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特許5930553ＬＰＰ方式のＥＵＶ光源とその発生方法
発明の名称 ＬＰＰ方式のＥＵＶ光源とその発生方法
出願人 株式会社ＩＨＩ （識別番号 99）
特許公開件数ランキング 320 位（106件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 175 位（171件）（共同出願を含む）
出願人 国立大学法人東京工業大学 （識別番号 304021417）
特許公開件数ランキング 340 位（165件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 364 位（153件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5930553
公報発行日 2016年6月8
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5930553
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