特許 5943573 シート製造装置及び製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5943573

(24)【登録日】2016年6月3日

(45)【発行日】2016年7月5日

(54)【発明の名称】シート製造装置及び製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20160621BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

【請求項の数】3

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2011-211953(P2011-211953)

(22)【出願日】2011年9月28日

(65)【公開番号】特開2013-74102(P2013-74102A)

(43)【公開日】2013年4月22日

【審査請求日】2014年6月5日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100101188

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 義雄

(72)【発明者】

【氏名】石原 崇

【審査官】 西出 隆二

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−０２１２４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１４２３３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１４９７６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１６５３６４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、
所定の剥離位置で前記不要シートを前記剥離シートから剥離して当該不要シートを巻き取る不要シート巻取手段とを含むシート製造装置であって、
前記不要シート巻取手段は、検出手段によって不要シートのゆるみが検出された位置よりも前記原反の繰出方向上流側で、押え手段によって前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シート側に押さえ付けた状態から、前記剥離シートから前記不要シートを剥離する位置を、前記押え手段で押さえ付けられた前記接着シートの繰出方向先端部の位置よりも前記原反の繰出方向上流側へ移動させることにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離すことを特徴とするシート製造装置。

【請求項2】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、
前記不要シートを巻き取る不要シート巻取手段とを含むシート製造装置であって、
前記不要シート巻取手段は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付け可能な押え手段を備え、前記押え手段で接着シートを押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離し可能に設けられ、
前記押え手段は、前記接着シートの繰出方向先端部を保持して当該接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シートから剥離可能な予備剥離手段を有することを特徴とするシート製造装置。

【請求項3】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
所定の剥離位置で前記不要シートを前記剥離シートから剥離して当該不要シートを巻き取る不要シート巻取工程とを備え、
前記不要シート巻取工程は、検出手段によって不要シートのゆるみが検出された位置よりも前記原反の繰出方向上流側で、押え手段によって前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シート側に押さえ付けた状態から、前記剥離シートから前記不要シートを剥離する位置を、前記押さえ手段で押さえ付けられた前記接着シートの繰出方向先端部の位置よりも前記原反の繰出方向上流側へ移動させることにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離すことを特徴とするシート製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート製造装置及び製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で閉ループ状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置では、切込形成後であって、接着シートを剥離シートから剥離する前に、切込の外側に形成された不要シートを剥離シートから剥離して巻き取る巻取手段を有するものが知られている。かかる装置によれば、巻取手段を経て、剥離シートに接着シートだけが仮着された原反をピールプレートに繰り出すことで、接着シートの剥離及び貼付を行えるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−１１６９２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、近時、ウエハにあっては大径化される傾向があり、これに応じて接着シートの径寸法も大きくなる。従って、図２に示されるように、接着シートＡＳは、その繰出方向先端部における当該接着シートＡＳの繰出方向に沿った一定の間隔（以下、「先端縦間隔Ｓｘ」という）に対し、先端縦間隔Ｓｘ進んだ位置での接着シートＡＳの繰出方向に直交する方向に沿った間隔（以下、「先端横間隔Ｓｙ」という）の割合（以下「先端縦横比Ｓｘｙ」という）が大きくなり、微視的に見ると恰も直線であるかのような状態となる。この先端縦横比Ｓｘｙが大きくなると、巻取手段で接着シートＡＳの繰出方向先端部の不要シートを接着シートＡＳから切り離すときに、その切り離しが一挙に広範囲で行われることになる。このような場合、切断手段で形成した切込が不十分で、例えば、接着シートＡＳと不要シートとが完全に分断されていなかったり、接着シートＡＳと不要シートとの接着剤同士が再接着してしまったりしていた場合、接着シートＡＳと不要シートとの切り離しに要する力が接着シートＡＳと剥離シートとの剥離に要する力を上回ってしまうことがあり、当該接着シートＡＳが不要シートと共に巻取手段で巻き取られて接着シートＡＳの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。かかる不都合は、接着シートが方形等に形成され、繰出方向前端が直線に形成されて原反の幅方向に長くなる場合にも、同様に発生する。

【0005】

［発明の目的］
本発明の目的は、接着シートの形状に拘わらず、不要シートの剥離、ひいては、接着シートの貼付を良好に行うことができるシート製造装置及び製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0012】

