特許 5932100 ヒートシンクを含む熱アシスト磁気記録ヘッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5932100

(24)【登録日】2016年5月13日

(45)【発行日】2016年6月8日

(54)【発明の名称】ヒートシンクを含む熱アシスト磁気記録ヘッド

(51)【国際特許分類】

   G11B 5/31 20060101AFI20160526BHJP

   G11B 5/02 20060101ALI20160526BHJP

【ＦＩ】

   G11B5/31 Z

   G11B5/31 D

   G11B5/31 Q

   G11B5/02 T

【請求項の数】9

【全頁数】34

(21)【出願番号】特願2015-84725(P2015-84725)

(22)【出願日】2015年4月17日

(65)【公開番号】特開2016-54018(P2016-54018A)

(43)【公開日】2016年4月14日

【審査請求日】2015年4月17日

(31)【優先権主張番号】14/475,090

(32)【優先日】2014年9月2日

(33)【優先権主張国】US

(73)【特許権者】

【識別番号】500475649

【氏名又は名称】ヘッドウェイテクノロジーズ インコーポレイテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100107559

【弁理士】

【氏名又は名称】星宮 勝美

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 芳高

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 浩幸

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 一樹

(72)【発明者】

【氏名】池川 幸徳

(72)【発明者】

【氏名】富田 誠一郎

(72)【発明者】

【氏名】間宮 秀雄

【審査官】 斎藤 眞

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−０５９４１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１３３８７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０６２００４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−０５６２００（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ１１Ｂ ５／００−５／０２４

Ｇ１１Ｂ ５／３１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された第１の端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極と、
光を伝搬させるコアと、前記コアの周囲に配置されたクラッドとを有する導波路と、
前記媒体対向面に配置された近接場光発生部を有するプラズモンジェネレータと、
ヒートシンクとを備えた熱アシスト磁気記録ヘッドであって、
前記第１の端面と前記近接場光発生部は、前記記録媒体の進行方向について互いに異なる位置に配置され、
前記プラズモンジェネレータは、前記コアを伝搬する光に基づいて前記プラズモンジェネレータに表面プラズモンが励起され、この表面プラズモンに基づいて前記近接場光発生部より近接場光を発生するように構成され、
前記ヒートシンクは、それぞれ前記媒体対向面に配置された端面を有する、少なくとも１つの第１の部分と少なくとも１つの第２の部分とを有し、
前記少なくとも１つの第１の部分は、前記主磁極のトラック幅方向の外側に、前記主磁極に対して間隔を開けて配置され、
前記少なくとも１つの第２の部分の少なくとも一部は、前記少なくとも１つの第１の部分と前記主磁極との間に配置され、
前記主磁極と前記少なくとも１つの第１の部分は、いずれも磁性金属よりなり、
前記少なくとも１つの第２の部分は、非磁性金属よりなることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド。

【請求項2】

前記主磁極を構成する磁性金属と前記少なくとも１つの第１の部分を構成する磁性金属は、同じであることを特徴とする請求項１記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。

【請求項3】

前記非磁性金属は、Ａｕ，Ａｇ，Ａｌ，Ｃｕ，Ｍｏ，Ｗ，Ｉｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｃｒ，Ｐｄ，Ｐｔのいずれかであることを特徴とする請求項１記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。

【請求項4】

前記コアは、コアを伝搬する光に基づいてエバネッセント光を発生するエバネッセント光発生面を有し、
前記プラズモンジェネレータは、前記エバネッセント光発生面に対して所定の間隔をもって対向するプラズモン励起部を有し、
前記プラズモンジェネレータでは、前記プラズモン励起部において、前記エバネッセント光発生面より発生されるエバネッセント光と結合することによって前記表面プラズモンが励起され、この表面プラズモンが前記近接場光発生部に伝搬され、この表面プラズモンに基づいて前記近接場光発生部より前記近接場光が発生されることを特徴とする請求項１記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。

【請求項5】

前記少なくとも１つの第１の部分は、前記主磁極のトラック幅方向の両側に、それぞれ前記主磁極に対して間隔を開けて配置された２つの第１の部分であり、
前記少なくとも１つの第２の部分は、それぞれ、少なくとも一部が前記２つの第１の部分と前記主磁極との間に配置された２つの第２の部分であることを特徴とする請求項１記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。

【請求項6】

更に、磁性材料よりなり、前記媒体対向面に配置された第２の端面を有するシールドと、磁性材料よりなり、前記主磁極と前記シールドとを接続し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させる帰磁路部とを備え、
前記第１の端面と前記第２の端面は、前記記録媒体の進行方向について互いに異なる位置に配置され、
前記近接場光発生部は、前記第１の端面と前記第２の端面の間に配置され、
前記帰磁路部は、第１のヨーク部分と、第２のヨーク部分と、第１の柱状部分と、第２の柱状部分と、第３の柱状部分とを含み、
前記第１のヨーク部分、第２のヨーク部分および第１の柱状部分は、前記コアに対して、前記記録媒体の進行方向における同じ側に配置され、
前記第１の柱状部分は、前記記録媒体の進行方向において互いに反対側に位置する第１の端部と第２の端部を有し、且つ前記媒体対向面から離れた位置にあり、
前記第２および第３の柱状部分は、前記第１の柱状部分よりも、前記媒体対向面により近い位置にあり、
前記第１のヨーク部分は、前記主磁極と前記第１の柱状部分の前記第１の端部とを接続し、
前記第２の柱状部分と第３の柱状部分は、前記プラズモンジェネレータのトラック幅方向の両側に配置されて、前記シールドに接続され、
前記第２のヨーク部分は、前記第１の柱状部分の前記第２の端部に接続され、且つ前記第２および第３の柱状部分を介して前記シールドに接続され、
前記コイルは、前記第１の柱状部分の周りに巻回され、
前記第２および第３の柱状部分が、前記２つの第１の部分を構成することを特徴とする請求項５記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。

【請求項7】

前記コアは、前記媒体対向面に向いた前端面を有し、
前記前端面は、前記記録媒体の進行方向において互いに反対側に位置する第１の端縁と第２の端縁を有し、
前記第１の端縁は、前記第２の端縁よりも、前記近接場光発生部により近い位置にあり、
前記前端面を、前記第１の端縁と第２の端縁の中間の位置から前記第１の端縁までの第１の領域と、前記中間の位置から前記第２の端縁までの第２の領域に分けたときに、前記シールドは、前記媒体対向面に垂直な方向から見て、前記前端面のうちの前記第１の領域にのみオーバーラップしていることを特徴とする請求項６記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。

【請求項8】

前記シールドは、前記媒体対向面に垂直な方向から見て、前記コアの前記前端面のトラック幅方向の両側に配置された第１の非オーバーラップ部分と第２の非オーバーラップ部分を有し、
前記第２の柱状部分は、前記第１の非オーバーラップ部分に接続され、
前記第３の柱状部分は、前記第２の非オーバーラップ部分に接続されていることを特徴とする請求項７記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。

【請求項9】

前記第１の端面と前記第２の端面は、互いに５０〜３００ｎｍの範囲内の距離を隔てていることを特徴とする請求項７記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、記録媒体に近接場光を照射して記録媒体の保磁力を低下させて情報の記録を行う熱アシスト磁気記録に用いられる熱アシスト磁気記録ヘッドに関する。

【背景技術】

【0002】

近年、磁気ディスク装置等の磁気記録装置では、高記録密度化に伴い、薄膜磁気ヘッドおよび記録媒体の性能向上が要求されている。薄膜磁気ヘッドとしては、基板に対して、読み出し用の磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ（Magnetoresistive）素子とも記す。）を有する再生ヘッド部と書き込み用の誘導型電磁変換素子を有する記録ヘッド部とを積層した構造の複合型薄膜磁気ヘッドが広く用いられている。磁気ディスク装置において、薄膜磁気ヘッドは、記録媒体の表面からわずかに浮上するスライダに設けられる。スライダは、記録媒体に対向する媒体対向面を有している。この媒体対向面は、空気流入端（リーディング端）と空気流出端（トレーリング端）とを有している。

【0003】

ここで、基準の位置に対して、よりリーディング端に近い位置をリーディング側と定義し、基準の位置に対して、よりトレーリング端に近い位置をトレーリング側と定義する。リーディング側は、スライダに対する記録媒体の進行方向の後側である。トレーリング側は、スライダに対する記録媒体の進行方向の前側である。

【0004】

磁気記録装置において、記録密度を高めるためには、記録媒体の磁性微粒子を小さくすることが効果的である。しかし、磁性微粒子を小さくすると、磁性微粒子の磁化の熱安定性が低下するという問題が発生する。この問題を解消するには、磁性微粒子の異方性エネルギーを大きくすることが効果的である。しかし、磁性微粒子の異方性エネルギーを大きくすると、記録媒体の保磁力が大きくなって、既存の磁気ヘッドでは情報の記録が困難になるという問題が発生する。

【0005】

上述のような問題を解決する方法として、いわゆる熱アシスト磁気記録という方法が提案されている。この方法では、保磁力の大きな記録媒体を使用し、情報の記録時には、記録媒体のうち情報が記録される部分に対して記録磁界と同時に熱も加えて、その部分の温度を上昇させ保磁力を低下させて情報の記録を行う。情報が記録された部分は、その後、温度が低下して保磁力が大きくなり、磁化の熱安定性が高まる。以下、熱アシスト磁気記録に用いられる磁気ヘッドを、熱アシスト磁気記録ヘッドと呼ぶ。

【0006】

熱アシスト磁気記録では、記録媒体に対して熱を加える方法としては、近接場光を用いる方法が一般的である。近接場光を発生させる方法としては、レーザ光によって励起されたプラズモンから近接場光を発生する金属片であるプラズモンジェネレータを用いる方法が知られている。また、一般的に、近接場光の発生に利用されるレーザ光は、スライダに設けられた導波路によって、スライダの媒体対向面の近傍に設けられたプラズモンジェネレータに導かれる。

【0007】

特許文献１、特許文献２および特許文献３には、導波路のコアの表面とプラズモンジェネレータの表面とをギャップを介して対向させ、コアを伝搬する光に基づいてコアの表面で発生するエバネッセント光を用いて、プラズモンジェネレータに表面プラズモンを励起させ、この表面プラズモンに基づいて近接場光を発生させる技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】米国特許出願公開第２０１１／００５８２７２Ａ１号明細書

【特許文献2】特開２０１１−１４６０９７号公報

【特許文献3】特許第５５５８６１０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

近接場光の発生源としてプラズモンジェネレータを用いた熱アシスト磁気記録ヘッドでは、記録ヘッド部は、コイルと主磁極とプラズモンジェネレータとを有している。コイルは、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。主磁極は、媒体対向面に配置された端面を有している。主磁極は、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させ、上記端面から記録磁界を発生する。プラズモンジェネレータは、媒体対向面に配置された近接場光発生部を有している。熱アシスト磁気記録ヘッドでは、主磁極の端面とプラズモンジェネレータの近接場光発生部とを近づけることが求められる。

【0010】

ところで、熱アシスト磁気記録ヘッドは、クラウドコンピューティングビジネス用に代表されるようなハイエンド、大容量の磁気ディスク装置に多く使われようとしている。そのため、ハイエンド、大容量の磁気ディスク装置に適用できる、信頼性の高い熱アシスト磁気記録ヘッドが求められている。

