかしながら、従来における基板収納容器は、容器本体の正面のみが開口するので、基板のローディングやアンローディングが一方向に限定されることとなる。したがって、例えば基板を他の製造装置に供給したい場合には、容器本体の開口した正面に蓋体を蓋体開閉装置により嵌合し、他の製造装置に向きを変えた基板収納容器の蓋体をドッキングさせて蓋体を取り外した後、基板をローディングしたり、アンローディングしたりしなければ、作業の遅延や煩雑化を招くという問題が生じる。

【0007】

係る問題を解消するため、基板収納容器を回転させてその向きを変えることにより、二方向からの基板のアクセスを可能とする方法が提案されている。しかし、この方法を採用する場合には、基板収納容器を回転させる複雑な回転機構が必要になり、しかも、基板収納容器の方向を検出して制御しなければならないという問題が新たに生じることとなる。

【0008】

本発明は上記に鑑みなされたもので、作業の遅延や煩雑化を招くことなく、容器本体の相対向する二方向から基板にアクセスすることができ、しかも、容器本体の向きを変更する機構や制御等を省略することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明においては上記課題を解決するため、丸い基板を収納可能な容器本体と、この容器本体に収納された基板を支持する支持体と、容器本体の開口部を開閉する蓋体と、容器本体の開口部を閉じる蓋体を施錠する施錠機構とを含み、容器本体を略箱形に形成してその相対向する両端面をそれぞれ開口部に形成し、蓋体に、容器本体の開口部内周に接触してシール状態を形成するシールガスケットを取り付けるとともに、蓋体の側面には、施錠機構用の施錠溝を形成したものであって、
支持体を、容器本体の内側部に設けられる装着壁と、この装着壁に設けられる棚片と、この棚片の表面に設けられ、基板の裏面周縁部を略水平に支持する支持突部と、棚片の表面に設けられ、支持突部に支持された基板の周縁側部に接触可能な位置ずれ防止壁とから構成し、支持突部の表面よりも位置ずれ防止壁の表面を高位に位置させ、位置ずれ防止壁の基板の周縁側部に接触可能な接触面を基板の周縁側部に応じて湾曲させ、
施錠機構を、容器本体の開口部における周縁側方に支持され、施錠位置と解錠位置との間を移動可能な被操作部材と、容器本体の開口部における周縁側方と被操作部材との間に介在され、被操作部材の移動に応じて容器本体の少なくとも両端面方向に移動する施錠部材とから構成し、施錠部材の容器本体に対向する対向部に、容器本体を貫通して蓋体の施錠溝に接触する施錠爪を形成し、施錠部材の被操作部材に対向する対向部に、被操作部材の複数のカム溝にそれぞれスライド可能に嵌まるカム突起を形成し、
施錠機構の被操作部材が施錠位置に移動した場合には、施錠爪が容器本体の開口部に対向していた蓋体を移動させ、容器本体の開口部と蓋体とを接触させて蓋体のシールガスケットをシール状態とし、施錠機構の被操作部材が解錠位置に移動した場合には、施錠爪が容器本体の開口部から蓋体を離隔するよう移動させて蓋体のシールガスケットのシール状態を解除し、容器本体の開口部から蓋体を一方向に取り外すようにしたことを特徴としている。

【0010】

なお、容器本体の開口部における周縁上方と周縁両側方とにフランジを形成し、このフランジ内に蓋体を下方から嵌め入れ、容器本体の開口部に蓋体を対向させることができる。
また、容器本体を、一対のハーフ容器に略均等に二分割し、この一対のハーフ容器の開口した分割対向部の周縁に、相互に対向する接合フランジをそれぞれ形成し、この複数の接合フランジを密封シール部材を介して接合することができる。

【0011】

また、容器本体の開口部における周縁側方のフランジに施錠機構用の取付部を設け、この取付部に施錠機構を設置することもできる。
また、支持体の位置ずれ防止壁を、平面視で容器本体の前後部から略中央部に向かうに従い徐々に細くなるよう形成し、この位置ずれ防止壁の両端部を太くして基板の周縁側部にそれぞれ接触可能とすることも可能である。

