特許 5936847 ウエハ関連データ管理方法及びウエハ関連データ作成装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5936847

(24)【登録日】2016年5月20日

(45)【発行日】2016年6月22日

(54)【発明の名称】ウエハ関連データ管理方法及びウエハ関連データ作成装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/67 20060101AFI20160609BHJP

   H01L 21/66 20060101ALN20160609BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 E

   !H01L21/66 A

【請求項の数】6

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2011-252307(P2011-252307)

(22)【出願日】2011年11月18日

(65)【公開番号】特開2013-110182(P2013-110182A)

(43)【公開日】2013年6月6日

【審査請求日】2014年9月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】富士機械製造株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098420

【弁理士】

【氏名又は名称】加古 宗男

(72)【発明者】

【氏名】保坂 英希

【審査官】 鈴木 和樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１０−０７０１４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１２９９４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２１２３５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１１９３６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−０２１６１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−０１２５６８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットをセットし、前記ダイシングシート上のダイをカメラで撮像して該ダイの位置を画像認識し、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置で使用するウエハ関連データを管理するウエハ関連データ管理方法において、
前記ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレットをセットするセット台と、前記セット台にセットしたウエハパレットのダイシングシート上のダイを吸着するテスト用吸着ノズルと、前記ダイシングシートのうちの前記テスト用吸着ノズルで吸着しようとするダイの貼着部分を突き上げるテスト用突き上げピンと、前記ダイシングシート上のダイを撮像するテスト用カメラとを備えたウエハ関連データ作成装置を使用し、前記ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレットを前記ウエハ関連データ作成装置のセット台にセットし、前記テスト用カメラで撮像した画像の処理、前記テスト用突き上げピンの突き上げ動作及び前記テスト用吸着ノズルのダイ吸着動作を実行して前記ウエハ関連データを作成することを特徴とするウエハ関連データ管理方法。

【請求項2】

前記ウエハ関連データは、画像処理に関するデータ、前記突き上げピンの突き上げ動作に関するデータ、前記吸着ノズルのダイ吸着動作に関するデータのうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１に記載のウエハ関連データ管理方法。

【請求項3】

前記ウエハパレットには、該ウエハパレットの識別情報（以下「パレットＩＤ」という）を記録又は記憶したパレットＩＤ記録部を設け、
前記ダイ供給装置を配置した部品実装ラインには、前記ウエハ関連データ作成装置で作成した前記ウエハ関連データを前記パレットＩＤと関連付けて記憶する情報管理サーバをネットワーク接続し、
前記部品実装ライン又は前記ダイ供給装置には、前記ウエハパレットのパレットＩＤ記録部から前記パレットＩＤを読み取るパレットＩＤ読取り手段を設け、
前記パレットＩＤ読取り手段で読み取った前記パレットＩＤに対応する前記ウエハ関連データを前記情報管理サーバの記憶データから検索して前記ダイ供給装置に送信して該ダイ供給装置を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ関連データ管理方法。

【請求項4】

前記情報管理サーバは、複数の部品実装ラインにネットワーク接続されていることを特徴とする請求項３に記載のウエハ関連データ管理方法。

【請求項5】

前記ウエハパレットには、前記ウエハ関連データ作成装置で作成した前記ウエハ関連データを記憶するデータ記憶手段を設け、
前記ダイ供給装置を配置した部品実装ライン又は前記ダイ供給装置には、前記ウエハパレットのデータ記憶手段から前記ウエハ関連データを読み出すデータ読出し手段を設け、 前記データ読出し手段で読み出した前記ウエハ関連データを用いて前記ダイ供給装置を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ関連データ管理方法。

【請求項6】

複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットをセットし、前記ダイシングシート上のダイをカメラで撮像して該ダイの位置を画像認識し、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置で使用するウエハ関連データを作成するウエハ関連データ作成装置において、
前記ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレットをセットするセット台と、
前記セット台にセットしたウエハパレットのダイシングシート上のダイを吸着するテスト用吸着ノズルと、
前記ダイシングシートのうちの前記テスト用吸着ノズルで吸着しようとするダイの貼着部分を突き上げるテスト用突き上げピンと、
前記ダイシングシート上のダイを撮像するテスト用カメラとを備え、
前記ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレットを前記セット台にセットし、前記テスト用カメラで撮像した画像の処理、前記テスト用突き上げピンの突き上げ動作及び前記テスト用吸着ノズルのダイ吸着動作を実行して前記ウエハ関連データを作成することを特徴とするウエハ関連データ作成装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ダイ供給装置で使用するウエハ関連データを管理するウエハ関連データ管理方法及びウエハ関連データ作成装置に関する発明である。

