特許 5939946 研磨装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5939946

(24)【登録日】2016年5月27日

(45)【発行日】2016年6月22日

(54)【発明の名称】研磨装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 19/00 20060101AFI20160609BHJP

   B24B 9/04 20060101ALI20160609BHJP

【ＦＩ】

   B24B19/00 Z

   B24B9/04 A

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2012-213394(P2012-213394)

(22)【出願日】2012年9月27日

(65)【公開番号】特開2014-65130(P2014-65130A)

(43)【公開日】2014年4月17日

【審査請求日】2015年8月6日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】日本電産サンキョー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002158

【氏名又は名称】特許業務法人上野特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100095669

【弁理士】

【氏名又は名称】上野 登

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 靖

(72)【発明者】

【氏名】久保田 昭司

【審査官】 大山 健

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−４５９７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平８−１４９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６０−１６７６５３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開昭５６−１１０５７（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ １９／００

Ｂ２４Ｂ ９／０４

Ｂ２４Ｂ ３／３６− ３／５４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

研磨対象物を研磨する研磨体と、
この研磨体を支持する支持部材と、
前記研磨対象物の研磨形状が目標とする形状となるように前記研磨体が支持された支持部材を案内するガイド部材と、
を備え、
前記ガイド部材は、
基準となる方向である幅方向に沿う直線状に形成された第一ガイド部と、
前記目標とする形状に基づいて得られる曲線状に形成された第二ガイド部と、
を有し、
前記支持部材は、
前記第一ガイド部に接触する第一接触部と、
この第一接触部よりも前記研磨対象物と前記研磨体の接触点に近い位置に設けられた、前記第二ガイド部に接触する第二接触部と、
を有し、
前記第一ガイド部と前記第一接触部、および前記第二ガイド部と前記第二接触部を接触させながら、前記支持部材およびそれに支持された前記研磨体を前記幅方向に移動させることにより、前記研磨体と前記研磨対象物の接触点が前記目標とする形状と同じ軌跡で移動するように構成されていることを特徴とする研磨装置。

【請求項2】

前記第二ガイド部の曲線形状ｙ＝Ｆ（ｘ）は、前記目標とする形状ｙ＝ｆ（ｘ）から以下の式により算出される形状であることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
Ｆ（ｘ）＝（ｆ（ｘ−ｍ））×ｒ
ただし、上記式において、
ｘは前記幅方向の位置を、
ｙは前記前後方向の位置を、
ｍは前記幅方向（ｘ軸方向）における前記研磨体と前記研磨対象物の接触点から前記第二ガイド部と前記第二接触部の接触点までの距離を、
ｒは前記第一ガイド部と前記第一接触部の接触点から前記研磨体と前記研磨対象物の接触点までの直線距離ｄ１と、前記第一ガイド部と前記第一接触部の接触点から前記第二ガイド部と前記第二接触部の接触点までの直線距離ｄ２の比、ｄ２／ｄ１を示している。

【請求項3】

前記目標とする形状は凸形状であって、
前記第二ガイド部は、前記幅方向に直交する前後方向において前記支持部材側に向かって凸となる曲線状に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の研磨装置。

【請求項4】

前記ガイド部材は、前記第一ガイド部と前記第二ガイド部が前記幅方向および前記前後方向に直交する高さ方向に並べられて形成され、
前記支持部材において、前記第一接触部と前記第二接触部が異なる高さに設けられていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の研磨装置。