前記目的を達成するため、本発明は、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、
所定の剥離位置で前記不要シートを前記剥離シートから剥離して当該不要シートを巻き取る不要シート巻取手段とを含むシート製造装置であって、
前記不要シート巻取手段は、検出手段によって不要シートのゆるみが検出された位置よりも前記原反の繰出方向上流側で、押え手段によって前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シート側に押さえ付けた状態から、前記剥離シートから前記不要シートを剥離する位置を、前記押え手段で押さえ付けられた前記接着シートの繰出方向先端部の位置よりも前記原反の繰出方向上流側へ移動させることにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離す、という構成を採っている。
また、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、
前記不要シートを巻き取る不要シート巻取手段とを含むシート製造装置であって、
前記不要シート巻取手段は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付け可能な押え手段を備え、前記押え手段で接着シートを押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離し可能に設けられ、
前記押え手段は、前記接着シートの繰出方向先端部を保持して当該接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シートから剥離可能な予備剥離手段を有する、という構成を採っている。

【0013】

更に、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
所定の剥離位置で前記不要シートを前記剥離シートから剥離して当該不要シートを巻き取る不要シート巻取工程とを備え、
前記不要シート巻取工程は、検出手段によって不要シートのゆるみが検出された位置よりも前記原反の繰出方向上流側で、押え手段によって前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シート側に押さえ付けた状態から、前記剥離シートから前記不要シートを剥離する位置を、前記押さえ手段で押さえ付けられた前記接着シートの繰出方向先端部の位置よりも前記原反の繰出方向上流側へ移動させることにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離す、という方法を採っている。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、接着シートを押さえ付けながら、少なくとも接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離すので、確実に不要シートだけを剥離シートから剥離することができる。これにより、切断手段で形成した切込が不十分であったり、接着シートと不要シートとの接着剤同士が再接着してしまったりした場合でも、接着シートが不要シートと共に巻き取られることを確実に回避することができ、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、不要シートと共に接着シートが巻き取られてしまい、部分的に接着シートが仮着されていない原反が生産されてしまうことを防止することができ、当該原反が切断刃のない特許文献１のような接着シート貼付装置に採用されたときに、接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。

【0016】

更に、押え部材及び受け部材を原反の繰出方向に移動可能な移動手段を有する場合、押え部材及び受け部材で原反を挟み込みながら原反の繰り出しを行うことができるので、原反の繰り出しを停止させることなく接着シートと不要シートとを切り離すことができ、処理能力が低下することを防止することが可能となる。その上、原反固有の接着シート間隔に応じて押え部材及び受け部材を移動させることができ、原反に対する汎用性を良好に発揮させることが可能となる。

【0017】

また、接着シートの繰出方向先端部を保持して剥離シートから剥離可能な予備剥離手段を有する場合、剥離手段で接着シートを剥離する前に、接着シートの繰出方向先端部を一旦予備的に剥離することができる。これにより、剥離手段で剥離シートを折り返したときに、接着シートも同様に折り返されてしまい、剥離シートから接着シートが剥離できなくなることを防止でき、これによっても、接着シートが貼付不能になることを回避することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。

【図2】不要シート巻取手段の概略斜視図。

【図3】押え部材の概略斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。

【0020】

図１及び図２において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な不要シート巻取手段１６と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。

【0021】

前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。

【0022】

前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側で回転可能に設けられたダイカットローラ３６と、原反ＲＳの剥離シートＲＬ側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられたプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を回転させる駆動機器としての回動モータＤＭ３と、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する間隔調整手段であって図示しない直動モータ等の駆動機器とを備えている。

【0023】

前記ダイカットローラ３６は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃４０を備え、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込ＣＵを形成可能に設けられている。切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が剥離板１８によって剥離シートＲＬから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Ｓａ（図２参照）となる。

【0024】

ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。

【0025】

前記不要シート巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵが形成された後の帯状シートＷＳ側に位置し、接着シートＡＳを剥離シートＲＬ側に押さえ付け可能な押え手段４２と、この押え手段４２を経た後の不要シートＵＳを挟み込む第３駆動ローラ４３及び第３ピンチローラ４４と、これらを通過した後の不要シートＵＳを駆動機器として回動モータＤＭ４によって所定のトルクで巻き取る巻取軸４６とを備えている。第３駆動ローラ４３は、駆動機器となる張力調整手段としての回動モータＤＭ５を介して回転可能に設けられている。回動モータＤＭ５は、正逆回転可能であってトルク調整可能に設けられ、この調整により、押え手段４２と第３駆動ローラ４３との間の不要シートＵＳに張力を付与できるように設けられている。