【0012】

さらに、容器本体の開口部における周縁側方のフランジに、施錠機構用の貫通孔を設け、
蓋体の側面に、容器本体のフランジの貫通孔に対向可能な施錠機構用の施錠溝を形成し、この施錠溝の上部を開口させ、
施錠機構を、施錠位置と解錠位置との間を移動可能な被操作部材と、この被操作部材の移動に応じて容器本体の少なくとも前後方向に移動する施錠部材と、容器本体のフランジとの間に施錠部材と被操作部材とを挟むカバー部材とから構成し、被操作部材に複数のカム溝を形成し、施錠部材の容器本体に対向する対向面に、容器本体のフランジの貫通孔を貫通して蓋体の施錠溝に接触する施錠爪を形成するとともに、施錠部材の被操作部材に対向する対向面には、被操作部材の複数のカム溝にそれぞれスライド可能に嵌まるカム突起を形成し、被操作部材が施錠位置に移動した場合に、施錠部材を容器本体の前方から後方に移動させることにより、容器本体の開口部に蓋体を接触させることも可能である。

【0013】

ここで、特許請求の範囲における丸い基板は、少なくとも各種大きさの半導体ウェーハやガラス板等が含まれる。この基板は、その一部が切り欠かれていても、全体として略円板であれば良い。また、容器本体と蓋体とは、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。容器本体は、成形法により成形しても良いし、複数の板材等を組み合わせて構成することもできる。さらに、施錠機構は、容器本体の開口側部や蓋体等に設置することが可能である。

【0014】

本発明によれば、容器本体の対向する両端面がそれぞれ開口し、各開口から基板を出し入れすることができるので、基板の出し入れが一方向に制約されることが少ない。したがって、製造装置に基板収納容器の向きを変えて蓋体をドッキングさせ、基板を出し入れする必要がなく、作業の簡易化、迅速化、容易化を図ることができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、作業の遅延や煩雑化を招くことなく、容器本体の相対向する二方向から基板にアクセスすることができるという効果がある。また、容器本体の向きを変更する機構や制御等を省略することができるので、構成や制御の簡素化を図ることができる。また、複数の支持突部に基板の裏面周縁部を支持させるので、基板と支持突部との接触面積の減少に伴い、基板の汚染のおそれを排除することができる。さらに、施錠機構が基板に直接面する蓋体ではなく、容器本体の開口部における周縁側方に位置するので、施錠機構と基板との間に容器本体の側壁を介在させることができ、この介在により、施錠機構の塵埃が容器本体の内部に流入して基板を汚すのを防止することが可能になる。

【0016】

また、請求項２記載の発明によれば、フランジに蓋体が誘導されるので、蓋体が上下方向に位置ずれしたり、左右方向にがたついたりするのを防ぐことができる。したがって、容器本体の開口部に蓋体を適切に対向させることが可能になる。

【0017】

また、請求項３記載の発明によれば、一対のハーフ容器を比較的小さな金型でそれぞれ成形し、この一対のハーフ容器を接続して容器本体を構成することができるので、一体型の容器本体を成形する場合に比べ、製造コストの削減が期待できる。また、容器本体を対称に構成することができるので、搬送時の重心バランスの向上が期待できる。また、一対のハーフ容器の分割対向部を直接接合するのではなく、密封シール部材を挟んで対向する複数の接合フランジを用いて接合するので、気密性を維持しつつ一対のハーフ容器を簡単に接合することが可能になる。

【0018】

また、請求項４記載の発明によれば、施錠機構が基板に面する蓋体ではなく、フランジの側部に設置されて容器本体の外部に位置するので、施錠機構の塵埃が容器本体の外部から内部に流入して基板を汚すのを抑制することが可能になる。
さらに、請求項５記載の発明によれば、基板の周縁側部に位置ずれ防止壁の太い両端部をそれぞれ接触させるので、基板が容器本体の長手方向にずれたり、いずれの開口部からも飛び出たりすることがない。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。

【図2】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す正面説明図である。

【図3】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す側面説明図である。

【図4】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す分解斜視説明図である。

【図5】本発明に係る基板収納容器の実施形態における支持体を模式的に示す斜視説明図である。

【図6】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の施錠溝と施錠機構の下降した施錠爪との関係を模式的に示す説明図である。

