特許第5922642号(P5922642)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5922642パターン付き多層ワークピースをレーザスクライブする際のデブリの生成を微少にするレーザエネルギー透過ストップ層の利用
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  • 特許5922642-パターン付き多層ワークピースをレーザスクライブする際のデブリの生成を微少にするレーザエネルギー透過ストップ層の利用 図000003
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  • 特許5922642-パターン付き多層ワークピースをレーザスクライブする際のデブリの生成を微少にするレーザエネルギー透過ストップ層の利用 図000009
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