特許 5940841 薄板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5940841

(24)【登録日】2016年5月27日

(45)【発行日】2016年6月29日

(54)【発明の名称】薄板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20160616BHJP

   B65D 85/86 20060101ALI20160616BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65D85/38 R

【請求項の数】6

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2012-44232(P2012-44232)

(22)【出願日】2012年2月29日

(65)【公開番号】特開2013-182938(P2013-182938A)

(43)【公開日】2013年9月12日

【審査請求日】2014年10月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100130052

【弁理士】

【氏名又は名称】大阪 弘一

(72)【発明者】

【氏名】戸田 順也

(72)【発明者】

【氏名】藤森 義昭

【審査官】 梶尾 誠哉

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−３４０２６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２４１７０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００３／０１２１８７０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８５／８６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

前面に開口部が形成されて薄板が収納される容器本体と、
前記容器本体に収納されて前記薄板を載置するサポート冶具が積層されたサポート冶具体と、
前記サポート冶具に載置された前記薄板の位置を規制する位置規制体と、
前記位置規制体を異なる位置で保持可能な保持手段と、
を有する薄板収納容器。

【請求項2】

前記保持手段は、前記サポート冶具に形成されて前記位置規制体が挿入される貫通孔であり、
前記サポート冶具は、前記開口部に向かって開口する板状に形成されて前記薄板が載置される載置部を備えており、
前記貫通孔は、前記載置部の中心からの距離が異なる位置に複数形成されている、
請求項１に記載の薄板収納容器。

【請求項3】

前記保持手段は、前記サポート冶具に形成されて前記位置規制体が挿入される切り欠きであり、
前記サポート冶具は、前記開口部に向かって開口する板状に形成されて前記薄板が載置される載置部を備えており、
前記切り欠きは、前記載置部の中心からの距離が異なる方向に延びている、
請求項１に記載の薄板収納容器。

【請求項4】

前記サポート冶具体は、前記容器本体の上面及び下面に対して第一のスペーサを介して固定されている、請求項１〜３の何れか一項に記載の薄板収納容器。

【請求項5】

前記サポート冶具体は、上下に隣接する前記サポート冶具が第二のスペーサを介して積層されている、請求項４に記載の薄板収納容器。

【請求項6】

前記第一のスペーサ及び前記第二のスペーサは、上下に貫通した筒状に形成されており、
前記第一のスペーサ及び前記第二のスペーサの中空内部に棒状の補強体が挿入されている、
請求項５に記載の薄板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子回路が形成されたウェーハを薄く加工した薄板を収納して保管、搬送、輸送に使用される薄板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

現在、多く使われている直径２００ｍｍで厚さ７２５μｍ、直径３００ｍｍで厚さ７７５μｍ等のシリコンウェーハの表面に電子回路を形成した後、その裏面を研磨し、その研磨したシリコンウェーハの肉厚にて、半導体部品として使用することがある。その肉厚は、例えば通常の肉厚の半分以下となる１０μｍ〜４００μｍまで薄く加工されることがある。

【0003】

このような薄板は、自重での撓みが大きいため、支持手段から外れ易くなるばかりか、上下に隣り合う薄板同士の接触により損傷する恐れがある。また、薄板を搬送する装置においても、大幅な調整を必要とする恐れもある。

【0004】

そこで、特許文献１〜３に記載された発明が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０００−０９１４００号公報

【特許文献2】特表２００４−５２９４９３号公報

【特許文献3】特許第４３９８２４０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１に記載の発明では、薄板の撓みを防止する冶具を、カセットの収納溝に載置しているだけである。このため、冶具の位置ずれや、擦れによる薄板の汚染が問題となる。

【0007】

特許文献２に記載の発明では、カセットの支持リブに撓みを規制する挿入体の末端部を上下から挟むように嵌合させて、挿入体上面の突起にて薄板を支持するようにしている。このため、挿入体の位置ずれの問題は解決できるものの、挿入体を嵌合させる時の支持リブとの擦れによる薄板の汚染の問題は残されている。また、支持リブから挿入体を取り除いて再使用しようとしても、支持リブが傷ついてしまうため再使用することができない。更に、挿入体を嵌合できる収納溝が一段おきになってしまうだけでなく、薄板を支持する高さ位置もカセットの収納溝の位置から変わってしまう。

【0008】

特許文献３に記載の発明では、複数のスロットを組み立てた一対の側壁組立体を、フレーム構造部に設けられた一対の端部部材に取り付けて一体化することが提案されているが、専用のフレーム体を別に作成する必要があるという問題がある。また、各スロットがフレーム構造部における左右の側壁を形成するように、一対の側壁組立体をフレーム構造部に差し込んで取り付けているだけであるため、一体化したスロットがフレーム構造部から抜け落ちてしまう問題や、不完全な差し込みにより寸法精度が不安定になるという問題もある。

