特許 5936215 収容ユニット及び電子部品搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5936215

(24)【登録日】2016年5月20日

(45)【発行日】2016年6月22日

(54)【発明の名称】収容ユニット及び電子部品搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B65B 15/04 20060101AFI20160609BHJP

   B65B 57/02 20060101ALI20160609BHJP

【ＦＩ】

   B65B15/04 D

   B65B15/04 N

   B65B57/02 C

【請求項の数】10

【全頁数】28

(21)【出願番号】特願2015-518111(P2015-518111)

(86)(22)【出願日】2015年3月23日

(86)【国際出願番号】JP2015058716

(87)【国際公開番号】WO2015151896

(87)【国際公開日】20151008

【審査請求日】2015年4月8日

(31)【優先権主張番号】PCT/JP2014/059979

(32)【優先日】2014年4月4日

(33)【優先権主張国】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】591048070

【氏名又は名称】上野精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100081961

【弁理士】

【氏名又は名称】木内 光春

(72)【発明者】

【氏名】南 日出夫

(72)【発明者】

【氏名】木村 浩之

【審査官】 谿花 正由輝

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−０３５５６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 登録実用新案第３０１２４９０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 国際公開第２０１２／１０７９５６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００９−１５４８８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−０１０１４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２８６４９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０４−０８６７０１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開平０５−０９２１１２（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｂ １５／０４

Ｂ６５Ｂ ５７／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

多数の収容箇所を有する収容体を保持し、搬送経路に沿って運搬された電子部品を収容ポジションで収容する収容ユニットであって、
前記収容体を平面移動させ、前記各収容箇所を前記収容ポジションに位置させる第１の移動手段と、
前記収容ポジション又は前記収容ポジションに至る前に前記収容箇所を撮像する収容箇所撮像手段と、
前記搬送経路上で前記電子部品を撮像する部品撮像手段と、
前記部品撮像手段が撮像した画像を解析して前記電子部品の位置を検出する部品位置検出手段と、
前記部品位置検出手段が検出した前記電子部品の位置と前記収容箇所撮像手段が撮像した画像に基づき、前記収容箇所の前記電子部品に対するズレを検出する収容箇所ズレ検出手段と、
ズレが検出された前記収容箇所に前記電子部品を収容する前に、当該収容箇所の前記電子部品に対するズレを解消するように前記収容体を平面移動させる第２の移動手段と、
を備え、
前記収容箇所ズレ検出手段は、前記収容箇所撮像手段が撮像した画像に基づき、前記収容箇所の基準位置に対する、前記収容体の開口面に平行な所定のX軸方向の位置ズレ量と、前記収容体の開口面に平行な前記X軸と直交するY軸方向の位置ズレ量と、前記収容体の基準向きからの向きズレ量とを検出し、検出した前記X軸及びY軸方向の位置ズレ量、前記向きズレ量及び前記収容箇所の寸法に基づいて前記収容箇所の各辺の位置を算出し、電子部品の四隅の位置座標と収容箇所の内壁との距離を検出し、
前記第２の移動手段は、前記収容箇所の内壁と前記電子部品が、接触する危険性がある所定距離以内に近づく場合にのみ、前記収容箇所の前記電子部品に対するズレを解消することを特徴とする収容ユニット。

【請求項2】

前記搬送経路上で前記電子部品を撮像する部品撮像手段と、
前記部品撮像手段が撮像した画像を解析して前記電子部品の基準位置に対するズレを検出する部品位置検出手段と、
前記電子部品の基準位置に対するズレを解消するように前記電子部品を平面移動させる第３の移動手段と、
を更に備えること、
を特徴とする請求項１記載の収容ユニット。

【請求項3】

前記第２の移動手段は、
前記収容箇所ズレ検出手段により検出された前記収容箇所のズレが所定以上の場合にのみ、前記収容箇所のズレを解消すること、
を特徴とする請求項１記載の収容ユニット。

【請求項4】

前記収容箇所の内壁と前記電子部品との近さを判定する判定手段と、
前記判定手段に従って、前記第２の移動手段によるズレ解消の駆動又は非駆動を制御する駆動制御手段と、
を更に備えること、
を特徴とする請求項１又は４記載の収容ユニット。

【請求項5】

電子部品を搬送経路に沿って搬送し、多数の収容箇所を有する収容体に電子部品を収容する電子部品搬送装置であって、
前記電子部品を保持及び離脱させる保持手段と、
前記保持手段を外周に有し、間欠回転する搬送テーブルと、
前記保持手段の停止位置の一箇所に設定される収容ポジションと、
前記収容体を平面移動させ、前記各収容箇所を前記収容ポジションに位置させる第１の移動手段と、
前記収容ポジション又は前記収容ポジションに至る前に前記収容箇所を撮像する収容箇所撮像手段と、
前記搬送経路上で前記電子部品を撮像する部品撮像手段と、
前記部品撮像手段が撮像した画像を解析して前記電子部品の位置を検出する部品位置検出手段と、
前記部品位置検出手段が検出した前記電子部品の位置と前記収容箇所撮像手段が撮像した画像に基づき、前記収容箇所の前記電子部品に対するズレを検出する収容箇所ズレ検出手段と、
ズレが検出された前記収容箇所に前記電子部品を収容する前に、当該収容箇所の前記電子部品に対するズレを解消するように前記収容体を平面移動させる第２の移動手段と、
を備え、
前記収容箇所ズレ検出手段は、前記収容箇所撮像手段が撮像した画像に基づき、前記収容箇所の基準位置に対する、前記収容体の開口面に平行な所定のX軸方向の位置ズレ量と、前記収容体の開口面に平行な前記X軸と直交するY軸方向の位置ズレ量と、前記収容体の基準向きからの向きズレ量とを検出し、検出した前記X軸及びY軸方向の位置ズレ量、前記向きズレ量及び前記収容箇所の寸法に基づいて前記収容箇所の各辺の位置を算出し、電子部品の四隅の位置座標と収容箇所の内壁との距離を検出し、
前記第２の移動手段は、前記収容箇所の内壁と前記電子部品が、接触する危険性がある所定距離以内に近づく場合にのみ、前記収容箇所の前記電子部品に対するズレを解消することを特徴とする電子部品搬送装置。

【請求項6】

前記保持手段は、前記搬送テーブルの半径方向外部に延びて、前記収容体に向けて屈曲し、屈曲先端で電子部品を保持し、
前記収容ポジションは、前記保持手段の屈曲先に設定され、
前記ズレ確認ポジションは、前記保持手段の屈曲先端よりも前記搬送テーブルの中心寄りに設定されること、
を特徴とする請求項５記載の電子部品搬送装置。

【請求項7】

前記搬送テーブルの半径方向と直交する方向に延びるレールを前記搬送テーブルの外周に備え、
前記保持手段は、前記レールにガイドされて摺動し、前記収容体へ向けて進退すること、
を特徴とする請求項６記載の電子部品搬送装置。

【請求項8】

前記搬送経路上で前記電子部品を撮像する部品撮像手段と、
前記部品撮像手段が撮像した画像を解析して前記電子部品の基準位置に対するズレを検出する部品位置検出手段と、
前記電子部品の基準位置に対するズレを解消するように前記電子部品を平面移動させる第３の移動手段と、
を更に備えること、
を特徴とする請求項５乃至７の何れかに記載の電子部品搬送装置。

【請求項9】

前記第２の移動手段は、
前記収容箇所ズレ検出手段により検出された前記収容箇所のズレが所定以上の場合にのみ、前記収容箇所のズレを解消すること、
を特徴とする請求項５記載の電子部品搬送装置。

【請求項10】

前記収容箇所の内壁と前記電子部品との近さを判定する判定手段と、
前記判定手段に従って、前記第２の移動手段によるズレ解消の駆動又は非駆動を制御する駆動制御手段と、
を更に備えること、
を特徴とする請求項５又は９記載の電子部品搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送経路を通った電子部品を収容する収容ユニット及び搬送経路を形成して該収容ユニットを備える電子部品搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体素子等の電子部品は、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経て個片に分離された後、各種検査等の工程が行われる。この工程は、一般的にはテストハンドラと呼ばれる電子部品検査装置で行われる。これは、メインテーブルを回転させ、搬送部の電子部品を吸着ノズル等の保持手段で保持し、各検査装置に対して搬送して検査を行うものである。検査を終えた電子部品は、テーピングユニットにおいてキャリアテープのポケットに収容される。

【0003】

キャリアテープは長い帯状体であり、長手方向に沿ってポケットの列が形成されている。ポケットは、設計上、電子部品を収納する大きさ及び深さを有し、長手方向に沿って等間隔である。また、ポケットは、設計上、テープの幅中心に位置し、キャリアテープの幅方向及び長手方向と各辺が平行になるように向きを揃えている（例えば特許文献１参照）。

【0004】

そのため、テーピングユニットは、搬送経路と重複する収容ポジションをキャリアテープ上に設定し、その収容ポジションに向けて各ポケットが順次移動するように間欠的にキャリアテープを送れば、各ポケットに順次電子部品を挿入することができた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１２−００１２３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

