特許5924872プラズマ発生装置による絶縁性窒化層の形成方法およびプラズマ発生装置

発明の名称　プラズマ発生装置による絶縁性窒化層の形成方法およびプラズマ発生装置

出願人　ワイエス電子工業株式会社　（識別番号 591090828）

　　　　特許公開件数ランキング 1849 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1763 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5924872

公報発行日　2016年5月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5924872

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