【請求項5】

前記研磨体は、前記幅方向おいて前記第一接触部と前記第二接触部の間に位置する円筒状の部材であって、回転する円筒の側面が前記研磨対象物に接触することにより当該研磨対象物が研磨されるように前記支持部材に支持されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の研磨装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、研磨対象物を目標の形状に研磨するためのガイド部材を備えた研磨装置に関する。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１には、アイススケート用ブレード（刃）の研磨装置が記載されている（以下、上記アイススケート用ブレードを単にブレードと称することもある）。特許文献１に記載される研磨装置をはじめとして、一般的な研磨装置では、上記ブレードのような高い寸法精度を必要とする対象物を研磨する場合、熟練した技術を有する技術者でなければ要求に適う研磨加工を施すことができないという問題があった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１−４５９７１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記問題に鑑みて、本発明は、熟練した技術がなくても簡単に対象物を目標の形状に研磨することができる研磨装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決するために本発明にかかる研磨装置は、研磨対象物を研磨する研磨体と、この研磨体を支持する支持部材と、前記研磨対象物の研磨形状が目標とする形状となるように前記研磨体が支持された支持部材を案内するガイド部材と、を備え、前記ガイド部材は、基準となる方向である幅方向に沿う直線状に形成された第一ガイド部と、前記目標とする形状に基づいて得られる曲線状に形成された第二ガイド部と、を有し、前記支持部材は、前記第一ガイド部に接触する第一接触部と、この第一接触部よりも前記研磨対象物と前記研磨体の接触点に近い位置に設けられた、前記第二ガイド部に接触する第二接触部と、を有し、前記第一ガイド部と前記第一接触部、および前記第二ガイド部と前記第二接触部を接触させながら、前記支持部材およびそれに支持された前記研磨体を前記幅方向に移動させることにより、前記研磨体と前記研磨対象物の接触点が前記目標とする形状と同じ軌跡で移動するように構成されていることを特徴とする。

【0006】

前記第二ガイド部の曲線形状ｙ＝Ｆ（ｘ）は、前記目標とする形状ｙ＝ｆ（ｘ）から以下の式により算出される形状である。
Ｆ（ｘ）＝（ｆ（ｘ−ｍ））×ｒ
ただし、上記式において、ｘは前記幅方向の位置を、ｙは前記前後方向の位置を、
ｍは前記幅方向（ｘ軸方向）における前記研磨体と前記研磨対象物の接触点から前記第二ガイド部と前記第二接触部の接触点までの距離を、ｒは前記第一ガイド部と前記第一接触部の接触点から前記研磨体と前記研磨対象物の接触点までの直線距離ｄ１と、前記第一ガイド部と前記第一接触部の接触点から前記第二ガイド部と前記第二接触部の接触点までの直線距離ｄ２の比、ｄ２／ｄ１を示す。

【0007】

前記目標とする形状は凸形状であって、前記第二ガイド部は、前記幅方向に直交する前後方向において前記支持部材側に向かって凸となる曲線状に形成されていればよい。

【0008】

前記ガイド部材は、前記第一ガイド部と前記第二ガイド部が前記幅方向および前記前後方向に直交する高さ方向に並べられて形成され、前記支持部材において、前記第一接触部と前記第二接触部が異なる高さに設けられていればよい。

【0009】

前記研磨体は、前記幅方向おいて前記第一接触部と前記第二接触部の間に位置する円筒状の部材であって、回転する円筒の側面が前記研磨対象物に接触することにより当該研磨対象物が研磨されるように前記支持部材に支持されていればよい。

【発明の効果】

【0010】

上記本発明では、研磨体を支持する支持部材が、直線状である第一ガイド部に接触する第一接触部と、目標とする形状から得られる曲線状である第二ガイド部に接触する第二接触部とを備える。研磨加工時には、第一ガイド部と第一接触部が接触する箇所を基準としつつ、研磨対象物と研磨体が接触する箇所に近い側に設けられた第二接触部が第二ガイド部に沿って移動し、研磨体と研磨対象物の接触点が目標とする形状と同じ軌跡で移動することになる。つまり、研磨体と研磨対象物が接触する箇所が安定するため、より精密に目標となる形状を作り出せる。また、第一ガイド部に第一接触部を、第二ガイド部に第二接触部を接触させつつ、研磨体を支持する支持部材を移動させるだけでよいから、加工作業が簡単である。

【0011】

また、ガイド部材においてガイド部が異なる高さに位置するようにするとともに、これに合わせて支持部材において接触部が異なる高さに位置するようにすれば、支持部材をガイド部材に押し当てるだけで、第一ガイド部に第一接触部が接触し、第二ガイド部に第二接触部が接触した状態となるから、加工作業がより簡単になる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の一実施形態にかかる研磨装置の外観図である。