キャリアテープに対するポケットの位置は、設計上、テープの幅中心に位置し、キャリアテープの幅方向及び長手方向と各辺が平行になるように向きを揃えているとはいっても、製造誤差により微妙にバラツキが生じ得る。そこで、この製造誤差と電子部品とポケットとの許容可能なクリアランスとを考慮しつつ、ポケットの大きさを設計すればよかった。

【0007】

しかしながら、近年は、０６０３サイズ（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ）や０４０２サイズ（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）等の微小な電子部品が普及しつつある。このサイズの電子部品では、ポケットとのクリアランスが厳しく、ポケットが製造誤差により微妙にシフトしてしまっただけでも、ポケットを画成する壁と電子部品の衝突や挿入ミスが発生することとなる。例えば、０６０３サイズに合わせて０．７ｍｍ×０．４ｍｍ角のポケットを形成した場合、そのポケットが０．１ｍｍ横にシフトするだけで電子部品とポケットを画成する壁との衝突が発生し、０．２ｍｍ横にシフトするだけで挿入ミスが発生する。

【0008】

このような問題は、キャリアテープの他にもトレイやウェハシート等の電子部品を収容するあらゆる収容体に対して発生し得る。本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、キャリアテープやトレイやウェハシート等の収容体に対して収容箇所の形成位置に製造誤差が存在していても適正に電子部品を収容することができる収容ユニット及び電子部品搬送装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明に係る収容ユニットは、多数の収容箇所を有する収容体を保持し、搬送経路に沿って運搬された電子部品を収容ポジションで収容する収容ユニットであって、前記収容体を平面移動させ、前記各収容箇所を前記収容ポジションに位置させる第１の移動手段と、 前記収容ポジション又は前記収容ポジションに至る前に前記収容箇所を撮像する収容箇所撮像手段と、前記搬送経路上で前記電子部品を撮像する部品撮像手段と、前記部品撮像手段が撮像した画像を解析して前記電子部品の位置を検出する部品位置検出手段と、前記部品位置検出手段が検出した前記電子部品の位置と前記収容箇所撮像手段が撮像した画像に基づき、前記収容箇所の前記電子部品に対するズレを検出する収容箇所ズレ検出手段と、ズレが検出された前記収容箇所に前記電子部品を収容する前に、当該収容箇所の前記電子部品に対するズレを解消するように前記収容体を平面移動させる第２の移動手段と、を備え、前記収容箇所ズレ検出手段は、前記収容箇所撮像手段が撮像した画像に基づき、前記収容箇所の基準位置に対する、前記収容体の開口面に平行な所定のX軸方向の位置ズレ量と、前記収容体の開口面に平行な前記X軸と直交するY軸方向の位置ズレ量と、前記収容体の基準向きからの向きズレ量とを検出し、検出した前記X軸及びY軸方向の位置ズレ量、前記向きズレ量及び前記収容箇所の寸法に基づいて前記収容箇所の各辺の位置を算出し、電子部品の四隅の位置座標と収容箇所の内壁との距離を検出し、前記第２の移動手段は、前記収容箇所の内壁と前記電子部品が、接触する危険性がある所定距離以内に近づく場合にのみ、前記収容箇所の前記電子部品に対するズレを解消すること、を特徴とする。

【0011】

前記搬送経路上で前記電子部品を撮像する部品撮像手段と、前記部品撮像手段が撮像した画像を解析して前記電子部品の基準位置に対するズレを検出する部品位置検出手段と、前記電子部品の基準位置に対するズレを解消するように前記電子部品を平面移動させる第３の移動手段と、を更に備えるようにしてもよい。

【0013】

前記第２の移動手段は、前記収容箇所ズレ検出手段により検出された前記収容箇所のズレが所定以上の場合にのみ、前記収容箇所のズレを解消するようにしてもよい。

【0014】

前記収容箇所の内壁と前記電子部品との近さを判定する判定手段と、前記判定手段に従って、前記第２の移動手段によるズレ解消の駆動又は非駆動を制御する駆動制御手段と、を更に備えるようにしてもよい。

【0015】

また、本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送経路に沿って搬送し、多数の収容箇所を有する収容体に電子部品を収容する電子部品搬送装置であって、前記電子部品を保持及び離脱させる保持手段と、前記保持手段を外周に有し、間欠回転する搬送テーブルと、前記保持手段の停止位置の一箇所に設定される収容ポジションと、前記収容体を平面移動させ、前記各収容箇所を前記収容ポジションに位置させる第１の移動手段と、前記収容ポジション又は前記収容ポジションに至る前に前記収容箇所を撮像する収容箇所撮像手段と、前記搬送経路上で前記電子部品を撮像する部品撮像手段と、前記部品撮像手段が撮像した画像を解析して前記電子部品の位置を検出する部品位置検出手段と、前記部品位置検出手段が検出した前記電子部品の位置と前記収容箇所撮像手段が撮像した画像に基づき、前記収容箇所の前記電子部品に対するズレを検出する収容箇所ズレ検出手段と、ズレが検出された前記収容箇所に前記電子部品を収容する前に、当該収容箇所の前記電子部品に対するズレを解消するように前記収容体を平面移動させる第２の移動手段と、を備え、前記収容箇所ズレ検出手段は、前記収容箇所撮像手段が撮像した画像に基づき、前記収容箇所の基準位置に対する、前記収容体の開口面に平行な所定のX軸方向の位置ズレ量と、前記収容体の開口面に平行な前記X軸と直交するY軸方向の位置ズレ量と、前記収容体の基準向きからの向きズレ量とを検出し、検出した前記X軸及びY軸方向の位置ズレ量、前記向きズレ量及び前記収容箇所の寸法に基づいて前記収容箇所の各辺の位置を算出し、電子部品の四隅の位置座標と収容箇所の内壁との距離を検出し、前記第２の移動手段は、前記収容箇所の内壁と前記電子部品が、接触する危険性がある所定距離以内に近づく場合にのみ、前記収容箇所の前記電子部品に対するズレを解消すること、を特徴とする。

【0017】

前記保持手段は、前記搬送テーブルの半径方向外部に延びて、前記収容体に向けて屈曲し、屈曲先端で電子部品を保持し、前記収容ポジションは、前記保持手段の屈曲先に設定され、前記ズレ確認ポジションは、前記保持手段の屈曲先端よりも前記搬送テーブルの中心寄りに設定されるようにしてもよい。

【0018】

前記搬送テーブルの半径方向と直交する方向に延びるレールを前記搬送テーブルの外周に備え、前記保持手段は、前記レールにガイドされて摺動し、前記収容体へ向けて進退するようにしてもよい。

【0019】

前記搬送経路上で前記電子部品を撮像する部品撮像手段と、前記部品撮像手段が撮像した画像を解析して前記電子部品の基準位置に対するズレを検出する部品位置検出手段と、前記電子部品の基準位置に対するズレを解消するように前記電子部品を平面移動させる第３の移動手段と、を更に備えるようにしてもよい。

【0021】

前記第２の移動手段は、前記収容箇所ズレ検出手段により検出された前記収容箇所のズレが所定以上の場合にのみ、前記収容箇所のズレを解消するようにしてもよい。

【0022】

前記収容箇所の内壁と前記電子部品との近さを判定する判定手段と、前記判定手段に従って、前記第２の移動手段によるズレ解消の駆動又は非駆動を制御する駆動制御手段と、を更に備えるようにしてもよい。

【発明の効果】

【0023】

本発明によれば、電子部品の収容箇所が製造上の誤差によりシフトしてしまっても、収容ポジションでは基準位置及び基準向きを保つことができ、電子部品を精度よく収容することができ、電子部品の収容箇所を画成する壁への接触や挿入ミスが発生しにくくなる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】第１の実施形態に係るテーピングユニットの側面図である。

【図2】第１の実施形態に係るテーピングユニットの上面図である。

【図3】第１の実施形態に係るテーピングユニットによる収容箇所のズレ解析を示す模式図である。

【図4】第１の実施形態に係るテーピングユニットによるポケットのズレ補正を示す模式図であり、第１の過程を示す。

【図5】第１の実施形態に係るテーピングユニットによるポケットのズレ補正を示す模式図であり、第２の過程を示す。

【図6】第１の実施形態に係るテーピングユニットによるポケットのズレ補正を示す模式図であり、第３の過程を示す。

【図7】第１の実施形態に係るテーピングユニットによるポケットのズレ補正を示す模式図であり、第４の過程を示す。

【図8】第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の構成を示す上面図である。

【図9】第１の実施形態に係る電子部品搬送装置に対するテーピングユニットの第１の配置方法を示し、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は側面図である。

【図10】第１の実施形態に係る電子部品搬送装置に対するテーピングユニットの第２の配置方法を示し、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は上面図のＡ方向から見た側面図である。

【図11】第１の実施形態に係る電子部品搬送装置に対するテーピングユニットの第３の配置方法を示し、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は上面図のＢ方向から見た側面図である。

