特許 5940940 転写装置および転写方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5940940

(24)【登録日】2016年5月27日

(45)【発行日】2016年6月29日

(54)【発明の名称】転写装置および転写方法

(51)【国際特許分類】

   B29C 59/04 20060101AFI20160616BHJP

   B29C 39/14 20060101ALI20160616BHJP

   H01L 21/027 20060101ALI20160616BHJP

【ＦＩ】

   B29C59/04 CZNM

   B29C39/14

   H01L21/30 502D

【請求項の数】8

【全頁数】30

(21)【出願番号】特願2012-191781(P2012-191781)

(22)【出願日】2012年8月31日

(65)【公開番号】特開2014-46579(P2014-46579A)

(43)【公開日】2014年3月17日

【審査請求日】2015年6月4日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003458

【氏名又は名称】東芝機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100083806

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 秀和

(74)【代理人】

【識別番号】100100712

【弁理士】

【氏名又は名称】岩▲崎▼ 幸邦

(74)【代理人】

【識別番号】100101247

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 俊一

(74)【代理人】

【識別番号】100095500

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 正和

(74)【代理人】

【識別番号】100098327

【弁理士】

【氏名又は名称】高松 俊雄

(72)【発明者】

【氏名】杉浦 裕喜

(72)【発明者】

【氏名】小久保 光典

(72)【発明者】

【氏名】藤原 茂

(72)【発明者】

【氏名】北原 秀利

(72)【発明者】

【氏名】室伏 勇

(72)【発明者】

【氏名】松月 功

(72)【発明者】

【氏名】馬場 丘人

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 亨

【審査官】 鏡 宣宏

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−２１４３２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−８０６８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１６５８１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１０−５２５９６８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２９Ｃ ５９／００−５９／１８

Ｂ２９Ｃ ３３／００−３３／７６

Ｂ２９Ｃ ３９／００−３９／４４

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写装置において、
前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第１転写部と、
前記第１転写部で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、前記被成形体に転写する第２転写部と、を有し、
前記第１転写部は、前記マスターモールドを保持するマスターモールド保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、
前記第１転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記マスターモールド保持体に保持されているマスターモールドとを、前記転写をするために前記マスターモールド保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記マスターモールドと前記レプリカモールドとの部位を移動させるように構成されており、
前記第１転写部の剥離ローラは、前記第１転写部の転写ローラよりも前記第２転写部側に設けられており、前記第１転写部の転写ローラで挟み込まれ前記マスターモールドにくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して前記第１転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記マスターモールドから離すように構成されている、
ことを特徴とする転写装置。

【請求項2】

請求項１に記載の転写装置において、
レプリカモールド原反設置部とレプリカモールド巻き取り部とを有し、
前記レプリカモールドは、前記レプリカモールド原反設置部と前記レプリカモールド巻き取り部との間で、前記レプリカモールド原反設置部に設置されているレプリカモールド原反から前記レプリカモールド巻き取り部までシート状になり所定の張力で張られて延びている、
ことを特徴とする転写装置。

【請求項3】

マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写装置において、
前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第１転写部と、
前記第１転写部で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、前記被成形体に転写する第２転写部と、を有し、
前記第２転写部は、前記被成形体を保持する被成形体保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、
前記第２転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記被成形体保持体に保持されている被成形体とを、前記転写をするために前記被成形体保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記レプリカモールドと前記被成形体との部位を移動させるように構成されており、
前記第２転写部の剥離ローラは、前記第２転写部の転写ローラよりも前記第１転写部から離れた側に設けられており、前記第２転写部の転写ローラで挟み込まれ前記被成形体にくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して前記第２転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記被成形体から離すように構成されている、
ことを特徴とする転写装置。

【請求項4】

請求項３に記載の転写装置において、
レプリカモールド原反設置部とレプリカモールド巻き取り部とを有し、
前記レプリカモールドは、前記レプリカモールド原反設置部と前記レプリカモールド巻き取り部との間で、前記レプリカモールド原反設置部に設置されているレプリカモールド原反から前記レプリカモールド巻き取り部までシート状になり所定の張力で張られて延びている、
ことを特徴とする転写装置。

【請求項5】

請求項３または請求項４に記載の転写装置において、
前記第１転写部は、前記マスターモールドを保持するマスターモールド保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、
前記第１転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記マスターモールド保持体に保持されているマスターモールドとを、前記転写をするために前記マスターモールド保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記マスターモールドと前記レプリカモールドとの部位を移動させるように構成されており、
前記第１転写部の剥離ローラは、前記第１転写部の転写ローラよりも前記第２転写部側に設けられており、前記第１転写部の転写ローラで挟み込まれ前記マスターモールドにくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して前記第１転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記マスターモールドから離すように構成されている、
ことを特徴とする転写装置。

【請求項6】

請求項３または請求項４に記載の転写装置において、
前記第１転写部は、円柱状のマスターモールドを備えて構成されており、
前記レプリカモールドは、前記マスターモールドに巻き掛けられることで前記転写がなされるように構成されている、
ことを特徴とする転写装置。

【請求項7】

マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写方法において、
前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第１転写工程と、
前記第１転写工程で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、被成形体に転写する第２転写工程と、を有し、
前記第１転写工程は、前記マスターモールドを保持するマスターモールド保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、
前記第１転写工程の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記マスターモールド保持体に保持されているマスターモールドとを、前記転写をするために前記マスターモールド保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記マスターモールドと前記レプリカモールドとの部位を移動させるように構成されており、
前記第１転写工程の剥離ローラは、前記第１転写工程の転写ローラよりも前記第２転写工程側に設けられており、前記第１転写工程の転写ローラで挟み込まれ前記マスターモールドにくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して前記第１転写工程の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記マスターモールドから離すように構成されている、
ことを特徴とする転写方法。

【請求項8】

マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写方法において、
前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第１転写工程と、
前記第１転写工程で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、被成形体に転写する第２転写工程と、を有し、
前記第２転写工程は、前記被成形体を保持する被成形体保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、
前記第２転写工程の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記被成形体保持体に保持されている被成形体とを、前記転写をするために前記被成形体保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記レプリカモールドと前記被成形体との部位を移動させるように構成されており、
前記第２転写工程の剥離ローラは、前記第２転写工程の転写ローラよりも前記第１転写工程から離れた側に設けられており、前記第２転写工程の転写ローラで挟み込まれ前記被成形体にくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して前記第２転写工程の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記被成形体から離すように構成されている、
ことを特徴とする転写方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、転写装置および転写方法に係り、特に、微細な転写パターンを転写するものに関する。

【背景技術】

【0002】

近年、電子線描画法などで石英基板等に超微細な転写パターン（微細な転写パターン）を形成して型（モールド）を作製し、被成形体に前記型を所定の圧力で押圧して、当該型に形成された転写パターンを転写するナノインプリント技術が研究開発されている（たとえば、非特許文献１参照）。

【0003】

上記転写は、たとえば、次のようにしてなされている。

【0004】

まず、図１２（ａ）で示すように、板状の基材３０１の厚さ方向の一方の面に薄い膜状の未硬化の紫外線硬化樹脂３０３が設けられている被成形体３０５と、ニッケル等の金属で板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターン３０７が形成されたモールド３０９とを対向させる。

【0005】

続いて、図１２（ｂ）で示すように、微細な転写パターン３０７が紫外線硬化樹脂３０３に接触するように、モールド３０９で被成形体３０５を押圧し、紫外線発生装置３１１が発した紫外線を紫外線硬化樹脂３０３に照射し、紫外線硬化樹脂３０３を硬化する。

【0006】

続いて、図１２（ｃ）で示すように、モールド３０９を被成形体３０５から離すことで、硬化し微細な転写パターンが転写された紫外線硬化樹脂３０３を備えた被成形体３０５を得ている。

【先行技術文献】

【非特許文献】

【0007】

【非特許文献1】Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 25(2001) 192-199

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

ところで、従来の転写では、モールド（マスターモールド）３０９が紫外線を透過しない金属製であるので、紫外線硬化樹脂３０３を硬化させるためには、基材３０１を通して紫外線を照射しなければならず、被成形体３０５の仕様に制約が発生するという問題がある。

【0009】

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写装置および転写方法において、被成形体の仕様の自由度を広げることができるものを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

請求項１に記載の発明は、マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写装置において、前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第１転写部と、前記第１転写部で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、前記被成形体に転写する第２転写部とを有し、前記第１転写部は、前記マスターモールドを保持するマスターモールド保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、前記第１転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記マスターモールド保持体に保持されているマスターモールドとを、前記転写をするために前記マスターモールド保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記マスターモールドと前記レプリカモールドとの部位を移動させるように構成されており、前記第１転写部の剥離ローラは、前記第１転写部の転写ローラよりも前記第２転写部側に設けられており、前記第１転写部の転写ローラで挟み込まれ前記マスターモールドにくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して前記第１転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記マスターモールドから離すように構成されている転写装置である。

【0011】

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の転写装置において、レプリカモールド原反設置部とレプリカモールド巻き取り部とを有し、前記レプリカモールドは、前記レプリカモールド原反設置部と前記レプリカモールド巻き取り部との間で、前記レプリカモールド原反設置部に設置されているレプリカモールド原反から前記レプリカモールド巻き取り部までシート状になり所定の張力で張られて延びている転写装置である。

【0012】

請求項３に記載の発明は、マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写装置において、前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第１転写部と、前記第１転写部で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、前記被成形体に転写する第２転写部とを有し、前記第２転写部は、前記被成形体を保持する被成形体保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、前記第２転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記被成形体保持体に保持されている被成形体とを、前記転写をするために前記被成形体保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記レプリカモールドと前記被成形体との部位を移動させるように構成されており、前記第２転写部の剥離ローラは、前記第２転写部の転写ローラよりも前記第１転写部から離れた側に設けられており、前記第２転写部の転写ローラで挟み込まれ前記被成形体にくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して前記第２転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記被成形体から離すように構成されている転写装置である。