【0011】

しかし、熱アシスト磁気記録ヘッドでは、プラズモンジェネレータが発生する熱に起因して、主磁極の腐食が発生することによって、寿命が短くなることが問題となっていた。主磁極の腐食は、以下のようにして発生する。プラズモンジェネレータが発生する熱は、ヘッド内部および／または記録媒体を経由して主磁極に伝わる。その結果、主磁極が高温になる。この高温の主磁極が大気中の酸素および水分と化学反応を起こして、主磁極が腐食する。

【0012】

上記の問題の解決方法の１つは、主磁極の周囲にヒートシンクを設けることである。特許文献２には、主磁極のトラック幅方向の両側に、非磁性金属よりなる２つの金属層が設けられた熱アシスト磁気記録ヘッド（以下、従来のヘッドと言う。）が開示されている。

【0013】

従来のヘッドでは、２つの金属層の放熱性能を向上させるためには、２つの金属層の体積、および媒体対向面に露出する２つの金属層の２つの端面の面積を大きくする必要がある。しかし、従来のヘッドでは、以下の第１および第２の問題が生じていた。

【0014】

第１の問題は、主磁極の周囲に、主磁極とは材料が異なる２つの金属層が広範囲にわたって存在することによって、２つの金属層に大きな応力が発生して、２つの金属層が剥がれたり、２つの金属層の近傍に存在するプラズモンジェネレータが損傷したりするおそれがあることである。

【0015】

第２の問題は、ヘッドのコストが増加することである。すなわち、２つの金属層の材料としては、熱伝導率が大きい非磁性金属が適している。熱伝導率が大きい非磁性金属としては、Ａｕ、Ａｇ等の貴金属がある。しかし、このような貴金属を用いて、体積が大きい２つの金属層を形成すると、ヘッドのコストが増加する。

【0016】

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、主磁極用のヒートシンクを非磁性金属のみによって構成することによる問題の発生を抑制でき、且つヒートシンクの放熱性能を向上させることができるようにした熱アシスト磁気記録ヘッドを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0017】

本発明の熱アシスト磁気記録ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面と、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、主磁極と、導波路と、プラズモンジェネレータと、ヒートシンクとを備えている。主磁極は、媒体対向面に配置された第１の端面を有している。主磁極は、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。導波路は、光を伝搬させるコアと、コアの周囲に配置されたクラッドとを有している。プラズモンジェネレータは、媒体対向面に配置された近接場光発生部を有している。

【0018】

第１の端面と近接場光発生部は、記録媒体の進行方向について互いに異なる位置に配置されている。プラズモンジェネレータは、コアを伝搬する光に基づいてプラズモンジェネレータに表面プラズモンが励起され、この表面プラズモンに基づいて近接場光発生部より近接場光を発生するように構成されている。

【0019】

ヒートシンクは、それぞれ媒体対向面に配置された端面を有する、少なくとも１つの第１の部分と少なくとも１つの第２の部分とを有している。少なくとも１つの第１の部分は、主磁極のトラック幅方向の外側に、主磁極に対して間隔を開けて配置されている。少なくとも１つの第２の部分の少なくとも一部は、少なくとも１つの第１の部分と主磁極との間に配置されている。主磁極と少なくとも１つの第１の部分は、いずれも磁性金属よりなる。少なくとも１つの第２の部分は、非磁性金属よりなる。

【0020】

本発明の熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、主磁極を構成する磁性金属と少なくとも１つの第１の部分を構成する磁性金属は、同じであってもよい。

【0021】

また、本発明の熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、非磁性金属は、Ａｕ，Ａｇ，Ａｌ，Ｃｕ，Ｍｏ，Ｗ，Ｉｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｃｒ，Ｐｄ，Ｐｔのいずれかであってもよい。

【0022】

また、本発明の熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、コアは、コアを伝搬する光に基づいてエバネッセント光を発生するエバネッセント光発生面を有し、プラズモンジェネレータは、エバネッセント光発生面に対して所定の間隔をもって対向するプラズモン励起部を有していてもよい。この場合、プラズモンジェネレータでは、プラズモン励起部において、エバネッセント光発生面より発生されるエバネッセント光と結合することによって表面プラズモンが励起され、この表面プラズモンが近接場光発生部に伝搬され、この表面プラズモンに基づいて近接場光発生部より近接場光が発生される。

【0023】

また、本発明の熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、少なくとも１つの第１の部分は、主磁極のトラック幅方向の両側に、それぞれ主磁極に対して間隔を開けて配置された２つの第１の部分であってもよく、少なくとも１つの第２の部分は、それぞれ、少なくとも一部が２つの第１の部分と主磁極との間に配置された２つの第２の部分であってもよい。

【0024】

ヒートシンクが２つの第１の部分と２つの第２の部分を有する場合、本発明の熱アシスト磁気記録ヘッドは、更に、磁性材料よりなるシールドと、磁性材料よりなる帰磁路部とを備えていてもよい。シールドは、媒体対向面に配置された第２の端面を有している。帰磁路部は、主磁極とシールドとを接続し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させる。第１の端面と第２の端面は、記録媒体の進行方向について互いに異なる位置に配置され、近接場光発生部は、第１の端面と第２の端面の間に配置されている。

【0025】

帰磁路部は、第１のヨーク部分と、第２のヨーク部分と、第１の柱状部分と、第２の柱状部分と、第３の柱状部分とを含んでいる。第１のヨーク部分、第２のヨーク部分および第１の柱状部分は、コアに対して、記録媒体の進行方向における同じ側に配置されている。第１の柱状部分は、記録媒体の進行方向において互いに反対側に位置する第１の端部と第２の端部を有し、且つ媒体対向面から離れた位置にある。第２および第３の柱状部分は、第１の柱状部分よりも、媒体対向面により近い位置にある。第１のヨーク部分は、主磁極と第１の柱状部分の第１の端部とを接続している。第２の柱状部分と第３の柱状部分は、プラズモンジェネレータのトラック幅方向の両側に配置されて、シールドに接続されている。第２のヨーク部分は、第１の柱状部分の第２の端部に接続され、且つ第２および第３の柱状部分を介してシールドに接続されている。コイルは、第１の柱状部分の周りに巻回されている。第２および第３の柱状部分は、２つの第１の部分を構成する。

【0026】

本発明の熱アシスト磁気記録ヘッドが、シールドと帰磁路部を備えている場合には、コアは、媒体対向面に向いた前端面を有していてもよく、この前端面は、記録媒体の進行方向において互いに反対側に位置する第１の端縁と第２の端縁を有していてもよい。第１の端縁は、第２の端縁よりも、近接場光発生部により近い位置にある。コアの前端面を、第１の端縁と第２の端縁の中間の位置から第１の端縁までの第１の領域と、中間の位置から第２の端縁までの第２の領域に分けたときに、シールドは、媒体対向面に垂直な方向から見て、前端面のうちの第１の領域にのみオーバーラップしていてもよい。

【0027】

また、シールドは、媒体対向面に垂直な方向から見て、コアの前端面のトラック幅方向の両側に配置された第１の非オーバーラップ部分と第２の非オーバーラップ部分を有していてもよい。この場合、第２の柱状部分は第１の非オーバーラップ部分に接続され、第３の柱状部分は第２の非オーバーラップ部分に接続されている。また、第１の端面と第２の端面は、互いに５０〜３００ｎｍの範囲内の距離を隔てていてもよい。

【発明の効果】

【0028】

本発明の熱アシスト磁気記録ヘッドによれば、主磁極用のヒートシンクを非磁性金属のみによって構成する場合に比べて、ヒートシンクに用いられる非磁性金属の量を少なくすることができる。そのため、本発明によれば、主磁極用のヒートシンクを非磁性金属のみによって構成することによる問題の発生を抑制することができるという効果を奏する。

【0029】

また、本発明の熱アシスト磁気記録ヘッドによれば、少なくとも１つの第２の部分の体積および端面の面積が小さくても、少なくとも１つの第１の部分と少なくとも１つの第２の部分の合計の体積ならびに少なくとも１つの第１の部分の端面と少なくとも１つの第２の部分の端面の合計の面積を大きくして、主磁極の冷却効率を向上させることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】本発明の第１の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。

【図2】図１における一部を拡大して示す斜視図である。

【図3】本発明の第１の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの構成を示す断面図である。

【図4】本発明の第１の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。

【図5】本発明の第１の実施の形態におけるコイルの第１層を示す平面図である。

【図6】本発明の第１の実施の形態におけるコイルの第２層を示す平面図である。

【図7】本発明の第２の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。

【図8】図７における一部を示す斜視図である。

【図9】本発明の第２の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの構成を示す断面図である。

【図10】本発明の第２の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。

【図11】本発明の第２の実施の形態におけるコイルの第１層を示す平面図である。

【図12】本発明の第２の実施の形態におけるコイルの第２層を示す平面図である。

【図13】本発明の第３の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。

【図14】本発明の第３の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの構成を示す断面図である。

【図15】本発明の第３の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。

【図16】本発明の第４の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。

【図17】本発明の第４の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す正面図である。

【図18】本発明の第４の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの構成を示す断面図である。

【図19】本発明の第４の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。

【図20】本発明の第４の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの一部を示す平面図である。

【図21】本発明の第５の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。

【図22】本発明の第６の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。

【図23】本発明の第６の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの構成を示す断面図である。

【図24】本発明の第６の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0031】

［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図１ないし図６を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの構成について説明する。図１は、熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。図２は、図１における一部を拡大して示す斜視図である。図３は、熱アシスト磁気記録ヘッドの構成を示す断面図である。図４は、熱アシスト磁気記録ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図５は、本実施の形態におけるコイルの第１層を示す平面図である。図６は、本実施の形態におけるコイルの第２層を示す平面図である。

【0032】

本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドは、垂直磁気記録用であり、回転する記録媒体の表面から浮上するスライダの形態を有している。記録媒体が回転すると、記録媒体とスライダとの間を通過する空気流によって、スライダに揚力が生じる。スライダは、この揚力によって記録媒体の表面から浮上するようになっている。

【0033】

図３に示したように、熱アシスト磁気記録ヘッドは、記録媒体８０に対向する媒体対向面６０を備えている。ここで、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を以下のように定義する。Ｘ方向は、記録媒体８０のトラック横断方向すなわちトラック幅方向である。Ｙ方向は、媒体対向面６０に垂直な方向である。Ｚ方向は、スライダから見た記録媒体８０の進行方向である。Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向は互いに直交している。

【0034】

図３および図４に示したように、熱アシスト磁気記録ヘッドは、アルミニウムオキサイド・チタニウムカーバイド（Ａｌ₂Ｏ₃・ＴｉＣ）等のセラミック材料よりなり、上面１ａを有する基板１と、この基板１の上面１ａ上に配置されたアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）等の絶縁材料よりなる絶縁層２と、この絶縁層２の上に配置された磁性材料よりなる下部シールド層３と、下部シールド層３を覆うように配置された絶縁膜である下部シールドギャップ膜４と、この下部シールドギャップ膜４の上に配置された再生素子としてのＭＲ（磁気抵抗効果）素子５と、このＭＲ素子５に接続された２つのリード（図示せず）と、ＭＲ素子５の上に配置された絶縁膜である上部シールドギャップ膜６と、この上部シールドギャップ膜６の上に配置された磁性材料よりなる上部シールド層７とを備えている。Ｚ方向は、基板１の上面１ａに垂直な方向でもある。

【0035】

ＭＲ素子５の一端部は、媒体対向面６０に配置されている。ＭＲ素子５には、ＡＭＲ（異方性磁気抵抗効果）素子、ＧＭＲ（巨大磁気抵抗効果）素子あるいはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果）素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができる。ＧＭＲ素子としては、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ平行な方向に流すＣＩＰ（Current In Plane）タイプでもよいし、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ垂直な方向に流すＣＰＰ（Current Perpendicular to Plane）タイプでもよい。