【0009】

そこで、本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、同じサポート冶具を使用しながら、径の異なる複数種類の薄板を収納することができる薄板収納容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明に係る薄板収納容器は、前面に開口部が形成されて薄板が収納される容器本体と、容器本体に収納されて薄板を載置するサポート冶具が積層されたサポート冶具体と、サポート冶具に載置された薄板の位置を規制する位置規制体と、位置規制体を異なる位置で保持可能な保持手段と、を有する。

【0011】

本発明に係る薄板収納容器によれば、薄板を載置するサポート冶具がサポート冶具体として積層されているため、サポート冶具の積層高さを調整することで、肉厚の薄い薄板の撓みを抑制しつつ、従来の収納容器と同じ支持高さで薄板を収納することができる。そして、位置規制体により、サポート冶具体を構成する各サポート冶具に載置された薄板の位置を規制することで、薄板を位置ずれすることなく容器本体に収納することができる。しかも、保持手段による位置規制体の保持位置を変えることで、薄板の径が変わっても適切に薄板の位置を規制することができるため、一つの薄板収納容器で、径の異なる複数種類の薄板を収納することができる。

【0012】

また、保持手段は、サポート冶具に形成されて位置規制体が挿入される貫通孔であり、サポート冶具は、開口部に向かって開口する板状に形成されて薄板が載置される載置部を備えており、貫通孔は、載置部の中心からの距離が異なる位置に複数形成されているものとすることができる。

【0013】

このように、位置規制体をサポート冶具の貫通孔に挿入することで、サポート冶具に対する位置規制体の位置決めを行いつつ、サポート冶具に載置された薄板の位置を規制することができる。そして、位置規制体を挿入する貫通孔を変えることで、載置部の中心から位置規制体までの距離を変えることができるため、径の異なる複数種類の薄板の位置を適切に規制することができる。更に、サポート冶具を、開口部に向かって開口する板状に形成することで、薄板の中心から支持位置までの距離を短くしつつ、薄板を搬送する搬送装置がサポート冶具に干渉することなく容器本体に対して薄板を円滑に出し入れすることができる。

【0014】

また、保持手段は、サポート冶具に形成されて位置規制体が挿入される切り欠きであり、サポート冶具は、開口部に向かって開口する板状に形成されて薄板が載置される載置部を備えており、切り欠きは、載置部の中心からの距離が異なる方向に延びているものとすることができる。

【0015】

このように、位置規制体をサポート冶具の切り欠きに挿入することで、サポート冶具に対する位置規制体の位置決めを行いつつ、サポート冶具に載置された薄板の位置を規制することができる。そして、位置規制体の切り欠きへの挿入位置を変えることで、載置部の中心から位置規制体までの距離を変えることができるため、径の異なる複数種類の薄板の位置を適切に規制することができる。更に、サポート冶具を、開口部に向かって開口する板状に形成することで、薄板の中心から支持位置までの距離を短くしつつ、薄板を搬送する搬送装置がサポート冶具に干渉することなく容器本体に対して薄板を円滑に出し入れすることができる。

【0016】

また、サポート冶具体は、容器本体の上面及び下面に対して第一のスペーサを介して固定されているものとすることができる。

【0017】

このように構成すれば、第一のスペーサの高さ寸法を変えることで、容器本体に対するサポート冶具体の上下位置を設定することができる。これにより、従来の収納容器と同じ支持高さで薄板を収納することも容易にできる。

【0018】

また、サポート冶具体は、上下に隣接するサポート冶具が第二のスペーサを介して積層されているものとすることができる。

【0019】

このように構成すれば、第二のスペーサの高寸法を変えることで、上下に隣接するサポート冶具の間隔を設定することができる。これにより、従来の収納容器と同じ支持高さで薄板を収納することやサポート冶具の積層枚数を変えることも容易にできる。

【0020】

また、第一のスペーサ及び第二のスペーサは、上下に貫通した筒状に形成されており、第一のスペーサ及び第二のスペーサの中空内部に棒状の補強体が挿入されているものとすることができる。

【0021】

このように、第一のスペーサ及び第二のスペーサの中空内部に補強体を挿入することで、サポート冶具体の強度を向上させることができる。

【発明の効果】

【0022】

本発明によれば、肉厚の薄い薄板の撓みを抑制して、薄板を従来の収納容器と同じ支持高さで収納しつつ、同じサポート冶具を使用しながら、径の異なる複数種類の薄板を収納することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】実施形態に係る薄板収納容器の斜視図である。

