特許5937692圧電アクチュエータおよびこれを備えたマスフローコントローラ

発明の名称　圧電アクチュエータおよびこれを備えたマスフローコントローラ

出願人　京セラ株式会社　（識別番号 6633）

　　　　特許公開件数ランキング 59 位（415件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 27 位（656件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5937692

公報発行日　2016年6月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5937692

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