【図7】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の施錠溝と施錠機構の施錠爪との関係を模式的に示す説明図である。

【図8】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体、蓋体、施錠機構を模式的に示す分解斜視図である。

【図9】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の被操作板を模式的に示す斜視説明図である。

【図10】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠板を模式的に示す斜視説明図である。

【図11】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構のカバー板を模式的に示す斜視説明図である。

【図12】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるカバー板を取り外した施錠機構の施錠状態を模式的に示す斜視説明図である。

【図13】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるカバー板を取り外した施錠機構の解錠状態を模式的に示す斜視説明図である。

【図14】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠状態を模式的に示す断面説明図である。

【図15】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の解錠状態を模式的に示す断面説明図である。

【図16】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１５に示すように、丸い基板Ｗを収納可能な大型の容器本体１と、この容器本体１に収納された基板Ｗを支持する一対の支持体２０と、容器本体１の開口部３を開閉する着脱自在の蓋体３０と、容器本体１の開口部３を閉鎖する蓋体３０を施錠する複数の施錠機構５０とを備え、容器本体１をボックスに形成してその相対向する前後両端面をそれぞれ開口部３に形成するようにしている。

【0021】

基板Ｗは、図４や図８に示すように、例えばφ３００ｍｍの半導体ウェーハ、具体的には薄い円板のシリコンウェーハからなり、容器本体１内に水平に支持され、複数枚（例えば１０枚）が上下方向に所定の間隔で並べて収納される。この基板Ｗの周縁部には、位置合わせ用のノッチやオリフラが選択的に形成される。このような基板Ｗは、所定の加工と処理とが順次施されることにより、表面に電子回路が形成される。

【0022】

容器本体１、支持体２０、蓋体３０、施錠機構５０は、例えば所要の樹脂を含有する成形材料によりそれぞれ成形される。この成形材料中の樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。

【0023】

容器本体１は、図１、図３、図４に示すように、小さな金型で成形して製造コストを削減する観点から、中間部で一対のハーフ容器１Ａに均等に二分割され、この一対のハーフ容器１Ａの開口した分割対向部８、換言すれば、開口した背面同士が突き合わせて連通接続される。容器本体１は、その内部の両側、具体的には、両側壁の内面に基板Ｗ用の支持体２０が対設され、底板の四隅部等の所定箇所に、容器本体１内の空気を窒素ガスに置換する複数の給排気バルブが着脱自在に嵌着される。

【0024】

容器本体１の底板には、平面矩形状の平坦なボトムプレート２が下方から装着され、このボトムプレート２には、蓋体開閉装置の位置決めピンに上方から嵌合する位置決め具、固定孔、センシング部等が配設される。また、容器本体１の天井には、必要に応じて搬送用のフランジが装着される。

【0025】

一方のハーフ容器１Ａは、図１ないし図４に示すように、開口部３、すなわち正面を横長に区画する角筒形状に構成され、開口部３の周縁上方と周縁両側方とに、外方向に張り出すチャネル形状のフランジ４が一体形成されており、このフランジ４内に蓋体３０が下方から嵌入して上昇するとともに、開口部３に蓋体３０が僅かな隙間をおいて対向した後に圧接されることで、開口部３が蓋体３０により閉鎖される。

【0026】

フランジ４は、図１４や図１５に示すように、断面略Ｚ字形状に屈曲形成され、両側部に、蓋体３０の側面に対向する貫通孔５がそれぞれ縦長に必要数切り欠かれる。フランジ４の両側部の外面には図４や図８に示すように、施錠機構５０用の一対の取付ボス６が上下に並設され、各取付ボス６が円筒形状に形成される。また、フランジ４の両側部の最下方７は短く切り欠かれ、施錠機構５０の一部を操作可能に露出させる（図２参照）。このようなフランジ４は、蓋体３０を上下方向に円滑に案内する他、両側部が施錠機構５０をそれぞれ支持するよう機能する。

【0027】

一方のハーフ容器１Ａの分割対向部８における周縁には、外方向に張り出す枠形状の接合フランジ９が一体形成される。この接合フランジ９には、複数の接合ボス１０が幅方向の中心線に非対称に並べて突出形成され、各接合ボス１０が円筒形状に形成されて締結具が後から螺挿される。また、接合フランジ９には、複数の接合孔１１が幅方向の中心線に非対称に並べて穿孔される。