【0013】

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の転写装置において、レプリカモールド原反設置部とレプリカモールド巻き取り部とを有し、前記レプリカモールドは、前記レプリカモールド原反設置部と前記レプリカモールド巻き取り部との間で、前記レプリカモールド原反設置部に設置されているレプリカモールド原反から前記レプリカモールド巻き取り部までシート状になり所定の張力で張られて延びている転写装置である。

【0014】

請求項５に記載の発明は、請求項３または請求項４に記載の転写装置において、前記第１転写部は、前記マスターモールドを保持するマスターモールド保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、前記第１転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記マスターモールド保持体に保持されているマスターモールドとを、前記転写をするために前記マスターモールド保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記マスターモールドと前記レプリカモールドとの部位を移動させるように構成されており、前記第１転写部の剥離ローラは、前記第１転写部の転写ローラよりも前記第２転写部側に設けられており、前記第１転写部の転写ローラで挟み込まれ前記マスターモールドにくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して前記第１転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記マスターモールドから離すように構成されている転写装置である。

【0015】

請求項６に記載の発明は、請求項３または請求項４に記載の転写装置において、前記第１転写部は、円柱状のマスターモールドを備えて構成されており、前記レプリカモールドは、前記マスターモールドに巻き掛けられることで前記転写がなされるように構成されている転写装置である。

【0016】

請求項７に記載の発明は、マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写方法において、前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第１転写工程と、前記第１転写工程で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、被成形体に転写する第２転写工程とを有し、前記第１転写工程は、前記マスターモールドを保持するマスターモールド保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、前記第１転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記マスターモールド保持体に保持されているマスターモールドとを、前記転写をするために前記マスターモールド保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記マスターモールドと前記レプリカモールドとの部位を移動させるように構成されており、前記第１転写部の剥離ローラは、前記第１転写部の転写ローラよりも前記第２転写部側に設けられており、前記第１転写部の転写ローラで挟み込まれ前記マスターモールドにくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して前記第１転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記マスターモールドから離すように構成されている転写方法である。
請求項８に記載の発明は、マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写方法において、前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第１転写工程と、前記第１転写工程で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、被成形体に転写する第２転写工程とを有し、第２転写工程は、前記被成形体を保持する被成形体保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、前記第２転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記被成形体保持体に保持されている被成形体とを、前記転写をするために前記被成形体保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記レプリカモールドと前記被成形体との部位を移動させるように構成されており、前記第２転写部の剥離ローラは、前記第２転写部の転写ローラよりも前記第１転写部から離れた側に設けられており、前記第２転写部の転写ローラで挟み込まれ前記被成形体にくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して前記第２転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記被成形体から離すように構成されている転写方法である。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写装置および転写方法において、被成形体の仕様の自由度を広げることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施形態に係る転写装置の概略構成を示す図である。

【図2】本発明の実施形態に係る転写装置の第１転写部等の概略構成を示す図である。

【図3】本発明の実施形態に係る転写装置の第２転写部等の概略構成を示す図である。

【図4】図１におけるＩＶ−ＩＶ断面を示す図である。

【図5】図１におけるＶ−Ｖ断面を示す図である。

【図6】本発明の実施形態に係る転写装置の動作を示す図である。

【図7】本発明の実施形態に係る転写装置の動作を示す図である。

【図8】本発明の実施形態に係る転写装置の動作を示す図である。

【図9】本発明の実施形態に係る転写装置の動作を示す図である。

【図10】本発明の実施形態に係る転写装置の動作を示す図である。

【図11】変形例に係る転写装置の概略構成を示す図である。

【図12】転写について説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

本発明の実施形態に係る転写装置１は、マスターモールドＭＡの厚さ方向の一方の面に形成されている微細な転写パターンＭＡ１を、被成形体Ｗに転写する装置である。マスターモールドＭＡは、ニッケル等の金属もしくは紫外線等の光が透過しない材料でシート状（薄い板状）に形成されている。

【0020】

転写装置１を用いて微細な転写パターンＷ１が形成された被成形体Ｗ（図１２（ｃ）参照）は、たとえば、導光板、光学フィルタ等の光学素子として使用される。

【0021】

ここで、説明の便宜のために水平な一方向をＸ軸方向とし、水平な他の一方向であってＸ軸方向に対して直交する方向をＹ軸方向とし、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに対して直交する上下方向をＺ軸方向とする。

【0022】

転写装置１は、図１等で示すように、第１転写部３と第２転写部５とを備えて構成されている。

【0023】

第１転写部３は、マスターモールドＭＡの微細な転写パターンＭＡ１を、紫外等の光を透過する材料で構成されているシート状のレプリカモールドＭＢに転写するものである。

【0024】

すなわち、第１転写部３で、レプリカモールドＭＢの被成形物ＭＢ１にマスターモールドＭＡの微細な転写パターンＭＡ１を転写することでレプリカモールドＭＢが生成されるようになっている。

【0025】

第２転写部５は、第１転写部３で形成されたレプリカモールドＭＢの微細な転写パターンＭＢ２を、被成形体Ｗに転写するものである。

【0026】

すなわち、第２転写部５で、被成形体Ｗの被成形物Ｗ２にレプリカモールドＭＢの微細な転写パターンＭＢ２を転写することで微細な転写パターンＷ１が形成された被成形体Ｗが生成されるようになっている。

【0027】

なお、レプリカモールドＭＢは細長く形成されており、第１転写部３から第２転写部５にかけて長く延びており、第１転写部３のところに存在しているレプリカモールドＭＢの部位と、第２転写部５のところに存在しているレプリカモールドＭＢの部位とはお互いがつながっている。

【0028】

そして、第１転写部３で微細な転写パターンＭＢ２が形成されたレプリカモールドＭＢの部位が第２転写部５まで移動して、被成形体Ｗへの転写に使用されるようになっている。

【0029】

レプリカモールドＭＢは、可撓性を備えている。さらに説明すると、シート状のレプリカモールドＭＢは、この厚さ方向に対して直交する方向の引張り力が加えられても弾性変形をほとんどせずほぼ剛体とみなせるが、紙幣等のように厚さ方向でめくれるような変形（厚さ方向に対して直交する方向に延伸している軸まわりのモーメントによる変形）を容易にするようになっている。したがって、レプリカモールドＭＢは、この厚さ方向が円柱状のローラの径方向と一致して、ローラの外周に容易に巻き付くことができるようになっている。

【0030】

第１転写部３での転写と第２転写部５での転写とは、並行してなされるようになっており、たとえば、第１転写部３での転写がなされるときに、第２転写部５での転写がなされるようになっている。

【0031】

また、転写装置１には、レプリカモールド原反設置部７とレプリカモールド巻き取り部９とが設けられている。

【0032】

レプリカモールドＭＢは、レプリカモールド原反設置部７とレプリカモールド巻き取り部９との間で、レプリカモールド原反設置部７に設置されているレプリカモールド原反（巻き出しロール）ＭＢ３からレプリカモールド巻き取り部９（巻き取りロールＭＢ４）までシート状（板状）になって所定の張力で張られて延びている。

【0033】

すなわち、レプリカモールド原反設置部７とレプリカモールド巻き取り部９との間で、平板状になっているシート状のレプリカモールド（平板状のシート状レプリカモールド）ＭＢには、この長手方向（レプリカモールド原反設置部７とレプリカモールド巻き取り部９とをお互いにむすぶたとえば水平な方向；Ｘ軸方向）で所定の張力がかかっている。これによってレプリカモールドＭＢがＸ軸方向およびＹ軸方向に展開した平板状の形態を保つようになっている。

【0034】

レプリカモールドＭＢの微細な転写パターンＭＢ２は、図６、図７、図９、図１０では図示してはいないが、平板状のレプリカモールドＭＢの下面に形成されている（図１等参照）。

【0035】

レプリカモールド原反（反物状のレプリカモールド）ＭＢ３は、転写に使用される前のロール状のレプリカモールドＭＢである。レプリカモールド原反ＭＢ３は、シート状のレプリカモールドＭＢ（詳しくは後述するモールド用基材ＭＢ５）を、円柱状の芯材の外周に、この外周の周方向とシート状のレプリカモールドＭＢの長手方向とがお互いに一致するようにして巻き重ね、円筒状もしくは円柱状に形成されている。

【0036】

レプリカモールド巻き取り部９で巻き取られた巻き取り済みレプリカモールド（巻き取りロール）ＭＢ４は、転写に使用されたレプリカモールドＭＢであり、レプリカモールド原反ＭＢ３と同様にしてロール状になっている。

【0037】

レプリカモールド原反設置部７に設置されているレプリカモールド原反ＭＢ３は、この中心軸（たとえばＹ軸方向に延びている軸；図１等の紙面に直交する方向に延びている軸）Ｃ１を回転中心にして回転するようになっている。レプリカモールド巻き取り部９で巻き取られる巻き取り済みレプリカモールドＭＢ４も、この中心軸（軸Ｃ１と平行で水平方向に延びている軸）Ｃ２を回転中心にして回転するようになっている。

【0038】

第１転写部３は、図２等で示すように、マスターモールドＭＡを保持するマスターモールド保持体（マスターモールド設置体）１１と、円柱状の第１ローラ１３と、円柱状の第２ローラ１５と、円柱状の第３ローラ１７と、円柱状の第４ローラ１９とを備えて構成されている。

【0039】

１本の細長いレプリカモールドＭＢは、長手方向（Ｘ軸方向等）に延びて、第２ローラ１５、第１ローラ１３、第３ローラ１７、第４ローラ１９の順に、各ローラ１３，１５，１７，１９に巻き掛けられるようになっている。

【0040】

第１転写部の第１ローラ（転写ローラ）１３は、巻き掛けられたレプリカモールドＭＢとマスターモールド保持体１１に保持されているマスターモールドＭＡとを、転写をするためにマスターモールド保持体１１と協働して挟み込むようになっている。そして、第１転写部の第１ローラ１３は、この中心軸（Ｙ軸方向に延びている軸）Ｃ３を回転中心にして回転し、マスターモールド保持体１１に対して相対的にＸ軸方向で移動（図１の右側から左側に向かって移動）するように構成されている。これにより、挟み込んでいるマスターモールドＭＡとレプリカモールドＭＢとの部位が移動するようになっている。