【図2】薄板収納容器の底面図である。

【図3】図１に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。

【図4】図１に示すＩＶ−ＩＶ線における断面図である。

【図5】サポート冶具の斜視図である。

【図6】容器本体上部の拡大断面図である。

【図7】容器本体下部の拡大断面図である。

【図8】固定部材の斜視図である。

【図9】中間スペーサの斜視図である。

【図10】上側スペーサの斜視図である。

【図11】下側スペーサの斜視図である。

【図12】位置規制体の斜視図である。

【図13】容器本体上部の拡大断面図である。

【図14】容器本体下部の拡大断面図である。

【図15】他の実施形態の薄板収納容器の一部を示す断面図である。

【図16】他の実施形態の位置規制体を示す斜視図である。

【図17】他の実施形態の薄板収納容器の一部を示す断面図である。

【図18】他の実施形態の薄板収納容器の一部を示す斜視図である。

【図19】他の実施形態のサポート冶具を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、図面を参照して、本発明に係る薄板収納容器の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明において、薄板収納容器の左右方向（幅方向）をＸ方向、薄板収納容器の前後方向をＹ方向、薄板収納容器の上下方向（高さ方向）をＺ方向といい、薄板収納容器における上下・前後・左右・内外の方向を、単に上下・前後・左右・内外の方向という。また、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。

【0025】

図１は、実施形態に係る薄板収納容器の斜視図である。図２は、薄板収納容器の底面図である。図１及び図２に示すように、実施形態に係る薄板収納容器１は、容器本体３と、蓋体４と、を備えている。

【0026】

容器本体３は、内部に直径１５０ｍｍ〜４５０ｍｍ、厚さ１０μｍ〜４００μｍ等の薄板Ｗを収納するものである。容器本体３は、正面となる前側に開口部３ａが形成されたフロントオープン型の容器であり、開口部３ａに隣接して対向する一対の側壁３ｂ及び側壁３ｃと、底壁３ｄと、天壁３ｅと、開口部３ａに対向する背壁３ｆと、を備えている。なお、容器本体３の下面部には、容器本体３を加工装置に位置決めしたり固定したりするためのボトムプレート７が取り付けられており、ボトムプレート７には、容器本体３を加工装置に位置決めするための位置決め部材８が配設されている。

【0027】

蓋体４は、容器本体３の開口部３ａに嵌め合わされて容器本体３を密封するものである。蓋体４の外周面には、容器本体３の開口部３ａとの間をシールするシール部材が取り付けられており、蓋体４の内側面には、容器本体３に収納された薄板Ｗを個別に保持する弾性材の保持部材５が取り付けられている。また、蓋体４には、開口部３ａに蓋体４が嵌め合わされた状態に保持する施錠機構９が内蔵されている。

【0028】

図３は、薄板収納容器の幅方向（Ｘ方向）における中心を通る鉛直線で薄板収納容器を二分割した縦断面図であって、図１に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。図４は、薄板収納容器の高さ方向における中心を通る水平線で薄板収納容器を二分割した横断面図であって、図１に示すＩＶ−ＩＶ線における断面図である。図３及び図４に示すように、容器本体３には、薄板Ｗが載置されるサポート冶具１０が積層されて容器本体３に収納されるサポート冶具体１１と、サポート冶具体１１を容器本体３に固定する固定部材１２と、サポート冶具１０に載置された薄板Ｗの位置を規制する位置規制体１３と、を備えている。

【0029】

図５は、サポート冶具の斜視図である。図３〜図５に示すように、サポート冶具体１１を構成するサポート冶具１０は、容器本体３の開口部３ａに向かって開口する板状に形成されている。すなわち、サポート冶具１０は、容器本体３の開口部３ａ側に向けて開口する開口部１４が形成されたＵ字型の板状部材であり、少なくとも開口部１４を囲う内側周縁に薄板Ｗが載置されるＵ字状の載置部１５が形成されている。開口部１４は、薄板Ｗを載置部１５に載置する際や、薄板Ｗを載置部１５から取り出す際に、搬送ロボットのハンド（エンドエフェクタ）がＺ方向に上下動するのを可能とする空間である。開口部１４の内径は、載置部１５に載置する薄板Ｗの外径よりも小さい寸法となっている。

【0030】

また、サポート冶具１０には、固定部材１２が挿入される固定部材挿入穴１６と、位置規制体１３が挿入される位置規制体挿入穴１７と、容器本体３に対するサポート冶具１０の位置決めを行う位置決め用切り欠き１８と、が形成されている。

【0031】

位置決め用切り欠き１８は、サポート冶具１０を細長いＵ字状に切り欠いた切り欠きである。位置決め用切り欠き１８は、容器本体３の背壁３ｆ側に配置される後端部に一対形成されており、互いに平行となるようにＹ方向に延びている。一方、容器本体３の背壁３ｆ又は底壁３ｄには、一対の位置決め用切り欠き１８に対応する位置に、容器本体３の前後方向に延びる位置決め用リブ３９が形成されている。そして、位置決め用切り欠き１８に位置決め用リブ３９が挿入されることで、容器本体３に対するサポート冶具１０の位置決めが行われる。