【背景技術】

【0002】

近年、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、ダイを供給するダイ供給装置を部品実装機にセットして、部品実装機でダイを回路基板に実装するようにしたものがある。ダイ供給装置は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備え、吸着ノズルを下降させてダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、突き上げポットをダイシングシートの下面に接触する所定の吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするようにしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０−１２９９４９号公報

【特許文献2】特許第４２６２２３２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、吸着ノズルを下降させてダイシングシート上のダイを吸着する際に、突き上げピンの突き上げ量が大きくなり過ぎたり、突き上げ速度が速くなり過ぎると、吸着ノズルの下端がダイシングシート上のダイに強く当たり過ぎてダイが傷付いたり、割れてしまう可能性があり、反対に、突き上げピンの突き上げ量が小さくなり過ぎると、吸着ノズルにダイを安定して吸着できない。また、突き上げピンの突き上げ速度が遅くなり過ぎると、生産性が低下する。従って、生産性を確保しながら、吸着ノズルにダイを傷付けずに安定して吸着するためには、突き上げピンの突き上げ量や突き上げ速度等の突き上げ条件やダイ吸着条件を適正に管理する必要がある。また、微小なダイを突き上げピンで突き上げる場合は、ダイシングシート上の各ダイの位置を画像処理で精度良く認識して、突き上げピンの水平方向（ＸＹ方向）の位置を精密に管理する必要がある。

【0005】

そこで、生産開始前に、生産に使用するウエハパレットをダイ供給装置にセットして、カメラで撮像した画像の処理、突き上げピンの突き上げ動作及び吸着ノズルのダイ吸着動作を実行して、ウエハ関連データ（例えば、突き上げ条件、ダイ吸着条件、画像処理条件、吸着開始位置等に関するデータ）をセットアップするようにしている。

【0006】

しかし、この方法では、ウエハ関連データのセットアップのために、必ずダイ供給装置を使用する必要があるため、新たな種類のウエハに対応しようとする毎に、その都度、部品実装ラインを停止させる必要があり、段取り替えの多い生産形態では効率が悪い。

【0007】

また、ダイ供給装置にウエハパレットをセットした後、吸着開始位置の確認等の作業を行う必要があり、作業者が介在せざるを得ず、ウエハパレットの無停止補給を行うことができないという欠点もある。
従って、効率の良い段取り替えを行うためには、生産をしている最中に次の段取り替えの準備（ウエハ関連データのセットアップ）を実行できる機能が必要となる。

【0008】

尚、特許文献２（特許第４２６２２３２号公報）には、オフライン（機外）でダイの間隔を画像処理により測定する測定装置が記載されているが、この測定装置には、突き上げピンや吸着ノズルが装備されていないため、突き上げピンの突き上げ動作や吸着ノズルのダイ吸着動作に関するデータをセットアップするには、部品実装ライン中の実際のダイ供給装置を使用する必要があり、段取り替えの多い生産形態では効率が悪いという事情は変わらない。

【0009】

そこで、本発明が解決しようとする課題は、オフラインでダイ供給装置の突き上げピンの突き上げ動作や吸着ノズルのダイ吸着動作に関するデータをセットアップすることができるウエハ関連データ管理方法及びウエハ関連データ作成装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットをセットし、前記ダイシングシート上のダイをカメラで撮像して該ダイの位置を画像認識し、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置で使用するウエハ関連データを管理するウエハ関連データ管理方法において、前記ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレットをセットするセット台と、前記セット台にセットしたウエハパレットのダイシングシート上のダイを吸着するテスト用吸着ノズルと、前記ダイシングシートのうちの前記テスト用吸着ノズルで吸着しようとするダイの貼着部分を突き上げるテスト用突き上げピンと、前記ダイシングシート上のダイを撮像するテスト用カメラとを備えたウエハ関連データ作成装置を使用し、前記ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレットを前記ウエハ関連データ作成装置のセット台にセットし、前記テスト用カメラで撮像した画像の処理、前記テスト用突き上げピンの突き上げ動作及び前記テスト用吸着ノズルのダイ吸着動作を実行して前記ウエハ関連データを作成（セットアップ）することを特徴とするものである。