【0036】

下部シールド層３から上部シールド層７までの部分は、再生ヘッド部を構成する。熱アシスト磁気記録ヘッドは、更に、上部シールド層７の上に配置された絶縁層８と、この絶縁層８の上に配置された磁性材料よりなる中間シールド層９と、この中間シールド層９の上に配置された非磁性材料よりなる非磁性層１０と、この非磁性層１０の上に配置された記録ヘッド部とを備えている。中間シールド層９は、記録ヘッド部で発生する磁界からＭＲ素子５をシールドする機能を有している。絶縁層８および非磁性層１０は、例えばアルミナによって形成されている。

【0037】

記録ヘッド部は、コイル２９と、主磁極２７とを備えている。コイル２９は、記録媒体８０に記録する情報に応じた磁界を発生する。図１および図３に示したように、主磁極２７は、媒体対向面６０に配置された第１の端面２７ａを有している。主磁極２７は、コイル２９によって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体８０に記録するための記録磁界を発生する。コイル２９は、銅等の導電材料によって形成されている。

【0038】

記録ヘッド部は、更に、磁性材料よりなるシールド１５と、磁性材料よりなる帰磁路部Ｒとを備えている。図１および図２に示したように、シールド１５は、媒体対向面６０に配置された第２の端面１５ａを有している。帰磁路部Ｒは、主磁極２７とシールド１５とを接続し、コイル２９によって発生された磁界に対応する磁束を通過させる。

【0039】

帰磁路部Ｒは、リターン磁極層１１と、連結層１２，２８，３３と、２つの連結部１３Ａ，１３Ｂと、第１のヨーク部分３２とを含んでいる。リターン磁極層１１は、非磁性層１０の上に配置されている。また、リターン磁極層１１は、媒体対向面６０に配置された端面を有している。記録ヘッド部は、更に、リターン磁極層１１の周囲に配置された図示しない絶縁層を備えている。図示しない絶縁層は、例えばアルミナによって形成されている。

【0040】

連結層１２は、リターン磁極層１１の上面のうちの媒体対向面６０の近傍の第１の部分の上に配置されている。２つの連結部１３Ａ，１３Ｂは、リターン磁極層１１の上面のうちの媒体対向面６０から離れた位置にある２つの第２の部分の上に配置されている。連結層１２は、媒体対向面６０に配置された端面を有している。連結部１３Ａ，１３Ｂは、それぞれ、リターン磁極層１１の上に配置された第１層と、この第１層の上に順に配置された第２層、第３層および第４層とを有している。連結部１３Ａの第１層と連結部１３Ｂの第１層は、トラック幅方向（Ｘ方向）に並ぶように配置されている。

【0041】

記録ヘッド部は、更に、リターン磁極層１１の上面のうちの第１および第２の部分以外の部分および図示しない絶縁層の上に配置された絶縁層１４を備えている。連結部１３Ａ，１３Ｂの第１層は、絶縁層１４に埋め込まれている。絶縁層１４は、例えばアルミナによって形成されている。

【0042】

シールド１５は、媒体対向面６０の近傍において連結層１２の上面のうちの媒体対向面６０の近傍の一部の上に配置されている。記録ヘッド部は、更に、連結層１２の上面のうちの前記一部を除いた部分および絶縁層１４の上に配置された絶縁層１６を備えている。連結部１３Ａ，１３Ｂの第２層は、絶縁層１６に埋め込まれている。絶縁層１６は、例えばアルミナによって形成されている。

【0043】

記録ヘッド部は、更に、光を伝搬させるコア１８と、コア１８の周囲に配置されたクラッドとを有する導波路を備えている。特に図２に示したように、コア１８は、媒体対向面６０に向いた前端面１８ａと、上面であるエバネッセント光発生面１８ｂと、下面１８ｃと、２つの側面１８ｄ，１８ｅとを有している。前端面１８ａは、媒体対向面６０に配置されていてもよいし、媒体対向面６０から離れた位置に配置されていてもよい。図１ないし図４には、前端面１８ａが媒体対向面６０に配置された例を示している。

【0044】

クラッドは、クラッド層１７，１９，２０を含んでいる。クラッド層１７は、シールド１５および絶縁層１６の上に配置されている。コア１８は、クラッド層１７の上に配置されている。クラッド層１９は、クラッド層１７の上においてコア１８の周囲に配置されている。クラッド層２０は、コア１８のエバネッセント光発生面１８ｂおよびクラッド層１９の上面の上に配置されている。

【0045】

コア１８は、近接場光の発生に用いられるレーザ光を通過させる誘電体材料によって形成されている。コア１８には、図示しないレーザダイオードから出射されたレーザ光が入射され、このレーザ光はコア１８内を伝搬する。クラッド層１７，１９，２０は、コア１８の屈折率よりも小さい屈折率を有する誘電体材料によって形成されている。コア１８の材料としては、例えば、Ｔａ_２Ｏ_５等の酸化タンタルや酸窒化ケイ素（ＳｉＯＮ）が用いられ、クラッド層１７，１９，２０の材料としては、例えば、酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）やアルミナが用いられる。

【0046】

連結部１３Ａ，１３Ｂの第３層は、クラッド層１７，１９に埋め込まれている。連結部１３Ａの第３層と連結部１３Ｂの第３層は、コア１８のトラック幅方向（Ｘ方向）の両側において、コア１８に対して間隔を開けて配置されている。

【0047】

記録ヘッド部は、更に、媒体対向面６０の近傍においてコア１８のエバネッセント光発生面１８ｂの上方に配置されるようにクラッド層２０の上に配置されたプラズモンジェネレータ２１と、クラッド層２０の上においてプラズモンジェネレータ２１の周囲に配置された誘電体層２２とを備えている。プラズモンジェネレータ２１は、後で説明する原理によって表面プラズモンが励起されるものである。プラズモンジェネレータ２１は、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｒｈ、Ｉｒのいずれか、またはこれらのうちの複数の元素よりなる合金によって形成されている。誘電体層２２は、例えば、クラッド層１７，１９，２０と同じ材料によって形成されている。プラズモンジェネレータ２１の形状については、後で詳しく説明する。

【0048】

記録ヘッド部は、更に、媒体対向面６０の近傍においてプラズモンジェネレータ２１の一部および誘電体層２２の一部の上に配置された絶縁層２３と、プラズモンジェネレータ２１の他の一部および誘電体層２２の他の一部の上に配置された非磁性金属層２４とを備えている。非磁性金属層２４は、媒体対向面６０に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面６０から離れた位置に配置されている。非磁性金属層２４は、プラズモンジェネレータ２１用のヒートシンクとして働く。すなわち、非磁性金属層２４は、プラズモンジェネレータ２１において発生した熱を、プラズモンジェネレータ２１の外部に放散させる。非磁性金属層２４は、例えばＡｕによって形成されている。絶縁層２３は、例えば、クラッド層１７，１９，２０と同じ材料によって形成されている。

【0049】

記録ヘッド部は、更に、絶縁層２３および非磁性金属層２４の周囲に配置された誘電体層２５と、非磁性金属層２４および誘電体層２５の上に配置された誘電体層２６とを備えている。誘電体層２６は、媒体対向面６０に向いた端面を有し、この端面は、非磁性金属層２４の端面よりも媒体対向面６０から遠い位置に配置されている。誘電体層２５，２６は、例えば、クラッド層１７，１９，２０と同じ材料によって形成されている。

【0050】

主磁極２７は、コア１８との間にプラズモンジェネレータ２１を挟むように絶縁層２３、非磁性金属層２４および誘電体層２６の上に配置されている。主磁極２７は、磁性金属によって構成されている。主磁極２７の形状については、後で詳しく説明する。

【0051】

図１および図４に示したように、記録ヘッド部は、更に、媒体対向面６０の近傍において主磁極２７の周囲に配置された、主磁極２７用のヒートシンク４０を備えている。ヒートシンク４０は、絶縁層２３および誘電体層２６の上に配置されている。ヒートシンク４０については、後で詳しく説明する。

【0052】

連結部１３Ａ，１３Ｂの第４層は、クラッド層２０および誘電体層２２，２５，２６に埋め込まれている。連結層２８は、連結部１３Ａ，１３Ｂの第４層および誘電体層２６の上に配置されている。

【0053】

コイル２９は、第１層２９Ａと第２層２９Ｂとを有している。第１層２９Ａは、誘電体層２６の上に配置されている。図５に示したように、第１層２９Ａは、連結層２８の周りに約２回巻かれている。記録ヘッド部は、更に、絶縁層３０，３１を備えている。絶縁層３０は、第１層２９Ａの巻線間、ならびに主磁極２７、ヒートシンク４０、連結層２８および第１層２９Ａの周囲に配置されている。絶縁層３１は、第１層２９Ａおよび絶縁層３０の上に配置されている。絶縁層３０，３１は、例えばアルミナによって形成されている。

【0054】

第１のヨーク部分３２は、第１層３２Ａと第２層３２Ｂとを有している。第１層３２Ａは、主磁極２７の上に配置されている。第１層３２Ａは、媒体対向面６０に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面６０から離れた位置に配置されている。

【0055】

連結層３３は、連結層２８の上に配置されている。コイル２９の第２層２９Ｂは、絶縁層３１の上に配置されている。図６に示したように、第２層２９Ｂは、連結層３３の周りに約２回巻かれている。記録ヘッド部は、更に、絶縁層３４，３５を備えている。絶縁層３４は、第２層２９Ｂの巻線間、ならびに第１のヨーク部分３２の第１層３２Ａ、連結層３３および第２層２９Ｂの周囲に配置されている。絶縁層３５は、第２層２９Ｂおよび絶縁層３４の上に配置されている。絶縁層３４，３５は、例えばアルミナによって形成されている。

【0056】

第１のヨーク部分３２の第２層３２Ｂは、第１のヨーク部分３２の第１層３２Ａ、連結層３３および絶縁層３５の上に配置されている。第２層３２Ｂは、媒体対向面６０に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面６０から離れた位置に配置されている。記録ヘッド部は、更に、第２層３２Ｂの周囲に配置された絶縁層３６を備えている。絶縁層３６は、例えばアルミナによって形成されている。

【0057】

熱アシスト磁気記録ヘッドは、更に、記録ヘッド部を覆うように配置された保護層３７を備えている。保護層３７は、例えばアルミナによって形成されている。

【0058】

以上説明したように、本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドは、媒体対向面６０と再生ヘッド部と記録ヘッド部とを備えている。再生ヘッド部と記録ヘッド部は、基板１の上に積層されている。記録ヘッド部は、再生ヘッド部に対して、記録媒体８０の進行方向（Ｚ方向）の前側（トレーリング側）に配置されている。

【0059】

記録ヘッド部は、コイル２９と、主磁極２７と、導波路と、プラズモンジェネレータ２１と、ヒートシンク４０と、シールド１５と、帰磁路部Ｒとを備えている。導波路は、コア１８とクラッドとを有している。クラッドは、クラッド層１７，１９，２０を含んでいる。帰磁路部Ｒは、リターン磁極層１１と、連結層１２，２８，３３と、２つの連結部１３Ａ，１３Ｂと、第１のヨーク部分３２とを含んでいる。

【0060】

主磁極２７は、媒体対向面６０に配置された第１の端面２７ａを有している。シールド１５は、媒体対向面６０に配置された第２の端面１５ａを有している。第１の端面２７ａと第２の端面１５ａは、記録媒体８０の進行方向（Ｚ方向）について互いに異なる位置に配置されている。本実施の形態では特に、第２の端面１５ａは、第１の端面２７ａに対して記録媒体８０の進行方向の後側（リーディング側）に配置されている。