【0032】

なお、位置決め用切り欠き１８は、少なくとも一枚のサポート冶具１０の位置決め用切り欠き１８に挿入することができればよい。このため、位置決め用切り欠き１８は、一枚のサポート冶具１０の位置決め用切り欠き１８に対応する高さにのみ形成されてもよく、複数枚のサポート冶具１０の位置決め用切り欠き１８に対応する高さに形成されてもよく、全てのサポート冶具１０の位置決め用切り欠き１８に対応する高さにのみ形成されてもよい。なお、一枚のサポート冶具１０の位置決め用切り欠き１８に対応する高さにのみ形成される場合は、例えば、最下層に配置されるサポート冶具１０の位置決め用切り欠き１８に対応する高さに形成することができる。

【0033】

固定部材挿入穴１６は、サポート冶具１０を上下に貫通されて固定部材１２が挿入される貫通穴である。固定部材挿入穴１６は、サポート冶具１０の外周部に合計５箇所形成されており、容器本体３の左右の側壁３ｂ及び側壁３ｃの近傍に２箇所ずつ形成されるとともに、容器本体３の背壁３ｆの近傍に１箇所形成されている。なお、固定部材挿入穴１６は、薄板Ｗとの干渉を防止するために、載置部１５の外側に形成されている。

【0034】

図６は、容器本体上部の拡大断面図である。図７は、容器本体下部の拡大断面図である。図８は、固定部材の斜視図である。図９は、中間スペーサの斜視図である。図１０は、上側スペーサの斜視図である。図１１は、下側スペーサの斜視図である。

【0035】

図６及び図７に示すように、サポート冶具１０に形成される固定部材挿入穴１６は、上面側に位置する上部開口１６ａと、下面側に位置する下部開口１６ｂと、を備えており、上部開口１６ａの内径が下部開口１６ｂの内径よりも大きくなるように、段付きに形成されている。

【0036】

図６〜８に示すように、固定部材挿入穴１６に挿入される固定部材１２は、上下に隣接するサポート冶具１０の間に配置される円筒状の中間スペーサ２１と、最上層に配置されるサポート冶具１０と容器本体３の天壁３ｅとの間に配置される円筒状の上側スペーサ２２と、最下層に配置されるサポート冶具１０と容器本体３の底壁３ｄとの間に配置される円筒状の下側スペーサ２３と、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３を容器本体３の天壁３ｅ及び底壁３ｄに固定するネジ部材２４と、を備えている。また、中間スペーサ２１、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３の連結強度を高くするために、中間スペーサ２１、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３の中空内部に、補強体となる棒状のシャフト２５が挿入されている。

【0037】

図９に示すように、中間スペーサ２１の一方端部には、外周面が小径化された一方段差部２１Ａが形成されており、中間スペーサ２１の他方端部には、内周面が大径化された他方段差部２１Ｂが形成されている。また、一対の中間スペーサ２１の一方段差部２１Ａと他方段差部２１Ｂとが嵌合するように、一方段差部２１Ａの外径と他方段差部２１Ｂの内径とが略同じ寸法となっており、一方段差部２１Ａにおけるサポート冶具１０の下部開口１６ｂから上方に突出する部分と他方段差部２１Ｂの軸線長さがほぼ同じ寸法となっている。そして、図６及び図７に示すように、サポート冶具体１１は、サポート冶具１０の上下に配置される一対の中間スペーサの一方段差部２１Ａ及び他方段差部２１Ｂが、サポート冶具１０の固定部材挿入穴１６において嵌合されることで、所定枚数のサポート冶具１０が積層されている。

【0038】

図１０に示すように、上側スペーサ２２の一方端部は、内周面に螺刻溝が形成されており、上側スペーサ２２の他方端部には、内周面が大径化された他方段差部２２Ｂが形成されている。また、上側スペーサ２２の他方段差部２２Ｂと中間スペーサ２１の一方段差部２１Ａとが嵌合するように、上側スペーサ２２の他方段差部２２Ｂの外径と中間スペーサ２１の一方段差部２１Ａとが略同じ寸法となっており、上側スペーサ２２の他方段差部２２Ｂと中間スペーサ２１の一方段差部２１Ａにおけるサポート冶具１０の下部開口１６ｂから上方に突出する部分の軸線長さがほぼ同じ寸法となっている。そして、図６に示すように、上側スペーサ２２の他方段差部２２Ｂは、サポート冶具体１１の最上層に配置されるサポート冶具１０の固定部材挿入穴１６に挿入されることで、当該固定部材挿入穴１６に挿入された中間スペーサ２１の一方段差部２１Ａと嵌合されている。