【0041】

第１転写部の第２ローラ（転写ガイドローラ）１５は、第１転写部の第１ローラ１３よりもマスターモールド保持体１１からＺ軸方向で（図１では上側に）離れている。

【0042】

また、第１転写部の第１ローラ１３から延出しているレプリカモールドＭＢが、マスターモールド保持体１１から離れるようにして、第１転写部の第２ローラ１５に巻き掛けられるようになっている。

【0043】

すなわち、第１転写部の第１ローラ１３に巻き掛けられ第１転写部の第３ローラ１７とは反対側に第１転写部の第１ローラ１３から延出しているレプリカモールド（第１転写部の第１ローラ１３から延出しているレプリカモールドの長手方向の一方の側）ＭＢが、マスターモールド保持体１１に保持されているマスターモールドＭＡから離れるようにして、第１転写部の第２ローラ１５に巻き掛けられるようになっている。

【0044】

また、第１転写部の第２ローラ１５は、第１転写部の第１ローラ１３の中心軸Ｃ３と平行な中心軸Ｃ４を回転中心にし、第１転写部の第１ローラ１３と同期して回転し、マスターモールド保持体１１に対して第１転写部の第１ローラ１３とともに相対的に移動するようになっている。

【0045】

第１転写部の第３ローラ（剥離ローラ）１７は、第１転写部の第１ローラ１３よりもＸ軸方向で第２転写部５側に設けられており、第１転写部の第３ローラ１７には、第１転写部の第１ローラ１３で挟み込まれマスターモールドＭＡにくっついているレプリカモールドＭＢが巻き掛けられるようになっている。

【0046】

第１転写部の第３ローラ１７は、第１転写部の第１ローラ１３の中心軸Ｃ３と平行な中心軸Ｃ５を回転中心にし、第１転写部の第１ローラ１３と同期して回転し、マスターモールド保持体１１に対して第１転写部の第１ローラ１３とともに相対的に移動するように構成されている。これにより、レプリカモールドＭＢを巻き取ってマスターモールドＭＡから離すようになっている。

【0047】

なお、見方を変えれば、第１転写部の第３ローラ１７も、第１転写部の第１ローラ１３と同様にして、レプリカモールドＭＢとマスターモールド保持体１１に保持されているマスターモールドＭＡとを、マスターモールド保持体１１と協働して挟み込んでいる。

【0048】

第１転写部の第４ローラ（剥離ガイドローラ）１９は、第１転写部の第２ローラ１５同様にして、第１転写部の第３ローラ１７よりもマスターモールド保持体１１からＺ軸方向で（図１では上側に）離れている。第１転写部の第３ローラ１７に巻き掛けられ第１転写部の第１ローラ１３とは反対側に第１転写部の第３ローラ１７から延出しているレプリカモールドＭＢ（第１転写部の第３ローラ１７から延出しているレプリカモールドＭＢの長手方向の他方の側）が、マスターモールド保持体１１に保持されているマスターモールドＭＡから離れるようにして、第１転写部の第４ローラ１９に巻き掛けられるようになっている。

【0049】

第１転写部の第４ローラ１９は、第１転写部の第３ローラ１７の中心軸Ｃ５と平行な中心軸Ｃ６を回転中心にし、第１転写部の第３ローラ１７と同期して回転し、マスターモールド保持体１１に対して第１転写部の第１ローラ１３とともに相対的に移動するように構成されている。

【0050】

第１転写部の第１ローラ１３は、すでに理解されるように、転写の際にレプリカモールドＭＢをマスターモールドＭＡ側に押圧する役目を果たしている。

【0051】

第１転写部の第２ローラ１５は、転写の際にレプリカモールドＭＢをガイドするとともに、第１転写部の第１ローラ１３のバックアップローラ（第１転写部の第１ローラ１３の撓みを少なくするためのローラ）としても役目を果たしている。

【0052】

第１転写部の第３ローラ１７は、前述したように、転写の後にレプリカモールドＭＢをマスターモールドＭＡから離す役目を果たしている。

【0053】

第１転写部の第４ローラ１９は、転写の後にレプリカモールドＭＢをガイドするとともに、第１転写部の第３ローラ１７のバックアップローラとしても役目を果たしている。

【0054】

マスターモールドＭＡの微細な転写パターンＭＡ１（シート状のレプリカモールドＭＢの微細な転写パターンＭＢ２）は、ピッチや高さが、たとえば可視光線の波長程度である凹凸で形成されている。マスターモールドＭＡの微細な転写パターンＭＡ１が第１転写部３での転写によって、レプリカモールド（レプリカ型）ＭＢに転写され、マスターモールドＭＡに形成されている転写パターンＭＡ１とは逆形態の転写パターンＭＢ２がレプリカモールドＭＢに形成されるようになっている。

【0055】

また、レプリカモールドＭＢの微細な転写パターンＭＢ２が第２転写部５での転写によって、被成形体Ｗに転写され、レプリカモールドＭＢに形成されている転写パターンＭＢ２とは逆形態の転写パターンＷ１が被成形体Ｗに形成されるようになっている。

【0056】

シート状のレプリカモールドＭＢは、シート状の基材（モールド用基材）ＭＢ５と転写パターン形成体（被成形物）ＭＢ１とで構成されている。

【0057】

シート状のモールド用基材ＭＢ５は、たとえば、紫外線が透過可能なＰＥＴ樹脂等の樹脂材料で板状に形成されている。

【0058】

微細な転写パターンＭＢ２が形成されている転写パターン形成体ＭＢ１は、たとえば、紫外線が透過可能な硬化した紫外線硬化樹脂（熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂等の他の樹脂であってもよい。）で薄い膜状に形成されている。転写パターン形成体ＭＢ１は、この厚さ方向がモールド用基材ＭＢ５の厚さ方向と一致するようにして、シート状のモールド用基材ＭＢ５の厚さ方向の一方の面でモールド用基材ＭＢ５に一体に設けられている。

【0059】

転写パターン形成体ＭＢ１の微細な転写パターンＭＢ２は、転写パターン形成体ＭＢ１の表面（厚さ方向における一方の面であって、モールド用基材ＭＢ５に接している面とは反対の面）に形成されている。

【0060】

モールド用基材ＭＢ５は、たとえば、長い矩形な板状（帯板状）に形成されている。モールド用基材ＭＢ５の幅寸法はモールド用基材ＭＢ５の厚さ寸法に比べてかなり大きくなっており、モールド用基材ＭＢ５の長さ寸法は、モールド用基材ＭＢ５の幅寸法に比べてかなり大きくなっている。

【0061】

転写パターン形成体ＭＢ１も、たとえば、矩形な板状に形成されている。転写パターン形成体ＭＢ１は、幅方向がモールド用基材ＭＢ５の幅方向と一致し、長さ方向がモールド用基材ＭＢ５の長さ方向と一致するようにしてモールド用基材ＭＢ５に設けられている。

【0062】

また、転写パターン形成体ＭＢ１は、モールド用基材ＭＢ５の長さ方向で所定の間隔をあけて断続的に複数設けられている。なお、転写パターン形成体ＭＢ１がモールド用基材ＭＢ５の長さ方向で連続して設けられていてもよい。転写パターン形成体ＭＢ１の幅寸法は、モールド用基材ＭＢ５の幅寸法よりも狭くなっている。

【0063】

モールド用基材ＭＢ５の一部には、転写パターン形成体ＭＢ１が非存在な部位が、モールド用基材ＭＢ５の長手方向に連続して延びて形成されている。たとえば、転写パターン形成体ＭＢ１の幅寸法がモールド用基材ＭＢ５の幅寸法よりも狭くなっていることで、レプリカモールドＭＢの幅方向の両端部に、モールド用基材ＭＢ５のみになっている部位（基材端部部位）ＭＢ６が形成されている（図４、図５参照）。

【0064】

マスターモールド保持体１１は、たとえば、矩形な平板状に形成されており、マスターモールドＭＡを保持するための平面（厚さ方向の一方の面；上面；マスターモールド設置面）２１を備えている。マスターモールドＭＡは、この裏面（微細な転写パターンＭＡ１が形成されている面とは反対側の面）の全面が、マスターモールド保持体１１のマスターモールド設置面２１に面接触し、たとえば真空吸着によって、マスターモールド保持体１１に保持されるようになっている。マスターモールド保持体１１に設置されたマスターモールドＭＡは、この幅方向、長さ方向がマスターモールド保持体１１の幅方向（Ｙ軸方向）、長さ方向（Ｘ軸方向）と一致している。

【0065】

第１転写部の第１ローラ１３の外径と第１転写部の第２ローラ１５の外径と第１転写部の第３ローラ１７の外径と第１転写部の第４ローラ１９の外径とはお互いがほぼ等しくなっており、第１転写部の第１ローラ１３の長さ（幅）と第１転写部の第２ローラ１５の長さ（幅）と第１転写部の第３ローラ１７の長さ（幅）と第１転写部の第４ローラ１９の長さ（幅）とはお互いがほぼ等しくなっている。

【0066】

第１転写部の第１ローラ１３、第１転写部の第２ローラ１５、第１転写部の第３ローラ１７および第１転写部の第４ローラ１９は、これらの幅方向（Ｙ軸方向）では、お互いの位置が一致している。

【0067】

第１転写部の第１ローラ１３と第１転写部の第３ローラ１７とは、上下方向（Ｚ軸方向）では、お互いの位置が一致しており、第１転写部の第２ローラ１５と第１転写部の第４ローラ１９とは、上下方向（Ｚ軸方向）では、お互いの位置が一致しており、第１転写部の第１ローラ１３の上方に位置している。

【0068】

また、第１転写部の第１ローラ１３と第１転写部の第２ローラ１５とは、Ｘ軸方向では、お互いの位置が一致しており、第１転写部の第３ローラ１７と第１転写部の第４ローラ１９とは、Ｘ軸方向では、お互いの位置が一致しており、第１転写部の第１ローラ１３よりも第２転写部５側に位置している。