【0061】

主磁極２７は、コア１８に対して、記録媒体８０の進行方向の前側に配置されている。コア１８は、媒体対向面６０に配置された前端面１８ａを有している。前端面１８ａは、記録媒体８０の進行方向について、第１の端面２７ａと第２の端面１５ａとの間に配置されている。

【0062】

シールド１５は、熱アシスト磁気記録ヘッドの外部から熱アシスト磁気記録ヘッドに印加された外乱磁界を取り込む。これにより、外乱磁界が主磁極２７に集中して取り込まれることによって記録媒体８０に対して誤った記録が行なわれることを防止することができる。また、シールド１５は、主磁極２７の第１の端面２７ａより発生されて記録媒体８０の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体８０に達することを阻止する機能を有している。これにより、記録磁界強度の勾配を大きくすることができる。また、シールド１５と帰磁路部Ｒは、主磁極２７の第１の端面２７ａより発生されて、記録媒体８０の一部を磁化した磁束を、主磁極２７に還流させる機能を有している。

【0063】

次に、図５および図６を参照して、コイル２９の形状および配置について詳しく説明する。図５に示したように、コイル２９の第１層２９Ａは、連結層２８の周りに約２回巻かれている。第１層２９Ａは、主磁極２７と連結層２８の間を通過するように延びる部分を含んでいる。また、第１層２９Ａは、コイル２９の第２層２９Ｂに電気的に接続されたコイル接続部２９Ｅを有している。

【0064】

図６に示したように、第２層２９Ｂは、連結層３３の周りに約２回巻かれている。第２層２９Ｂは、第１のヨーク部分３２の第１層３２Ａと連結層３３の間を通過するように延びる部分を含んでいる。また、第２層２９Ｂは、第１層２９Ａのコイル接続部２９Ｅに電気的に接続されたコイル接続部２９Ｓを有している。コイル接続部２９Ｓは、絶縁層３１（図３参照）を貫通してコイル接続部２９Ｅに電気的に接続されている。図５および図６に示した例では、第１層２９Ａと第２層２９Ｂは、直列に接続されている。

【0065】

次に、図２を参照して、プラズモンジェネレータ２１の形状の一例について説明する。プラズモンジェネレータ２１は、下面であるプラズモン励起部２１ａと、上面２１ｂと、媒体対向面６０に配置された前端面２１ｃと、その反対側の後端面２１ｄと、２つの側面２１ｅ，２１ｆとを有している。プラズモン励起部２１ａは、コア１８のエバネッセント光発生面１８ｂに対して所定の間隔をもって対向している。クラッド層２０は、エバネッセント光発生面１８ｂとプラズモン励起部２１ａとの間に介在している。媒体対向面６０に平行なプラズモンジェネレータ２１の断面の形状は、例えば矩形である。

【0066】

前端面２１ｃは、プラズモン励起部２１ａの前端に位置する近接場光発生部２１ｇを有している。主磁極２７の第１の端面２７ａと近接場光発生部２１ｇは、記録媒体８０の進行方向について互いに異なる位置に配置されている。本実施の形態では、第１の端面２７ａは、近接場光発生部２１ｇに対して、記録媒体８０の進行方向の前側に配置されている。また、近接場光発生部２１ｇは、第１の端面２７ａとシールド１５の第２の端面１５ａの間に配置されている。近接場光発生部２１ｇは、後で説明する原理によって近接場光を発生する。

【0067】

また、図２に示したように、プラズモンジェネレータ２１は、媒体対向面６０の近傍に配置された細幅部と、この細幅部よりも媒体対向面６０から遠い位置に配置された幅広部とを備えている。細幅部は、媒体対向面６０に配置された前端面を有している。細幅部の前端面は、プラズモンジェネレータ２１の前端面２１ｃでもある。媒体対向面６０および基板１の上面１ａに平行な方向（Ｘ方向）についての細幅部の幅は、媒体対向面６０からの距離によらずに一定であってもよいし、媒体対向面６０に近づくに従って小さくなっていてもよい。幅広部は、細幅部に対して前端面２１ｃとは反対側に位置して細幅部に連結されている。幅広部の幅は、細幅部との境界の位置では細幅部における幅と等しく、細幅部から離れるに従って大きくなっている。

【0068】

前端面２１ｃの幅（トラック幅方向（Ｘ方向）の寸法）は、媒体対向面６０における細幅部の幅によって規定される。前端面２１ｃの幅は、例えば５〜４０ｎｍの範囲内である。また、前端面２１ｃの高さ（Ｚ方向の寸法）は、媒体対向面６０における細幅部の高さによって規定される。前端面２１ｃの高さは、例えば５〜４０ｎｍの範囲内である。

【0069】

次に、図３および図５を参照して、主磁極２７の形状の一例について説明する。図３に示したように、主磁極２７は、第１の端面２７ａの他に、第１の端面２７ａとは反対側の後端面２７ｂと、下面２７ｃとを有している。下面２７ｃは、媒体対向面６０に近い順に配置された第１の平坦部分、傾斜部分および第２の平坦部分を含んでいる。傾斜部分における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面６０から離れるに従って大きくなっている。第１および第２の平坦部分は、実質的に媒体対向面６０に垂直な方向に延在している。

【0070】

また、図５に示したように、主磁極２７は、第１の端面２７ａとその反対側の端部とを有する細幅部２７Ａと、細幅部２７Ａの端部に接続された幅広部２７Ｂとを含んでいる。幅広部２７Ｂのトラック幅方向（Ｘ方向）の幅は、細幅部２７Ａのトラック幅方向の幅よりも大きい。細幅部２７Ａのトラック幅方向の幅は、媒体対向面６０からの距離によらずにほぼ一定である。幅広部２７Ｂのトラック幅方向の幅は、細幅部２７Ａとの境界位置では細幅部２７Ａのトラック幅方向の幅と等しく、媒体対向面６０から離れるに従って、徐々に大きくなった後、一定の大きさになっている。媒体対向面６０に垂直な方向についての細幅部２７Ａの長さは、例えば０〜０．３μｍの範囲内である。この長さが０の場合は、細幅部２７Ａがなく、幅広部２７Ｂが第１の端面２７ａを有する。

【0071】

主磁極２７の下面２７ｃとコア１８のエバネッセント光発生面１８ｂとの間の距離は、媒体対向面６０から離れるに従って大きくなっている。これにより、本実施の形態によれば、コア１８を伝搬する光の一部が主磁極２７に吸収されることを防止することができると共に、プラズモン励起部２１ａに励起された表面プラズモンの一部が主磁極２７に吸収されることを防止することができる。

【0072】

次に、図１、図４および図５を参照して、ヒートシンク４０について詳しく説明する。ヒートシンク４０は、それぞれ媒体対向面６０に配置された端面を有する、少なくとも１つの第１の部分と少なくとも１つの第２の部分とを有している。少なくとも１つの第１の部分は、主磁極２７のトラック幅方向（Ｘ方向）の外側に、主磁極２７に対して間隔を開けて配置されている。少なくとも１つの第２の部分の少なくとも一部は、少なくとも１つの第１の部分と主磁極２７との間に配置されている。

【0073】

図１、図４および図５に示したように、本実施の形態では、ヒートシンク４０の少なくとも１つの第１の部分は、２つの第１の部分４１Ａ，４１Ｂである。この第１の部分４１Ａ，４１Ｂは、主磁極２７のトラック幅方向の両側に、それぞれ主磁極２７に対して間隔を開けて配置されている。図４に示したように、第１の部分４１Ａ，４１Ｂは、それぞれ、媒体対向面６０に配置された端面４１Ａａ，４１Ｂａを有している。図５に示したように、媒体対向面６０に垂直な方向についての第１の部分４１Ａ，４１Ｂの各々の長さは、同方向についての主磁極２７の長さと等しい。

【0074】

また、図１、図４および図５に示したように、本実施の形態では、ヒートシンク４０の少なくとも１つの第２の部分は、２つの第２の部分４２Ａ，４２Ｂである。第２の部分４２Ａ，４２Ｂは、それぞれ、少なくとも一部が第１の部分４１Ａ，４１Ｂと主磁極２７との間に配置されている。本実施の形態では特に、第２の部分４２Ａ，４２Ｂは、それぞれ、全体が第１の部分４１Ａ，４１Ｂと主磁極２７との間に配置されている。図４に示したように、第２の部分４２Ａ，４２Ｂは、それぞれ、媒体対向面６０に配置された端面４２Ａａ，４２Ｂａを有している。

【0075】

図１および図４に示したように、第２の部分４２Ａは、主磁極２７と第１の部分４１Ａとの間に形成された第１の溝に配置され、主磁極２７と第１の部分４１Ａに接している。本実施の形態では、第２の部分４２Ａは、第１の溝を完全には埋めていない。また、第２の部分４２Ｂは、主磁極２７と第１の部分４１Ｂとの間に形成された第２の溝に配置され、主磁極２７と第１の部分４１Ｂに接している。本実施の形態では、第２の部分４２Ｂは、第２の溝を完全には埋めていない。また、本実施の形態では、主磁極２７、第１の部分４１Ａ，４１Ｂおよび第２の部分４２Ａ，４２Ｂのそれぞれの上面は、同一平面上に位置している。

【0076】

主磁極２７と、第１の部分４１Ａ，４１Ｂは、いずれも磁性金属によって形成されている。この磁性金属は、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉのうちの１つ以上の元素を含む合金であることが好ましい。このような合金としては、例えば、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅ、ＣｏＮｉＦｅが挙げられる。また、主磁極２７を構成する磁性金属と、第１の部分４１Ａ，４１Ｂを構成する磁性金属は、同じであってもよい。

【0077】

第２の部分４２Ａ，４２Ｂは、非磁性金属によって形成されている。この非磁性金属は、Ａｕ，Ａｇ，Ａｌ，Ｃｕ，Ｍｏ，Ｗ，Ｉｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｃｒ，Ｐｄ，Ｐｔのいずれかであってもよい。これらの金属は、代表的な磁性金属であるＦｅの熱伝導率と同等かそれより大きい熱伝導率を有し、ヒートシンク４０の一部である第２の部分４２Ａ，４２Ｂの材料に適している。

【0078】

第２の部分４２Ａ，４２Ｂは、例えば、主磁極２７および第１の部分４１Ａ，４１Ｂを形成した後に、第１および第２の溝の深さよりも小さい厚みであって第１および第２の溝のＸ方向についての最大の幅の１／２よりも小さい厚みの非磁性金属膜を形成することによって形成することができる。なお、２つの第２の部分４２Ａ，４２Ｂは、第１および第２の溝を完全に埋めていてもよい。このような態様の第２の部分４２Ａ，４２Ｂは、例えば、主磁極２７および２つの第１の部分４１Ａ，４１Ｂを形成した後に、第１および第２の溝のＸ方向についての最大の幅の１／２程度の厚みの非磁性金属膜を形成することによって形成することができる。

【0079】

次に、本実施の形態における近接場光発生の原理と、近接場光を用いた熱アシスト磁気記録の原理について詳しく説明する。図示しないレーザダイオードから出射されたレーザ光はコア１８に入射される。図３に示したように、レーザ光５０は、コア１８内を媒体対向面６０に向けて伝搬して、プラズモンジェネレータ２１の近傍に達する。コア１８のエバネッセント光発生面１８ｂは、コア１８を伝搬するレーザ光５０に基づいてエバネッセント光を発生する。すなわち、エバネッセント光発生面１８ｂにおいてレーザ光５０が全反射することによって、エバネッセント光発生面１８ｂは、クラッド層２０にしみ出すエバネッセント光を発生する。プラズモンジェネレータ２１では、プラズモン励起部２１ａにおいて、上記エバネッセント光と結合することによって表面プラズモンが励起され、この表面プラズモンが近接場光発生部２１ｇに伝搬され、この表面プラズモンに基づいて近接場光発生部２１ｇより近接場光を発生する。