【0028】

他方のハーフ容器１Ａは、一方のハーフ容器１Ａと同様に構成され、分割対向部８における周縁に、一方のハーフ容器１Ａの接合フランジ９に密封シール部材１２を介して対向接合する枠形状の接合フランジ９が一体形成される。この接合フランジ９には、一方のハーフ容器１Ａの複数の接合ボス１０に嵌合する接合孔１１が配列して穿孔されるとともに、一方のハーフ容器１Ａの複数の接合孔１１に嵌合する接合ボス１０が配列して突出形成され、各接合ボス１０が円筒形状に形成されて締結具が後から螺挿される。

【0029】

密封シール部材１２は、図４に示すように、一対のハーフ容器１Ａの接合フランジ９に対応するよう枠形状に形成され、複数の接合ボス１０に貫通される貫通孔が間隔をおき並べて穿孔される。このような密封シール部材１２は、一対のハーフ容器１Ａが突き合わせて接続されると、一対の接合フランジ９の間から窒素ガスが容器本体１の外部に漏洩するのを有効に防止する。

【0030】

各支持体２０は、図４や図５に示すように、一対のハーフ容器１Ａの内部側面に締結具を介して装着される装着壁２１と、この装着壁２１内面の上下方向に所定の間隔で並設される複数の棚片２２と、各棚片２２の表面に部分的に並設され、基板Ｗの裏面周縁部を水平に支持する複数の支持突部２３と、各棚片２２の表面に部分的に積層され、複数の支持突部２３に支持された基板Ｗの周縁側部に接触可能な位置ずれ防止壁２４とを備えて構成される。

【0031】

各棚片２２は、一対のハーフ容器１Ａの前後方向に伸びる細長い板に形成され、各ハーフ容器１Ａの内方向に水平に位置する。また、複数の支持突部２３は、棚片２２表面の反装着壁２１寄りに配列され、各支持突部２３が断面矩形状あるいは半円形状の短い線条に形成されてハーフ容器１Ａの左右方向に指向する。

【0032】

位置ずれ防止壁２４は、平面視で一対のハーフ容器１Ａの前後部から中央部に向かうに従い徐々に装着壁２１方向に曲がりながら細くなるよう形成され、両端部２５がそれぞれ相対的に太く形成されており、各端部２５が平面略扇形状に形成されて支持突部２３に近接する。この位置ずれ防止壁２４は、肉厚に形成されてその表面２６が複数の支持突部２３の表面よりも高位に位置し、基板Ｗの周縁側部に接触可能な接触面２７が基板Ｗの周縁側部に応じて略円弧形状に湾曲形成されており、基板Ｗがハーフ容器１Ａの前後方向や左右方向にずれるのを防止するよう機能する。

【0033】

蓋体３０は、図１、図２、図４、図１４、図１５に示すように、正面矩形状で横長の板に形成され、蓋体開閉装置により、各ハーフ容器１Ａの開口部３に対向配置された後、ハーフ容器１Ａの開口部３を着脱自在に閉鎖する。この蓋体３０は、施錠機構５０の円滑な動作を確保する観点から、ハーフ容器１Ａのフランジ４における前後方向の深さ（高さ）寸法よりも薄く形成され、表面の両側部に、蓋体開閉装置用の位置決め穴３１がそれぞれ穿孔されており、各位置決め穴３１が円形状や多角形状に形成される。

【0034】

蓋体３０の裏面には、各基板Ｗの周縁前部を保持してその過剰な位置ずれを規制する細長い保持リブが一体形成され、裏面の周縁部には、枠形状のガスケット溝３２が切り欠かれており、このガスケット溝３２には、開口部３用のシールガスケット３３が圧入して嵌着される。シールガスケット３３は、図１４や図１５に示すように、ガスケット溝３２に密嵌される枠形状の枠部３４と、この枠部３４の外周面から外方向に伸びてフランジ４の内周面に圧接する変形可能な先細りの舌片部３５とを備え、各ハーフ容器１Ａの開口部３と蓋体３０との間に介在してシールする。