【図2】支持部材とそれに支持されたモータおよび研磨体の外観図である。

【図3】支持部材とそれに支持されたモータおよび研磨体を図２とは異なる方向から見た外観図である。

【図4】支持部材とそれに支持されたモータおよび研磨体を研磨体側から見た図である。

【図5】図５（ａ）はガイド部材の外観図であり、図５（ｂ）はガイド部材の平面図である。

【図6】図６（ａ）は研磨対象物（スケートブレード）の外観図であり、図６（ｂ）は研磨対象物の平面図である。

【図7】固定台を幅方向右側から見た側面図（図１に示したＡ矢視図）である。

【図8】第一ローラ（第一接触部）と第一ガイド部の接触点ｐ１、第二ローラ（第二接触部）と第二ガイド部の接触点ｐ２、研磨体と研磨対象物の接触点ｐ３の位置関係を示した図である。

【図9】目標とする形状（Ｑ）から第二ガイド部の形状（Ｒ）を導出する手順を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明における幅方向（左右方向）とは図示したｘ軸方向をいい、高さ方向（上下方向）とは図示したｚ軸方向をいい、前後方向とは幅方向および高さ方向に直交する方向であって図示したｙ軸方向（ガイド部材３０側を前、研磨体（モータ４０）側を後とする）をいうものとする。また、水平方向とは、左右方向および前後方向に広がる平面に沿う方向をいうものとする。

【0014】

（研磨装置の構成）
本実施形態にかかる研磨装置１は、研磨対象物９０であるスケートブレード（図６参照）を目標とする形状に研磨加工するために用いられるものであって、研磨体１０、この研磨体１０を支持する支持部材２０、およびこの支持部材２０を案内するガイド部材３０を備える。本実施形態の研磨対象物９０であるスケートブレードの研磨面は凸形状（一部フラットな部分があるものを含む。すなわち凹んだ部分がないものであればよい）をなしている。以下各構成について説明する。

【0015】

研磨体１０（砥石）は、研磨対象物９０に接触し当該研磨対象物９０の所定部分を研磨する部材である。本実施形態では、円筒状の研磨体１０を用いる。この円筒状の研磨体１０は、底部を有し、当該底部に接続された接続部材４１を介してモータ４０の出力軸（ロータ）と接続されている。研磨体１０は、モータ４０が駆動することにより、その円筒の中心にある回転軸を回転中心軸として回転する。この研磨体１０はその回転中心軸が略前後方向に沿うように設置され、研磨体１０の前側の側面（断面円形の外周面に直交する面）が研磨対象物９０に接触する部分（以下、接触面１１と称することもある）となる。

【0016】

支持部材２０は、上記研磨体１０をモータ４０とともに支持する部材であり、サブベース２１、取り付けプレート２２、第一ローラ２３（本発明における第一接触部に相当する）、および第二ローラ２４（本発明における第二接触部に相当する）を有する。サブベース２１は、研磨体１０が接続されたモータ４０が載置されるプレートである。このサブベース２１は、装置のベース５０上に載置される。ベース５０は、水平方向に設置され、サブベース２１はこのベース５０上にスライド可能に設置される。つまり、サブベース２１は水平方向に自在にスライドさせること可能である。このサブベース２１上には高さ方向に延びる連結プレート２５の下端が接続されており、この連結プレート２５の上端に取り付けプレート２２が接続されている。モータ４０は、サブベース２１と取り付けプレート２２の間に挟まれるようにしてサブベース２１および取り付けプレート２２の両方に接続されており、出力軸は連結プレート２５に形成された図示されない貫通孔に通されている。

【0017】

さらに、サブベース２１上には、研磨体１０（モータ４０）の幅方向外側に位置するブロック状の支持部（第一支持部２１１および第二支持部２１２）が設けられている。第一支持部２１１および第二支持部２１２にはそれぞれ第一ローラ支持軸２６１および第二ローラ支持軸２６２が支持されている。具体的には第一支持部２１１および第二支持部２１２には、前後方向に延びる貫通孔が形成されており、その貫通孔を通じて第一ローラ支持軸２６１および第二ローラ支持軸２６２が第一支持部２１１および第二支持部２１２を貫いた状態で各支持部に支持されている。第一ローラ支持軸２６１、第二ローラ支持軸２６２のそれぞれの先端には、回転方向が水平方向に沿う方向になるように（回転中心軸が上下方向となるように）第一ローラ２３、第二ローラ２４が接続されている。第一ローラ２３は、第二ローラ２４よりも低い位置に位置する。その高さの差ｈ（図４参照）は、詳細を後述するガイド部材３０におけるガイド部の高さの差と同じである。