【0080】

近接場光発生部２１ｇより発生された近接場光は、記録媒体８０に向けて照射され、記録媒体８０の表面に達し、記録媒体８０の磁気記録層の一部を加熱する。これにより、その磁気記録層の一部の保磁力が低下する。熱アシスト磁気記録では、このようにして保磁力が低下した磁気記録層の一部に対して、主磁極２７より発生される記録磁界を印加することによってデータの記録が行われる。

【0081】

次に、本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッド特有の作用および効果について説明する。本実施の形態では、主磁極２７の周囲にヒートシンク４０が設けられている。これにより、本実施の形態によれば、プラズモンジェネレータ２１が発生する熱に起因した主磁極２７の温度上昇を抑制することができ、その結果、主磁極２７が腐食することを防止することができる。

【0082】

ところで、主磁極２７用のヒートシンクを非磁性金属のみによって構成すると、磁性金属よりなる主磁極２７の周囲に、主磁極２７とは材料が異なるヒートシンクが広範囲にわたって存在することになる。この場合、ヒートシンクに大きな応力が発生して、ヒートシンクが剥がれたり、ヒートシンクの近傍に存在するプラズモンジェネレータ２１が損傷したりするおそれがある。

【0083】

これに対し、本実施の形態では、ヒートシンク４０は、磁性金属よりなる２つの第１の部分４１Ａ，４１Ｂと、非磁性金属よりなる２つの第２の部分４２Ａ，４２Ｂを有している。これより、本実施の形態によれば、ヒートシンクを非磁性金属のみによって構成する場合に比べて、ヒートシンク４０に用いられる非磁性金属の量を少なくすることができる。これにより、本実施の形態によれば、ヒートシンク４０が剥がれたり、ヒートシンク４０の近傍に存在するプラズモンジェネレータ２１が損傷したりすることを防止することができる。

【0084】

また、第２の部分４２Ａ，４２Ｂを構成する非磁性金属としては、特に熱伝導率が大きいものが用いられる。このような非磁性金属は、熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、ヒートシンク４０だけに用いられる可能性がある。また、特に熱伝導率が大きい非磁性金属としては、Ａｕ、Ａｇ等の貴金属がある。そのため、このような非磁性金属、特に貴金属を用いて、ヒートシンクの全体を構成すると、熱アシスト磁気記録ヘッドのコストが増加する。

【0085】

一方、磁性金属は、主磁極２７やシールド１５や帰磁路部Ｒを構成するために用いられるように、熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて多く用いられる。そのため、熱アシスト磁気記録ヘッドにおける磁性金属の使用量が増えても、コストの増加はほとんどない。

【0086】

本実施の形態では、前述のように、ヒートシンク４０を、磁性金属よりなる第１の部分４１Ａ，４１Ｂと非磁性金属よりなる第２の部分４２Ａ，４２Ｂとによって構成しているため、ヒートシンクを非磁性金属のみによって構成する場合に比べて、ヒートシンク４０に用いられる非磁性金属の量を少なくすることができる。その結果、本実施の形態によれば、熱アシスト磁気記録ヘッドのコストの増加を抑制することができる。

【0087】

また、ヒートシンクを非磁性金属のみによって構成する場合、非磁性金属の量を少なくすると、ヒートシンクの体積および端面の面積が小さくなり、ヒートシンクの放熱性能が低下して、主磁極２７の冷却効率が低下してしまう。これに対し、本実施の形態では、非磁性金属よりなる第２の部分４２Ａ，４２Ｂの体積および端面４２Ａａ，４２Ｂａの面積が小さくても、第１の部分４１Ａ，４１Ｂと第２の部分４２Ａ，４２Ｂの合計の体積ならびに第１の部分４１Ａ，４１Ｂの端面４１Ａａ，４１Ｂａと第２の部分４２Ａ，４２Ｂの端面４２Ａａ，４２Ｂａの合計の面積を大きくすることができる。これにより、本実施の形態によれば、ヒートシンク４０全体の放熱性能を向上させて、主磁極２７の冷却効率を向上させることができる。

【0088】

以上説明したように、本実施の形態によれば、主磁極２７用のヒートシンクを非磁性金属のみによって構成することによる問題の発生を抑制することができる。

【0089】

また、本実施の形態では、第２の部分４２Ａ，４２Ｂは、主磁極２７と第１の部分４１Ａ，４１Ｂとの間に形成された第１および第２の溝を完全には埋めていない。これによっても、本実施の形態によれば、ヒートシンク４０に用いられる非磁性金属の量を少なくすることができ、その結果、熱アシスト磁気記録ヘッドのコストの増加を抑制することができる。

【0090】

［第２の実施の形態］
次に、図７ないし図１２を参照して、本発明の第２の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドについて説明する。図７は、熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。図８は、図７における一部を示す斜視図である。図９は、熱アシスト磁気記録ヘッドの構成を示す断面図である。図１０は、熱アシスト磁気記録ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図１１は、本実施の形態におけるコイルの第１層を示す平面図である。図１２は、本実施の形態におけるコイルの第２層を示す平面図である。

【0091】

本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの構成は、以下の点で第１の実施の形態と異なっている。本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドは、シールド１５の代わりに、磁性材料よりなるシールド５１を備えている。また、本実施の形態では、第１の実施の形態における帰磁路部Ｒの構成要素のうち、第１のヨーク部分３２以外の構成要素、すなわち、リターン磁極層１１、連結層１２、連結部１３Ａ，１３Ｂおよび連結層２８，３３が設けられていない。代わりに、本実施の形態における帰磁路部Ｒは、第２のヨーク部分５５Ａと、第１の柱状部分５６と、第２の柱状部分５９Ａと、第３の柱状部分５９Ｂとを含んでいる。また、本実施の形態では、リターン磁極層１１の周囲に配置された図示しない絶縁層、絶縁層１４，１６、２つの第１の部分４１Ａ，４１Ｂおよび２つの第２の部分４２Ａ，４２Ｂが設けられていない。

【0092】

シールド５１は、非磁性層１０の上に配置されている。図８に示したように、シールド５１は、媒体対向面６０に配置された第２の端面５１ａと、この第２の端面５１ａとは反対側の後端面５１ｂと、上面５１ｃとを有している。主磁極２７の第１の端面２７ａとシールド５１の第２の端面５１ａは、記録媒体８０の進行方向について互いに異なる位置に配置されている。本実施の形態では、シールド５１の第２の端面５１ａは、主磁極２７の第１の端面２７ａに対して、記録媒体８０の進行方向の後側に配置されている。

【0093】

また、シールド５１は、中央部分５１Ａと、この中央部分５１Ａのトラック幅方向（Ｘ方向）の両側に配置された第１の側方部分５１Ｂおよび第２の側方部分５１Ｃとを有している。中央部分５１Ａにおける媒体対向面６０に垂直な方向の長さは、トラック幅方向の位置によらずに一定である。媒体対向面６０に垂直な方向についての側方部分５１Ｂ，５１Ｃのそれぞれの最大の長さは、同方向についての中央部分５１Ａの長さよりも大きい。

【0094】

本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドは、非磁性層１０の上においてシールド５１の周囲に配置された絶縁層５２を備えている。絶縁層５２は、例えばアルミナによって形成されている。

【0095】

本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドは、更に、磁性層５５を備えている。磁性層５５は、誘電体層２２，２５，２６および絶縁層２３に埋め込まれている。また、磁性層５５は、プラズモンジェネレータ２１、非磁性金属層２４および主磁極２７に対して所定の間隔を開けて配置されている。磁性層５５は、磁性金属によって形成されている。この磁性金属は、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉのうちの１つ以上の元素を含む合金であることが好ましい。

【0096】

図８に示したように、磁性層５５は、媒体対向面６０に向いた前端面５５ａと、下面５５ｂと、上面５５ｃとを有している。磁性層５５の前端面５５ａは、第１の部分５５ａ１と、第１の部分５５ａ１のトラック幅方向の両側に位置する第２の部分５５ａ２および第３の部分５５ａ３とを含んでいる。第１の部分５５ａ１は、そのトラック幅方向における中心が最も媒体対向面６０から遠くなるように凹んだ形状を有している。第１の部分５５ａ１は、プラズモンジェネレータ２１、非磁性金属層２４、および主磁極２７の一部を囲むように配置されている。第２および第３の部分５５ａ２，５５ａ３は、媒体対向面６０に配置され、プラズモンジェネレータ２１の近接場光発生部２１ｇのトラック幅方向の両側に位置する。

【0097】

磁性層５５の下面５５ｂは、媒体対向面６０に近い順に配置された第１の平坦部分、傾斜部分および第２の平坦部分を含んでいる。傾斜部分における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面６０から離れるに従って大きくなっている。第１および第２の平坦部分は、実質的に媒体対向面６０に垂直な方向に延在している。第２の平坦部分は、誘電体層２５の上面の上に配置されている。磁性層５５の上面５５ｃは、主磁極２７の上面に対して、記録媒体８０の進行方向の後側に配置されている。

【0098】

磁性層５５は、主要部分である第２のヨーク部分５５Ａを含んでいる。磁性層５５は、更に、第２のヨーク部分５５Ａに連結され、媒体対向面６０の近傍においてプラズモンジェネレータ２１のトラック幅方向の両側に配置された２つの連結部５５Ｂ，５５Ｃを含んでいる。図７および図８では、第２のヨーク部分５５Ａと連結部５５Ｂ，５５Ｃとの境界を点線で示している。連結部５５Ｂは、前端面５５ａの第２の部分５５ａ２を含んでいる。連結部５５Ｃは、前端面５５ａの第３の部分５５ａ３を含んでいる。

【0099】

本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドは、更に、媒体対向面６０の近傍においてコア１８のトラック幅方向の両側に配置された２つの磁性層５３，５４を備えている。磁性層５３，５４は、クラッド層１７，１９，２０を貫通して、シールド５１と磁性層５５とを接続している。磁性層５３，５４は、それぞれ磁性金属によって形成されている。この磁性金属は、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉのうちの１つ以上の元素を含む合金であることが好ましい。

【0100】

磁性層５３，５４は、それぞれ、媒体対向面６０に配置された前端面と、上面と、下面とを有している。磁性層５３の下面は、シールド５１の上面５１ｃのうち、第１の側方部分５１Ｂに属する部分に接している。磁性層５４の下面は、シールド５１の上面５１ｃのうち、第２の側方部分５１Ｃに属する部分に接している。磁性層５３の上面は、磁性層５５の下面５５ｂのうち、連結部５５Ｂに属する部分に接している。磁性層５４の上面は、磁性層５５の下面５５ｂのうち、連結部５５Ｃに属する部分に接している。

【0101】

第２の柱状部分５９Ａは、磁性層５３と、磁性層５５の連結部５５Ｂとによって構成されている。第３の柱状部分５９Ｂは、磁性層５４と、磁性層５５の連結部５５Ｃとによって構成されている。図７、図８および図１０に示したように、第２の柱状部分５９Ａと第３の柱状部分５９Ｂは、プラズモンジェネレータ２１および主磁極２７のトラック幅方向の両側に、それぞれプラズモンジェネレータ２１および主磁極２７に対して間隔を開けて配置されている。