【0011】

本発明のように、テスト用吸着ノズルとテスト用突き上げピンとテスト用カメラを装備したウエハ関連データ作成装置を用いてウエハ関連データを作成すれば、オフラインで突き上げピンの突き上げ動作や吸着ノズルのダイ吸着動作に関するデータをセットアップすることができ、生産をしている最中に次の段取り替えの準備（ウエハ関連データのセットアップ）を実行でき、生産性を向上できる。

【0012】

この場合、請求項２のように、ウエハ関連データは、画像処理に関するデータ（ウエハやダイのサイズ、ダイの行列数等）、突き上げピンの突き上げ動作に関するデータ（突き上げ量、突き上げプロファイル、突き上げピンの形状、ピン配置等の突き上げ関連データ）、吸着ノズルのダイ吸着動作に関するデータ（ダイシングシート上のダイの吸着開始位置等）のうちの少なくとも１つを含むようにすれば良い。

【0013】

また、請求項３のように、ウエハパレットには、該ウエハパレットの識別情報（以下「パレットＩＤ」という）を記録又は記憶したパレットＩＤ記録部を設け、ダイ供給装置を配置した部品実装ラインには、ウエハ関連データ作成装置で作成したウエハ関連データをパレットＩＤと関連付けて記憶する情報管理サーバをネットワーク接続し、部品実装ライン又はダイ供給装置には、ウエハパレットのパレットＩＤ記録部からパレットＩＤを読み取るパレットＩＤ読取り手段を設け、該パレットＩＤ読取り手段で読み取ったパレットＩＤに対応するウエハ関連データを情報管理サーバの記憶データから検索してダイ供給装置に送信して該ダイ供給装置を制御するようにしても良い。

【0014】

ここで、パレットＩＤ記録部は、バーコード、２次元コード等のコードを記録したものでも良いし、電子的に記憶するＲＦタグ（電子タグ、ＩＣタグ、電波タグ、無線タグとも呼ばれる）や、磁気的に記録する磁気テープ等を用いても良い。請求項３のように、ウエハ関連データ作成装置で作成したウエハ関連データをパレットＩＤと関連付けて情報管理サーバに記憶すれば、部品実装ライン中のダイ供給装置にセットしたウエハパレットのパレットＩＤに対応するウエハ関連データを情報管理サーバの記憶データから検索してダイ供給装置に自動的にダウンロードすることができて、パレットＩＤに対応したウエハ関連データをダイ供給装置に入力する作業を自動化でき、省力化の要求を満たすことができる。

【0015】

この場合、情報管理サーバを１つの部品実装ラインのみにネットワーク接続しても良いが、請求項４のように、情報管理サーバを複数の部品実装ラインにネットワーク接続しても良い。このようにすれば、ウエハ関連データ作成装置で作成したウエハ関連データを複数の部品実装ラインで共用することが可能となり、各部品実装ライン毎に別々にウエハ関連データ作成装置でウエハ関連データを作成する必要がなく、ウエハ関連データのセットアップ時間を削減することができる。

【0016】

或は、請求項５のように、ウエハパレットには、ウエハ関連データ作成装置で作成したウエハ関連データを記憶するデータ記憶手段を設け、部品実装ライン又はダイ供給装置には、ウエハパレットのデータ記憶手段からウエハ関連データを読み出すデータ読出し手段を設け、該データ読出し手段で読み出したウエハ関連データを用いてダイ供給装置を制御するようにしても良い。このようにしても、パレットＩＤに対応したウエハ関連データをダイ供給装置に入力する作業を自動化でき、省力化の要求を満たすことができる。

【0017】

尚、請求項６に係る発明は、上記請求項１に記載のウエハ関連データ管理方法の発明で使用するウエハ関連データ作成装置の発明である。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は本発明の実施例１におけるウエハ関連データ管理システムの構成例を示すブロック図である。

