特許5939882試料の作製方法およびダメージ層除去装置

発明の名称　試料の作製方法およびダメージ層除去装置

出願人　一般財団法人ファインセラミックスセンター　（識別番号 173522）

　　　　特許公開件数ランキング 2910 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4134 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5939882

公報発行日　2016年6月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5939882

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