特許5933560基板を被覆する装置および方法ならびにターゲット

発明の名称　基板を被覆する装置および方法ならびにターゲット

出願人　ジングルス・テヒノロギース・アクチェンゲゼルシャフト　（識別番号 399123085）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5933560

公報発行日　2016年6月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5933560

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