【0069】

第１転写部の第１ローラ１３の幅寸法は、マスターモールド保持体１１に保持されているマスターモールドＭＡの幅寸法よりも僅かに大きくなっている。第１転写部の第１ローラ１３の軸Ｃ３の延伸方向（幅方向；Ｙ軸方向）は、マスターモールド保持体１１に保持されているマスターモールドＭＡの幅方向と一致しており、第１転写部の第１ローラ１３の幅方向の中心と、マスターモールド保持体１１に保持されているマスターモールドＭＡの幅方向の中心とは、お互いが一致している。

【0070】

また、第１転写部の第１ローラ１３は、マスターモールド保持体１１のマスターモールド設置面２１に直交する方向（Ｚ軸方向）で移動位置決め自在になっている。

【0071】

第１転写部の第１ローラ１３が、レプリカモールドＭＢとマスターモールド保持体１１に保持されているマスターモールドＭＡとをマスターモールド保持体１１と協働して挟み込んでいるとき、第１転写部の第１ローラ１３の中心軸Ｃ３とマスターモールド設置面２１との間の距離は、第１転写部の第１ローラ１３の半径とマスターモールドＭＡの厚さとレプリカモールドＭＢの厚さとの和とほぼ等しいか、ごく僅かに小さくなっている。これによって上述した挟み込みがなされるようになっている。

【0072】

第１転写部の第１ローラ１３に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢの幅方向と、第１転写部の第１ローラ１３の幅方向とはお互いに一致しており、第１転写部の第１ローラ１３に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢの幅方向の中心と、第１転写部の第１ローラ１３の幅方向の中心とはお互いがほぼ一致している。第１転写部の第１ローラ１３に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢは、第１転写部の第１ローラ１３に半周程度に巻き掛けられている。

【0073】

第１転写部の第１ローラ１３に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢは、モールド用基材ＭＢ５の裏面（厚さ方向の他方の面であって転写パターン形成体ＭＢ１が設けられている面とは反対側の面）が、第１転写部の第１ローラ１３の外周に面接触している（図４参照）。

【0074】

第１転写部の第１ローラ１３に巻き掛けられ第１転写部の第１ローラ１３から延出しているレプリカモールドＭＢの長手方向の他方の側（第１転写部の第３ローラ１７側）の部位は、マスターモールド設置面２１から僅かに離れ（マスターモールドＭＡの厚さ程度離れ）、マスターモールド設置面２１と平行になって、マスターモールド保持体１１の長さ方向（Ｘ軸方向）の他端側（図１では右側）に延出している。

【0075】

第１転写部の第１ローラ１３に巻き掛けられ第１転写部の第１ローラ１３から延出しているレプリカモールドＭＢの長手方向の一方の側は、第１転写部の第２ローラ１５に半周程度に巻き掛けられている。なお、第１転写部の第１ローラ１３および第１転写部の第２ローラ１５の中心軸Ｃ３，Ｃ４の延伸方向（Ｙ軸方向）から見ると、第１転写部の第１ローラ１３および第１転写部の第２ローラ１５に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢの部位は、「Ｓ」字状もしくは逆「Ｓ」字状になっている。

【0076】

第１転写部の第２ローラ１５の中心軸Ｃ４の第１転写部の第１ローラ１３の中心軸Ｃ３に対する位置関係は、すでに理解されるように、常に一定であり、第１転写部の第２ローラ１５は、第１転写部の第１ローラ１３といっしょになって、マスターモールド保持体１１のマスターモールド設置面２１に直交する方向（Ｚ軸方向）で移動位置決め自在になっている。

【0077】

第１転写部の第２ローラ１５から図１の左側に延出しているレプリカモールドＭＢは、第１転写部の第１ローラ１３から図１の右側延出しているレプリカモールド（第１転写部の第１ローラ１３と第１転写部の第３ローラ１７との間で延伸しているレプリカモールド）ＭＢと平行になっている。すなわち、第１転写部の第１ローラ１３から延出しているレプリカモールドＭＢの厚さ方向と、第１転写部の第２ローラ１５から延出しているレプリカモールドＭＢの厚さ方向とはお互いが一致しており、第１転写部の第１ローラ１３から延出しているレプリカモールドＭＢの長さ方向と、第１転写部の第２ローラ１５から延出しているレプリカモールドＭＢの長さ方向とは逆方向になっている。

【0078】

また、第１転写部の第２ローラ１５から延出しているレプリカモールドＭＢとマスターモールド保持体１１との間の距離は、第１転写部の第１ローラ１３の直径と第１転写部の第２ローラ１５の直径との和よりも僅かに大きくなっている。

【0079】

第１転写部の第１ローラ１３が、レプリカモールドＭＢとマスターモールド保持体１１に保持されているマスターモールドＭＡとをマスターモールド保持体１１と協働して挟み込んでいるとき、すでに理解されるように、第１転写部の第３ローラ１７の中心軸Ｃ５とマスターモールド設置面２１との間の距離は、第１転写部の第１ローラ１３のものと同じになっている。

【0080】

第１転写部の第３ローラ１７には、第１転写部の第１ローラ１３の場合と同様にして、レプリカモールドＭＢが半周程度巻き掛けられている。

【0081】

第１転写部の第３ローラ１７に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢは、第１転写部の第１ローラ１３の場合と同様にして、モールド用基材ＭＢ５の裏面が、第１転写部の第３ローラ１７の外周に面接触している。

【0082】

第１転写部の第３ローラ１７に巻き掛けられ第１転写部の第３ローラ１７から延出しているレプリカモールドＭＢの長手方向の他方の側は、第１転写部の第４ローラ１９に半周程度に巻き掛けられている。なお、第１転写部の第３ローラ１７および第１転写部の第４ローラ１９の中心軸Ｃ５，Ｃ６の延伸方向（Ｙ軸方向）から見ると、第１転写部の第１ローラ１３、第１転写部の第２ローラ１５の場合と同様にして、第１転写部の第３ローラ１７および第１転写部の第４ローラ１９に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢの部位は、「Ｓ」字状もしくは逆「Ｓ」字状になっている。

【0083】

第１転写部の第３ローラ１７の中心軸Ｃ５および第１転写部の第４ローラ１９の中心軸Ｃ６の第１転写部の第１ローラ１３の中心軸Ｃ３に対する位置関係は常に一定であり、第１転写部の第３ローラ１７および第１転写部の第４ローラ１９は、第１転写部の第１ローラ１３といっしょになって、マスターモールド保持体１１のマスターモールド設置面２１に直交する方向（Ｚ軸方向）で移動位置決め自在になっている。

【0084】

第１転写部の第４ローラ１９から図１の右側に延出しているレプリカモールドＭＢは、第１転写部の第３ローラ１７から図１の左側延出しているレプリカモールド（第１転写部の第３ローラ１７と第１転写部の第１ローラ１３との間で延伸しているレプリカモールド）ＭＢと平行になっている。

【0085】

また、第１転写部の第４ローラ１９から延出しているレプリカモールドＭＢとマスターモールド保持体１１との間の距離は、第１転写部の第２ローラ１５の場合と同様にして、第１転写部の第３ローラ１７の直径と第１転写部の第４ローラ１９の直径との和よりも僅かに大きくなっている。

【0086】

第１転写部の第１ローラ１３、第１転写部の第２ローラ１５、第１転写部の第３ローラ１７および第１転写部の第４ローラ１９は、マスターモールドＭＡの長手方向（Ｘ軸方向）でもマスターモールド保持体１１に対して相対的に移動自在になっている。すなわち、第１転写部の第１ローラ１３、第１転写部の第２ローラ１５、第１転写部の第３ローラ１７および第１転写部の第４ローラ１９は、マスターモールド保持体１１の長手方向で、マスターモールド保持体１１の長手方向の他端から僅かに離れた位置（図６参照）と、マスターモールド保持体の長手方向の一端から僅かに離れた位置（図８参照）との間で、移動するようになっている。

【0087】

なお、第１転写部の第４ローラ１９には、巻き掛けられたレプリカモールドＭＢの転写パターン形成体ＭＢ１の接触を回避するための小径部２３が形成されている（図４参照）。

【0088】

マスターモールド保持体１１にマスターモールドＭＡが設置され、レプリカモールドＭＢが第１転写部の各ローラ１３，１５，１７，１９に巻き掛けられ、第１転写部の第１ローラ１３と第１転写部の第３ローラ１７とがマスターモールド設置面２１に対して直交する方向（Ｚ軸方向）で、マスターモールド設置面２１からマスターモールドＭＡの厚さとレプリカモールドＭＢの厚さとの和程度の距離（転写をするための距離）だけ離れており、第１転写部の各ローラ１３，１５，１７，１９がマスターモールド保持体１１の長手方向の端から僅かに離れたところに位置している状態（初期状態；図６参照）では、第１転写部の第２ローラ１５から延出しているレプリカモールドＭＢが、マスターモールド保持体１１の真上に位置しており、第１転写部の第１ローラ１３から第１転写部の第３ローラ１７側に延出しているレプリカモールドＭＢがマスターモールド保持体１１から離れている。

【0089】

すなわち、上記初期状態をマスターモールド設置面２１に対して直交する方向（Ｚ軸方向）から見ると、第１転写部の第２ローラ１５から左側に延出しているレプリカモールドＭＢの部位が、マスターモールド設置面２１と重なっており、第１転写部の第１ローラ１３から第１転写部の第３ローラ１７側（右側）に延出しているレプリカモールドＭＢの部位は、マスターモールド設置面２１から離れている。

【0090】

上記初期状態から、第１転写部の各ローラ１３，１５，１７，１９がマスターモールド保持体１１の長手方向（Ｘ軸方向）の一端側（左側）に移動すると、第１転写部の第１ローラ１３とマスターモールド保持体１１とで挟み込んでいるレプリカモールドＭＢとマスターモールドＭＡとの部位（マスターモールド保持体１１の幅方向に延びている直線状の部位）等が、右側から左側に向かって移動するようになっている。このとき、第１転写部の各ローラ１３，１５，１７，１９とレプリカモールドＭＢとの間、レプリカモールドＭＢとマスターモールドＭＡとの間には、当然に滑りは発生していない。また、第１転写部の第１ローラ１３および第１転写部の第３ローラ１７は、レプリカモールドＭＢを間にし、マスターモールド保持体１１に設置されたマスターモールドＭＡに対して、ころがり対偶をなしている。

