特許 5924048出願番号 特願 2012-59721
ポリイミド積層体の製造方法
出願人 日本ゼオン株式会社（識別番号 229117）
2026年 特許公開件数ランキング 286位 87件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 145位 151件（※）
公報発行日 2016年5月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5924048 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
膜厚が均一で、かつ、表面平坦性に優れるポリイミド樹脂膜を有するポリイミド積層体の製造方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明は、上述した実情に鑑みてなされたものであって、膜厚が均一で、かつ、表面平坦性に優れるポリイミド樹脂膜を有するポリイミド積層体の製造方法を提供することを目的とする。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明者は、課題を解決すべく鋭意研究した結果、基板上にポリイミド前駆体樹脂膜を形成した後、このポリイミド前駆体樹脂膜を所定の温度に加熱し、次いで、ポリイミド前駆体樹脂膜の表面を平坦化した後、再度加熱してポリイミド樹脂膜を形成することで、目的の特性を有するポリイミド積層体が効率よく得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【発明の効果】
本発明のポリイミド積層体の製造方法によれば、膜厚が均一で、かつ、表面平坦性に優れるポリイミド樹脂膜を有するポリイミド積層体を得ることができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】実施例１で形成されたポリイミド樹脂膜の表面の写真である。
【図2】比較例１で形成されたポリイミド樹脂膜の表面の写真である。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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