【図2】図２はダイ供給装置の外観斜視図である。

【図3】図３は突き上げユニットとその周辺部分の外観斜視図である。

【図4】図４はウエハパレットの外観斜視図である。

【図5】図５は突き上げ動作時に突き上げポットを吸着位置まで上昇させた状態を示す一部破断拡大図である。

【図6】図６は突き上げ動作時に突き上げポットから突き上げピンを突出させた状態を示す一部破断拡大図である。

【図7】図７（ａ）はウエハ関連データ作成装置の吸着ヘッドとテスト用カメラを保持するＸＹ移動機構とウエハパレットとの位置関係を示す平面図、同図（ｂ）はダイの行列数の自動カウント方法を説明するウエハパレットの平面図である。

【図8】図８（ａ）〜（ｄ）は突き上げピンの突き上げ動作に関する突き上げ関連データのチューニング方法を説明する図である。

【図9】図９は突き上げプロファイルの設定例を示す図である。

【図10】図１０（ａ）〜（ｃ）は吸着開始位置の設定方法を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明を実施するための形態を具体化した２つの実施例１，２を説明する。

【実施例1】

【0020】

本発明の実施例１を図１乃至図１０を参照して説明する。
まず、図１を用いて実施例１のウエハ関連データ管理システムの構成を説明する。
図１には、３本の部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３が図示されている。
各部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３には、それぞれダイ供給装置１１をセットした装着機１２や、テープフィーダ１３をセットした装着機１４が１台又は複数台配置されている。各部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３には、装着機の他に、半田印刷機、検査機、リフロー炉等が配置されていても良い。

【0021】

部品実装ラインLine＃１，Line＃２の各装置は、ライン管理コンピュータ１６とネットワーク接続され、該ライン管理コンピュータ１６によって生産管理される。部品実装ラインLine＃３の各装置は、ライン管理コンピュータ１７とネットワーク接続され、該ライン管理コンピュータ１７によって生産管理される。ライン管理コンピュータ１６，１７は、ホストコンピュータ１８とネットワーク接続され、各部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３の生産が管理される。

【0022】

次に、図２を用いてダイ供給装置１１の構成を概略的に説明する。
ダイ供給装置１１は、マガジン保持部２２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル２３、ＸＹ移動機構２５、突き上げユニット２８（図３参照）等を備え、パレット引き出しテーブル２３を装着機１２（図１参照）に差し込んだ状態にセットされる。

【0023】

ダイ供給装置１１のマガジン保持部２２内に上下動可能に収納されたマガジン（図示せず）には、ダイ３１（ウエハ部品）を載せたウエハパレット３２が多段に積載され、生産中にマガジンからウエハパレット３２がパレット引き出しテーブル２３上に引き出されるようになっている。図４に示すように、ウエハパレット３２は、ウエハを碁盤目状にダイシングして形成したダイ３１を貼着した伸縮可能なダイシングシート３４を、円形の開口部を有するウエハ装着板３３にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板３３をパレット本体３５にねじ止め等により取り付けた構成となっている。

【0024】

突き上げユニット２８（図３参照）は、ウエハパレット３２のダイシングシート３４下方の空間領域をＸＹ方向に移動可能に構成されている。そして、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピン３９（図５、図６参照）で局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。

【0025】

この突き上げユニット２８は、サーボモータ（図示せず）を駆動源として突き上げユニット２８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット２８が上昇して突き上げポット３７の上面がウエハパレット３２のダイシングシート３４にほぼ接触する所定のシート吸着位置まで上昇すると、ストッパ機構（図示せず）によって突き上げユニット２８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット３７の上面から突き上げピン３９（図５、図６参照）が上方に突出して、ダイシングシート３４のうちのピックアップしようとするダイ３１の貼着部分を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピン３９の突き上げ高さ位置（突き上げ量）を調整できるようになっている。