【0039】

図１１に示すように、下側スペーサ２３の一方端部には、外周面が小径化された一方段差部２３Ａが形成されており、下側スペーサ２３の他方端部は、内周面に螺刻溝が形成されている。また、下側スペーサ２３の一方段差部２３Ａと中間スペーサ２１の他方段差部２１Ｂとが嵌合するように、下側スペーサ２３の一方段差部２３Ａの外径と中間スペーサ２１の他方段差部２１Ｂとが略同じ寸法となっており、下側スペーサ２３の一方段差部２３Ａにおけるサポート冶具１０の下部開口１６ｂから上方に突出する部分と、中間スペーサ２１の他方段差部２１Ｂの軸線長さがほぼ同じ寸法となっている。そして、図７に示すように、下側スペーサ２３の一方段差部２３Ａは、サポート冶具体１１の最下層に配置されるサポート冶具１０の固定部材挿入穴１６に挿入されることで、当該固定部材挿入穴１６に挿入された中間スペーサ２１の他方段差部２２Ｂと嵌合されている。

【0040】

なお、中間スペーサ２１、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３は、互いの嵌合させやすくするために、外径を円錐台形状のような傾斜面に形成することが好ましい。

【0041】

図６及び図７に示すように、容器本体３の天壁３ｅ及び底壁３ｄには、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３に対応する位置に、天壁３ｅ及び底壁３ｄを貫通する固定部材固定用穴３１と、固定部材固定用穴３１を囲む円筒状のボス３２と、が形成されている。

【0042】

ボス３２の内径は、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３の外径よりも僅かに大きな寸法となっており、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３をボス３２に挿入することで、容器本体３に対して上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３が位置決めされる。

【0043】

固定部材固定用穴３１の内径は、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３の外径よりも小さく、シャフト２５の外径よりも大きな寸法となっている。このため、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３をボス３２に挿入した状態で、シャフト２５を固定部材固定用穴３１から容器本体３内に挿入することで、シャフト２５を、中間スペーサ２１、下側スペーサ２３及び上側スペーサ２２の中空内部に挿入することが可能となっている。シャフト２５は、サポート冶具体１１の上端から下端に至る長さに形成されている。なお、シャフト２５の長さを容器本体３の上下から突出する長さとして、これを利用して固定部材１２を容器本体３に固定することも可能である。

【0044】

そして、ネジ部材２４が、固定部材固定用穴３１から容器本体３内に挿入されて、上側スペーサ２２の他方端部の内周面に形成された螺刻溝および下側スペーサ２３の一方端部の内周面に形成された螺刻溝に螺合されている。これにより、サポート冶具体１１が容器本体３に固定されている。なお、気密性が要求される場合は、容器本体３とネジ部材２４との間にＯリングなどのパッキン３３を配設することが好ましい。

【0045】

このように、上下に隣接するサポート冶具１０の間隔は、中間スペーサ２１の高さにより決定さるとともに、サポート冶具体１１の高さ位置は、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３の高さにより決定される。このため、中間スペーサ２１の高さを変更することで、上下に隣接するサポート冶具１０の間隔を任意に調節することができ、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３の高さ位置を変更することで、サポート冶具体１１の高さを任意に調節することができる。これにより、例えば、従来からある既存の薄板収納容器において薄板Ｗを支持する支持部と同じ高さに各サポート冶具１０を配置することができる。また、積層するサポート冶具１０の枚数を変更することで、薄板収納容器に収納する薄板Ｗの枚数を、顧客要求に合わせて任意に選定することができる。

【0046】

図３〜図５に示すように、位置規制体挿入穴１７は、サポート冶具１０を上下に貫通されて位置規制体１３が挿入される貫通穴である。位置規制体挿入穴１７は、載置部１５に載置される薄板Ｗに容器本体３の背壁３ｆ側から当接されるものである。この位置規制体挿入穴１７は、載置部１５の中心からの距離が異なる複数位置に形成されており、本実施形態では、載置部１５の中心からの距離が短い位置に形成される位置規制体挿入穴１７Ａと、載置部１５の中心からの距離が長い位置に形成される位置規制体挿入穴１７Ｂと、を備えている。

【0047】

位置規制体挿入穴１７Ａは、例えば、２００ｍｍの外径を有する薄板Ｗの位置を規制する場合に、位置規制体１３が挿入される挿入穴である。位置規制体挿入穴１７Ａは、２００ｍｍの外径を有する薄板Ｗが載置部１５に載置されて蓋体４の保持部材５に保持された際に、位置規制体挿入穴１７Ａに挿入された位置規制体１３が当該薄板Ｗに当接される位置に配置されている。位置規制体挿入穴１７Ａの数は特に制限されるものではないが、位置規制体挿入穴１７Ａに挿入された位置規制体１３により薄板Ｗの位置を適切に規制する観点からは、２つであることが好ましく、２つ以上とすることもできる。

【0048】

なお、載置部１５に載置された薄板Ｗと保持部材５との接触位置は変わらないため、位置規制体１３が位置規制体挿入穴１７Ａに挿入された場合における薄板Ｗの中心位置Ｏと、位置規制体１３が位置規制体挿入穴１７Ａに挿入された場合における薄板Ｗの中心位置Ｏ’とは、Ｙ方向にずれた位置となる。