【0091】

また、レプリカモールドＭＢの転写パターン形成体ＭＢ１が、紫外線硬化樹脂である場合、転写パターン形成体ＭＢ１を硬化させるための紫外線発生装置２５が設けられている。紫外線発生装置２５は、第１転写部の各ローラ１３，１５，１７，１９とともに移動位置決めされるようになっている。そして、第１ローラ１３とマスターモールド保持体１１とがマスターモールドＭＡとレプリカモールドＭＢとを挟み込んでいるところの近傍（第１転写部の第１ローラ１３と第１転写部の第３ローラ１７との間）で、レプリカモールドＭＢの転写パターン形成体ＭＢ１を硬化させ、レプリカモールドＭＢに微細な転写パターンＭＢ２が転写されるようになっている。

【0092】

すなわち、第１転写部の各ローラ１３，１５，１７，１９をＸ軸方向に移動しているときに、第１転写部のローラ１３，１５の後側でモールド用基材ＭＢ５を通して紫外線発生装置２５が発した紫外線を転写パターン形成体ＭＢ１に照射し、転写パターン形成体ＭＢ１を右側から左側に向かって順に硬化するようになっている。

【0093】

また、第１転写部の各ローラ１３，１５，１７，１９をＸ軸方向で移動しているときに、第１転写部の第３ローラ１７と第１転写部の第４ローラ１９とでレプリカモールドＭＢを巻き取り、マスターモールド保持体１１に設置されているマスターモールドＭＡにくっついているレプリカモールドＭＢをマスターモールドＭＡから剥がす（分離する）ようになっている。この分離されたレプリカモールドＭＢが、第２転写部５での転写に使用されるようになっている。

【0094】

また、第１転写部３には、未硬化の転写パターン形成体ＭＢ１をマスターモールドＭＡの上面に膜状に設けるためのノズル２７が設けられている。ノズル２７は、第１転写部の各ローラ１３，１５の上流側（ローラ１３，１５を間にしてローラ１７，１９とは反対側）に設けられており、第１転写部の各ローラ１３，１５，１７，１９とともに移動位置決めされるようになっている。

【0095】

なお、ノズル２７を、図２の参照符号２７ａで示すところに設け、モールド用基材ＭＢ５の下面に未硬化の転写パターン形成体ＭＢ１を設けるようにしてもよい。この場合、図４で示すように、第１転写部の第２ローラ１５に、巻き掛けられたレプリカモールドＭＢの転写パターン形成体ＭＢ１の接触を回避するための小径部２３が形成されているものとする。また、ノズル２７を、図２の参照符号２７ｂで示すところに設けてもよい。

【0096】

次に、第２転写部５について詳しく説明する。第２転写部５は、図１等で示すように、第１転写部３とほぼ同様に構成されており、Ｘ軸方向で第１転写部３よりもレプリカモールド巻き取り部９側に位置している。

【0097】

すなわち、第２転写部５は、図３等で示すように、被成形体Ｗを保持する被成形体保持体（被成形体設置体）２９と、円柱状の第１ローラ３１と、円柱状の第２ローラ３３と、円柱状の第３ローラ３５と、円柱状の第４ローラ３７とを備えて構成されている。

【0098】

１本の細長いレプリカモールドＭＢは、長手方向（Ｘ軸方向等）に延びて、第２ローラ３３、第１ローラ３１、第３ローラ３５、第４ローラ３７の順に、各ローラ３１，３３，３５，３７に巻き掛けられるようになっている。

【0099】

第２転写部の第１ローラ（転写ローラ）３１は、巻き掛けられたレプリカモールドＭＢと被成形体保持体２９に保持されている被成形体Ｗとを、転写をするために被成形体保持体２９と協働して挟み込むようになっている。そして、第２転写部の第１ローラ３１は、この中心軸（Ｙ軸方向に延びている軸）Ｃ７を回転中心にして回転し、被成形体保持体２９に対して相対的にＸ軸方向で移動（図１の右側から左側に向かって移動）するように構成されている。これにより、挟み込んでいるレプリカモールドＭＢと被成形体Ｗの部位が移動するようになっている。

【0100】

第２転写部の第２ローラ（転写ガイドローラ）３３は、第２転写部の第１ローラ３１よりも被成形体保持体２９からＺ軸方向で（図１では上側に）離れている。

【0101】

また、第２転写部の第１ローラ３１から延出しているレプリカモールドＭＢが、被成形体保持体２９から離れるようにして、第２転写部の第２ローラ３３に巻き掛けられるようになっている。

【0102】

すなわち、第２転写部の第１ローラ３１に巻き掛けられ第２転写部の第３ローラ３５とは反対側に第２転写部の第１ローラ３１から延出しているレプリカモールド（第２転写部の第１ローラ３１から延出しているレプリカモールドの長手方向の一方の側）ＭＢが、被成形体保持体２９に保持されている被成形体Ｗから離れるようにして、第２転写部の第２ローラ３３に巻き掛けられるようになっている。

【0103】

また、第２転写部の第２ローラ３３は、第２転写部の第１ローラ３１の中心軸Ｃ７と平行な中心軸Ｃ８を回転中心にし、第２転写部の第１ローラ３１と同期して回転し、被成形体保持体２９に対して第２転写部の第１ローラ３１とともに相対的に移動するようになっている。

【0104】

第２転写部の第３ローラ（剥離ローラ）３５は、第２転写部の第１ローラ３１よりもＸ軸方向でレプリカモールド巻き取り部９側に設けられており、第２転写部の第３ローラ３５には、第２転写部の第１ローラ３１で挟み込まれ被成形体ＷにくっついているレプリカモールドＭＢが巻き掛けられるようになっている。

【0105】

第２転写部の第３ローラ３５は、第２転写部の第１ローラ３１の中心軸Ｃ７と平行な中心軸Ｃ９を回転中心にし、第２転写部の第１ローラ３１と同期して回転し、被成形体保持体２９に対して第２転写部の第１ローラ３１とともに相対的に移動するように構成されている。これにより、レプリカモールドＭＢを巻き取って被成形体Ｗから離すようになっている。

【0106】

なお、見方を変えれば、第２転写部の第３ローラ３５も、第２転写部の第１ローラ３１と同様にして、レプリカモールドＭＢと被成形体保持体２９に保持されている被成形体Ｗとを、被成形体保持体２９と協働して挟み込んでいる。

【0107】

第２転写部の第４ローラ（剥離ガイドローラ）３７は、第２転写部の第２ローラ３３と同様にして、第２転写部の第３ローラ３５よりも被成形体保持体２９からＺ軸方向で（図１では上側に）離れている。第２転写部の第３ローラ３５に巻き掛けられ第２転写部の第１ローラ３１とは反対側に第２転写部の第３ローラ３５から延出しているレプリカモールドＭＢ（第２転写部の第３ローラ３５から延出しているレプリカモールドＭＢの長手方向の他方の側）が、被成形体保持体２９に保持されている被成形体Ｗから離れるようにして、第２転写部の第４ローラ３７に巻き掛けられるようになっている。

【0108】

第２転写部の第４ローラ３７は、第２転写部の第３ローラ３５の中心軸Ｃ９と平行な中心軸Ｃ１０を回転中心にし、第２転写部の第３ローラ３５と同期して回転し、被成形体保持体２９に対して第２転写部の第１ローラ３１とともに相対的に移動するように構成されている。

【0109】

第２転写部の第１ローラ３１は、すでに理解されるように、転写の際にレプリカモールドＭＢを被成形体Ｗ側に押圧する役目を果たしている。

【0110】

第２転写部の第２ローラ３３は、転写の際にレプリカモールドＭＢをガイドするとともに、第２転写部の第１ローラ３１のバックアップローラとしても役目を果たしている。

【0111】

第２転写部の第３ローラ３５は、前述したように、転写の後にレプリカモールドＭＢを被成形体Ｗから離す役目を果たしている。

【0112】

第２転写部の第４ローラ３７は、転写の後にレプリカモールドＭＢをガイドするとともに、第２転写部の第３ローラ３５のバックアップローラとしても役目を果たしている。

【0113】

第２転写部の第１ローラ３１と第２転写部の第２ローラ３３と第２転写部の第３ローラ３５と第２転写部の第４ローラ３７とは、第１転写部の各ローラ１３，１５，１７，１９と同形状に形成されており、第２転写部の各ローラ３１，３３，３５，３７は、これらの幅方向（Ｙ軸方向）で、お互いの位置が一致しており、第１転写部の各ローラ１３，１５，１７，１９と同じところに位置している。

【0114】

第２転写部の第１ローラ３１と第２転写部の第３ローラ３５とは、上下方向（Ｚ軸方向）では、お互いの位置が一致しており、第２転写部の第２ローラ３３と第２転写部の第４ローラ３７とは、上下方向（Ｚ軸方向）では、お互いの位置が一致しており、第２転写部の第１ローラ３１の上方に位置している。

【0115】

また、第２転写部の第１ローラ３１と第２転写部の第２ローラ３３とは、Ｘ軸方向では、お互いの位置が一致しており、第２転写部の第３ローラ３５と第２転写部の第４ローラ３７とは、Ｘ軸方向では、お互いの位置が一致しており、第２転写部の第１ローラ３１よりもレプリカモールド巻き取り部９側に位置している。

【0116】

第２転写部の第１ローラ３１の幅寸法は、被成形体保持体２９に保持されている被成形体Ｗの幅寸法よりも僅かに大きくなっている。第２転写部の第１ローラ３１の軸Ｃ７の延伸方向（幅方向；Ｙ軸方向）は、被成形体保持体２９に保持されている被成形体Ｗの幅方向と一致しており、第２転写部の第１ローラ３１の幅方向の中心と、被成形体保持体２９に保持されている被成形体Ｗの幅方向の中心とは、お互いが一致している。

【0117】

また、第２転写部の第１ローラ３１は、被成形体保持体２９の被成形体設置面３９に直交する方向（Ｚ軸方向）で移動位置決め自在になっている。

【0118】

第２転写部の第１ローラ３１が、レプリカモールドＭＢと被成形体保持体２９に保持されている被成形体Ｗとを被成形体保持体２９と協働して挟み込んでいるとき、第２転写部の第１ローラ３１の中心軸Ｃ７と被成形体設置面３９との間の距離は、第２転写部の第１ローラ３１の半径と被成形体Ｗの厚さとレプリカモールドＭＢの厚さとの和とほぼ等しいか、ごく僅かに小さくなっている。これによって上述した挟み込みがなされるようになっている。