【図12】第２の実施形態に係る電子部品搬送装置の構成を示す上面図である。

【図13】第２の実施形態に係る電子部品搬送装置が搭載するテーピングユニットの制御を示す構成図である。

【図14】第２の実施形態に係るテーピングユニットによる電子部品のズレ解析を示す模式図である。

【図15】第２の実施形態に係るテーピングユニットによるポケットのズレ解析を示す模式図である。

【図16】第２の実施形態に係るテーピングユニットによるポケットのズレ補正を示す模式図である。

【図17】第３の実施形態に係る電子部品搬送装置の構成を示す上面図である。

【図18】第３の実施形態に係る電子部品搬送装置による電子部品のキャリアテープへの搬送を示す模式図である。

【図19】第３の実施形態に係るテーピングユニットによる制御を示す構成図である。

【図20】第４の実施形態に係る補正部の制御構成を示すブロック図である。

【図21】第４の実施形態に係る判定部と駆動制御部の動作を示すフローチャートである。

【図22】第４の実施形態において閾値Ｘｔと閾値Ｙｔを示す模式図である。

【図23】第４の実施形態に係り、横軸を電子部品、縦軸を位置ズレとして、閾値との関係を示したグラフである。

【図24】第４の実施形態に係り、電子部品のポケットへの収納動作の平均タクトタイムを示す表である。

【図25】第４の実施形態の変形例１に係り、ポケットの内壁と電子部品との近さを算出する模式図である。

【図26】第４の実施形態の変形例２に係り、ポケットの内壁と電子部品との近さを算出する模式図である。

【図27】収容ユニットの他の態様であるトレイ移動ユニットを示す側面図である。

【図28】収容ユニットの他の態様であるトレイ移動ユニットを示す上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

（第１の実施形態）
（テーピングユニット）
本発明の実施形態に係るテーピングユニットについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。まず、図１及び２に示すテーピングユニット２は、収容体を保持して収容箇所に電子部品Ｄを収容する収容ユニットの一例である。このテーピングユニット２は、キャリアテープＴを保持し、キャリアテープＴに形成された各ポケットＴ１に電子部品Ｄを収容する。

【0026】

キャリアテープＴ上の一箇所には、電子部品Ｄの搬送経路と重複する収容ポジションＰ１を有する。テーピングユニット２は、収容ポジションＰ１に各ポケットＴ１を位置させ、搬送経路に沿って収容ポジションＰ１に運搬された電子部品ＤをポケットＴ１に収容する。電子部品Ｄは、保持手段１１によって保持されながら搬送経路に沿って運搬される。保持手段１１は、収容ポジションＰ１で停止し、電子部品ＤをポケットＴ１に向けて離脱させる。

【0027】

また、キャリアテープＴ上の他の箇所には、収容検査ポジションＰ３を有する。収容検査ポジションＰ３では、ポケットＴ１に収容された電子部品Ｄの誤収容を検出する。すなわち、収容検査ポジションＰ３には、収容検査ポジションＰ３に位置するポケットＴ１の内部を撮像する第１の撮像部２６を備えている。

【0028】

ポケットＴ１に収容される電子部品Ｄは、電気製品に使用される部品である。電子部品Ｄとしては、半導体素子、及び半導体素子以外の抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。半導体素子としては、トランジスタ、ダイオード、ＬＥＤ、及びサイリスタ等のディスクリート半導体、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路等を挙げることができる。さらに半導体以外の電子部品Ｄとして、チップコンデンサ、チップ抵抗、インダクタ、フィルタ、アイソレータ等も含まれる。

【0029】

テーピングユニット２が保持するキャリアテープＴは、紙やポリスチレン樹脂等の化成品から成る長い帯状体であり、巻出し及び巻取り可能に可撓性を有する。このキャリアテープＴには、長手方向に沿ってポケットＴ１の列が形成されている。ポケットＴ１は、設計上、電子部品Ｄを収納する大きさ及び深さを有し、長手方向に沿って等間隔である。また、ポケットＴ１は、設計上、テープの幅中心に位置し、キャリアテープＴの幅方向及び長手方向と各辺が平行になるように向きを揃えている。

【0030】

このテーピングユニット２は、目的の異なる２つの移動手段によってキャリアテープＴを移動させる。第１の移動手段は、キャリアテープＴを長手方向に水平移動させて各ポケットＴ１を後述するズレ確認ポジションＰ２と収容ポジションＰ１と収容検査ポジションＰ３に順に移動させる２機のスプロケット２１、２２である。第２の移動手段は、収容ポジションＰ１にポケットＴ１が位置したときに、そのポケットＴ１が基準の位置及び向きとなるように事前にキャリアテープＴを移動させる補正部２５である。基準位置とは、保持手段１１が収容ポジションＰ１に到達した際の保持手段１１の真下とポケットＴ１の中心とが合致する位置である。また基準向きとは、補正前のキャリアテープＴの幅方向又は長手方向とポケットＴ１の一辺とが合致する向きである。

【0031】

２機のスプロケット２１、２２は、キャリアテープＴの長手方向に沿って等間隔に穿設されたスプロケット孔に嵌合しつつ間欠回転することで、キャリアテープＴを間欠的に走行させ、各ポケットＴ１を収容ポジションＰ１に順に位置させる。この２機のスプロケット２１、２２は、周面に沿って突起が突設される同径の円盤であり、同一垂直面上に並び、回転軸が平行且つ同一高さである。キャリアテープＴは、両スプロケット２１、２２に架橋され、突起がスプロケット孔に噛合する。スプロケット孔を介して突起から外力を受け、スプロケット２１、２２の回転に連動して長手方向に走行する。

【0032】

このスプロケット２１、２２は、それぞれ対応のモータ２３、２４で軸支され、同一周方向に回転する。両モータ２３、２４は、１ピッチずつ間欠回転する。そのピッチは、ポケットＴ１の設計上の配置間隔に同一である。つまり、ポケットＴ１は、共通の停止位置で停止する。そして、テーピングユニット２は、ポケットＴ１の停止位置の１つを搬送経路上の収容ポジションＰ１に原則的に合致させ、保持手段１１が離脱する電子部品ＤをキャリアテープＴのポケットＴ１で受ける。また、テーピングユニット２は、ポケットＴ１の停止位置の他の１つを搬送経路上の収容検査ポジションＰ３に原則的に合致させ、ポケットＴ１内部の電子部品Ｄの収容態様を検査する。

【0033】

補正部２５は、テーピングユニット２のユニット本体２９をＺ軸周りに回転させるＺ軸回転駆動部２５１と、ユニット本体２９をＺ軸と直交するＸ軸方向に移動させるＸ軸移動駆動部２５２と、ユニット本体２９をＺ軸とＸ軸に直交するＹ軸方向に移動させるＹ軸移動駆動部２５３を備える。テーピングユニット２のユニット本体２９は、キャリアテープＴの支持体であり、スプロケット２１、２２と、そのスプロケット２１、２２を軸支するケースである。Ｚ軸は、収容ポジションＰ１を通り、ポケットＴ１の開口面と直交する。Ｘ軸は、収容ポジションＰ１を通り、ポケットＴ１の開口面と平行であり、望ましくはキャリアテープＴの長手方向に沿う。Ｙ軸は、収容ポジションＰ１を通り、ポケットＴ１の開口面と平行であり、望ましくはキャリアテープＴの幅方向に沿う。

【0034】

Ｚ軸回転駆動部２５１は、回転軸２５１ｂを有するモータ２５１ａであり、ユニット本体２９の底面に配置される。Ｚ軸回転駆動部２５１の回転軸２５１ｂは、Ｚ軸と同軸であり、ユニット本体２９の底面に固定されている。Ｘ軸移動駆動部２５２は、Ｚ軸回転駆動部２５１のモータ２５１ａが載置されるスライダ２５２ａと、スライダ２５２ａが嵌合するネジ軸２５２ｂと、Ｘ軸方向に延びるネジ軸２５２ｂを回転させるモータ２５２ｃにより構成される。Ｙ軸移動駆動部２５３は、Ｘ軸移動駆動部２５２が載置されるスライダ２５３ａと、スライダ２５３ａと嵌合するネジ軸２５３ｂと、Ｙ軸方向に延びるネジ軸２５３ｂを回転させるモータ２５３ｃにより構成される。

【0035】

この補正部２５は、収容ポジションＰ１でポケットＴ１が基準の位置及び向きとなるように事前にキャリアテープＴを移動させる。そのため、このテーピングユニット２は、収容ポジションＰ１の前にズレ確認ポジションＰ２を有する。収容ポジションＰ１は、キャリアテープＴの走行方向においてズレ確認ポジションＰ２よりも走行方向下流側に位置し、ズレ確認ポジションＰ２は、収容ポジションＰ１よりも走行方向上流側に位置する。ズレ確認ポジションＰ２と収容ポジションＰ１は隣同士に並ぶのが望ましい。尚、収容検査ポジションＰ３は、収容ポジションＰ１よりも更に走行方向下流側に位置する。

【0036】

ズレ確認ポジションＰ２には、ポケットＴ１の位置を確認する第２の撮像部２７が備えられる。また、テーピングユニット２は、第２の撮像部２７により得られた情報を基にポケットＴ１の位置及び向きのズレを検出するポケットズレ検出部２８を有する。補正部２５は、このポケットズレ検出部２８が検出したポケットＴ１の位置及び向きのズレを補正するようにユニット本体２９を移動させる。第２の撮像部２７は、例えばカメラであり、ズレ確認ポジションＰ２を撮像エリア内に収めるように、ズレ確認ポジションＰ２の近傍に配置される。ポケットズレ検出部２８は、所謂コンピュータによりなる画像解析装置である。このポケットズレ検出部２８は、第２の撮像部２７が撮像した画像を解析し、ポケットＴ１の基準位置及び基準向きに対するズレ量を算出する。