【0049】

位置規制体挿入穴１７Ｂは、例えば、３００ｍｍの外径を有する薄板Ｗの位置を規制する場合に、位置規制体１３が挿入される挿入穴である。位置規制体挿入穴１７Ｂは、３００ｍｍの外径を有する薄板Ｗが載置部１５に載置されて蓋体４の保持部材５に保持された際に、位置規制体挿入穴１７Ｂに挿入された位置規制体１３が当該薄板Ｗに当接される位置に配置されている。位置規制体挿入穴１７Ｂの数は特に制限されるものではないが、位置規制体挿入穴１７Ｂに挿入された位置規制体１３により薄板Ｗの位置を適切に規制する観点からは、２つであることが好ましく、２つ以上とすることもできる。

【0050】

図１２は、位置規制体の斜視図である。図３及び図１２に示すように、位置規制体挿入穴１７に挿入される位置規制体１３は、容器本体３の底壁３ｄ及び天壁３ｅとサポート冶具１０とを貫通する細長い円柱状の棒状部材として形成されている。位置規制体１３の両端部には、螺刻溝１３Ａ及び螺刻溝１３Ｂが形成されている。

【0051】

図１３は、容器本体上部の拡大断面図である。図１４は、容器本体下部の拡大断面図である。なお、図１３及び図１４では、位置規制体挿入穴１７Ａに位置規制体１３を挿入して、位置規制体挿入穴１７Ｂに位置規制体１３を挿入しない態様を図示している。図１３及び図１４に示すように、容器本体３の底壁３ｄ及び天壁３ｅには、容器本体３に固定されたサポート冶具１０の位置規制体挿入穴１７Ａ及び位置規制体挿入穴１７Ｂに挿入された位置規制体１３に対応する位置に、底壁３ｄ及び天壁３ｅを貫通する位置規制体固定用穴３４Ａ及び位置規制体固定用穴３４Ｂが形成されている。

【0052】

底壁３ｄに形成された位置規制体固定用穴３４Ａ及び位置規制体固定用穴３４Ｂの内径は、位置規制体１３の外径と略同じ寸法となっており、位置規制体固定用穴３４Ａ及び位置規制体固定用穴３４Ｂの内周面には、位置規制体１３の螺刻溝１３Ｂと螺合される螺刻溝が形成されている。一方、天壁３ｅに形成された位置規制体固定用穴３４Ａ及び位置規制体固定用穴３４Ｂの内径は、位置規制体１３の外径よりも大きい寸法となっており、位置規制体固定用穴３４Ａ及び位置規制体固定用穴３４Ｂの内周面には、螺刻溝が形成されている。

【0053】

そして、位置規制体１３は、天壁３ｅに形成された位置規制体固定用穴３４Ａ又は位置規制体固定用穴３４Ｂと、各サポート冶具１０の位置規制体挿入穴１７Ａ又は位置規制体挿入穴１７Ｂと、底壁３ｄに形成された位置規制体固定用穴３４Ａ又は位置規制体固定用穴３４Ｂと、に貫通された状態で、位置規制体１３の螺刻溝１３Ｂが底壁３ｄに形成された位置規制体固定用穴３４Ａ又は位置規制体固定用穴３４Ｂの螺刻溝に螺合されるとともに、位置規制体１３の螺刻溝１３Ａがナットなどの締付部材３５に螺合されることで、容器本体３に固定されている。なお、気密性が要求される場合は、容器本体３と締付部材３５との間にＯリングなどのパッキン３６を配設することが好ましい。

【0054】

これにより、載置部１５に載置されて前側が保持部材５に保持された薄板Ｗは、サポート冶具１０の位置規制体固定用穴３４に挿入された位置規制体１３に当接されることで、載置位置が規制される。このため、位置規制体１３を挿入するサポート冶具１０の位置規制体挿入穴１７を、位置規制体挿入穴１７Ａと位置規制体挿入穴１７Ｂとの間で変更することで、異なる径の薄板Ｗの載置位置を適切に規制することができる。

【0055】

一方、位置規制体１３が挿入されない方の位置規制体固定用穴３４Ａ又は位置規制体固定用穴３４Ｂには、固定ボルトなどのダミー用固定部材３７を取り付ける。この場合も、気密性が要求される場合は、容器本体３とダミー用固定部材３７との間にＯリングなどのパッキン３８を配設することが好ましい。

【0056】

次に、薄板収納容器１の素材について説明する。

【0057】

サポート冶具１０、中間スペーサ２１、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３は、ポリアセタール、ポリカーボネートやポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、シクロオレフィンポリマーなどの熱可塑性樹脂や、ポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系などの熱可塑性エラストマーなどから形成することができる。また、これらの樹脂には、導電性を付与するためカーボン繊維、カーボンブラック、カーボンナノチューブなどの添加剤を適宜加えることができる。また、剛性を向上させるためにガラス繊維を添加しても良いし、マイカやフッ素樹脂などを添加して摺動性を向上させることができる。