【0119】

第１転写部３の場合と同様にして、第２転写部の第１ローラ３１に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢの幅方向と、第２転写部の第１ローラ３１の幅方向とはお互いに一致しており、第２転写部の第１ローラ３１に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢの幅方向の中心と、第２転写部の第１ローラ３１の幅方向の中心とはお互いがほぼ一致している。第２転写部の第１ローラ３１に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢは、第２転写部の第１ローラ３１に半周程度に巻き掛けられている。

【0120】

第２転写部の第１ローラ３１に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢは、モールド用基材ＭＢ５の裏面（厚さ方向の他方の面であって転写パターン形成体ＭＢ１が設けられている面とは反対側の面）が、第２転写部の第１ローラ３１の外周に面接触している（図５参照）。

【0121】

第２転写部の第１ローラ３１に巻き掛けられ第２転写部の第１ローラ３１から延出しているレプリカモールドＭＢの長手方向の他方の側（第２転写部の第３ローラ３５側）の部位は、被成形体設置面３９から僅かに離れ（被成形体Ｗの厚さ程度離れ）、被成形体設置面３９と平行になって、被成形体保持体２９の長さ方向（Ｘ軸方向）の他端側（図１では右側）に延出している。

【0122】

第２転写部の第１ローラ３１に巻き掛けられ第２転写部の第１ローラ３１から延出しているレプリカモールドＭＢの長手方向の一方の側は、第２転写部の第２ローラ３３に半周程度に巻き掛けられている。なお、第２転写部の第１ローラ３１および第２転写部の第２ローラ３３の中心軸Ｃ７，Ｃ８の延伸方向（Ｙ軸方向）から見ると、第２転写部の第１ローラ３１および第２転写部の第２ローラ３３に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢの部位は、「Ｓ」字状もしくは逆「Ｓ」字状になっている。

【0123】

第２転写部の第２ローラ３３の中心軸Ｃ８の第２転写部の第１ローラ３１の中心軸Ｃ７に対する位置関係は常に一定であり、第２転写部の第２ローラ３３は、第２転写部の第１ローラ３１といっしょになって、被成形体保持体２９の被成形体設置面３９に直交する方向（Ｚ軸方向）で移動位置決め自在になっている。

【0124】

第２転写部の第１ローラ３１が、レプリカモールドＭＢと被成形体保持体２９に保持されている被成形体Ｗとを被成形体保持体２９と協働して挟み込んでいるとき、すでに理解されるように、第２転写部の第３ローラ３５の中心軸Ｃ９と被成形体設置面３９との間の距離は、第２転写部の第１ローラ３１のものと同じになっている。

【0125】

第２転写部の第３ローラ３５には、第３転写部の第１ローラ３１の場合と同様にして、レプリカモールドＭＢが半周程度巻き掛けられている。

【0126】

第２転写部の第３ローラ３５に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢは、第２転写部の第１ローラ３１の場合と同様にして、モールド用基材ＭＢ５の裏面が、第２転写部の第３ローラ３５の外周に面接触している。

【0127】

第２転写部の第３ローラ３５に巻き掛けられ第２転写部の第３ローラ３５から延出しているレプリカモールドＭＢの長手方向の他方の側は、第２転写部の第４ローラ３７に半周程度に巻き掛けられている。なお、第２転写部の第３ローラ３５および第２転写部の第４ローラ３７の中心軸Ｃ９，Ｃ１０の延伸方向（Ｙ軸方向）から見ると、第２転写部の第１ローラ３１、第２転写部の第２ローラ３３の場合と同様にして、第２転写部の第３ローラ３５および第２転写部の第４ローラ３７に巻き掛けられているレプリカモールドＭＢの部位は、「Ｓ」字状もしくは逆「Ｓ」字状になっている。

【0128】

第２転写部の第３ローラ３５の中心軸Ｃ９および第２転写部の第４ローラ３７の中心軸Ｃ１０の第２転写部の第１ローラ３１の中心軸Ｃ７に対する位置関係は常に一定であり、第２転写部の第３ローラ３５および第２転写部の第４ローラ３７は、第２転写部の第１ローラ３１といっしょになって、被成形体保持体２９の被成形体設置面３９に直交する方向（Ｚ軸方向）で移動位置決め自在になっている。

【0129】

第２転写部の第４ローラ３７から図１の右側に延出しているレプリカモールドＭＢは、第２転写部の第３ローラ３５から図１の左側延出しているレプリカモールド（第２転写部の第３ローラ３５と第１転写部の第１ローラ１３との間で延伸しているレプリカモールド）ＭＢと平行になっている。

【0130】

また、第２転写部の第４ローラ３７から延出しているレプリカモールドＭＢとマスターモールド保持体１１との間の距離は、第２転写部の第２ローラ３３の場合と同様にして、第２転写部の第３ローラ３５の直径と第２転写部の第４ローラ３７の直径との和よりも僅かに大きくなっている。

【0131】

第２転写部の第１ローラ３１、第２転写部の第２ローラ３３、第２転写部の第３ローラ３５および第２転写部の第４ローラ３７は、被成形体Ｗの長手方向（Ｘ軸方向）でも被成形体保持体２９に対して相対的に移動自在になっている。すなわち、第２転写部の第１ローラ３１、第２転写部の第２ローラ３３、第２転写部の第３ローラ３５および第２転写部の第４ローラ３７は、被成形体保持体２９の長手方向で、被成形体保持体２９の長手方向の他端から僅かに離れた位置（図８参照）と、被成形体保持体２９の長手方向の一端から僅かに離れた位置（図１０参照）との間で、移動するようになっている。

【0132】

なお、第２転写部の第２ローラ３３と第２転写部の第４ローラ３７とには、第１転写部の第４ローラ１９の場合と同様にして、巻き掛けられたレプリカモールドＭＢの転写パターン形成体ＭＢ１の接触を回避するための小径部４１が形成されている（図５参照）。

【0133】

被成形体保持体２９に被成形体Ｗが設置され、レプリカモールドＭＢが第２転写部の各ローラ３１，３３，３５，３７に巻き掛けられ、第２転写部の第１ローラ３１と第２転写部の第３ローラ３５とが被成形体設置面３９に対して直交する方向（Ｚ軸方向）で、被成形体設置面３９から被成形体Ｗの厚さとレプリカモールドＭＢの厚さとの和程度の距離（転写をするための距離）だけ離れており、第２転写部の各ローラ３１，３３，３５，３７が被成形体保持体２９の長手方向の端から僅かに離れたところに位置している状態（初期状態；図８参照）では、第２転写部の第２ローラ３３から延出しているレプリカモールドＭＢが、被成形体保持体２９の真上に位置しており、第２転写部の第１ローラ３１から第２転写部の第３ローラ３５側に延出しているレプリカモールドＭＢが被成形体保持体２９から離れている。

【0134】

すなわち、上記初期状態を被成形体設置面３９に対して直交する方向（Ｚ軸方向）から見ると、第２転写部の第２ローラ３３から左側に延出しているレプリカモールドＭＢの部位が、被成形体設置面３９と重なっており、第２転写部の第１ローラ３１から第２転写部の第３ローラ３５側（右側）に延出しているレプリカモールドＭＢの部位は、被成形体設置面３９から離れている。

【0135】

上記初期状態から、第２転写部の各ローラ３１，３３，３５，３７が被成形体保持体２９の長手方向（Ｘ軸方向）の一端側（左側）に移動すると、第２転写部の第１ローラ３１と被成形体保持体２９とで挟み込んでいるレプリカモールドＭＢと被成形体Ｗとの部位（被成形体保持体２９の幅方向に延びている直線状の部位）等が、右側から左側に向かって移動するようになっている。このとき、第２転写部の各ローラ３１，３３，３５，３７とレプリカモールドＭＢとの間、レプリカモールドＭＢと被成形体Ｗとの間には、当然に滑りは発生していない。また、第２転写部の第１ローラ３１および第２転写部の第３ローラ３５は、レプリカモールドＭＢを間にし、被成形体保持体２９に設置された被成形体Ｗに対して、ころがり対偶をなしている。

【0136】

ところで、被成形体Ｗは、基材（被成形体用基材）Ｗ３と被成形物Ｗ２とを備えて構成されている。

【0137】

シート状の被成形体用基材Ｗ３は、たとえば、ＰＥＴ樹脂等の樹脂材料で板状に形成されている。レプリカモールドＭＢの微細な転写パターンＭＢ２が転写されて形成される被成形物Ｗ２は、たとえば、紫外線硬化樹脂（熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂等の他の樹脂であってもよい。）で薄い膜状に形成されている。

【0138】

被成形体用基材Ｗ３は、たとえば矩形な板状に形成されている。被成形体用基材Ｗ３の幅寸法は、モールド用基材ＭＢ５の幅寸法と同程度になっており、被成形体用基材Ｗ３の長さ寸法は、レプリカモールドＭＢのモールド用基材ＭＢ５に断続的に設けられている１つの被成形物（転写パターン形成体）ＭＢ１の長さ寸法よりも僅かに大きくなっている。

【0139】

被成形物Ｗ２も矩形な薄い膜状になって設けられている。被成形物Ｗ２は、この厚さ方向（Ｚ軸方向）が被成形体用基材Ｗ３の厚さ方向と一致するようにして、シート状の被成形体用基材Ｗ３の厚さ方向の一方の面で被成形体用基材Ｗ３に設けられている。また、被成形物Ｗ２は、幅方向（Ｙ軸方向）が被成形体用基材Ｗ３の幅方向と一致しており、長さ方向が被成形体用基材Ｗ３の長さ方向（Ｘ軸方向）と一致している。被成形物Ｗ２の幅寸法は、被成形体用基材Ｗ３の幅寸法と同程度になっており、レプリカモールドＭＢのモールド用基材ＭＢ５に断続的に設けられている１つの被成形物（転写パターン形成体）ＭＢ１の長さ寸法と同程度になっている。