【0037】

図３は、ポケットズレ検出部２８によるポケットＴ１のズレ量算出を示す模式図である。図３に示すように、ポケットズレ検出部２８は、予め画像内の一点を原点として原点情報２８１を予め記憶する。この原点情報２８１は、ポケットＴ１の基準位置を示し、例えばポケットＴ１が基準位置に存在する場合の一隅の座標情報である。また、ポケットズレ検出部２８は、基準方向ベクトル２８２を予め記憶している。この基準方向ベクトル２８２は、ポケットＴ１の基準向きを示し、例えばポケットＴ１が基準向きに沿う場合の一辺の延び方向である。尚、画像の座標系は、望ましくはキャリアテープＴの長手方向と幅方向に沿うのがよく、第２の撮像部２７の設置位置及び設置向きを調整し、または画像の回転処理により調整すればよい。

【0038】

ポケットズレ検出部２８は、第２の撮像部２７が撮像した画像からポケットＴ１の一隅を検出し、原点からその一隅までの位置ベクトル２８３を算出する。位置ベクトル２８３は、ポケットＴ１の基準位置からのズレを示すズレ量ΔＸ、ΔＹである。また、ポケットズレ検出部２８は、第２の撮像部２７が撮像した画像からポケットＴ１の一辺を検出し、その一辺が延びる方向ベクトル２８４を算出する。そして、ポケットズレ検出部２８は、基準方向ベクトル２８２と方向ベクトル２８４の内積を求め、両方向ベクトルのスカラーを乗算した結果で除算して、その除算結果の逆余弦を算出する。この逆余弦の算出結果ΔθがポケットＴ１の基準向きからのズレを示すズレ量である。

【0039】

補正部２５は、ポケットズレ検出部２８が検出した基準位置及び基準向きに対するズレ量を解消するようにキャリアテープＴを移動及び回転させる。すなわち、Ｚ軸回転駆動部２５１は、ポケットズレ検出部２８が方向ベクトル２８４より求めた基準向きからのズレと同角度Δθだけ、ズレとは反対方向に回転する。Ｘ軸移動駆動部２５２は、ポケットズレ検出部２８が求めた位置ベクトル２８３のＸ軸方向のスカラー量ΔＸと同量だけ、位置ベクトルの反対方向に移動する。Ｙ軸移動駆動部２５３は、ポケットズレ検出部２８が求めた位置ベクトル２８３のＹ軸方向のスカラー量ΔＹと同量だけ、位置ベクトルの反対方向に移動する。尚、補正部２５によるポケットＴ１のズレ補正は、ズレ確認ポジションＰ２でポケットＴ１のズレが確認されてから、収容ポジションＰ１に移動した其のポケットＴ１に電子部品Ｄが離脱されるまでの間の何れのタイミングでもよい。

【0040】

図４乃至７は、このテーピングユニット２のズレ補正を示す模式図である。尚、図４乃至７においては、キャリアテープＴの１ピッチ分の走行と、Ｘ軸方向のズレ量ΔＸの補正と、Ｙ軸方向のズレ量ΔＹの補正と、Ｚ軸周りのズレ量Δθの補正を順番に時間をずらしておこなっているが、これに限られず、ズレ確認ポジションＰ２から収容ポジションＰ１まで移動してポケットＴ１に電子部品Ｄが離脱されるまでの間に全ての補正が達成されればよく、全て同時でもよい。

【0041】

図４の（ａ）に示すように、キャリアテープＴ上のポケットＴ１の位置は、エンボス加工等の製造上の誤差により、個々のポケットＴ１の位置や向きが一律でなく固有の程度でズレ得る。ここで、収容ポジションＰ１からテープ走行方向２つ手前に位置するポケットＴ１がスプロケット２１、２２によるキャリアテープＴの間欠走行を経て、ズレ確認ポジションＰ２で停止したものとする。このとき、図４の（ａ）に示すように、ズレ確認ポジションＰ２のポケットＴ１を第２の撮像部２７が撮像し、ポケットズレ検出部２８は、ポケットＴ１のＸ軸方向の位置ズレ量ΔＸとＹ軸方向の位置ズレ量ΔＹとＺ軸周りの向きズレ量Δθとを算出する。

【0042】

位置ズレと向きズレが算出されると、図４の（ｂ）に示すように、スプロケット２１、２２は１ピッチ回転し、ポケットＴ１の配置間隔ＥｄだけキャリアテープＴを走行させる。これにより、ズレが確認されたポケットＴ１は、収容ポジションＰ１に到達する。

【0043】

次に、図５乃至７の遷移に示すように、補正部２５は、このズレをズレ確認ポジションＰ２から収容ポジションＰ１までの等間隔Ｅｄを移動したポケットＴ１に電子部品Ｄが離脱されるまでの間に補正する。まず、補正部２５には、ポケットズレ検出部２８からＸ軸方向の位置ズレ量ΔＸとＹ軸方向の位置ズレ量ΔＹと向きズレ量Δθが入力される。

【0044】

そして、図５の（ｂ）から（ｃ）への遷移に示すように、Ｙ軸移動駆動部２５３は、ユニット本体２９を位置ズレ量ΔＹに相当する距離だけ移動させる。次に、図６の（ｃ）から（ｄ）への遷移に示すように、Ｘ軸移動駆動部２５２は、ユニット本体２９を位置ズレ量ΔＸに相当する距離だけ移動させる。そして、図７の（ｄ）から（ｅ）の遷移に示すように、Ｚ軸回転駆動部２５１は、ユニット本体２９を向きズレ量Δθに相当する角度だけ、収容ポジションＰ１を中心に回転させる。これにより、ポケットＴ１が収容ポジションに到達し、電子部品ＤがポケットＴ１に向けて離脱するときには、ポケットＴ１は基準の位置及び向きに揃うこととなる。

【0045】

尚、ズレ確認ポジションＰ２は、収容ポジションＰ１よりも走行方向上流であれば、直前位置でなくともよい。但し、ズレ確認ポジションＰ２と収容ポジションＰ１とが隣接していれば、キャリアテープＴの歪みや撓みにより収容ポジションＰ１に対するポケットＴ１の位置ズレや向きズレの影響を排除することができる。

【0046】

また、ポケットＴ１を開口面と平行に２次元移動できればよく、Ｘ軸とＹ軸とは、ポケットＴ１の開口面と平行であり、互いに直交していればよい。但し、ユニット本体２９の一方の移動方向とポケットズレ検出部２８の座標系における１軸とキャリアテープＴの長手方向とを一致させ、ユニット本体２９の他方の移動方向とポケットズレ検出部２８の座標系における他軸とキャリアテープＴの幅方向とを一致させれば、移動量算出のための演算を簡略化できるのでよい。

【0047】

このように、テーピングユニット２は、収容ポジションＰ１とは異なる位置のズレ確認ポジションＰ２を有し、スプロケット２１、２２でキャリアテープＴを走行させることで、各ポケットＴ１をズレ確認ポジションＰ２経由で収容ポジションＰ１に位置させるようにした。ズレ確認ポジションＰ２では、ポケットＴ１を第２の撮像部２７で撮像し、第２の撮像部２７が撮像した画像を解析してポケットＴの基準位置及び基準向きに対するズレを検出する。そして、Ｘ軸移動駆動部２５２、Ｙ軸移動駆動部２５３及びＺ軸回転駆動部２５１を備える補正部２５によって、ズレが検出されたポケットＴ１が収容ポジションＰ１で電子部品Ｄを収容する前に、当該ポケットＴ１のズレを解消するようにキャリアテープＴを平面移動及び回転させるようにした。

【0048】

これにより、ポケットＴ１が製造上の誤差によりキャリアテープＴの幅方向にシフトし、長手方向にシフトし、又は向きが変わっていても、収容ポジションＰ１では基準位置及び基準向きを保ち、電子部品Ｄを精度よく収容することができる。すなわち、電子部品ＤのポケットＴを画成する壁への接触や挿入ミスが発生しにくくなる。

【0049】

尚、ズレ確認ポジションＰ２でのポケットＴ１の観察を利用して、ポケットＴ１の寸法不正や底面穴無し等の形状異常や、ポケットＴ１内へのゴミの混入等の混入物異常を検出するようにし、これら形状異常や混入物異常が発生していると、テーピングユニット２、或いはテーピングユニット２を備える電子部品搬送装置全体を停止するようにしてもよい。すなわち、第２の撮像部２７で撮像した画像からポケットＴ１の寸法や底面の穴を計測する。また、第２の撮像部２７で撮像した画像からポケットＴ１内部のゴミ画像を検出する。そして、寸法や穴を規定値と比較し、規定値と所定以上のズレが生じていると、形状異常とする。また、ゴミ画像を検出すると、混入物異常とする。この形状異常及び混入物異常を示す信号を制御機器に出力し、制御機器は、テーピングユニット２や電子部品搬送装置を停止させる。