【0102】

前述のように、磁性層５３〜５５は、いずれも磁性金属によって形成されていることから、第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂも、それぞれ磁性金属によって形成されている。本実施の形態では、第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂは、第１の実施の形態における２つの第１の部分４１Ａ，４１Ｂの代わりに、ヒートシンク４０の２つの第１の部分を構成する。図１０に示したように、第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂは、それぞれ媒体対向面６０に配置された端面５９Ａａ，５９Ｂａを有している。主磁極２７を構成する磁性金属と、第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂを構成する磁性金属（磁性層５３〜５５を構成する磁性金属）は、同じであってもよい。

【0103】

本実施の形態におけるヒートシンク４０は、第１の実施の形態における２つの第２の部分４２Ａ，４２Ｂの代わりに、２つの第２の部分４３Ａ，４３Ｂを有している。第２の部分４３Ａ，４３Ｂは、それぞれ、少なくとも一部が第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂと主磁極２７との間に配置されている。図１０に示したように、第２の部分４３Ａ，４３Ｂは、それぞれ、媒体対向面６０に配置された端面４３Ａａ，４３Ｂａを有している。第２の部分４３Ａ，４３Ｂは、それぞれ、第１の実施の形態における第２の部分４２Ａ，４２Ｂと同じ材料によって形成されている。

【0104】

図７および図１０に示したように、第２の部分４３Ａの一部は、主磁極２７と第２の柱状部分５９Ａとの間に形成された第１の溝に配置され、主磁極２７と第２の柱状部分５９Ａに接している。この第２の部分４３Ａの一部は、第１の溝を完全に埋めている。第２の部分４３Ａの他の一部は、第２の柱状部分５９Ａの上面（磁性層５５の上面５５ｃ）の上に乗り上げている。また、第２の部分４３Ｂの一部は、主磁極２７と第３の柱状部分５９Ｂとの間に形成された第２の溝に配置され、主磁極２７と第３の柱状部分５９Ｂに接している。この第２の部分４３Ｂの一部は、第２の溝を完全に埋めている。第２の部分４３Ｂの他の一部は、第３の柱状部分５９Ｂの上面（磁性層５５の上面５５ｃ）の上に乗り上げている。

【0105】

第１の柱状部分５６は、記録媒体８０の進行方向において互いに反対側に位置する第１の端部５６ａと第２の端部５６ｂを有している。本実施の形態では、第１の端部５６ａは、第１の柱状部分５６における記録媒体８０の進行方向の前側（トレーリング側）の端に位置し、第２の端部５６ｂは、第１の柱状部分５６における記録媒体８０の進行方向の後側（リーディング側）の端に位置している。

【0106】

また、第１の柱状部分５６は、第１層５７と第２層５８とを有している。第１層５７は、第２の端部５６ｂを含み、主磁極２７よりも媒体対向面６０からより遠い位置において磁性層５５の上面５５ｃの一部の上に配置されている。第２層５８は、第１の端部５６ａを含み、第１層５７の上に配置されている。第１層５７は、誘電体層２６および絶縁層３０に埋め込まれている。第２層５８は、絶縁層３１，３４に埋め込まれている。

【0107】

主磁極２７の上面と第１の柱状部分５６の第１層５７の上面は、同一平面上に位置している。第１のヨーク部分３２の第１層３２Ａの上面と第１の柱状部分５６の第２層５８の上面は、同一平面上に位置している。

【0108】

本実施の形態では、コイル２９の第１層２９Ａは、第１の柱状部分５６の第１層５７の周りに約３回巻かれている。コイル２９の第２層２９Ｂは、第１の柱状部分５６の第２層５８の周りに約３回巻かれている。第１のヨーク部分３２の第２層３２Ｂは、第１のヨーク部分３２の第１層３２Ａ、第１の柱状部分５６の第２層５８および絶縁層３５の上に配置されている。

【0109】

以上説明したように、本実施の形態における帰磁路部Ｒは、第１のヨーク部分３２と、第２のヨーク部分５５Ａと、第１の柱状部分５６と、第２の柱状部分５９Ａと、第３の柱状部分５９Ｂとを含んでいる。図８および図９に示したように、第１のヨーク部分３２、第２のヨーク部分５５Ａおよび第１の柱状部分５６は、コア１８に対して、記録媒体８０の進行方向における同じ側に配置されている。本実施の形態では、第１のヨーク部分３２、第２のヨーク部分５５Ａおよび第１の柱状部分５６は、コア１８に対して、記録媒体８０の進行方向の前側（トレーリング側）に位置している。第１の柱状部分５６は、第１の端部５６ａと第２の端部５６ｂを有し、且つ媒体対向面６０から離れた位置にある。図７および図８に示したように、第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂは、第１の柱状部分５６よりも、媒体対向面６０により近い位置にある。

【0110】

第１のヨーク部分３２は、主磁極２７と、第１の柱状部分５６の第１の端部５６ａとを接続している。第２の柱状部分５９Ａと第３の柱状部分５９Ｂは、プラズモンジェネレータ２１のトラック幅方向の両側に配置されて、シールド５１に接続されている。第２のヨーク部分５５Ａは、第１の柱状部分５６の第２の端部５６ｂに接続され、且つ第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂを介してシールド５１に接続されている。

【0111】

シールド５１は、第１の実施の形態で説明したシールド１５の機能と同様の機能を有している。すなわち、シールド５１は、熱アシスト磁気記録ヘッドの外部から熱アシスト磁気記録ヘッドに印加された外乱磁界を取り込む機能と、主磁極２７の第１の端面２７ａより発生されて記録媒体８０の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体８０に達することを阻止する機能と、主磁極２７の第１の端面２７ａより発生されて、記録媒体８０の一部を磁化した磁束を、主磁極２７に還流させる機能を有している。

【0112】

次に、図１１および図１２を参照して、本実施の形態におけるコイル２９の形状および配置について詳しく説明する。図１１に示したように、コイル２９の第１層２９Ａは、第１の柱状部分５６の第１層５７の周りに約３回巻かれている。また、第１層２９Ａは、第１の実施の形態で説明したコイル接続部２９Ｅの他に、第１の柱状部分５６の第１層５７と媒体対向面６０との間に配置されて媒体対向面６０に平行に直線的に延びる３つの導体部分（以下、直線的導体部分と言う。）２９Ａ１，２９Ａ２，２９Ａ３を有している。直線的導体部分２９Ａ１〜２９Ａ３は、媒体対向面６０側からこの順に、媒体対向面６０に垂直な方向に並んでいる。直線的導体部分２９Ａ１〜２９Ａ３は、それぞれ、媒体対向面６０に垂直な方向（Ｙ方向）について一定の幅を有している。図１１では、直線的導体部分２９Ａ１〜２９Ａ３のそれぞれのトラック幅方向（Ｘ方向）の両端の位置を点線で示している。これは、他の直線的導体部分を示す他の図においても同様である。

【0113】

図１２に示したように、コイル２９の第２層２９Ｂは、第１の柱状部分５６の第２層５８の周りに約３回巻かれている。また、第２層２９Ｂは、第１の実施の形態で説明したコイル接続部２９Ｓの他に、第１の柱状部分５６の第２層５８と媒体対向面６０との間に配置された３つの直線的導体部分２９Ｂ１，２９Ｂ２，２９Ｂ３を有している。直線的導体部分２９Ｂ１〜２９Ｂ３は、それぞれ、媒体対向面６０に垂直な方向（Ｙ方向）について一定の幅を有している。

【0114】

次に、本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッド特有の作用および効果について説明する。本実施の形態では、プラズモンジェネレータ２１の近接場光発生部２１ｇは、主磁極２７の第１の端面２７ａとシールド５１の第２の端面５１ａの間に配置されている。コア１８の一部は、プラズモンジェネレータ２１の近傍に位置する。コア１８と帰磁路部Ｒは、互いに接触することなく横切るように構成されている。より具体的に説明すると、帰磁路部Ｒのうち第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂは、コア１８に接触することなく、コア１８のトラック幅方向の両側に配置されている。

【0115】

本実施の形態では、第１のヨーク部分３２、第２のヨーク部分５５Ａおよび第１の柱状部分５６が、コア１８に対して、記録媒体８０の進行方向における同じ側に配置され、コイル２９は、第１の柱状部分５６の周りに巻回されている。本実施の形態では、第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂにおけるトラック幅方向外側の端部同士の距離に関わらず、第１の柱状部分５６のトラック幅方向の幅を小さくすることができる。これにより、本実施の形態によれば、コイル２９の全長を短くすることができる。

【0116】

また、高周波帯域における記録特性を向上させるためには、主磁極２７および帰磁路部Ｒによって形成される磁路の長さを短くすることが望ましい。そのためには、第１の柱状部分５６を、媒体対向面６０に近づけることが効果的である。本実施の形態では、コイル２９は、トラック幅方向の幅が小さい第１の柱状部分５６の周りに巻回されている。そのため、第１の柱状部分５６を媒体対向面６０に近づけても、第１の柱状部分５６の第１層５７と媒体対向面６０との間に配置されたコイル２９の第１層２９Ａの直線的導体部分２９Ａ１〜２９Ａ３と、第１の柱状部分５６の第２層５８と媒体対向面６０との間に配置されたコイル２９の第２層２９Ｂの直線的導体部分２９Ｂ１〜２９Ｂ３が長くなることを防止できる。これにより、本実施の形態によれば、コイル２９の抵抗値が大きくなりすぎることなく、第１の柱状部分５６を媒体対向面６０に近づけることが可能になる。以上のことから、本実施の形態によれば、磁路の長さを短くしながら、コイル２９の全長を短くすることが可能になる。その結果、本実施の形態によれば、高周波帯域における記録特性に優れ、且つコイル２９の抵抗値が小さい熱アシスト磁気ヘッドを実現することができる。

【0117】

また、本実施の形態によれば、コイル２９の抵抗値を小さくすることによって、コイル２９の発熱量を少なくすることができる。これにより、本実施の形態によれば、コイル２９の周辺の要素が膨張して、媒体対向面６０の一部が記録媒体８０に向けて突出し、記録媒体８０に衝突しやすくなるという問題が発生することを防止することができる。また、本実施の形態によれば、媒体対向面６０と記録媒体８０との距離を小さくして、オーバーライト特性等の記録特性を向上させることができる。

【0118】

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。

【0119】

［第３の実施の形態］
次に、図１３ないし図１５を参照して、本発明の第３の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドについて説明する。図１３は、熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。図１４は、熱アシスト磁気記録ヘッドの構成を示す断面図である。図１５は、熱アシスト磁気記録ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。

【0120】

本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの構成は、以下の点で第２の実施の形態と異なっている。本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドでは、磁性層５５は、絶縁層３０に埋め込まれている。磁性層５５の下面５５ｂのうち、第２の平坦部分は、誘電体層２６の上面の上に配置されている。主磁極２７の上面と磁性層５５の上面５５ｃは、同一平面上に位置している。

【0121】

本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドは、媒体対向面６０の近傍においてプラズモンジェネレータ２１のトラック幅方向の両側に配置された２つの磁性層６１，６２を備えている。磁性層６１は、誘電体層２２，２５，２６および絶縁層２３を貫通して、磁性層５３と磁性層５５とを接続している。磁性層６２は、誘電体層２２，２５，２６および絶縁層２３を貫通して、磁性層５４と磁性層５５とを接続している。磁性層６１，６２は、それぞれ磁性金属によって形成されている。この磁性金属は、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉのうちの１つ以上の元素を含む合金であることが好ましい。