【0026】

図２に示すように、ＸＹ移動機構２５には、吸着ヘッド４１とカメラ４２とが組み付けられ、該ＸＹ移動機構２５によって吸着ヘッド４１とカメラ４２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成されている。吸着ヘッド４１には、ダイシングシート３４上のダイ３１を吸着する吸着ノズル４３（図５、図６参照）が上下動するように設けられている。カメラ４２は、ダイシングシート３４上のダイ３１を上方から撮像してその撮像画像を画像処理することで、吸着ノズル４３で吸着するダイ３１の位置を確認できるようになっている。

【0027】

図４に示すように、ウエハパレット３２には、該ウエハパレット３２の識別情報（以下「パレットＩＤ」という）を記録又は記憶したパレットＩＤ記録部４５が設けられている。このパレットＩＤ記録部４５は、バーコード、２次元コード等のコードを記録したものでも良いし、電子的に記憶するＲＦタグ（電子タグ、ＩＣタグ、電波タグ、無線タグとも呼ばれる）や、磁気的に記録する磁気テープ等を用いても良い。

【0028】

一方、図１に示すように、各部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３を接続するネットワークには、ウエハ関連データ作成装置４７と情報管理サーバ４８が接続されている。ウエハ関連データ作成装置４７は、ダイ供給装置１１で使用するウエハ関連データをオフライン（機外）で作成する装置であり、図７及び図８に示すように、ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレット３２をセットするセット台（図示せず）と、このセット台にセットしたウエハパレット３２のダイシングシート３４上のダイ３１を吸着するテスト用吸着ノズル５１を保持する吸着ヘッド５２と、ダイシングシート３４のうちのテスト用吸着ノズル５１で吸着しようとするダイ３１の貼着部分を突き上げるテスト用突き上げピン５３と、ダイシングシート３４上のダイ３１を撮像するテスト用カメラ５４とを備えた構成となっている。吸着ヘッド５２とテスト用カメラ５４は、ＸＹ移動機構５５によって一体的にＸＹ方向に移動するように構成されている。

【0029】

ウエハ関連データ作成装置４７のテスト用吸着ノズル５１、テスト用突き上げピン５３及びテスト用カメラ５４は、ダイ供給装置１１の吸着ノズル４３、突き上げピン３９及びカメラ４２と実質的に同じ仕様のものが用いられ、それぞれ、ダイ供給装置１１の吸着ノズル４３、突き上げピン３９及びカメラ４２に合わせて取り替え可能となっている。ウエハ関連データ作成装置４７のテスト用突き上げピン５３の本数も、ダイ供給装置１１の突き上げピン３９の本数に合わせて変更可能となっている。

【0030】

次に、ウエハ関連データ作成装置４７を使用してウエハ関連データを作成（セットアップ）する手順を説明する。
まず、ウエハ関連データ作成装置４７を動作させるのに必要なウエハ関連データの初期値（チューニング前の暫定値）をウエハ関連データ作成装置４７の制御装置（図示せず）に入力する。

【0031】

この後、画像処理データを作成して画像処理のテストを行う。画像処理データの作成方法は、ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレット３２をセット台にセットし、そのウエハパレット３２のダイシングシート３４上のウエハ（ダイ３１）をその上方からテスト用カメラ５４で撮像し、ウエハの画像を取り込んで画像処理して、画像処理データの初期値（チューニング前の暫定値）を用いてウエハ（ダイ３１）の形状を認識して、画像処理データ（ウエハやダイ３１のサイズ等）を作成する。そして、作成した画像処理データを用いて、テスト用カメラ５４のウエハの撮像画像からダイ３１の形状を認識する画像処理のテストを行い、ダイ３１の形状を安定して認識できるようになるまで画像処理データをチューニングする。

【0032】

この後、ダイシングシート３４上のダイ３１の行列数を自動的にカウントする。この際、ダイシングシート３４上のウエハ円の中心を通る直線に沿ってダイ３１を１個ずつ画像処理しながらダイ３１の数をカウントしてダイ３１の行列数を求める。このカウントは、横方向（Ｘ方向）と縦方向（Ｙ方向）の列でそれぞれ行い、横方向と縦方向の行列数を求める。