【0026】

前記押え手段４２は、図３に示されるように、平面視で接着シートＡＳの初期剥離領域Ｓａの平面形状と同形状に設けられ、正面視において下端に向かって徐々に尖った形状をなす凸部５０Ａ及び、当該凸部５０Ａを支えるショルダ部５０Ｂとからなる押え部材５０と、凸部５０Ａの下端側であって剥離シートＲＬ側に配置され、凸部５０Ａとで原反ＲＳを挟み込み可能なローラからなる受け部材５１と、押え部材５０を左右方向に移動可能に支持する駆動機器としての直動モータからなる間隔調整手段５３と、この間隔調整手段５３及び受け部材５１を支持する支持フレーム５４と、この支持フレーム５４を原反ＲＳの繰出方向沿って往復移動可能つまり、上下方向に移動可能な駆動機器としての直動モータからなる移動手段５５と、不要シートＵＳの垂れ下がりを検知可能な撮像手段や光学センサ等の検知手段５６とを備えている。押え部材５０は、凸部５０Ａで接着シートＡＳを押さえ付けつつ、ショルダ部５０Ｂの下端で不要シートＵＳを折り返し可能に設けられている。押え部材５０及び受け部材５１は、間隔調整手段５３を作動することにより離間接近可能に設けられ、原反ＲＳの厚みに応じ、それらの間隔を調整可能となっている。凸部５０Ａの下部右面側の面には、基材シートＢＳ表面を吸着可能な吸着面とされている。これにより、図１（Ｂ）に示されるように、押え部材５０で接着シートＡＳの初期剥離領域Ｓａを吸着保持しながら、間隔調整手段５３を作動して押え部材５０を左方向に移動することにより、初期剥離領域Ｓａを剥離シートＲＬから一時的に剥離可能となる。なお、押え部材５０及び間隔調整手段５３により、予備剥離手段が構成される。

【0027】

次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。

【0028】

まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間、及び、押え部材５０と受け部材５１との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳのリード端を巻取軸４６に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。また、原反ＲＳの厚みを図示しないコンピュータやシーケンサ等の制御手段に入力しておく。押え部材５０は、制御手段に入力された原反ＲＳの厚みを基に、当該原反ＲＳの厚みより更に１ｍｍの間隔をもって受け部材５１から離間するように制御されている。本実施形態では、図１に示されるように、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない領域の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔとし、当該スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。

【0029】

そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ５を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。次いで、切断刃４０によって形成された接着シートＡＳにおける初期剥離領域Ｓａの下端が、図１（Ａ）の二点鎖線で示される押え部材５０の凸部５０Ａの下端に側面視で一致したことが図示しない撮像手段や光学センサ等の検知手段に検知されると、移動手段５５が原反の繰出速度と同速度で押え部材５０を繰出方向に移動させつつ、間隔調整手段５３が押え部材５０を受け部材５１側に移動させ、初期剥離領域Ｓａを押え部材５０と受け部材５１とで挟みこむ。なお、剥離シートＲＬから剥離された不要シートＵＳは、図１（Ａ）中二点鎖線で示されるように、検知手段５６の検知によって所定の弛みが形成されつつ、不要シート巻取手段１６で巻き取られるようになっている。

【0030】

そして、押え部材５０が所定の位置に到達したことが図示しない検知手段によって検知されると、回動モータＤＭ５のトルクを調整し、弛ませていた不要シートＵＳに張力を付与し、図１（Ａ）中実線で示されるように、強制的に接着シートＡＳと不要シートＵＳとを切り離す。剥離シートＲＬから剥離された不要シートＵＳは、第３駆動ローラ４３を経て当該第３駆動ローラ４３と同期回転する巻取軸４６により巻き取られる。これにより、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸４６方向へ共上がりすることはない。

【0031】

その後、凸部５０Ａの下端側における吸着面により初期剥離領域Ｓａを吸着し、図１（Ｂ）に示されるように、間隔調整手段５３を作動して押え部材５０を受け部材５１から離れる方向に移動し、当該押え部材５０に吸着保持された接着シートＡＳの初期剥離領域Ｓａを剥離シートＲＬから強制的に剥離させた後、押え部材５０の吸着を停止する。これにより、接着剤層ＡＤが剥離シートＲＬの剥離処理が施されていない内部にまで達していたとしても、これを断ち切ることができ、接着シートＡＳが剥離板１８で剥離されることなく、剥離シートＲＬと共に巻取軸３４方向に繰り出されることを防止することができる。なお、押え部材５０は、吸着を停止した後、図１（Ａ）中二点鎖線で示される初期位置に復帰される。