【0122】

磁性層６１，６２は、それぞれ、媒体対向面６０に配置された前端面と、上面と、下面とを有している。磁性層６１の下面は、磁性層５３の上面に接している。磁性層６２の下面は、磁性層５４の上面に接している。磁性層６１の上面は、磁性層５５の下面５５ｂのうち、連結部５５Ｂに属する部分に接している。磁性層６２の上面は、磁性層５５の下面５５ｂのうち、連結部５５Ｃに属する部分に接している。

【0123】

本実施の形態では、第２の柱状部分５９Ａは、磁性層５３，６１と、磁性層５５の連結部５５Ｂとによって構成されている。第３の柱状部分５９Ｂは、磁性層５４，６２と、磁性層５５の連結部５５Ｃとによって構成されている。

【0124】

また、本実施の形態におけるヒートシンク４０は、第２の実施の形態における２つの第２の部分４３Ａ，４３Ｂの代わりに、２つの第２の部分４４Ａ，４４Ｂを有している。第２の部分４４Ａ，４４Ｂは、それぞれ、少なくとも一部が第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂと主磁極２７との間に配置されている。本実施の形態では特に、第２の部分４４Ａ，４４Ｂは、それぞれ、全体が第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂと主磁極２７との間に配置されている。図１５に示したように、第２の部分４４Ａ，４４Ｂは、それぞれ、媒体対向面６０に配置された端面４４Ａａ，４４Ｂａを有している。第２の部分４４Ａ，４４Ｂは、それぞれ、第２の実施の形態における第２の部分４３Ａ，４３Ｂと同じ材料によって形成されている。

【0125】

図１３および図１５に示したように、第２の部分４４Ａは、主磁極２７と第２の柱状部分５９Ａとの間に形成された第１の溝に配置され、主磁極２７と第２の柱状部分５９Ａに接している。本実施の形態では、第２の部分４４Ａは、第１の溝のうちの媒体対向面６０の近傍の一部を埋め、第１の溝を完全には埋めていない。また、第２の部分４４Ｂは、主磁極２７と第３の柱状部分５９Ｂとの間に形成された第２の溝に配置され、主磁極２７と第３の柱状部分５９Ｂに接している。本実施の形態では、第２の部分４４Ｂは、第２の溝のうちの媒体対向面６０の近傍の一部を埋め、第２の溝を完全には埋めていない。なお、２つの第２の部分４４Ａ，４４Ｂは、第１および第２の溝を完全に埋めていてもよい。

【0126】

また、本実施の形態では、第１のヨーク部分３２の第１層３２Ａと第１の柱状部分５６の第１層５７の上面は、同一平面上に位置している。コイル２９の第１層２９Ａは、絶縁層３１の上に配置され、第１の柱状部分５６の第１層５７の周りに約３回巻かれている。絶縁層３４は、コイル２９の第１層２９Ａの巻線間、ならびに第１のヨーク部分３２の第１層３２Ａ、第１の柱状部分５６の第１層５７およびコイル２９の第１層２９Ａの周囲に配置されている。絶縁層３５は、コイル２９の第１層２９Ａおよび絶縁層３４の上に配置されている。

【0127】

また、本実施の形態では、第１のヨーク部分３２は、第１層３２Ａおよび第２層３２Ｂに加えて、第３層３２Ｃを有している。第３層３２Ｃは、第１層３２Ａの上に配置されている。第３層３２Ｃは、媒体対向面６０に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面６０から離れた位置に配置されている。第３層３２Ｃの上面と第１の柱状部分５６の第２層５８の上面は、同一平面上に位置している。コイル２９の第２層２９Ｂは、絶縁層３５の上に配置され、第１の柱状部分５６の第２層５８の周りに約３回巻かれている。

【0128】

本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドは、更に、絶縁層３８，３９を備えている。絶縁層３８は、コイル２９の第２層２９Ｂの巻線間、ならびに第１のヨーク部分３２の第３層３２Ｃ、第１の柱状部分５６の第２層５８およびコイル２９の第２層２９Ｂの周囲に配置されている。絶縁層３９は、コイル２９の第２層２９Ｂおよび絶縁層３０の上に配置されている。絶縁層３８，３９は、例えばアルミナによって形成されている。本実施の形態では、第１のヨーク部分３２の第２層３２Ｂは、第１のヨーク部分３２の第３層３２Ｃ、第１の柱状部分５６の第２層５８および絶縁層３９の上に配置されている。

【0129】

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第２の実施の形態と同様である。

【0130】

［第４の実施の形態］
次に、図１６ないし図２０を参照して、本発明の第４の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドについて説明する。図１６は、熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。図１７は、熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す正面図である。図１８は、熱アシスト磁気記録ヘッドの構成を示す断面図である。図１９は、熱アシスト磁気記録ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図２０は、熱アシスト磁気記録ヘッドの一部を示す平面図である。

【0131】

本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドでは、プラズモンジェネレータ２１よりも記録媒体８０の進行方向の後側の部分の構成が、第２の実施の形態と異なっている。本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドは、シールド５１の代わりに、シールド７０を備えている。シールド７０は、コア１８の前端面１８ａの近傍に配置されている。シールド７０は、磁性金属によって構成されている。

【0132】

以下、図１６、図１７および図２０を参照して、シールド７０およびコア１８の形状および配置について詳しく説明する。シールド７０は、媒体対向面６０に配置された第２の端面７０ａと、その反対側の後端面７０ｂと、上面７０ｃと、下面とを有している。また、シールド７０は、トラック幅方向（Ｘ方向）の寸法が、基板１の上面１ａに垂直な方向（Ｚ方向）の寸法よりも大きい形状を有している。

【0133】

主磁極２７の第１の端面２７ａとシールド７０の第２の端面７０ａは、記録媒体８０の進行方向について互いに異なる位置に配置されている。本実施の形態では、第２の端面７０ａは、第１の端面２７ａに対して、記録媒体８０の進行方向の後側に配置されている。プラズモンジェネレータ２１の近接場光発生部２１ｇは、第１の端面２７ａと第２の端面７０ａの間に配置されている。ここで、図１７に示したように、第１の端面２７ａと第２の端面７０ａとの間の距離を記号Ｄで表す。距離Ｄは、５０〜３００ｎｍの範囲内であることが好ましく、５０〜１００ｎｍの範囲内であることがより好ましい。

【0134】

図１７に示したように、コア１８の前端面１８ａは、媒体対向面６０から離れた位置に配置された第１の部分１８ａ１と、媒体対向面６０に配置された第２の部分１８ａ２とを含んでいる。第２の部分１８ａ２は、第１の部分１８ａ１に対して記録媒体８０の進行方向の後側に配置されている。また、第１の部分１８ａ１と第２の部分１８ａ２の間には、段差が形成されている。なお、前端面１８ａは、その全体が媒体対向面６０から離れた位置に配置されていてもよい。

【0135】

また、図１７に示したように、前端面１８ａは、記録媒体８０の進行方向（Ｚ方向）において互いに反対側に位置する第１の端縁Ｅ１および第２の端縁Ｅ２を有している。第１の端縁Ｅ１は、第２の端縁Ｅ２よりも、近接場光発生部２１ｇにより近い位置にある。第１の端縁Ｅ１は、第１の部分１８ａ１の記録媒体８０の進行方向の前側の端部でもある。第２の端縁Ｅ２は、第２の部分１８ａ２の記録媒体８０の進行方向の後側の端部でもある。

【0136】

図１７において、点線は、第１の端縁Ｅ１と第２の端縁Ｅ２の中間の位置を示している。以下、この中間の位置を記号Ｃで表す。また、前端面１８ａを、中間の位置Ｃから第１の端縁Ｅ１までの第１の領域Ｒ１と、中間の位置Ｃから第２の端縁Ｅ２までの第２の領域Ｒ２に分ける。第１の領域Ｒ１には、第１の部分１８ａ１と、第２の部分１８ａ２の一部が含まれる。第２の領域Ｒ２には、第２の部分１８ａ２の残りの部分が含まれる。

【0137】

シールド７０は、媒体対向面６０に垂直な方向（Ｙ方向）から見て、コア１８の前端面１８ａのうちの第１の領域Ｒ１にのみオーバーラップしている。シールド７０は、特に、第１の領域Ｒ１のうちの第１の部分１８ａ１にのみオーバーラップしている。シールド７０の後端面７０ｂの一部は、第１の部分１８ａ１に対向している。なお、後端面７０ｂの一部は、第１の部分１８ａ１に接していてもよいし、接していなくてもよい。後者の場合には、後端面７０ｂの一部と第１の部分１８ａ１の間にクラッドの一部が介在していてもよい。

【0138】

シールド７０は、媒体対向面６０に垂直な方向から見て第１の領域Ｒ１（第１の部分１８ａ１）にオーバーラップするオーバーラップ部分７１と、オーバーラップ部分７１のトラック幅方向（Ｘ方向）の両側に配置された第１の非オーバーラップ部分７２と第２の非オーバーラップ部分７３を有している。図２０では、オーバーラップ部分７１と第１および第２の非オーバーラップ部分７２，７３の境界を点線で示している。オーバーラップ部分７１における媒体対向面６０に垂直な方向の長さは、トラック幅方向の位置によらずに一定である。

【0139】

第１および第２の非オーバーラップ部分７２，７３は、媒体対向面６０に垂直な方向から見て、コア１８の前端面１８ａのトラック幅方向の両側に配置されている。従って、第１および第２の非オーバーラップ部分７２，７３は、前端面１８ａにオーバーラップしていない。媒体対向面６０に垂直な方向についての第１および第２の非オーバーラップ部分７２，７３のそれぞれの最大の長さは、同方向についてのオーバーラップ部分７１の長さよりも大きい。

【0140】

シールド７０の上面７０ｃとコア１８のエバネッセント光発生面１８ｂは、同一平面上に位置している。なお、上面７０ｃとエバネッセント光発生面１８ｂは、記録媒体８０の進行方向（Ｚ方向）について異なる位置に配置されていてもよい。プラズモンジェネレータ２１のプラズモン励起部２１ａは、上面７０ｃおよびエバネッセント光発生面１８ｂに対して所定の間隔をもって対向している。上面７０ｃおよびエバネッセント光発生面１８ｂの各々とプラズモン励起部２１ａとの間には、クラッド層２０の一部が介在している。

【0141】

本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドでは、非磁性層１０、絶縁層５２および磁性層５３，５４が設けられていない。中間シールド層９の上には、クラッド層１７が配置されている。磁性層５５は、クラッド層２０、誘電体層２２，２５，２６および絶縁層２３に埋め込まれている。

【0142】

第２の実施の形態で説明したように、帰磁路部Ｒは、第１のヨーク部分３２と、第２のヨーク部分５５Ａと、第１の柱状部分５６と、第２の柱状部分５９Ａと、第３の柱状部分５９Ｂとを含んでいる。本実施の形態では、第２の柱状部分５９Ａは、磁性層５５の連結部５５Ｂのみによって構成されている。第３の柱状部分５９Ｂは、磁性層５５の連結部５５Ｃのみによって構成されている。

【0143】

図１６、図１９および図２０に示したように、第２の柱状部分５９Ａと第３の柱状部分５９Ｂは、プラズモンジェネレータ２１のトラック幅方向の両側に配置されて、シールド７０に接続されている。第２のヨーク部分５５Ａは、第１の柱状部分５６の第２の端部５６ｂに接続され、且つ第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂを介してシールド７０に接続されている。