【0050】

また、この実施形態において補正部２５は、収容ポジションＰ１でポケットＴ１が基準の位置及び向きとなるように事前にキャリアテープＴを移動させる。ここで事前とは、保持手段１１の離脱処理によるポケットＴ１への電子部品Ｄの収納開始前である。従って、収容ポジションＰ１とズレ確認ポジションＰ２とを一致させるようにしてもよい。すなわち、電子部品Ｄの搬送経路とキャリアテープＴとが交差する箇所が収容ポジションＰ１であるとともにズレ確認ポジションＰ２となり、この交差箇所に向けて第２の撮像部２７が配置される。

【0051】

この場合、第１番目に、スプロケット２１、２２によるキャリアテープＴの移動によるポケットＴ１の収容ポジションＰ１への移動、第２番目に、収容ポジションＰ１にて第２の撮像部２７によるポケットＴ１の撮像、第３番目に、ポケットズレ検出部２８による位置ズレと向きズレの算出、第４番目に、補正部２５による補正を行い、最後に、保持手段１１の電子部品Ｄの離脱によるポケットＴ１への電子部品Ｄの収納が行われることになる。

【0052】

（電子部品搬送装置）
図８は、このテーピングユニット２を備える電子部品搬送装置の構成を示す。図８に示すように、電子部品搬送装置１０は、架台上に電子部品Ｄの搬送経路を配設し、搬送経路に沿って複数の電子部品Ｄを同時に整列搬送し、搬送経路上で各電子部品Ｄを処理する。架台は、直方体の台であり、内部にコンピュータやコントローラ等の制御機器、電源、ケーブル類、コンプレッサや空気管を収容している。テーピングユニット２のポケットズレ検出部２８は、この架台内に内蔵される制御機器であってもよいし、テーピングユニット２が別に制御機器を備えるようにしてもよい。テーピングユニット２の補正部２５に対する制御は、この架台内に内蔵される制御機器によりなされてもよいし、テーピングユニット２が別に制御機器を備えるようにしてもよい。

【0053】

電子部品Ｄの搬送経路は、架台上の搬送テーブル１２により形成される。保持手段１１は、搬送テーブル１２の外周に取り付けられる。保持手段１１の回転軌跡が搬送経路であり、搬送テーブル１２と保持手段１１が電子部品Ｄを搬送する搬送手段である。搬送テーブル１２は、一点を中心にして放射状に拡がる円盤又は星形等の形状を有する。この搬送テーブル１２は、周方向に間欠的に所定角度ずつ回転する。搬送テーブル１２の動力源は、ダイレクトドライブモータ１３である。搬送テーブル１２は、ダイレクトドライブモータ１３を介して架台に設置される。

【0054】

保持手段１１は、搬送テーブル１２の水平盤外周に円周等配位置で、且つ水平盤の中心から同一距離に複数取り付けられる。搬送テーブル１２が星形の場合、アームの先端に取り付けられる。保持手段１１は、例えば吸着ノズルであり、内部が中空で一端が開口し、開口端を下向きにして水平盤に設置される。保持手段１１の内部は真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通している。空気圧回路に負圧を発生させることにより、保持手段１１は開口端で電子部品Ｄを吸着し、真空破壊や大気解放によって電子部品Ｄを離脱させる。

【0055】

ダイレクトドライブモータ１３は、１ピッチずつ間欠回転するように制御される。そのピッチは、保持手段１１の配置間隔に等しくなるように調整されている。つまり、保持手段１１は、搬送テーブル１２の間欠回転に伴って共通の移動軌跡を辿り、共通の停止位置で停止する。この停止位置にテーピングユニット２の収容ポジションＰ１を重ねることで、電子部品ＤをキャリアテープＴに収容することができる。

【0056】

尚、テーピングユニット２が設けられる停止位置以外には他の処理ユニットを配置することができる。他の処理ユニットとしては、電子部品Ｄを搬送経路に供給する供給ユニット１５、電気テストユニット１６、外観検査ユニット１７、分類ユニット１８、位置補正ユニット１９等を挙げることができる。位置補正ユニット１９は、テーピングユニット２の直前に設けられ、電子部品Ｄの位置及び向きを基準位置及び基準向きに揃える。

【0057】

位置補正ユニット１９は、隣接する２箇所の停止位置に第３の撮像部１９１とＸＹθステージ１９２とを備え、第３の撮像部１９１で確認した電子部品Ｄの位置ズレ及び向きのズレをＸＹθステージ１９２に載せて補正する。第３の撮像部１９１は、例えばカメラであり、保持手段１１の停止位置の真下から電子部品Ｄを撮像する。ＸＹθステージ１９２は、Ｘ軸及びＹ軸方向に移動し、Ｚ軸周りに回転する。

【0058】

各停止位置には、保持手段１１を処理ユニットに向けて進退させる進退駆動装置１４が固定されている。収容ポジションＰ１の直上にも進退駆動装置１４が固定されている。この進退駆動装置１４は、保持手段１１の頭部に向けて延びるロッドを有する。進退駆動装置１４は、このロッドに対して回転モータ及びカム機構により軸線方向の推力を与える。進退駆動装置１４は、回転モータにより推力を発生させ、その推力をカム機構及びロッドにより保持手段１１の軸線に沿った直線推力に変換し、ロッドで保持手段１１を押し込む。保持手段１１が保持した電子部品Ｄは、保持手段１１の下降によってテーピングユニット２のポケットＴ１に入り込み、又は処理ユニットの各ステージに載置され、ポケットＴ１に離脱され、又は処理ユニットに応じた処理を受ける。

【0059】

このような電子部品搬送装置１０に対するテーピングユニット２の第１の配置方法を図９に示す。図９に示すように、テーピングユニット２は、キャリアテープＴの延び方向が搬送テーブル１２の中心に向き、キャリアテープＴが搬送テーブル１２の外方へ走行するように配置される。収容ポジションＰ１は、搬送テーブル１２の外縁に取り付けられる保持手段１１に対応させて、搬送テーブル１２の外縁直下に位置する。そのため、ズレ確認ポジションＰ２は、搬送テーブル１２の下に潜り込む。また、キャリアテープＴが延びる方向からは、保持手段１１によってズレ確認ポジションＰ２が隠されている。

【0060】

そのため、第２の撮像部２７は、搬送テーブル１２と衝突しないように斜め向きに設置し、ズレ確認ポジションＰ２を観察させるようにする。但し、搬送テーブル１２の大きさによっては、第２の撮像部２７が搬送テーブル１２と衝突せずにズレ確認ポジションＰ２を観察できる位置に設置できない場合がある。この場合、搬送テーブル１２は、円盤形状とし、収容ポジションＰ１の直上に通し穴１２１が貫設される。第２の撮像部２７は、搬送テーブル１２の上方に通し穴１２１に向けて固定される。これにより、搬送テーブル１２の大きさに拠らず、第２の撮像部２７は通し穴１２１を通してズレ確認ポジションＰ２を観察できる。

【0061】

図１０は、電子部品搬送装置１０に対するテーピングユニット２の第２の配置方法を示す模式図である。図１０に示すように、テーピングユニット２は、収容ポジションＰ１を通る搬送テーブル１２の半径方向とキャリアテープＴの延び方向とが直交或いは斜交するように配置される。この配置方法では、ズレ確認ポジションＰ２が第１の配置方法よりも搬送テーブル１２の外周側若しくは外部に位置する。そのため、第２の撮像部２７は、搬送テーブル１２の半径方向外部に配置しつつ、ズレ確認ポジションＰ２を観察できる。この第２の配置方法によれば、搬送テーブル１２の重量が第１の配置方法と比べて軽くなり、ダイレクトドライブモータ１３の出力を低減できる。

【0062】

図１１は、電子部品搬送装置１０に対するテーピングユニット２の第３の配置方法を示す側面図である。テーピングユニット２は、キャリアテープＴの延び方向が搬送テーブル１２の中心に向き、キャリアテープＴが搬送テーブル１２の外方へ走行するように配置される。保持手段１１は、搬送テーブル１２の外縁の更に外側に位置するように搬送テーブル１２に取り付けられている。すなわち、この保持手段１１の外形は、搬送テーブル１２の外周から半径方向外側に一旦延びてから真下へ屈曲する。

【0063】

詳細には、搬送テーブル１２の外縁には下方へ延びたレール１２２が設けられる。保持手段１１は、このレール１２２を摺動するスライダ１１１を有する。スライダ１１１からは延長ロッド１１２が搬送テーブル１２の外方へ向けて延びる。延長ロッド１１２の先端には、下方へ延びる吸着ノズル１１３が固定される。進退駆動装置１４は、このスライダ１１１に向けて延びるロッド１４１を有し、スライダ１１１を押し込むように作用する。進退駆動装置１４から推力を付与されるスライダ１１１と昇降する吸着ノズル１１３とが延長ロッド１１２を介することにより離間しているが、レール１２２が摺動方向をガイドしているため、偏荷重の発生による保持手段１１の向き変化を阻止している。