【0140】

被成形物Ｗ２の微細な転写パターンＷ１は、被成形物Ｗ２の表面（厚さ方向における一方の面であって、被成形体用基材Ｗ３に接している面とは反対の面）に形成されるようになっている。

【0141】

また、被成形体保持体２９は、たとえば、矩形な平板状に形成されており、上述したように、被成形体Ｗを保持するための平面（厚さ方向の一方の面；上面；被成形体設置面）３９を備えている。被成形体Ｗは、この裏面（被成形体用基材Ｗ３の厚さ方向の一方の面であって被成形物Ｗ２が設けられている面とは反対側の面）の全面が、被成形体保持体２９の被成形体設置面３９に面接触し、たとえば真空吸着によって、被成形体保持体２９に保持されるようになっている。

【0142】

被成形体保持体２９に設置された被成形体Ｗは、この幅方向、長さ方向が被成形体保持体２９の幅方向（Ｙ軸方向）、長さ方向（Ｘ軸方向）と一致している。

【0143】

また、被成形体Ｗの被成形物Ｗ２が、紫外線硬化樹脂である場合、被成形物Ｗ２を硬化させるための紫外線発生装置４３が設けられている。紫外線発生装置４３は、第２転写部の各ローラ３１，３３，３５，３７とともに移動位置決めされるようになっている。そして、第１ローラ３１と被成形体保持体２９とが被成形体ＷとレプリカモールドＭＢとを挟み込んでいるところの近傍（第２写部の第１ローラ３１と第２転写部の第３ローラ３５との間）で、被成形体Ｗの被成形物Ｗ２を硬化させ、被成形体Ｗに微細な転写パターンＷ１が転写されるようになっている。

【0144】

すなわち、第２転写部の各ローラ３１，３３，３５，３７をＸ軸方向に移動しているときに、第２転写部のローラ３１，３３の後側でレプリカモールドＭＢを通して紫外線発生装置４３が発した紫外線を被成形物Ｗ２に照射し、被成形物Ｗ２を右側から左側に向かって順に硬化するようになっている。

【0145】

また、第２転写部の各ローラ３１，３３，３５，３７をＸ軸方向で移動しているときに、第２転写部の第３ローラ３５と第２転写部の第４ローラ３７とでレプリカモールドＭＢを巻き取り、被成形体保持体２９に設置されている被成形体ＷにくっついているレプリカモールドＭＢを被成形体Ｗの被成形物Ｗ２から剥がすようになっている。この分離されたレプリカモールドＭＢを、第２転写部５での転写に再使用してもよい。

【0146】

また、第２転写部５には、未硬化の被成形物Ｗ２を被成形体用基材Ｗ３の上面に膜状に設けるためのノズル４５が設けられている。ノズル４５は、第２転写部の各ローラ３１，３３の上流側（ローラ３１，３３を間にしてローラ３５，３７とは反対側）に設けられており、第２転写部の各ローラ３１，３３，３５，３７とともに移動位置決めされるようになっている。

【0147】

なお、ノズル４５を、図３の参照符号４５ａで示すところに設け、レプリカモールドＭＢの下面に未硬化の被成形物Ｗ２を設けるようにしてもよい。さらに、ノズル４５を、図３の参照符号４５ｂで示すところに設けてもよい。

【0148】

ここで、転写装置１についてさらに詳しく説明する。

【0149】

転写装置１はベース体４７を備えている。第１転写部３には、除振台４９が設けられている。除振台４９は、ベース体４７の上でベース体４７に一体的に設けられている。第１転写部３のマスターモールド保持体１１は、除振台４９の上面で除振台４９に一体的に設けられている。

【0150】

除振台４９の上方には、支柱５１と下側支柱保持体（図示せず）と上側支柱保持体５３とが設けられている。支柱５１と下側支柱保持体と上側支柱保持体５３とは一体化している。下側支柱保持体（支柱５１、上側支柱保持体５３）は、図示しないリニアガイドベアリングを介して除振台４９に支持されており、Ｘ軸方向で除振台４９に対して移動するようになっている。

【0151】

また、下側支柱保持体（支柱５１、上側支柱保持体５３）は、図示しないサーボモータ等のアクチュエータやボールネジによって、制御装置（ＣＰＵを含む制御装置）の制御の下、除振台４９（マスターモールド保持体１１）に対してＸ軸方向で移動位置決めされるようになっている。

【0152】

支柱５１には、リニアガイドベアリング５５を介して移動体５７が支持されている。移動体５７は、Ｚ軸方向で支柱５１対して移動するようになっている。また、移動体５７は、サーボモータ５９等のアクチュエータとボールネジ６１によって、制御装置の制御の下、支柱５１（除振台４９、マスターモールド保持体１１）に対してＺ軸方向で移動位置決めされるようになっている。

【0153】

移動体５７には、ローラ支持体６３が一体的に設けられており、ローラ支持体６３が各ローラ１３，１５，１７，１９を回転自在に支持している。これにより、各ローラ１３，１５，１７，１９は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向でマスターモールド保持体１１に対して移動位置決め自在になっている。

【0154】

なお、各ローラ１３，１５，１７，１９は、図示しないサーボモータ等のアクチュエータで回転するようになっているが、ローラ支持体６３が各ローラ１３，１５，１７，１９をフリーの状態で回転自在に支持している構成であってもよい。

【0155】

また、ローラ支持体６３には、紫外線発生装置２５とノズル２７が一体的に設けられている。

【0156】

なお、下側支柱保持体（支柱５１、上側支柱保持体５３）を移動位置決めすることに代えてもしくは加えて、マスターモールド保持体１１を除振台４９に対して移動位置決めするように構成されていてもよい。

【0157】

第２転写部５には、除振台６５が設けられている。除振台６５は、ベース体４７の上でベース体４７に一体的に設けられている。なお、除振台６５が除振台４９と一体のもので構成されていてもよい。第２転写部５の被成形体保持体２９は、除振台６５の上面で除振台６５に一体的に設けられている。

【0158】

被成形体保持体２９には、リフトピン６７が設けられている。リフトピン６７は、図示しない制御装置の制御の下、図示しない空気圧シリンダ等のアクチュエータでＺ軸方向に移動するようになっている。

【0159】

リフトピン６７が下方に位置しているとき、リフトピン６７は、被成形体保持体２９内に埋没している。リフトピン６７が上方に位置しているとき、リフトピン６７は、被成形体保持体２９の被成形体設置面３９から上方に突出している。

【0160】

除振台６５の上方には、支柱６９と下側支柱保持体（図示せず）と上側支柱保持体７１とが設けられている。支柱６９と下側支柱保持体と上側支柱保持体７１とは一体化している。下側支柱保持体（支柱６９、上側支柱保持体７１）は、図示しないリニアガイドベアリングを介して除振台６５に支持されており、Ｘ軸方向で除振台６５に対して移動するようになっている。

【0161】

また、下側支柱保持体（支柱６９、上側支柱保持体７１）は、図示しないサーボモータ等のアクチュエータやボールネジによって、制御装置の制御の下、除振台６５（被成形体保持体２９）に対してＸ軸方向で移動位置決めされるようになっている。

【0162】

支柱６９には、リニアガイドベアリング７３を介して移動体７５が支持されている。移動体７５は、Ｚ軸方向で支柱６９対して移動するようになっている。また、移動体７５は、サーボモータ７７等のアクチュエータとボールネジ７９によって、制御装置の制御の下、支柱６９（除振台６５、被成形体保持体２９）に対してＺ軸方向で移動位置決めされるようになっている。

【0163】

移動体７５には、ローラ支持体８１が一体的に設けられており、ローラ支持体８１が各ローラ３１，３３，３５，３７を回転自在に支持している。これにより、各ローラ３１，３３，３５，３７は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向で被成形体保持体２９に対して移動位置決め自在になっている。

【0164】

なお、各ローラ３１，３３，３５，３７は、図示しないサーボモータ等のアクチュエータで回転するようになっているが、ローラ支持体８１が各ローラ３１，３３，３５，３７をフリーの状態で回転自在に支持している構成であってもよい。

【0165】

また、ローラ支持体８１には、紫外線発生装置４３とノズル４５が一体的に設けられている。

【0166】

なお、下側支柱保持体（支柱６９、上側支柱保持体７１）を移動位置決めすることに代えてもしくは加えて、被成形体保持体２９を除振台６５に対して移動位置決めするように構成されていてもよい。

【0167】

レプリカモールド原反設置部７とレプリカモールド巻き取り部９とは、ベース体４７（除振台４９，６５でもよい。）に設けられている。

【0168】

レプリカモールド原反設置部７と第１転写部３との間には、レプリカモールドＭＢが巻き掛けられるガイドローラ８３Ａ〜８３Ｄが設けられている。ガイドローラ８３Ａ〜８３Ｄは、ベース体４７（除振台４９でもよい。）に設けられている。

【0169】

なお、ガイドローラ８３Ｂは、ダンサローラであり、Ｚ軸方向で移動位置決めされるようになっている。また、ガイドローラ８３Ｃ，８３Ｄは、ガイドローラ８３Ｃ，８３Ｄと第１転写部の第２ローラ１５との間でレプリカモールドＭＢが水平に展開するように、たとえば、第２ローラ１５のＺ軸方向の移動位置決めに応じて、Ｚ軸方向で移動位置決め自在になっている。

【0170】

第２転写部５とレプリカモールドモールド巻き取り部９との間には、Ｚ軸方向で移動位置決め自在なガイドローラ８５が設けられており、第２転写部の第４ローラ３７とガイドローラ８５との間でレプリカモールドＭＢが水平に展開するようになっている。ガイドローラ８５は、ベース体４７（除振台６５でもよい。）に設けられている。

【0171】

次に転写装置１の動作について説明する。

【0172】

初期状態として、図６に示すように、レプリカモールド原反設置部７とレプリカモールド巻き取り部９との間で、レプリカモールドＭＢが板状になって延びて停止しているものとする。