【0144】

第２の柱状部分５９Ａは、第１の非オーバーラップ部分７２に接続されている。具体的には、磁性層５５の下面５５ｂのうち、第２の柱状部分５９Ａを構成する連結部５５Ｂに属する部分は、シールド７０の上面７０ｃのうち、第１の非オーバーラップ部分７２に属する部分に接している。第３の柱状部分５９Ｂは、第２の非オーバーラップ部分７３に接続されている。具体的には、磁性層５５の下面５５ｂのうち、第３の柱状部分５９Ｂを構成する連結部５５Ｃに属する部分は、シールド７０の上面７０ｃのうち、第２の非オーバーラップ部分７３に属する部分に接している。

【0145】

次に、本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッド特有の作用および効果について説明する。シールド７０は、第２の実施の形態で説明したシールド５１の機能と同様の機能を有している。すなわち、シールド７０は、熱アシスト磁気記録ヘッドの外部から熱アシスト磁気記録ヘッドに印加された外乱磁界を取り込む機能と、主磁極２７の第１の端面２７ａより発生されて記録媒体８０の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体８０に達することを阻止する機能と、主磁極２７の第１の端面２７ａより発生されて、記録媒体８０の一部を磁化した磁束を、主磁極２７に還流させる機能を有している。

【0146】

本実施の形態では、シールド７０は、媒体対向面６０に垂直な方向から見て、コア１８の前端面１８ａのうち、主磁極２７により近い第１の領域Ｒ１にのみオーバーラップしている。これにより、本実施の形態によれば、第２の実施の形態に比べて、主磁極２７の第１の端面２７ａとシールド７０の第２の端面７０ａとを近づけることができる。具体的には、本実施の形態によれば、容易に、距離Ｄが５０〜３００ｎｍの範囲内となるように、第１の端面２７ａと第２の端面７０ａとを近づけることが可能である。その結果、本実施の形態によれば、シールド７０の機能を効果的に発揮させて、記録磁界強度の勾配を大きくすることが可能になる。なお、距離Ｄの下限値５０ｎｍは、第１の端面２７ａと第２の端面７０ａの間に近接場光発生部２１ｇを配置するために必要な大きさである。記録磁界強度の勾配を大きくするためには、距離Ｄは小さい方がよい。これらのことから、距離Ｄは、５０〜３００ｎｍの範囲内であることが好ましく、５０〜１００ｎｍの範囲内であることがより好ましい。

【0147】

また、本実施の形態では、プラズモンジェネレータ２１の近接場光発生部２１ｇは、媒体対向面６０において、第１の端面２７ａと第２の端面７０ａとの間に配置されている。これにより、近接場光発生部２１ｇの近傍において、記録磁界強度の勾配が大きな記録磁界を発生させることができる。これらのことから、本実施の形態によれば、線記録密度を高めることが可能になる。

【0148】

なお、シールド７０とコア１８の前端面１８ａが広い面積にわたって対向すると、コア１８を伝搬する光５０が前端面１８ａを通過してシールド７０に入射し、シールド７０が加熱されて膨張し、シールド７０が記録媒体８０に向けて突出し、記録媒体８０に衝突しやすくなるという問題が発生する。これを防止するため、媒体対向面６０と記録媒体８０との距離を大きくすると、オーバーライト特性等の記録特性が劣化したり、エラーレートが大きくなったりするといった問題が発生する。これに対し、本実施の形態では、シールド７０は、媒体対向面６０に垂直な方向から見て、前端面１８ａのうちの第１の領域Ｒ１にのみオーバーラップしている。すなわち、前端面１８ａのうち少なくとも第２の領域Ｒ２と媒体対向面６０との間には、シールド７０が存在していない。これにより、本実施の形態によれば、シールド７０とコア１８の前端面１８ａが広い面積にわたって対向することがなく、上記の問題が発生することを防止することができる。

【0149】

上記の問題の発生をより確実に防止するために、前端面１８ａのうち、媒体対向面６０に垂直な方向から見てシールド７０がオーバーラップする領域は、中間の位置Ｃよりも第１の端縁Ｅ１により近い位置（第１の端縁Ｅ１は含まない）から第１の端縁Ｅ１までの領域のみであってもよい。

【0150】

また、本実施の形態では、シールド７０は、トラック幅方向（Ｘ方向）の寸法が、基板１の上面１ａに垂直な方向（Ｚ方向）の寸法よりも大きい形状を有している。そのため、シールド７０が、前端面１８ａのうちの第１の領域Ｒ１にのみオーバーラップしていても、シールド７０のトラック幅方向の両側の２つの部分に、第２および第３の柱状部分５９Ａ，５９Ｂを接続することが可能である。

【0151】

また、本実施の形態では、プラズモンジェネレータ２１のリーディング側であって、近接場光発生部２１ｇの近傍に、磁性金属よりなるシールド７０が設けられている。シールド７０の上面７０ｃは、プラズモンジェネレータ２１のプラズモン励起部２１ａに近いことから、この上面７０ｃにも表面プラズモンが励起される。そして、近接場光発生部２１ｇの近傍において、プラズモン励起部２１ａ上の表面プラズモンが発生する電気力線と、シールド７０の上面７０ｃ上の表面プラズモンが発生する電気力線とが互いに結ばれて、近接場光発生部２１ｇの近傍の狭い範囲内で、高密度の電気力線が発生する。これにより、近接場光発生部２１ｇより発生される近接場光の広がりが抑制される。このように、本実施の形態におけるシールド７０は、近接場光の広がりを抑制する機能も有する。そして、この機能により、本実施の形態によれば、トラック幅を縮小して、記録密度を高めることが可能になる。

【0152】

また、本実施の形態では、媒体対向面６０に垂直な方向についてのシールド７０の第１および第２の非オーバーラップ部分７２，７３のそれぞれの最大の長さは、同方向についてのシールド７０のオーバーラップ部分７１の長さよりも大きい。これにより、本実施の形態によれば、シールド７０の途中で磁束が飽和することを防止しながら、シールド７０の前述の機能を高めることができる。

【0153】

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第２の実施の形態と同様である。

【0154】

［第５の実施の形態］
次に、図２１を参照して、本発明の第５の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドについて説明する。図２１は、熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。

【0155】

以下、本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの構成が、第４の実施の形態と異なる点について説明する。本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドでは、プラズモンジェネレータ２１よりも記録媒体８０の進行方向の前側の部分の構成が、第３の実施の形態における構成と同じになっている。すなわち、本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドは、第３の実施の形態で説明した２つの磁性層６１，６２を備えている。本実施の形態では、磁性層６１，６２は、クラッド層２０、誘電体層２２，２５，２６および絶縁層２３（図１４および図１５参照）を貫通して、磁性層５５とシールド７０とを接続している。磁性層６１の下面は、シールド７０の上面７０ｃのうち、第１の非オーバーラップ部分７２に属する部分に接している。磁性層６２の下面は、シールド７０の上面７０ｃのうち、第２の非オーバーラップ部分７３に属する部分に接している。第２の柱状部分５９Ａは、磁性層６１と、磁性層５５の連結部５５Ｂとによって構成されている。第３の柱状部分５９Ｂは、磁性層６２と、磁性層５５の連結部５５Ｃとによって構成されている。

【0156】

また、本実施の形態におけるヒートシンク４０は、第４の実施の形態における２つの第２の部分４３Ａ，４３Ｂの代わりに、第３の実施の形態で説明した２つの第２の部分４４Ａ，４４Ｂを有している。また、本実施の形態では、第１のヨーク部分３２は、第１層３２Ａおよび第２層３２Ｂに加えて、第３の実施の形態で説明した第３層３２Ｃを有している。また、熱アシスト磁気記録ヘッドは、更に、第３の実施の形態における図１４に示した絶縁層３８，３９を備えている。本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドにおける、プラズモンジェネレータ２１よりも記録媒体８０の進行方向の前側の部分の構成要素の形状および配置は、第３の実施の形態と同じである。

【0157】

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第３または第４の実施の形態と同様である。

【0158】

［第６の実施の形態］
次に、図２２ないし図２４を参照して、本発明の第６の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドについて説明する。図２２は、熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。図２３は、熱アシスト磁気記録ヘッドの構成を示す断面図である。図２４は、熱アシスト磁気記録ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。

【0159】

本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの構成は、以下の点で第５の実施の形態と異なっている。本実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドは、第１および第２の実施の形態で説明した非磁性層１０および絶縁層５２と、それぞれ磁性材料よりなるサブシールド７６、第４の柱状部分７７および第５の柱状部分７８とを備えている。サブシールド７６の形状および配置は、第２の実施の形態におけるシールド５１と同じである。すなわち、サブシールド７６は、非磁性層１０の上に配置され、媒体対向面６０に配置された前端面と、この前端面とは反対側の後端面と、上面とを有している。また、サブシールド７６は、中央部分７６Ａと、この中央部分７６Ａのトラック幅方向（Ｘ方向）の両側に配置された第１の側方部分７６Ｂおよび第２の側方部分７６Ｃとを有している。中央部分７６Ａにおける媒体対向面６０に垂直な方向の長さは、トラック幅方向の位置によらずに一定である。媒体対向面６０に垂直な方向についての側方部分７６Ｂ，７６Ｃのそれぞれの最大の長さは、同方向についての中央部分７６Ａの長さよりも大きい。

【0160】

第４および第５の柱状部分７７，７８は、媒体対向面６０の近傍においてコア１８のトラック幅方向の両側に配置されている。また、第４および第５の柱状部分７７，７８は、クラッド層１７，１９を貫通して、シールド７０とサブシールド７６とを接続している。第４および第５の柱状部分７７，７８は、それぞれ、媒体対向面６０に配置された前端面と、上面と、下面とを有している。第４の柱状部分７７の上面は、シールド７０の下面のうち、第１の非オーバーラップ部分７２（図２０参照）に属する部分に接している。第４の柱状部分７７の下面は、サブシールド７６の上面のうち、第１の側方部分７６Ｂに属する部分に接している。第５の柱状部分７８の上面は、シールド７０の下面のうち、第２の非オーバーラップ部分７３（図２０参照）に属する部分に接している。第５の柱状部分７８の下面は、サブシールド７６の上面のうち、第２の側方部分７６Ｃに属する部分に接している。

【0161】

サブシールド７６は、第４の実施の形態で説明したシールド７０の機能と同様の機能を有している。すなわち、サブシールド７６は、熱アシスト磁気記録ヘッドの外部から熱アシスト磁気記録ヘッドに印加された外乱磁界を取り込む機能と、主磁極２７の第１の端面２７ａより発生されて記録媒体８０の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体８０に達することを阻止する機能と、主磁極２７の第１の端面２７ａより発生されて、記録媒体８０の一部を磁化した磁束を、主磁極２７に還流させる機能を有している。また、サブシールド７６、第４の柱状部分７７および第５の柱状部分７８は、シールド７０において磁束が飽和することを防止する機能を有している。これにより、本実施の形態によれば、第４の実施の形態で説明したシールド７０の機能をより高めることができる。

【0162】

なお、本実施の形態において、プラズモンジェネレータ２１よりも記録媒体８０の進行方向の前側の部分の構成は、第４の実施の形態における構成と同じであってもよい。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第４または第５の実施の形態と同様である。

【0163】

なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、請求の範囲の要件を満たす限り、主磁極の形状および配置、ならびにヒートシンク４０の第１および第２の部分の数、形状および配置は、各実施の形態に示した例に限られず、任意である。

【符号の説明】

【0164】

１８…コア、２１…プラズモンジェネレータ、２７…主磁極、２９…コイル、４０…ヒートシンク、４１Ａ，４１Ｂ…第１の部分、４２Ａ，４２Ｂ…第２の部分。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】