特許5934542基板保持装置、および、基板処理装置

発明の名称　基板保持装置、および、基板処理装置

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 59 位（430件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 70 位（334件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5934542

公報発行日　2016年6月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5934542

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