【0033】

この後、ウエハ関連データ作成装置４７のテスト用突き上げピン５３の突き上げ動作及びテスト用吸着ノズル５１のダイ吸着動作を実行して突き上げ関連データを作成する。この際、テスト用吸着ノズル５１で吸着しようとするダイ３１の位置を検出するために、まず、図８（ａ）に示すように、テスト用吸着ノズル５１で吸着しようとするダイ３１をその上方からテスト用カメラ５４で撮像し、ダイ３１の画像を取り込んで画像処理して、ダイ３１の位置を検出する。

【0034】

この後、図８（ｂ）に示すように、テスト用吸着ノズル５１を下降させてダイ３１を吸着する。この後、図８（ｃ）に示すように、テスト用突き上げピン５３を上昇させて、ダイの貼着部分を突き上げピン５３で突き上げて該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させながら、テスト用吸着ノズル５１を上昇させる。これにより、図８（ｄ）に示すように、ダイシングシート３４からダイ３１が剥離されてから、テスト用突き上げピン５３を下降させて元の位置に戻す。これらの動作により、突き上げ関連データをチューニングする。

【0035】

ここで、チューニングする突き上げ関連データは、突き上げピン３９（テスト用突き上げピン５３）の突き上げ量、突き上げプロファイル等である。突き上げプロファイルは、図９に示すように、突き上げピン３９（テスト用突き上げピン５３）の突き上げ速度又は加速度の経時変化を指定するテーブルであり、突き上げ動作の途中で突き上げ速度（加速度）を切り換えるようにしている。この突き上げプロファイルによって突き上げピン３９（テスト用突き上げピン５３）の突き上げ動作の挙動（速度又は加速度）が指定される。突き上げ動作の途中で突き上げ速度（加速度）を切り換えるようにすれば、例えば、突き上げ動作の初めはゆっくりと突き上げ速度を上げ、途中から更に突き上げ速度を上げたり、或は、その反対に、突き上げ動作の途中から突き上げ速度を下げるようにしても良い。突き上げ速度（加速度）を切り換える高さ位置を指定できるようにしても良い。

【0036】

その他、突き上げ関連データとして、突き上げポット３７の種類（形状、径）、突き上げピン３９の形状、ピン配置等を指定できるようにしても良い。
また、ダイシングシート３４上のダイ３１の吸着開始位置を次のようにして設定する。まず、図１０（ａ）に示すように、ウエハパレット３２のダイシングシート３４上の基準位置となるリファレンスダイＲをその上方からテスト用カメラ５４で撮像し、画像処理によりリファレンスダイＲの位置を検出して、２本の位置決めピン６１，６２の位置を基準にしてウエハの中心位置を求める。

【0037】

この後、図１０（ｂ）に示すように、ウエハ関連データ作成装置４７のモニタ画面上でウエハの生画像又はイメージ図を見ながら、吸着開始位置をマウス等の操作でセットする。この後、図１０（ｃ）に示すように、ウエハの中心位置を原点とする吸着開始位置の座標を演算する。

【0038】

以上のようにしてウエハ関連データ作成装置４７で作成したウエハ関連データ（画像処理データ、ダイ３１の行列数、突き上げ関連データ、ダイ３１の吸着開始位置等）は、情報管理サーバ４８に転送され、該ウエハ関連データがパレットＩＤと関連付けて記憶される。尚、生産中に部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３のいずれかを停止させて、従来と同じ方法でダイ供給装置１１を使用してウエハ関連データを作成した場合は、このウエハ関連データもパレットＩＤと関連付けて情報管理サーバ４８に記憶するようにすれば良い。

【0039】

この情報管理サーバ４８は、各部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３で使用するウエハ関連データを一元管理するサーバであり、該情報管理サーバ４８で起動するウエハマップコンバータ５７にウエハマッピングデータを登録すると共に、該ウエハマップコンバータ５７によってウエハマップファイルを読取り可能なファイルにコンバートして情報管理サーバ４８に保管する。

【0040】

各部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３又はダイ供給装置１１には、ウエハパレット３２のパレットＩＤ記録部４５からパレットＩＤを読み取るリーダ（パレットＩＤ読取り手段）が設けられている。各部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３の生産中は、ダイ供給装置１１にセットするウエハパレット３２のパレットＩＤ記録部４５からパレットＩＤをリーダで読み取り、該パレットＩＤに対応するウエハ関連データとマップデータを情報管理サーバ４８の記憶データから検索して該ダイ供給装置１１に自動的にダウンロードし、該ウエハ関連データを使用して該ダイ供給装置１１を制御する。尚、ダイ供給装置１１から使いかけのウエハパレット３２が取り出された場合は、当該ダイ供給装置１１からマップデータを情報管理サーバ４８にアップロードする。