【0018】

ガイド部材３０は、支持部材２０を案内する幅方向に長いプレートである。ガイド部材３０は、高さ方向（ガイド部材３０の厚み方向）に並ぶ第一ガイド部３１と第二ガイド部３２が一体的に形成された部材である。下側には幅方向に沿う直線状に形成された第一ガイド部３１が形成されている。この第一ガイド部３１の直線方向、すなわち幅方向は、本装置を用いた研磨加工において基準となる方向である。上側には研磨対象物９０の研磨加工後の形状（目標とする形状）に基づいて得られた曲線状の第二ガイド部３２が形成されている。この第二ガイド部３２は、高さ方向から見て、前後方向において支持部材２０側に向かって凸となる曲線状である。この第二ガイド部３２の形状の設定方法については後述する。第一ガイド部３１は、この第二ガイド部３２の凸形状の頂部（最も後方側に位置する部分）を通る幅方向に沿う直線状に（上下左右方向に広がる平面に）形成されている。本実施形態にかかる研磨装置１は、この幅方向、すなわち第一ガイド部３１の直線方向が基準となる方向として設定されるものである。ガイド部材３０の第一ガイド部３１と第二ガイド部３２の境界において、上記頂部を通る部分には段差は存在せず、それ以外の箇所には段差が存在する。ガイド部材３０における第一ガイド部３１と第二ガイド部３２が形成された端面の反対側の端面（前面）は、第一ガイド部３１と平行な平面となっている。ガイド部材３０の上下面は、前後左右方向に広がる平面となっている。

【0019】

このガイド部材３０は、装置のベース５０の前側に取り付けられた固定台６０に固定されている。固定台６０には、前後左右方向に広がる平面である第一位置決め面６１とそれに直交する平面である第二位置決め面６２が形成されており、ガイド部材３０の下面を第一位置決め面６１に、前面を第二位置決め面６２に接触させることにより、固定台６０に対してガイド部材３０が前後方向および高さ方向に位置決めされる。固定台６０には台の本体部分に対して回転自在に設けられたガイド固定プレート６３が設けられており、ガイド部材３０はこのガイド固定プレート６３と第一位置決め面６１との間に挟まれることにより固定されている。なお、図示しない別の位置決め要素によりガイド部材３０は幅方向にも位置決めされる（ガイド部材３０に形成された位置決め凹部３３（図５参照）に係合する要素が固定台６０に設けられている）。当該位置にガイド部材３０を固定したとき、第一ガイド部３１は第一ローラ２３と同じ高さに位置し、第二ガイド部３２は第二ローラ２４と同じ高さに位置する。つまり、支持部材２０をガイド部材３０に近づけると、第一ローラ２３は第一ガイド部３１に、第二ローラ２４は第二ガイド部３２に接触する。

【0020】

上記固定台６０には、ガイド部材３０を固定するための構成に加え、研磨対象物９０を固定するための構成が設けられている。固定台６０の上側には、固定台６０の本体部分に対して回転自在に設けられた対象物固定部６４が設けられており、この対象物固定部６４と固定台６０の本体部分に設けられた対象物支持部によって研磨対象物９０を挟み込んで支持する。固定台６０には、研磨対象物９０の基準部位（研磨面９１との相対的な位置関係の精度が高い部位）に接触する部分がいくつか設けられており、当該部分によって研磨対象物９０は、幅方向、前後方向、および高さ方向に位置決めされる（当該位置決め要素は研磨対象物９０の形状（基準となる部位）等に応じて適宜設定すればよい）。研磨対象物９０は、研磨される面が固定台６０の後面よりも後方に突出した状態とする。なお、以上説明した固定台６０の構成は一例であり、ガイド部材３０と研磨対象物９０の相対的な位置関係が所定の関係となるように両部材を位置決めでき、かつ、ガイド部材３０の両ガイド部３１、３２が支持部材のローラ２３、２４に接触する位置に位置決めできるものであればどのような構成であってもよい。