【0035】

蓋体３０の両側面には図８に示すように、各ハーフ容器１Ａのフランジ４の貫通孔５に対向する施錠機構５０用の施錠溝３６がそれぞれ縦長に切り欠かれ、各施錠溝３６の上部が開口する。この施錠溝３６は、図６や図７に示すように、蓋体３０の側面上部に位置する拡幅の上部溝３７と、この上部溝３７の下部に連接される長い中央溝３８と、この中央溝３８の下部に連接される縮幅の下部溝３９とを一体に備えて形成される。

【0036】

上部溝３７は、施錠機構５０の施錠を容易にしたり、施錠機構５０の不要な干渉を回避する観点から、中央溝３８や下部溝３９よりも幅広に形成され、中央溝３８との間に斜面４０が一体形成される。また、中央溝３８は、下部溝３９よりも幅広に形成され、下部溝３９との間に斜面４０が一体形成される。

【0037】

各施錠機構５０は、図１、図４、図８等に示すように、上下方向の施錠位置と解錠位置との間を移動可能な被操作板５１と、この被操作板５１の移動に応じてハーフ容器１Ａの少なくとも前後方向に移動する施錠板５５と、ハーフ容器１Ａのフランジ４との間に施錠板５５と被操作板５１とを挟持するカバー板５９とを備えて構成される。

【0038】

被操作板５１は、図４、図８、図９等に示すように、例えば多角形状の縦長の板に形成され、ハーフ容器１Ａのフランジ４の取付ボス６に支持されてフランジ４との間に施錠板５５を挟持する。この被操作板５１の中間部付近には、ハーフ容器１Ａの一方の取付ボス６に上下動可能に遊嵌される縦長孔５２が穿孔され、この縦長孔５２の上下近傍には、上下方向に湾曲しながら伸びる施錠板５５用のカム溝５３がそれぞれ切り欠かれる。

【0039】

各カム溝５３は、被操作板５１の前後幅方向、換言すれば、ハーフ容器１Ａの前後方向に傾斜し、上下両端部のうち、少なくとも下端部が下方に直線的に短く伸長する。このカム溝５３は、上端部がハーフ容器１Ａのフランジ４前方から離隔し、下端部がフランジ４前方に近接するよう形成される。

【0040】

被操作板５１の下部には、ハーフ容器１Ａの他方の取付ボス６に摺接する断面略Ｌ字形状の操作片５４が縦長に一体形成され、この操作片５４がフランジ４側部の最下方７から露出する（図２参照）。このような被操作板５１は、露出した操作片５４が外部から自動操作あるいは手動操作されることにより、上方向の解錠位置と下方向の施錠位置との間を上下動する。

【0041】

施錠板５５は、図４、図８、図１０等に示すように、例えば多角形状の縦長の板に形成され、中間部付近に、被操作板５１の縦長孔５２に対向する横長孔５６が穿孔されており、この横長孔５６がハーフ容器１Ａの一方の取付ボス６にスライド可能に遊嵌支持される。この施錠板５５のハーフ容器１Ａのフランジ４に対向する対向面には、フランジ４の貫通孔５を遊貫する上下一対の施錠爪５７が間隔をおき突出形成され、この一対の施錠爪５７が蓋体３０の施錠溝３６に嵌入係止することにより、蓋体３０が施錠機構５０に支持される。

【0042】

一対の施錠爪５７は、図６や図７に示すように、施錠溝３６との間にガタツキが発生するのを防止する観点から、上方の施錠爪５７が施錠溝３６の中央溝３８に密嵌するよう厚く、下方の施錠爪５７が施錠溝３６の下部溝３９に密嵌するよう薄く形成される。また、施錠板５５の被操作板５１に対向する対向面の上下部には、被操作板５１のカム溝５３にスライド可能に嵌合するカム突起５８がそれぞれ突出形成され、各カム突起５８が略円柱形状に形成される。このような施錠板５５は、被操作板５１の上下動に応じてハーフ容器１Ａの側壁に平行な方向に移動する。

【0043】

カバー板５９は、図４、図８、図１１等に示すように、例えば多角形状の縦長の板に形成される。このカバー板５９は、その上下部に螺子孔６０がそれぞれ穿孔され、各螺子孔６０を貫通した螺子６１がハーフ容器１Ａの取付ボス６に螺着されることで固定される。