【0032】

次いで、押え手段４２を経た後の原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。

【0033】

従って、このような実施形態によれば、押え手段４２で接着シートＡＳを押さえ付けながら、不要シートＵＳの張力を増大することによって、接着シートＡＳと不要シートＵＳとを切り離すことができる。これにより、接着シートＡＳ外縁の曲率等、接着シートＡＳの形状やサイズに拘わらず、切り離しの確実性を高めて接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすること防止することができる。
また、剥離板１８で剥離を行う前に、接着シートＡＳの初期剥離領域Ｓａを一時的に剥離するので、接着シートＡＳの剥離シートからの剥離不良や、被着体への貼付不良を確実に防止することができる。この結果、接着シートＡＳが大径化しても、接着シートＡＳの剥離及び貼付を良好に行うことが可能となる。

【0034】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0035】

例えば、押え部材５０は、前記実施形態と同様に機能し得る限りにおいて、棒状や軸状の部材を用いたり、ローラを用いたりして構成してもよい。
更に、押え部材５０で接着シートＡＳを押さえ付けた状態で、接着シートＡＳ全体が不要シートＵＳと切り離される構成としてもよい。このとき押え部材５０は、接着シートＡＳ全体又は略全体を剥離シートＲＬ側に押さえ付け可能な形状とすることが好ましい。

【0036】

また、前記移動手段５５を省略し、接着シートＡＳの初期剥離領域Ｓａが押え部材５０の下端側に達したタイミングで原反ＲＳの繰り出しを停止してから、弛んだ不要シートＵＳの張力を増大させて接着シートＡＳとの切り離しを行ってもよい。但し、前記実施形態のように移動手段５５を利用した方が、原反ＲＳの繰り出しを停止せずに押え部材５０等と接着シートＡＳとの相対位置を維持して切り離しを行うことができ、処理能力が低下することを防止できる。

【0037】

更に、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。

【0038】

また、原反ＲＳにおける帯状シートＷＳが予め他の装置等によって、所定の間隔を隔てて所定形状の切込ＣＵが形成されることで当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳが形成されるとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳが形成されたものの場合、前記シート貼付装置１０の切断手段１５を省略することができる。このような場合にでも、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0039】

また、切断刃４０の平面形状は、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能である。

【0040】

更に、前記張力調整手段は、前記実施形態と同様に不要シートＵＳの張力を増加できる限りにおいて、種々の設計変更が可能である。例えば、第３駆動ローラ４３及び第３ピンチローラ４４を駆動機器により押え手段４２と相対移動可能に設けたり、不要シートＵＳの厚み方向に進退可能な出力軸により不要シートＵＳを押圧可能に設けたりすることで原反ＲＳの張力を増加してもよい。

【0041】

また、切断手段１５は、前記切込ＣＵを形成できる限りにおいて、レーザ光線等の他の切断手段を用いてもよい。
更に、切断刃４０は、エッチング加工により形成されるもの以外に、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。

【0042】

更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、前記実施形態と同様の機能を発揮する限りにおいて、種々の設計変更が可能である。
また、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の相対間隔を調整する間隔調整手段を所謂ベアラで構成してもよいし、切断刃４０とプラテンローラ３７との相対間隔は、原反ＲＳの厚みや性質、特に剥離シートＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
更に、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよいし、

【0043】

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【0044】

更に、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。

【符号の説明】

【0045】

１０ シート貼付装置
１４ 繰出手段
１５ 切断手段
１６ 不要シート巻取手段
１８ 剥離板（剥離手段）
１９ 押圧ローラ（押圧手段）
４２ 押え手段
５０ 押え部材
５１ 受け部材
５３ 間隔調整手段
５５ 移動手段
ＡＤ 接着剤層
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＵ 切込
ＤＭ５ 回動モータ（張力調整手段）
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反
Ｓａ 初期剥離領域（接着シートの繰出方向先端部）
ＵＳ 不要シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ 帯状シート

【図1】

【図2】

【図3】