特許5933233成膜装置および気化器の設置方法

発明の名称　成膜装置および気化器の設置方法

出願人　株式会社渡辺商行　（識別番号 591277382）

　　　　特許公開件数ランキング 30926 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25042 位（0件）（共同出願を含む）

出願人　都田　昌之　（識別番号 596005001）

　　　　特許公開件数ランキング 30926 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25042 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5933233

公報発行日　2016年6月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5933233

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