【0041】

以上説明した本実施例１では、テスト用吸着ノズル５１とテスト用突き上げピン５３とテスト用カメラ５４を装備したウエハ関連データ作成装置４７を用いてウエハ関連データを作成するようにしたので、オフラインで突き上げピン３９の突き上げ動作や吸着ノズル５１のダイ吸着動作に関するデータをセットアップすることができ、生産をしている最中に次の段取り替えの準備（ウエハ関連データのセットアップ）を実行でき、生産性を向上できる。

【0042】

しかも、ウエハ関連データ作成装置４７で作成したウエハ関連データをパレットＩＤと関連付けて情報管理サーバ４８に記憶するようにしたので、部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３のダイ供給装置１１にセットしたウエハパレット３２のパレットＩＤに対応するウエハ関連データを情報管理サーバ４８の記憶データから検索してダイ供給装置１１に自動的にダウンロードすることができる。これにより、パレットＩＤに対応したウエハ関連データをダイ供給装置１１に入力する作業を自動化でき、省力化の要求を満たすことができる。

【0043】

更に、本実施例１では、情報管理サーバ４８を複数の部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３にネットワーク接続してウエハ関連データを一元管理するようにしたので、ウエハ関連データ作成装置４７で作成したウエハ関連データを複数の部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３で共用することが可能となり、各部品実装ラインLine＃１，Line＃２，Line＃３毎に別々にウエハ関連データ作成装置４７でウエハ関連データを作成する必要がなく、ウエハ関連データのセットアップ時間を削減することができ、部品実装ラインの段取り替えによるダウンタイムを減少させることができる。また、事前にウエハ関連データのセットアップを全て行っておくことで、ウエハパレット３２の無停止補給が可能となる。

【0044】

尚、本発明は、情報管理サーバ４８を１つの部品実装ラインのみにネットワーク接続しても良い。

【実施例2】

【0045】

上記実施例１では、ウエハ関連データ作成装置４７で作成したウエハ関連データを情報管理サーバ４８に記憶するようにしたが、本発明の実施例２では、ウエハ関連データ作成装置４７で作成したウエハ関連データを記憶するデータ記憶手段をウエハパレット３２に設け、部品実装ライン又はダイ供給装置１１には、ウエハパレット３２のデータ記憶手段からウエハ関連データを読み出すリーダ（データ読出し手段）を設け、該リーダで読み出したウエハ関連データを用いてダイ供給装置１１を制御するようにしている。ウエハ関連データを記憶するデータ記憶手段としては、電子的に記憶するＲＦタグ（電子タグ、ＩＣタグ、電波タグ、無線タグとも呼ばれる）等を用いれば良い。その他の事項は、前記実施例１と同じである。

【0046】

以上説明した本実施例２でも、パレットＩＤに対応したウエハ関連データをダイ供給装置１１に入力する作業を自動化でき、省力化の要求を満たすことができる。
尚、本発明は、上記各実施例１，２に限定されず、ウエハ関連データ作成装置４７で作成するウエハ関連データの内容を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。

【符号の説明】

【0047】

Line＃１，Line＃２，Line＃３…部品実装ライン、１１…ダイ供給装置、１２…装着機、１３…テープフィーダ、１４…装着機、１６，１７…ライン管理コンピュータ、１８…ホストコンピュータ、３１…ダイ、３２…ウエハパレット、３３…ウエハ装着板、３４…ダイシングシート、３７…突き上げポット、３９…突き上げピン、４１…吸着ヘッド、４２…カメラ、４３…吸着ノズル、４５…パレットＩＤ記録部、４７…ウエハ関連データ作成装置、４８…情報管理サーバ、５１…テスト用吸着ノズル、５２…吸着ヘッド、５３…テスト用突き上げピン、５４…テスト用カメラ、５５…ＸＹ移動機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】