【0064】

この第３の配置方法では、テーピングユニット２は、この保持手段１１を有する電子部品搬送装置１０に対して、搬送テーブル１２の外方に収容ポジションＰ１が位置するように配置できる。そのため、ズレ確認ポジションＰ２は、保持手段１１よりも搬送テーブル１２の中心よりであるが、第１の配置方法と比べて搬送テーブル１２の外周側若しくは外部に位置させることができる。そのため、第２の撮像部２７は、搬送テーブル１２の半径方向外部に配置しつつ、ズレ確認ポジションＰ２を観察できる。この第３の配置方法では、第１の配置方法と比べて搬送テーブル１２を軽量化できる。そのため、第１の配置方法に比べて、ダイレクトドライブモータ１３の出力低減を図ることができる。また、この第３の配置方法では、第２の配置方法に比べて、搬送テーブル１２の周りを占拠するテーピングユニット２の範囲を狭くすることができる。そのため、第２の配置方法に比べて、搬送テーブル１２に多くの処理ユニットを配置でき、電子部品搬送装置１０の多機能化を図ることができる。

【0065】

尚、第２の配置方法及び第３の配置方法において、ズレ確認ポジションＰ２が搬送テーブル１２の外部に露出しない場合には、第２の撮像部２７をテーピングユニット２の脇に設け、ズレ確認ポジションＰ２を斜めから撮像することになる。この場合、ポケットズレ検出部２８は、斜投影された画像を第２の撮像部２７の角度をパラメータとして正斜投影に変換してから基準の位置及び向きからのズレ量を算出すればよい。

【0066】

また、第１の配置方法乃至第３の配置方法において、ズレ確認ポジションＰ２を収容ポジションＰ１と一致させるようにすることで、更に第２の撮像部２７の配置及びポケットＴ１の撮影が容易となる。

【0067】

（第２の実施形態）

【0068】

図１２に示すように、第２の実施形態に係る電子部品搬送装置１０は、テーピングユニット２よりも搬送経路前段に第３の撮像部１９１が備えるが、電子部品Ｄの位置及び向きを補正するＸＹθステージ１９２は存在しない。ＸＹθステージ１９２の代わりに他の処理ユニットを配置して多機能化してもよいし、ＸＹθステージ１９２の設置箇所は処理ユニットの未設置箇所としてもよい。

【0069】

また、図１３に示すように、第２の実施形態に係るテーピングユニット２は、ポケットズレ検出部２８に加えて、第３の撮像部１９１の画像を解析して基準位置及び向きからの電子部品Ｄの位置及び向きを検出する部品位置検出部２８ａを備えている。この部品位置検出部２８ａは、電子部品搬送装置１０全体を統括制御する架台内の制御機器に備えるようにしてもよいし、テーピングユニット２が独自に制御機器を備える場合には、その制御機器に備えるようにしてもよい。

【0070】

この部品位置検出部２８ａは、検出対象が電子部品Ｄである他、機能及び動作は第１の実施形態に係るポケットズレ検出部２８と同じである。すなわち、図１４に示すように、部品位置検出部２８ａは、予め原点情報２８１を記憶し、第３の撮像部１９１が撮像した電子部品Ｄの画像を解析して、電子部品Ｄの基準位置からのズレを示す位置ベクトル２８５を算出する。部品位置検出部２８ａは、予め基準方向ベクトル２８２を記憶し、第３の撮像部１９１が撮像した電子部品Ｄの画像を解析して、電子部品Ｄの基準向きからのズレを示す方向ベクトル２８６を算出する。尚、ポケットＴ１の基準位置及び向きと電子部品Ｄの基準位置及び向きは、合致するように予め設定される。

【0071】

部品位置検出部２８ａが算出した電子部品Ｄに関する位置ベクトル２８５と方向ベクトル２８６は、ポケットＴ１の位置及び向きのズレを算出するポケットズレ検出部２８に入力される。図１５に示すように、ポケットズレ検出部２８は、電子部品Ｄに関する位置ベクトル２８５を原点情報２８１として保持し、電子部品Ｄに関する方向ベクトル２８６を基準方向ベクトル２８２として保持する。そして、ポケットズレ検出部２８は、位置ベクトル２８５で示される原点情報２８１によってポケットＤの位置ベクトル２８３を算出し、方向ベクトル２８６で示される基準ベクトル２８２とポケットＤの方向ベクトル２８４とがなす角度Δθを算出する。

【0072】

この位置ベクトル２８３は、電子部品Ｄに対するポケットＴ１のＸ軸方向の位置ズレ量ΔＸとＹ軸方向の位置ズレ量ΔＹを示す。電子部品Ｄの方向ベクトル２８６とポケットＴ１の方向ベクトル２８４がなす角度は、電子部品Ｄに対するポケットＴ１の向きズレ量Δθを示す。図１６に示すように、補正部２５には、これら位置ズレ量ΔＸと位置ズレ量ΔＹと向きズレ量Δθが入力され、収容ポジションＰ１にポケットＴ１が到達すると、位置ズレ量ΔＸ、位置ズレ量ΔＹ、及び向きズレ量Δθを解消するように、ユニット本体２９を移動及び回転させる。

【0073】

すなわち、第１の実施形態では、電子部品ＤとポケットＴ１の位置及び向きを合致させるために、基準位置及び向きという絶対位置及び向きに電子部品ＤとポケットＴ１の双方を合わせた。具体的には、電子部品Ｄの位置や向きは、テーピングユニット２よりも搬送経路前段に設けられる位置補正ユニット１９で補正し、ポケットＴ１の位置及び向きは、テーピングユニット２の補正部２５により基準位置及び基準向きに合わせた。一方、第２の実施形態では、電子部品の位置及び向きのズレとポケットＴ１の位置及び向きのズレとを合成し、電子部品Ｄの位置及び向きにポケットＴ１の位置及び向きを合わせるように、ポケットＴ１を電子部品Ｄの位置及び向きを加味して移動及び回転させる。

【0074】

これにより、ポケットＴ１に設計上の位置ズレや向きズレが生じていても電子部品Ｄを精度良く収容することが可能となるとともに、電子部品Ｄを補正するＸＹθステージ１９２を排除できるため、テーピングユニット２又は電子部品搬送装置１０の製造コストを低減することができ、ＸＹθステージ１９２の代わりに他の処理ユニットを配置することができるため、電子部品搬送装置１０を多機能化することが可能となる。

【0075】

（第３の実施形態）
第３の実施形態に係る電子部品搬送装置１０は、電気テストユニット１６や外観検査ユニット１７等の電子部品の品質を判定する処理結果を基に、電子部品Ｄの良品の程度をランク分けし、同一ランクの電子部品Ｄを同一のキャリアテープＴに収容させる。この電子部品搬送装置１０は、図１７に示すように、２以上の整数であるＮ機のテーピングユニット２ａ、２ｂ・・・を搬送経路上に備える。Ｎ機のテーピングユニットは搬送経路に連続して並べてもよいし、他の種類の処理ユニットが介在したり、テーピングユニット２ａ、ｂ・・・の間に処理ユニットが配置されない箇所を有していたりする等のように不連続であってもよい。

【0076】

この電子部品搬送装置１０は、各電子部品Ｄにランクを紐付けしておき、保持手段１１によりランクに応じたテーピングユニット２ａ、２ｂ・・・の直上まで搬送させて離脱させる。例えば、テーピングユニット２ａは、最上級の電子部品ＤをキャリアテープＴに収容し、テーピングユニット２ｂは、最上級よりもランクの低い上級の電子部品ＤをキャリアテープＴに収容するものとする。また、テーピングユニット２ａがテーピングユニット２ｂよりも搬送経路上流に位置するものとする。

【0077】

図１８の（ａ）に示すように、最上級Ｓの電子部品Ｄ_Ｓがテーピングユニット２ａの収容ポジションＰ１に位置すると、電子部品搬送装置１０は、その電子部品Ｄ_Ｓを保持している保持手段１１に対して電子部品Ｄ_Ｓを離脱させるように制御する。具体的には、保持手段１１をポケットＴ１に対して下降させた後、真空破壊又は大気破壊させて吸着力を喪失させる。

【0078】

一方、図１８の（ｂ）に示すように、上級Ａの電子部品Ｄ_Ａがテーピングユニット２ａの収容ポジションＰ１に位置すると、電子部品搬送装置１０は、保持手段１１に対して其の電子部品Ｄ_Ａを保持させたままとする。具体的には、保持手段１１に対して真空破壊又は大気破壊等の吸着力喪失の制御はしない。これにより、上級Ａの電子部品Ｄ_Ａは、テーピングユニット２ａの上方を単に通過する。そして、図１８の（ｂ）に示すように、上級Ａの電子部品Ｄ_Ａが搬送経路を更に間欠移動し、テーピングユニット２ｂの収容ポジションＰ１に位置すると、電子部品搬送装置１０は、その電子部品Ｄ_Ａを保持している保持手段１１に対して電子部品Ｄ_Ａを離脱させるように制御する。具体的には、保持手段１１に対して真空破壊又は大気破壊させて吸着力を喪失させる。

【0079】

この電子部品搬送装置１０において、各テーピングユニット２ａ、２ｂ・・・は、それぞれ収容ポジションＰ１よりも走行方向前段にズレ確認ポジションＰ２を有し、第１の撮像部２６、ポケットズレ検出部２８、部品位置検出部２８ａ及び補正部２５を備え、収容ポジションＰ１に移動するポケットＴ１の位置及び向きのズレを補正可能となっている。