【0058】

シャフト２５及び位置規制体１３は、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、液晶ポリマーなどの高剛性の熱可塑性樹脂から形成することができる。あるいは、アルミやＳＵＳなどの金属を用いることもできる。金属を用いるときは、表面を樹脂層で被覆することが好ましい。

【0059】

以上説明したように、本実施形態に係る薄板収納容器１によれば、薄板Ｗを載置するサポート冶具１０がサポート冶具体１１として積層されているため、サポート冶具１０の積層高さを調整することで、肉厚の薄い薄板Ｗの撓みを抑制しつつ、従来の収納容器と同じ支持高さで薄板を収納することができる。そして、サポート冶具１０の位置規制体挿入穴１７に位置規制体１３を挿入することで、サポート冶具１０に載置された薄板Ｗの位置を規制することができる。しかも、位置規制体１３を挿入する位置規制体挿入穴１７を変えることで、載置部１５の中心から位置規制体１３までの距離を変えることができるため、径の異なる複数種類の薄板Ｗの位置を適切に規制することができる。

【0060】

また、サポート冶具１０を容器本体３の開口部３ａに向かって開口するＵ字型の板状に形成することで、薄板Ｗの中心から支持位置までの距離を短くしつつ、薄板Ｗを搬送する搬送装置がサポート冶具に干渉することなく容器本体に対して薄板を円滑に出し入れすることができる。

【0061】

また、中間スペーサ２１の高さ寸法を変えることで、容器本体３に対するサポート冶具体１１の上下位置を設定することができるため、従来の収納容器と同じ支持高さで薄板Ｗを収納することも容易にできる。

【0062】

また、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３の高寸法を変えることで、上下に隣接するサポート冶具１０の間隔を設定することができるため、従来の収納容器と同じ支持高さで薄板Ｗを収納することやサポート冶具１０の積層枚数を変えることも容易にできる。例えば、１３枚や２５枚の薄板Ｗを収納するようにもできる。

【0063】

また、中間スペーサ２１、上側スペーサ２２及び下側スペーサ２３の中空内部にシャフト２５を挿入することで、サポート冶具体１１の強度を向上させることができる。

【0064】

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。

【0065】

例えば、上記実施形態では、スペーサ同士を嵌合させて複数枚のサポート冶具を積層させるものとして説明したが、サポート冶具の積層構造は、これに限定されるものではない。例えば、図１５に示すように、サポート冶具４０の上面と下面に連結用リブ４１Ａ及び連結用リブ４１Ｂを形成し、これらの連結用リブ４１Ａ及び連結用リブ４１Ｂに断面Ｈ型をした中空のスペーサ部材４２を外側から挿入して嵌合させてもよい。この場合も、連結用リブ４１、連結用リブ４１Ｂ及びスペーサ部材４２に、Ｚ方向に貫通する貫通孔を形成し、この貫通孔（中空内部）に棒状の補強体４３を挿入することができる。なお、容器本体に対するサポート冶具４０の固定は、上記実施形態と同様に行うことができる。また、連結用リブ４１Ａ、連結用リブ４１Ｂ及びスペーサ部材４２は、円筒状の他、多角形に形成することもできる。

【0066】

また、上記実施形態では、固定部材挿入穴を、側壁３ｂ及び側壁３ｃの近傍に２箇所ずつ、背壁３ｆの近傍に１箇所、の合計５箇所形成するものとして説明したが、例えば、開口部３ａ側の側壁３ｂ及び側壁３ｃの近傍に１箇所ずつ、背壁３ｆの近傍に１箇所、の合計３箇所形成するものとしてもよく、３箇所以上とすることもできる。

【0067】

また、容器本体に対する位置規制体や固定部材の固定は、様々な手法により行うことができる。例えば、図１６に示すように、位置規制体１３や固定部材１２に挿入されるシャフト２５の両端部を容器本体の底壁及び天壁から突出させ、ナット５１及びナット５２を、位置規制体１３の両端部に形成された螺刻溝１３Ａ及び螺刻溝１３Ｂに螺合させることにより行うことができる。また、図１７に示すように、位置規制体６０に、両端面から軸線方向に窪み内周面に螺刻溝が形成された凹部６１を形成する。そして、位置規制体６０の両端部を容器本体の底壁及び天壁から突出させ、一対のボルト６２を、位置規制体６０の凹部６１に螺合させることにより行うことができる。この場合、位置規制体６０が挿入されない方の位置規制体固定用穴３４Ａ又は位置規制体固定用穴３４Ｂには、弾性部材により円柱状胴６４部の両端に一対のフランジ６５が形成されたダミー用固定部材６６を取り付けることもできる。ダミー用固定部材６６の取り付けは、一方のフランジ６５を変形させて、ダミー用固定部材６６を位置規制体固定用穴３４Ａ又は位置規制体固定用穴３４Ｂに押し込むことにより行うことができる。