【0021】

（研磨装置を用いた研磨）
上記研磨装置１を用いた研磨方法（上記研磨装置１の作用）について説明する。まず、上記固定台６０に研磨対象物９０およびガイド部材３０を固定する。かかる固定台６０の固定により、両者の相対的な位置関係は予め定められた所定の関係に設定される。研磨体１０を回転させた状態で支持部材２０を前方へ移動させて研磨体１０と研磨対象物９０を接触させる。具体的には、図６（ｂ）に示すように研磨対象物９０における研磨面９１の幅方向一方側（第二ローラ２４側；本実施形態では右側）の端部に研磨体１０の接触面１１を接触させる。このように支持部材２０を前方へ移動させると、図５（ｂ）に示すように第一ローラ２３は第一ガイド部３１に、第二ローラ２４は第二ガイド部３２に接触した状態となる。つまり、第二ローラ２４と第二ガイド部３２の接触点は、第一ローラ２３と第一ガイド部３１の接触点よりも、研磨対象物９０と研磨体１０の接触点に近い位置に位置する。上述したように、第一ローラ２３と第一ガイド部３１が同じ高さに、第二ローラ２４と第二ガイド部３２が同じ高さに位置するように設定されているため、第一ローラ２３と第二ガイド部３２が接触することはないし、第二ローラ２４と第一ガイド部３１が接触することはない。

【0022】

そのまま支持部材２０を前方に押しつけることによって研磨体１０の接触面１１を研磨対象物９０に接触させながら第一ローラ２３を第一ガイド部３１に、第二ローラ２４を第二ガイド部３２に接触させつつ、幅方向の他方側へ向けて支持部材２０およびそれに支持された研磨体１０を移動させていく。

【0023】

そうすると、第一ローラ２３と第一ガイド部３１の接触点が幅方向に沿って移動していくとともに、第二ローラ２４と第二ガイド部３２の接触点が第二ガイド部３２の形状に沿って移動していく。第二ローラ２４側（第二ローラ２４と第二ガイド部３２の接触点側）に位置する研磨体１０と研磨対象物９０の接触点は、第二ガイド部３２の形状に類似する形状である目標となる凸形状と同じ軌跡で移動していく。つまり、幅方向に沿って移動する第一ローラ２３と第一ガイド部３１の接触点を支点として、研磨体１０と研磨対象物９０の接触点は、目標とする凸形状と軌跡で移動していくことになり、研磨対象物９０は当該目標とする凸形状に研磨される。

【0024】

このようにして研磨対象物９０を目標とする凸形状に研磨することができる。ここで、本実施形態では、上記第二ローラ２４と第二ガイド部３２の接触点と研磨体１０と研磨対象物９０の接触点は、前後方向および幅方向に所定量ずれた位置に位置することになる（以下、この「ずれ」を単にギャップと称することもある）ため、当該接触点の軌跡を目標とする凸形状にするため、第二ガイド部３２の形状は次のように設定（補正）する必要がある。

【0025】

（第二ガイド部の形状の設定）
図９には、研磨対象物９０の目標とする凸形状に沿う曲線Ｑ（ｙ＝ｆ（ｘ））を示している。なお、図９において、ｘは幅方向の位置を、ｙは前後方向の位置を示しており、図を分かりやすくするためｙ方向を拡大して示している。第二ガイド部３２の曲線Ｒ（ｙ＝Ｆ（ｘ））の形状は、以下に示す手順を実行することにより設定できる。

【0026】

第一に、固定台６０に研磨対象物９０とガイド部材３０を固定したときに相対的な位置関係が所定の関係にある両部材の幅方向（ｘ軸方向）のギャップを補正するため、目標とする凸形状の曲線Ｑを、幅方向（ｘ軸方向）における研磨体１０と研磨対象物９０の接触点ｐ３から第二ガイド部３２と第二接触部の接触点ｐ２までの距離ｍ（図８参照）分、幅方向に平行移動させる。この平行移動によって得られる曲線が、図９に示す曲線Ｐ（ｙ＝ｆ（ｘ−ｍ））である。