【0080】

この各テーピングユニット２ａ、２ｂ・・・は、収容予定の電子部品Ｄが収容ポジションＰ１に位置して離脱させられるまでの間に、ポケットＴ１の位置及び向きを補正するようにユニット本体２９を移動及び回転させておく。

【0081】

すなわち、電子部品Ｄが第３の撮像部１９１で撮像されて、基準位置からのズレを示す位置ベクトル２８５と基準向きからのズレを示す方向ベクトル２８６が算出されると、電子部品搬送装置１０の制御機器は、図１９の（ａ）及び（ｂ）に示すように、そのズレを有する電子部品Ｄのランクに対応するテーピングユニット２ａ又は２ｂに位置ベクトル２８５と方向ベクトル２８６を入力する。位置ベクトル２８５と方向ベクトル２８６が入力されたテーピングユニット２ａ又は２ｂは、これらを原点情報２８１及び基準方向ベクトル２８２とする。そして、収容ポジションＰ１で離脱させられる電子部品Ｄに合わせてポケットＴ１の位置及び向きのズレを補正しておく。

【0082】

尚、この電子部品搬送装置１０では、ＸＹθステージ１９２を有する位置補正ユニット１９を備え、各テーピングユニット２ａ、２ｂ・・・は、第１の撮像部２６、ポケットズレ検出部２８及び補正部２５を備えるようにし、基準位置及び向きという絶対位置及び向きに電子部品ＤとポケットＴ１の双方を合わせることもできる。

【0083】

このように、電子部品ＤをランクごとにキャリアテープＴに収容する場合、電子部品Ｄを収容するキャリアテープＴを保持するテーピングユニット２が其の電子部品Ｄの位置及び向きのズレを加味して、ポケットＴ１を電子部品Ｄの位置及び向きに合わせるように、ユニット本体２９を移動及び回転させればよい。

【0084】

（第４の実施形態）
（構成）
図２０は、第４の実施形態に係る補正部２５の制御構成を示すブロック図である。図２０に示すように、テーピングユニット２は、判定部４１と駆動制御部４２を備える。この判定部４１と駆動制御部４２は、所謂コンピュータにより構成され、ＣＰＵ、メモリ及び補正部２５を駆動させるドライバインターフェースにより成る。コンピュータは、電子部品搬送装置１０が備える制御機器を兼用としてもよい。すなわち、判定部４１及び駆動制御部４２として機能してテーピングユニット２を制御すると共に、搬送テーブル１２を制御し、保持手段１１への真空供給を制御し、他のユニット１５〜１９を制御するようにしてもよい。

【0085】

判定部４１は、ポケットＴ１の補正が無いと仮定した場合、ポケットＴ１を画成する内壁と電子部品Ｄとの近さを検出し、当該近さに応じて補正部２５による補正要否を決定する。この判定部４１は、ポケットＴ１のＸ軸方向の位置ズレ量ΔＸの閾値Ｘｔと、ポケットＴ１のＹ軸方向の位置ズレ量ΔＹの閾値Ｙｔを記憶している。判定部４１は、ポケットズレ検出部２８が検出した位置ズレ量ΔＸと閾値Ｘｔを比較し、位置ズレ量ΔＹと閾値Ｙｔを比較する。

【0086】

駆動制御部４２は、補正要否に従って補正部２５を駆動する。補正要否は、判定部４１の判定結果であり、位置ズレ量ΔＸと位置ズレ量ΔＹの一方又は両方が閾値Ｘｔ、Ｙｔを上回ると補正要とする。一方、駆動制御部４２は、位置ズレ量ΔＸと位置ズレ量ΔＹの両方が閾値Ｘｔ、Ｙｔを下回ると補正不要とする。駆動制御部４２は、補正要の場合には、補正部２５に駆動信号を出力する。駆動信号は、例えばポケットズレ検出部２８が算出した位置ズレ量ΔＸと位置ズレ量ΔＹで足りる。

【0087】

補正部２５は、駆動信号に応答して電子部品Ｄの位置ズレを補正する。駆動制御部４２は、補正不要の場合には、補正部２５に駆動信号を出力しない。補正部２５は、駆動信号の未入力のために駆動せず、電子部品Ｄの位置ズレを補正しない。すなわち、補正部２５は、ポケットＴ１を画成する内壁と電子部品Ｄとの近さが一定以内であれば、ポケットＴ１を補正し、一定以上であれば、ポケットＴ１の補正を見送る。

【0088】

図２１は、この判定部４１と駆動制御部４２の動作を示すフローチャートである。図２１に示すように、位置ズレ量ΔＸと位置ズレ量ΔＹが算出されると（ステップＳ０１）、判定部４１は、位置ズレ量ΔＸと閾値Ｘｔを比較する（ステップＳ０２）。また判定部４１は、位置ズレ量ΔＹと閾値Ｙｔを比較する（ステップＳ０３）。

【0089】

比較の結果、位置ズレ量ΔＸが閾値Ｘｔを下回り（ステップＳ０２，Ｙｅｓ）、且つ位置ズレ量ΔＹが閾値Ｙｔを下回っていると（ステップＳ０３，Ｙｅｓ）、駆動制御部４２は、補正部２５に駆動信号を入力せずに処理を終了し、保持手段１１は電子部品Ｄをポケット１に離脱させる（ステップＳ０７）。

【0090】

一方、比較の結果、位置ズレ量ΔＸが閾値Ｘｔを上回っていると（ステップＳ０２，Ｙｅｓ）、又は位置ズレ量ΔＹが閾値Ｙｔを上回っていると（ステップＳ０３，Ｙｅｓ）、駆動制御部４２は、補正部２５に駆動信号を入力する（ステップＳ０４）。補正部２５は、駆動信号を受けて、その駆動信号に含まれる位置ズレ量ΔＸ、位置ズレ量ΔＹ、向きズレ量Δθを解消するように駆動する（ステップＳ０５）。そして、保持手段１１は、このポケットＴ１の補正が終了するのを待って（ステップＳ０６，Ｙｅｓ）、電子部品Ｄをポケット１に離脱させる（ステップＳ０７）。

【0091】

（作用）
図２２は、閾値Ｘｔと閾値Ｙｔを示す模式図である。図２２に示すように、電子部品ＤがポケットＴ１の壁際まで危険距離ｄｄ以内に近づいている場合、機械の作動誤差等によって電子部品ＤがポケットＴ１に衝突する危険性が増す。電子部品Ｄの中心とポケットＴ１の中心が合致した場合、電子部品Ｄの縁からポケットＴ１の壁際までの距離をｄｒとする。閾値Ｘｔ及び閾値Ｙｔは、Ｘｔ＝ｄｒ−ｄｄ及びＹｔ＝ｄｒ−ｄｄである。この閾値Ｘｔと閾値Ｙｔは、電子部品Ｄの寸法とポケットＴ１の寸法と危険距離ｄの設定に応じて調整される。

【0092】

この閾値Ｘｔと閾値Ｙｔによれば、電子部品Ｄが閾値Ｘｔを上回ってＸ軸方向に位置ズレしていると、電子部品ＤがポケットＴ１の壁際まで危険距離ｄｄ以内に近づいていることを示す。また、電子部品ＤのＹ軸方向に閾値Ｙｔを上回って位置ズレしていると、ポケットＴ１の壁際に対して電子部品Ｄが危険距離ｄ以内に近づいていることを示す。従って、テーピングユニット１は、電子部品ＤがポケットＴ１の壁際まで危険距離ｄｄ以内に近づかないように、ポケットＴ１を補正する。

【0093】

一方、電子部品ＤのＸ軸方向の位置ズレが閾値Ｘｔを下回っていると、ポケットＴ１の壁際から電子部品Ｄが危険距離ｄｄ以上に離れていることを示す。また、電子部品ＤのＹ軸方向の位置ズレが閾値Ｙｔを下回っていると、ポケットＴ１の壁際から電子部品Ｄが危険距離ｄ以上に離れていることを示す。電子部品ＤがポケットＴ１の壁際まで危険距離ｄｄ以上に離れている場合、電子部品Ｄ及びポケットＴ１の寸法公差を考慮しても電子部品ＤがポケットＴ１に衝突する危険性は少ない。従って、テーピングユニット１は、ポケットＴ１の補正を見送る。

【0094】

この結果、図２３に示すように、位置ズレが閾値を上回っている一部の電子部品ＤとポケットＴ１との関係についてのみ、補正部２５による補正が実行され、その後の電子部品Ｄを収納する処理に移ることになる。一方、位置ズレが閾値を下回っている他の電子部品ＤとポケットＴ１との関係については、補正部２５による補正を飛ばして速やかに電子部品Ｄを収納する処理に移ることになる。