【0068】

また、上記実施形態では、サポート冶具に形成された位置規制体挿入穴および容器本体の底壁及び天壁に形成された位置規制体固定用穴に位置規制体を挿入することで、薄板の位置を規制するものとして説明したが、例えば、図１８に示すように、サポート冶具７０の背壁３ｆ側端部に、載置部の中心からの距離が異なる方向に延びる細長いＵ字状の切り欠き７１を形成し、背壁３ｆに、切り欠き７１に挿入される位置規制リブ７２を形成するものとしてもよい。そして、位置規制リブ７２の突出長さを変更することで、径の異なる複数種類の薄板の位置を適切に規制することができる。この場合、背壁３ｆにＺ方向に延びる長穴を形成し、この長穴からサポート冶具７０の切り欠き７１に位置規制リブ７２を挿入するとともに、位置規制リブ７２の挿入長さを調整することでも、同様の効果を得ることができる。

【0069】

また、上記実施形態において、サポート冶具は、Ｕ字型の板状であるものとして説明したが、これに限定されるものではない。例えば、図１９に示すサポート冶具８０のように、ウェーハ中央の撓みを防止するために、Ｕ字型の奥側から開口部１４に向かって支持片８１が突出したような形状であってもよい。この場合、支持片８１の左右に位置する空間部を利用して、ウェーハを容器本体３から出し入れすることができる。

【0070】

また、上記実施形態において、容器本体は、最初からボックス形状として一体的に形成されるものとして説明したが、これに限定されるものではない。例えば、容器本体を、複数の壁部材に分割し、これらの壁部材を組み立てることによりボックス形状になるようにしてもよい。この場合、例えば、容器本体を、左右の側壁、底壁、天壁、背壁の５つの板状の壁部材に分割してもよく、容器本体を、これら５つの壁のうち少なくとも一つ以上の壁が連結された壁部材に分割してもよい。壁部材の組み立ては、例えば、壁部材同士を、ねじ止めや嵌合により一体化したり、超音波、高周波、熱溶着、レーザー溶接などで一体化したりすることで行うことができる。

【0071】

また、上記実施形態において、保持部材は、弾性片により薄板を個別に保持するものとして説明したが、これに限定されるものではない。例えば、低硬度の弾性材及び発泡材やスポンジ材などで１又は複数の板状に形成した保持部材に、薄板を接触させるようにしてもよい。また、複数枚の薄板を同時に保持できる保持部材を採用してもよい。

【0072】

また、上記実施形態では、薄板の直径や厚さを具体的に説明したが、これらは特に限定されるものではなく、様々な寸法の薄板に対応することができる。

【符号の説明】

【0073】

１…薄板収納容器、３…容器本体、３ａ…開口部、３ｂ…側壁、３ｃ…側壁、３ｄ…底壁、３ｅ…天壁、３ｆ…背壁、４…蓋体、５…保持部材、７…ボトムプレート、８…位置決め部材、９…施錠機構、１０…サポート冶具、１１…サポート冶具体、１２…固定部材、１３…位置規制体、１３Ａ…螺刻溝、１３Ｂ…螺刻溝、１４…開口部、１５…載置部、１６…固定部材挿入穴、１６ａ…上部開口、１６ｂ…下部開口、１７…位置規制体挿入穴（貫通孔）、１７Ａ…位置規制体挿入穴（貫通孔）、１７Ｂ…位置規制体挿入穴（貫通孔）、１８…位置決め用切り欠き、２１…中間スペーサ（第二のスペーサ）、２１Ａ…一方段差部、２１Ｂ…他方段差部、２２…上側スペーサ（第一のスペーサ）、２２Ｂ…他方段差部、２３…下側スペーサ（第一のスペーサ）、２３Ａ…一方段差部、２４…ネジ部材、２５…シャフト（補強体）、３１…固定部材固定用穴、３２…ボス、３３…パッキン、３４…位置規制体固定用穴、３４Ａ…位置規制体固定用穴、３４Ｂ…位置規制体固定用穴、３５…締付部材、３６…パッキン、３７…ダミー用固定部材、３８…パッキン、３９…位置決め用リブ、４０…サポート冶具、４１…連結用リブ、４１Ａ…連結用リブ、４１Ｂ…連結用リブ、４２…スペーサ部材、４３…補強体、５１…ナット、５２…ナット、６０…位置規制体、６１…凹部、６２…ボルト、６４…円柱状胴、６５…フランジ、６６…ダミー用固定部材、７０…サポート冶具、７１…切り欠き、７２…位置規制リブ、８０…サポート冶具、８１…支持片、Ｗ…薄板、Ｏ…薄板の中心位置。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】