【0044】

上記構成において、各ハーフ容器１Ａの開口部３を蓋体３０により閉鎖して施錠機構５０で施錠する場合について説明すると、先ず、ハーフ容器１Ａのフランジ４内に蓋体３０が蓋体開閉装置の位置決めピンにより係合支持、あるいは係合支持及び真空吸着支持された状態で下方から嵌入して上昇するとともに、蓋体３０の施錠溝３６に施錠機構５０の施錠爪５７が嵌挿（図１５参照）され、ハーフ容器１Ａの開口部３に蓋体３０が僅かな隙間をおいて対向する（同図参照）。この際、施錠板５５の一対の施錠爪５７は、蓋体３０の上昇に伴い、施錠溝３６の上部溝３７から嵌挿され、相対的に下降して施錠溝３６の中央溝３８と下部溝３９とにそれぞれ密嵌する（図６参照）。

【0045】

次いで、施錠機構５０の被操作板５１の操作片５４が蓋体開閉装置に引き下げられる（図１２参照）と、被操作板５１が施錠位置に下降してその縦長孔５２の上端部を取付ボス６に接触させ、被操作板５１のカム溝５３の上端部と施錠板５５のカム突起５８とが係合するとともに、施錠板５５の横長孔５６の一側部と取付ボス６とが接触し、施錠板５５がハーフ容器１Ａの開口部３から分割対向部８方向、換言すれば、シール方向に移動する（図１４の矢印参照）。

【0046】

こうして施錠板５５がハーフ容器１Ａの分割対向部８方向に移動すると、施錠板５５の施錠爪５７がハーフ容器１Ａの分割対向部８方向に移動することにより、ハーフ容器１Ａの開口部３に蓋体３０が圧接するとともに、ハーフ容器１Ａの開口部３にシールガスケット３３の舌片部３５が圧接変形し、開口部３が蓋体３０により強固に閉鎖される（図１４参照）。この際、基板Ｗの周縁前部に蓋体３０の保持リブが嵌入して保持するので、基板Ｗのガタツキが有効に防止される。

【0047】

これに対し、施錠機構５０を解錠して各ハーフ容器１Ａの開口部３から蓋体３０を取り外し可能にする場合には、蓋体３０が蓋体開閉装置の位置決めピンにより係合支持、あるいは係合支持及び真空吸着支持され、施錠機構５０の被操作板５１の操作片５４が蓋体開閉装置に突き上げられる（図１３参照）。すると、被操作板５１が解錠位置に上昇してその縦長孔５２の下端部を取付ボス６に接触させ、被操作板５１のカム溝５３の下端部と施錠板５５のカム突起５８とが係合するとともに、施錠板５５の横長孔５６の他側部と取付ボス６とが接触し、施錠板５５がハーフ容器１Ａのシール方向から反シール方向に移動する（図１５の矢印参照）。

【0048】

施錠板５５がハーフ容器１Ａの反シール方向に移動すると、施錠板５５の施錠爪５７がハーフ容器１Ａの反シール方向に移動することにより、ハーフ容器１Ａの開口部３に接触していた蓋体３０が離隔して対向し、ハーフ容器１Ａの開口部３に圧接していたシールガスケット３３の舌片部３５も離隔し、蓋体３０がハーフ容器１Ａの開口部３から取り外し可能な状態となる（図１５参照）。

【0049】

その後、蓋体３０は、蓋体開閉装置の位置決めピンにより係合支持、あるいは係合支持及び真空吸着支持された状態で下降し、施錠溝３６に対する施錠板５５の施錠爪５７の干渉が解除される。この際、施錠溝３６の上部溝３７が施錠爪５７との不要な接触を容易に回避するよう拡幅されているので、上部溝３７と施錠爪５７とが摺接するのを抑制し、摺接に伴うパーティクルの発生を有効に防止することができる（図７参照）。