【0027】

第二に、第一ガイド部３１と第一接触部の接触点ｐ１、すなわち基準点からのギャップ（基準点からの距離の差）を補正する。具体的には、第一ガイド部３１と第一接触部の接触点ｐ１から研磨体１０と研磨対象物９０の接触点ｐ３までの直線距離（最短距離）ｄ１（図８参照）と、第一ガイド部３１と第一接触部の接触点ｐ１から第二ガイド部３２と第二接触部の接触点ｐ２までの直線距離（最短距離）ｄ２（図８参照）の比である（ｄ２／ｄ１）＝ｒを上記曲線Ｐに乗ずることにより、図９に示す曲線Ｒ（ｙ＝Ｆ（ｘ）＝ｆ（ｘ−ｍ）×ｒ）を得る。この曲線Ｒが、目標とする凸形状によって得られる第二ガイド部３２の形状となる。

【0028】

このように、第二ローラ２４と第二ガイド部３２の接触点ｐ２と研磨体１０と研磨対象物９０の接触点ｐ３のギャップを補正することにより、第二ガイド部３２の形状を得る。したがって、このギャップが存在しない場合、すなわち幅方向および前後方向において第二ローラ２４と第二ガイド部３２の接触点ｐ２と研磨体１０と研磨対象物９０の接触点ｐ３が同じ位置に位置する場合（両接触点が上下方向に並ぶ場合）には、このような補正の必要がないことになる。例えば、研磨体１０の上側に第二ローラ２４および第二ガイド部３２を位置させることにより、上記両接触点が上下方向に並ぶ関係とすることも可能である。

【0029】

なお、上述したように、本手順によって得られる第二ガイド部３２の形状は、装置の固定台６０に取り付けられた状態にある研磨対象物９０とガイド部材３０の相対的な位置関係に基づいて設定される（当該位置関係が変われば設定すべき第二ガイド部３２の形状も変わる）ものである。そのため、固定台６０に設けられた研磨対象物９０およびガイド部材３０の位置決め要素によって幅方向および前後方向における研磨対象物９０とガイド部材３０の相対的な位置関係がどのようになるかを予め算出した上で、上記手順により第二ガイド部３２の形状を設定する必要がある。

【0030】

（本実施形態の主な効果）
以上説明した本実施形態にかかる研磨装置１によれば、次のような効果が奏される。

【0031】

上記研磨装置１では、研磨体１０を支持する支持部材２０が、直線状である第一ガイド部３１に接触する第一接触部と、目標とする凸形状から得られる曲線状である第二ガイド部３２に接触する第二接触部とを備える。研磨加工時には、第一ガイド部３１と第一接触部が接触する箇所を基準としつつ、研磨対象物９０と研磨体１０が接触する箇所に近い側に設けられた第二接触部が第二ガイド部３２に沿って移動し、研磨体１０と研磨対象物９０の接触点が目標とする凸形状と同じ軌跡で移動することになる。つまり、研磨体１０と研磨対象物９０が接触する箇所が安定するため、より精密に目標となる形状を作り出せる。また、第一ガイド部３１に第一接触部を、第二ガイド部３２に第二接触部を接触させつつ、研磨体１０を支持する支持部材２０を移動させるだけでよいから、加工作業が簡単である。

【0032】

また、ガイド部材３０においてガイド部が異なる高さに位置するようにするとともに、これに合わせて支持部材２０において接触部が異なる高さに位置するように設定されているため、支持部材２０をガイド部材３０に押し当てるだけで、第一ガイド部３１に第一接触部が接触し、第二ガイド部３２に第二接触部が接触した状態となるから、加工作業がより簡単になる。

【0033】

以上、本発明の実施の形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。

【0034】

上記実施形態では、接触部としてローラ（第一ローラおよび第二ローラ）を用いていることを説明したが、このようなローラに限定されない。例えば、ガイド部に接触する部分を球面としてもよい。また、摺動性を高めるため適宜潤滑剤を供給することも可能である。また、第二ガイド部の形状（凹凸形状）に合わせて第二接触部（第二ローラ）の幅方向の大きさを変更することにより、様々な形状（目標とする形状）の研磨対象物を加工することができる。例えば、第二ガイド部の一部に凹部が存在している場合であっても、第二接触部の幅方向の大きさをその凹部の内側に入り込むことができるような大きさにすればよい。

【符号の説明】

【0035】

１ 研磨装置
１０ 研磨体
１１ 接触面
２０ 支持部材
２３ 第一ローラ
２４ 第二ローラ
３０ ガイド部材
３１ 第一ガイド部
３２ 第二ガイド部
４０ モータ
９０ 研磨対象物
９１ 研磨面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】