特許5934227大きなターゲットによる高圧スパッタリングのためのスパッタ源およびスパッタリング方法

発明の名称　大きなターゲットによる高圧スパッタリングのためのスパッタ源およびスパッタリング方法

出願人　フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング　（識別番号 390035448）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5934227

公報発行日　2016年6月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5934227

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