【0095】

ここで、実際に、長さが０．６５±０．０４ｍｍで幅が０．５０±０．０４ｍｍの電子部品Ｄを、長さが０．８１±０．０３ｍｍで幅が０．６３±０．０３ｍｍのポケットＴ１に収納させた。電子部品ＤとポケットＴ１の両側に空く合計の最小クリアランスは、長さ方向で０．０９ｍｍであり、幅方向で０．０６ｍｍである。そこで、閾値Ｘｔと閾値Ｙｔを±０．０２ｍｍとして、５００個の電子部品ＤをポケットＴ１に収容する試験を実施した。その結果を図２４の表に示す。図２４に示すように、５００回の電子部品ＤとポケットＴ１の収容動作のうち、補正部２５による補正が実行されたのは計４７回であった。

【0096】

図２４の表に示すように、実際の電子部品搬送装置１０では、ポケットＴ１の補正が無い場合、電子部品ＤとポケットＴ１の収容動作は、平均１２１ｍｓｅｃのタクトタイムを必要とした。また、ポケットＴの補正が含まれる場合、電子部品ＤとポケットＴ１の収容動作は、平均１２１ｍｓｅｃのタクトタイムを必要とした。そのため、全ての電子部品ＤとポケットＴ１との関係において補正を実行する場合と比べて、補正動作が計４７回に止まった本実施形態では、電子部品ＤとポケットＴ１の収容動作が平均１２３ｍｓｅｃのタクトタイムに縮まった。

【0097】

（効果）
以上のように、第４の実施形態では、補正部２５は、ポケットＴ１の内壁と電子部品Ｄが危険距離ｄｄ以内に近づく場合にのみ、ポケットＴ１のズレを解消するようにした。これにより、衝突の危険性の少ないポケットＴ１と電子部品Ｄとの位置関係においても、衝突の危険性を回避する補正を行うといった事態を回避できる。そのため、ポケットＴ１の補正は一部の状況に限られ、ポケットＴ１の補正を一律に行うことはなくなり、電子部品ＤのポケットＴ１への収納動作の平均タクトタイムは向上する。すなわち、電子部品Ｄの搬送が高速化され、電子部品Ｄの生産効率が向上する。

【0098】

（変形例１）
第４の実施形態に対し、ポケットＴ１の位置のみならず、ポケットＴ１の向きも考慮して、ポケットＴ１の内壁と電子部品Ｄとの近さを正確に算出するようにしてもよい。判定部４１は、図２５に示すように、電子部品ＤとポケットＴ１の内壁との近さにおいて、電子部品Ｄの最もポケットＴ１に近い箇所、すなわち電子部品Ｄの四隅とポケットＴ１の内壁との間の距離ｄｋ１〜ｄｋ４を算出する。

【0099】

具体的には、判定部４１は、ポケットズレ検出部２８が検出した位置ベクトル２８３と方向ベクトル２８４とポケットＴ１の寸法から、ポケットＴ１の各辺の位置を算出する。また、判定部４１は、予め位置及び向きが補正された電子部品Ｄの四隅の位置座標を記憶し、或いは電子部品Ｄの位置及び向きが補正されない場合に部品位置検出部２８ａが算出した位置ベクトル２８５と方向ベクトル２８６と電子部品Ｄの寸法から、電子部品Ｄの四隅の位置を算出する。

【0100】

そして、判定部４１は、ポケットＴ１の各辺と電子部品Ｄの四隅との距離を算出し、各距離ｄｋ１〜ｄｋ４のうち、閾値Ｔｈ以下の値がないか比較する。閾値Ｔｈ以下の値が１つでもあれば、駆動制御部４２は、補正部２５を駆動させ、ポケットＴ１を補正する。

【0101】

第４の実施形態では、補正部２５は、ポケットズレ検出部２８により検出されたポケットＴ１のズレが閾値Ｘｔ、閾値Ｙｔで示される所定以上の場合にのみ、ポケットＴ１のズレを解消するようにした。このような補正部２５の駆動は、ポケットＴ１の内壁と電子部品Ｄとの近さを判定する判定部４１と、判定部４１に従って補正部２５によるズレ解消の駆動又は非駆動を制御する駆動制御部４２によって実現した。

【0102】

これによって、ポケットＴ１の内壁と電子部品Ｄとの近さを比較処理のみで決定でき、演算を回避できるため、コンピュータの負荷がかからず、電子部品Ｄの搬送が高速化され、電子部品Ｄの生産効率が向上する。

【0103】

一方、変形例１によれば、ポケットＴ１の内壁と電子部品Ｄとの近さを正確に算出するため、極めて高い確率でポケットＴ１と電子部品Ｄとの衝突を回避でき、電子部品Ｄの信頼性向上及び歩留まり向上を実現できる。

【0104】

（変形例２）
また、第４の実施形態及び変形例１に対し、ポケットＴ１の向きに対する考慮は、図２６に示すように、向きズレ量Δθと閾値θｔとの比較によって達成するようにしてもよい。すなわち、判定部４１は、位置ズレ量ΔＸに対する閾値Ｘｔと、位置ズレ量ΔＹに対する閾値Ｙｔと、向きズレ量Δθに対する閾値θｔとを予め記憶し、位置ズレ量ΔＸと閾値Ｘｔ、位置ズレ量ΔＹと閾値Ｙｔ、及び向きズレ量Δθと閾値θｔを比較する。

【0105】

そして、駆動制御部４２は、位置ズレ量ΔＸが閾値Ｘｔを上回り、位置ズレ量ΔＹが閾値Ｙｔが上回り、又は向きズレ量Δθが閾値θｔを上回れば、補正部２５を制御してポケットＴ１を補正し、全てが下回れば、補正部２５を非駆動とする。

【0106】

これにより、ポケットＴ１の内壁と電子部品Ｄとの近さを比較処理のみで決定でき、且つポケットＴ１の内壁と電子部品Ｄとの近さ検出において正確性が向上するため、電子部品Ｄの生産効率向上と電子部品Ｄの信頼性向上及び歩留まり向上を高いバランスで両立できる。

【0107】

（他の実施形態）
以上のように本発明の各実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。例えば、保持手段１１として吸着ノズルを例に採り説明したが、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｄを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。

【0108】

また、テーピングユニット２は収容ユニットの一例である。収容ユニットは、多数の収容箇所が並ぶ収容体を保持し、その収容箇所を収容ポジションＰ１へ順次移動させる態様のものであれば、テーピングユニット２に限定されることなく、本発明の目的を達成することができる。例えば、図２７及び２８に示すように、収容体はキャリアテープＴの他に、トレイポケット３２を２次元アレイ状に並べたトレイ３１であってもよい。このトレイ３１は、成型の際にトレイポケット３２を区切る壁等に歪みが生じ、トレイポケット３２に位置ズレや向きズレが発生する場合があり得る。

【0109】

そのため、図２７及び２８に示すように、トレイ３１を保持するトレイ移動ユニット３であっても、収容ポジションＰ１への移動前に位置する箇所をズレ確認ポジションＰ２に設定し、そのズレ確認ポジションＰ２のトレイポケット３２を撮像する第２の撮像部２７を設ける。そして、ズレ確認ポジションＰ２で得られたトレイポケット３２のズレを収容ポジションＰ１で電子部品Ｄを収容する前に補正する。その他、収容体をウェハリングとするリングホルダも収容ユニットの一例である。

【0110】

このトレイ移動ユニット３とリングホルダのＸ軸移動駆動部２５２及びＹ軸移動駆動部２５３は、トレイ３１やウェハシートを平行面に沿って２次元移動させてトレイポケット３２や貼着箇所を順次ズレ確認ポジションＰ２及び収容ポジションＰ１へ位置させる機能と、トレイポケット３２や貼着箇所のＸ軸及びＹ軸方向の位置ズレ量を解消する機能を兼ねる。

【符号の説明】

【0111】

２ テーピングユニット
２１ スプロケット
２２ スプロケット
２３ モータ
２４ モータ
２５ 補正部
２５１ Ｚ軸回転駆動部
２５１ａ モータ
２５１ｂ 回転軸
２５２ Ｘ軸移動駆動部
２５２ａ スライダ
２５２ｂ ネジ軸
２５２ｃ モータ
２５３ Ｙ軸移動駆動部
２５３ａ スライダ
２５３ｂ ネジ軸
２５３ｃ モータ
２６ 第１の撮像部
２７ 第２の撮像部
２８ ポケットズレ検出部
２８ａ 部品位置検出部
２８１ 原点情報
２８２ 基準方向ベクトル
２８３ 位置ベクトル
２８４ 方向ベクトル
２８５ 位置ベクトル
２８６ 方向ベクトル
２９ ユニット本体
４１ 判定部
４２ 駆動制御部
Ｔ キャリアテープ
Ｔ１ ポケット
Ｄ 電子部品
Ｐ１ 収容ポジション
Ｐ２ ズレ確認ポジション
Ｐ３ 収容検査ポジション
１０ 電子部品搬送装置
１１ 保持手段
１１１ スライダ
１１２ 延長ロッド
１１３ 吸着ノズル
１２ 搬送テーブル
１２１ 通し穴
１２２ レール
１３ ダイレクトドライブモータ
１４ 進退駆動装置
１４１ ロッド
１５ 供給ユニット
１６ 電気テストユニット
１７ 外観検査ユニット
１８ 分類ユニット
１９ 位置補正ユニット
１９１ 第３の撮像部
１９２ ＸＹθステージ
３ トレイ移動ユニット
３１ トレイ
３２ トレイポケット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】