特許5925404微小化構造を有する物体を検査及び加工するための電子顕微鏡、並びに、当該物体の製造方法

発明の名称　微小化構造を有する物体を検査及び加工するための電子顕微鏡、並びに、当該物体の製造方法

出願人　カール　ツァイス　マイクロスコーピー　ゲーエムベーハー　（識別番号 512158505）

　　　　特許公開件数ランキング 30926 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9241 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5925404

公報発行日　2016年5月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5925404

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