【0050】

上記構成によれば、容器本体１の正面と背面の両面が開口し、各開口部３から基板Ｗを出し入れすることができ、容器本体１の運用性が向上するので、基板Ｗのローディングやアンローディングが一方向に限定されることがない。したがって、例えば基板Ｗを他の製造装置に供給したい場合に、他の製造装置に向きを変えた基板収納容器の蓋体３０をドッキングさせ、基板Ｗをローディングしたり、アンローディングする必要がなく、作業の著しい簡易化、迅速化、容易化を図ることができる。また、基板収納容器を回転させてその向きを変える複雑な回転機構を省くことができ、しかも、基板収納容器の方向を検出して制御する必要もない。

【0051】

また、棚片２２の表面に基板Ｗの裏面周縁部を水平に支持させるのではなく、複数の支持突部２３のみに基板Ｗの裏面周縁部を支持させるので、基板Ｗの支持面積の減少に伴い、基板Ｗの汚染のおそれを有効に排除することができる。また、位置ずれ防止壁２４の湾曲した太い両端部２５が基板Ｗの周縁側部にそれぞれ接触するので、基板Ｗが一対のハーフ容器１Ａの長手方向にずれるのを有効に防止することができる。

【0052】

さらに、施錠機構５０が基板Ｗに直接面する蓋体３０ではなく、フランジ４の両側部に設置されて容器本体１の外部に位置し、施錠機構５０と基板Ｗとの間に容器本体１の側壁が介在するので、施錠機構５０の塵埃が容器本体１の内部に流入して基板Ｗを汚すのを防止することが可能になる。

【0053】

次に、図１６は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１を一対のハーフ容器１Ａに均等に二分割するのではなく、当初から一体成形するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。

【0054】

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、容器本体１の寸法精度を著しく向上させ、一対の接合フランジ９間から窒素ガスが外部に漏洩するおそれを排除することができるのは明らかである。また、接合フランジ９、接合ボス１０、接合孔１１を省略することができるので、構成の簡素化を図ることができる。

【0055】

なお、上記実施形態では基板Ｗをφ３００ｍｍの半導体ウェーハとしたが、何らこれに限定されるものではなく、φ４５０ｍｍの半導体ウェーハ等としても良い。また、容器本体１、蓋体３０、施錠機構５０を所要の樹脂を含有する成形材料により成形したが、耐久性を向上させたい場合には、容器本体１、蓋体３０、施錠機構５０を各種の金属材料により形成しても良い。また、容器本体１の内部両側に支持体２０を締結具によりそれぞれ螺着固定したが、容器本体１と支持体２０のいずれか一方に凹部を、他方には凸部を形成し、これら凹部と凸部とを嵌合して支持体２０を固定しても良い。

【0056】

また、一対の接合フランジ９の間に密封シール部材１２を挟んでも良いが、シール用のＯリング等を代わりに挟むこともできる。また、基板Ｗの汚染を防止する観点から、容器本体１に吸湿材を内蔵したり、又は蓋体３０を中空に形成して吸湿材を内蔵したり、吸湿ガスを充填することもできる。また、蓋体３０の裏面に保持リブを一体形成するのではなく、別体の保持部材を着脱自在に装着することもできる。

【0057】

さらに、施錠機構５０を、蓋体３０の内部両側にそれぞれ支持されて外部から回転操作される複数の回転プレートと、各回転プレートの回転に伴い蓋体３０の上下方向にスライドする複数の進退動プレートと、各進退動プレートのスライドに伴い蓋体の周壁から出没して容器本体１の開口部３内周に接離する複数の施錠爪とから構成することも可能である。

【産業上の利用可能性】

【0058】

本発明に係る基板収納容器は、半導体の製造分野等で使用することができる。

【符号の説明】

【0059】

１ 容器本体
１Ａ ハーフ容器
３ 開口部
４ フランジ
５ 貫通孔
６ 取付ボス（取付部）
８ 分割対向部
９ 接合フランジ
１２ 密封シール部材
２０ 支持体
２１ 装着壁
２２ 棚片
２３ 支持突部
２４ 位置ずれ防止壁
２５ 端部
２６ 表面
２７ 接触面
３０ 蓋体
３６ 施錠溝
３７ 上部溝
３８ 中央溝
３９ 下部溝
５０ 施錠機構
５１ 被操作板
５５ 施錠板
５９ カバー板
Ｗ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】