【0173】

第１転写部３では、マスターモールドＭＡがマスターモールド保持体１１に保持されており、各ローラ１３，１５，１７，１９が、Ｘ軸方向では、マスターモールド保持体１１から離れ第２転写部５側に位置しており、Ｚ軸方向では、転写をするための位置決めがなされている。紫外線発生装置２５は紫外線を発していない。

【0174】

第２転写部５では、被成形体保持体２９には、被成形体Ｗが設置されておらず、リフトピン６７が下降しており、各ローラ３１，３３，３５，３７が、Ｘ軸方向では、被成形体保持体２９から離れレプリカモールド巻き取り部９側に位置しており、Ｚ軸方向では、転写をするための位置決めがなされている。紫外線発生装置４３は紫外線を発していない。

【0175】

上記初期状態で、ノズル２７から未硬化の紫外線硬化樹脂（被成形物）ＭＢ１を吐出してマスターモールドＭＡに被成形物ＭＢ１を薄膜状に設けるとともに、各ローラ１３，１５，１７，１９をノズル２７および紫外線発生装置２５といっしょにレプリカモールド原反設置部７側に移動し、紫外線発生装置２５が紫外線を発して被成形物ＭＢ１を硬化し、さらに、レプリカモールドＭＢをマスターモールドＭＡから剥がす（図７参照）。

【0176】

各ローラ１３，１５，１７，１９等の移動は、各ローラ１３，１５，１７，１９がＸ軸方向でマスターモールド保持体１１から離れるまで行う（図８参照）。

【0177】

これにより、マスターモールドＭＡの微細な転写パターンＭＡ１が、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドＭＢに転写される（第１転写写工程）。

【0178】

続いて、リフトピン６７を上昇し、図示しないロボット等により被成形体用基材Ｗ３をリフトピン６７に載置し、この後、リフトピン６７を下降し、被成形体保持体２９に被成形体用基材Ｗ３を設置する。

【0179】

続いて、ノズル４５から未硬化の紫外線硬化樹脂（被成形物）Ｗ２を吐出して被成形体用基材Ｗ３に被成形物Ｗ２を薄膜状に設けるとともに、各ローラ３１，３３，３５，３７をノズル４５および紫外線発生装置４３といっしょにレプリカモールド原反設置部７側に移動し、紫外線発生装置４３が紫外線を発して被成形物Ｗ２を硬化し、さらに、レプリカモールドＭＢを被成形体Ｗから剥がす（図９参照）。

【0180】

各ローラ３１，３３，３５，３７等の移動は、各ローラ３１，３３，３５，３７がＸ軸方向で被成形体保持体２９から離れるまで行う（図１０参照）。

【0181】

これにより、第１転写工程で形成されたレプリカモールドＭＢの微細な転写パターンＭＢ２が被成形体Ｗに転写される（２転写工程）。

【0182】

続いて、リフトピン６７を上昇し、図示しないロボット等により、微細な転写パターンＷ１が転写された被成形体Ｗを搬出し、リフトピン６７を下降する。

【0183】

続いて、各ローラ１３，１５，１７，１９，３１，３３，３５，３７等をレプリカモールド巻き取り部９側に戻す等することで、上述した初期状態に戻る。

【0184】

なお、上記説明では、第１転写部３の動作が終えてから第２転写部５が動作をするようになっているが、第１転写部３の動作と第２転写部５が動作とは並行してなされるものとする。すなわち、第２転写部５で被成形体Ｗへの転写がなされているときに、次の転写を第１転写部３で行うようになっている。

【0185】

転写装置１によれば、被成形体Ｗに微細な転写パターンＭＢ２を転写する際、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドＭＢを通して被成形体Ｗの被成形物（未硬化の紫外線硬化樹脂）Ｗ２に紫外線を照射し被成形物Ｗ２を硬化することができるので、被成形体Ｗとして光を透過しない材料を採用することができ、被成形体Ｗの仕様の自由度を広げることができる。

【0186】

また、レプリカモールドＭＢに微細な転写パターンＭＡ１を転写する際、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドＭＢを通して転写パターン形成体（未硬化の紫外線硬化樹脂）ＭＢ１に紫外線を照射し転写パターン形成体ＭＢ１を硬化することができるので、マスターモールドＭＡとして光を透過しない材料を採用することができ、マスターモールドＭＡの仕様の自由度を広げることができる。

【0187】

また、レプリカモールドＭＢが可撓性を備えているので、被成形体Ｗへの微細な転写パターンＭＢ２の転写が終えてレプリカモールドＭＢが被成形体Ｗにくっついている状態からでも、レプリカモールドＭＢをめくることでレプリカモールドＭＢを被成形体Ｗから離すことができる。これにより、レプリカモールドＭＢを被成形体Ｗから離す際、被成形体Ｗを変形させる必要が無くなり、たとえば、被成形体Ｗが傷付くことが防止される。

【0188】

また、転写装置１によれば、レプリカモールド原反設置部７とレプリカモールド巻き取り部９とを備えているので、レプリカモールドＭＢの交換を正確かつ容易に行うことができる。

【0189】

詳しく説明すると、レプリカモールドＭＢは耐久性が低いため、１回の転写をする毎にもしくは数回の転写をする毎に交換する必要がある。

【0190】

転写装置１では、レプリカモールド原反設置部７とレプリカモールド巻き取り部９とが設けられているので、レプリカモールドＭＢの交換をするとき、レプリカモールド巻き取り部９で所定の長さだけレプリカモールドＭＢを巻き取り、レプリカモールド原反設置部７のレプリカモールド原反ＭＢ３からレプリカモールドＭＢの新しい部分（転写に使用されていない部分）を引き出せばよく、レプリカモールドＭＢを転写部３，５から一旦取り外して再び設置する操作が不要になり、レプリカモールドＭＢの交換を正確かつ容易におこなうことができる。

【0191】

また、レプリカモールドＭＢの交換を迅速におこなうことができるので、転写装置１で要したレプリカモールドＭＢの交換時間を被成形体Ｗへの転写に使用することができ、転写を効率良く行うことができる。

【0192】

第１転写部３が第１〜第４ローラ１３，１５，１７，１９を備えており、各ローラ１３，１５，１７，１９がＸ軸方向の一方向に移動するだけで、第１ローラ１３で転写がなされ後ただちに第３ローラ１７でマスターモールドＭＡからレプリカモールドＭＢを離すので、レプリカモールドＭＢへの微細な転写パターンＭＡ１の転写を効率良く行うことができる。

【0193】

また、転写装置１によれば、同様にして、第２転写部５が第１〜第４ローラ３１，３３３，３５，３７を備えており、各ローラ３１，３３，３５，３７がＸ軸方向の一方向に移動するだけで、第１ローラ３１で転写がなされ後ただちに第３ローラ３５で被成形体ＷからレプリカモールドＭＢを離すので、被成形体Ｗへの微細な転写パターンＭＢ２の転写を効率良く行うことができる。

【0194】

また、転写装置１によれば、第１転写部の第４ローラ１９と第２転写部の第２ローラ３３とに、巻き掛けられたレプリカモールドＭＢの微細な転写パターンＭＢ２の接触を回避するための小径部２３，４１が形成されているので、レプリカモールドＭＢの張力によって微細な転写パターンＭＢ２がつぶれてしまうことを防止することができる。

【0195】

また、転写装置１によれば、第１ローラ１３（３１）と第２ローラ１５（３３）とでレプリカモールドＭＢを挟み込込んでいるので、第２ローラ１５（３３）を第１ローラ１３（３１）のバックアップローラとして作用させることができ、転写をするときに被成形体Ｗ等から受ける反力による第１ローラ１３（３１）の撓みを極力少なくすることができる。

【0196】

また、転写装置１によれば、各ローラ１３，１５，１７，１９に巻き掛けられ各ローラ１３，１５，１７，１９から延出しているレプリカモールドＭＢがマスターモールド設置面２１と平行になっており、各ローラ３１，３３，３５，３７に巻き掛けられ各ローラ３１，３３，３５，３７から延出しているレプリカモールドＭＢが被成形体設置面３９と平行になっているので、転写のために各ローラ１３，１５，１７，１９，３１，３３，３５，３７がＸ軸方向で移動しても、レプリカモールド原反設置部７とレプリカモールド巻き取り部９との間で延伸しているレプリカモールドＭＢの長さ調整をする必要がほぼ無くなり、転写装置１の構成を簡素化することができる。

【0197】

なお、転写装置１において、図１１で示すように、第１転写部３が、側面に微細な転写パターンＭＡ１が形成されている円柱状のマスターモールドＭＡ２を備えて構成されていてもよい。そして、レプリカモールドＭＢへの転写が、マスターモールドＭＡにレプリカモールドＭＢが巻き掛けられることでなされるように構成されていてもよい。

【0198】

図１１で示す参照符号８７は、レプリカモールドＭＢの被成形物ＭＢ１を供給するノズルである。

【0199】

また、微細な転写パターンＭＡ１は、マスターモールドＭＡ２に一体で形成されていてもよいし、微細な転写パターンＭＡ１を薄いシート状のものに設け、この薄いシート状のものをマスターモールドＭＡ２の本体に巻き付けて一体的に設けた構成であってもよい。

【符号の説明】

【0200】

１ 転写装置
３ 第１転写部
５ 第２転写部
７ レプリカモールド原反設置部
９ レプリカモールド巻き取り部
１１ マスターモールド保持体
１３ 第１転写部の第１ローラ（転写ローラ）
１７ 第１転写部の第３ローラ（剥離ローラ）
２９ 被成形体保持体
３１ 第２転写部の第１ローラ（転写ローラ）
３５ 第２転写部の第３ローラ（剥離ローラ）
Ｃ３ 第１転写部の第１ローラ（転写ローラ）の中心軸
Ｃ５ 第１転写部の第３ローラ（剥離ローラ）の中心軸
Ｃ７ 第２転写部の第１ローラ（転写ローラ）の中心軸
Ｃ９ 第２転写部の第３ローラ（剥離ローラ）の中心軸
ＭＡ、ＭＡ２ マスターモールド
ＭＡ１ マスターモールドの微細な転写パターン
ＭＢ レプリカモールド
ＭＢ２ レプリカモールドの微細な転写パターン
Ｗ 被成形体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】