特許 5943992 吸着ノズル

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5943992

(24)【登録日】2016年6月3日

(45)【発行日】2016年7月5日

(54)【発明の名称】吸着ノズル

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/06 20060101AFI20160621BHJP

   H05K 13/04 20060101ALI20160621BHJP

【ＦＩ】

   B25J15/06 N

   H05K13/04 A

【請求項の数】6

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-500778(P2014-500778)

(86)(22)【出願日】2012年2月21日

(86)【国際出願番号】JP2012054083

(87)【国際公開番号】WO2013124964

(87)【国際公開日】20130829

【審査請求日】2014年12月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】富士機械製造株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000992

【氏名又は名称】特許業務法人ネクスト

(74)【代理人】

【識別番号】100142974

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 和久

(74)【代理人】

【識別番号】100162237

【弁理士】

【氏名又は名称】深津 泰隆

(74)【代理人】

【識別番号】100191433

【弁理士】

【氏名又は名称】片岡 友希

(72)【発明者】

【氏名】岡 博充

(72)【発明者】

【氏名】林 哲生

(72)【発明者】

【氏名】手嶋 力茂

【審査官】 中田 善邦

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭６３−００７２９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０１−１４３３３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２６６３３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６３−０９７４３１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開昭６４−０８９４４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１２１９８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１７５５４３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２５Ｊ １／００−２１／０２，

Ｈ０５Ｋ １３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

回路基板に装着される装着部品を吸着保持する吸着ノズルにおいて、
吸着保持される装着部品に密着する面である密着面と、
その密着面に開口し、エアを吸引することで装着部品を吸着保持するための吸引口と、
前記密着面に形成される凹部と、
その凹部の内側に開口し、エアを吹出すことで装着部品を離脱させるための吹出口と、
正負圧供給装置に接続され、前記吸引口と前記吹出口とに連通し、正圧と負圧が選択的に供給されるエア通路と
を備えたことを特徴とする吸着ノズル。

【請求項2】

当該吸着ノズルが、
前記密着面に形成され、前記凹部から当該吸着ノズルの外周面にかけて切欠かれた切欠部を備えたことを特徴とする請求項１に記載の吸着ノズル。

【請求項3】

前記凹部の前記密着面への開口の断面積が、前記吹出口の断面積より大きいことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の吸着ノズル。

【請求項4】

当該吸着ノズルが、
前記エア通路の前記吹出口への流路に設けられ、前記エア通路から前記吹出口へのエアの流れを許容するとともに、前記吹出口から前記エア通路へのエアの流れを禁止する逆止弁を備えたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の吸着ノズル。

【請求項5】

当該吸着ノズルが、複数の前記吸引口を備え、
それら複数の吸引口が、前記凹部を囲むように配置されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の吸着ノズル。

【請求項6】

前記吹出口の断面積が、前記吸引口の断面積より大きいことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の吸着ノズル。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、回路基板に装着される装着部品を吸着保持する吸着ノズルに関するものである。

【背景技術】

【0002】

吸着ノズルは、負圧によって装着部品を吸着保持し、正圧によって装着部品を離脱することで、回路基板に対する装着部品の装着作業を行うことが可能とされている。装着部品には、粘着性の高い部材、例えば、ゴム材等を使用したものがあり、粘着性の高い部材を吸着ノズルによって吸着保持した場合には、その粘着性の高い部材が吸着ノズルに張り付いて、吸着ノズルから離脱し難い場合がある。また、粘着性の高い部材を使用していない装着部品であっても、静電気等により、装着部品が吸着ノズルに張り付いて、吸着ノズルから離脱し難い場合がある。そこで、下記特許文献に記載された吸着ノズルでは、吸着保持される装着部品に密着する面である密着面に、吸引口と吸着ノズルの外周面とを連通する流路が形成されている。これにより、装着部品を離脱する際に、密着面に形成された流路にエアが流れることで、装着部品が離脱され易くなっている。

【0003】

【特許文献1】特開２００９−１５４２１７号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記特許文献に記載の吸着ノズルでは、装着部品の離脱時において、ある程度、装着部品の離脱を好適に行えるようになっている。しかし、負圧によって装着部品を吸着保持する際に、吸引口からエアが吸引され、密着面に装着部品が密着しても、密着面に流路が形成されているため、吸引口は密閉されない。このため、吸着ノズルによる装着部品の保持力は低くなり、装着部品を適切に保持できない虞がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、装着部品の離脱および装着部品の吸着保持を好適に行うことが可能な吸着ノズルを提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決するために、本願の請求項１に記載の吸着ノズルは、回路基板に装着される装着部品を吸着保持する吸着ノズルにおいて、吸着保持される装着部品に密着する面である密着面と、その密着面に開口し、エアを吸引することで装着部品を吸着保持するための吸引口と、前記密着面に形成される凹部と、その凹部の内側に開口し、エアを吹出すことで装着部品を離脱させるための吹出口と、正負圧供給装置に接続され、前記吸引口と前記吹出口とに連通し、正圧と負圧が選択的に供給されるエア通路とを備えたことを特徴とする。

【0006】

また、請求項２に記載の吸着ノズルは、請求項１に記載の吸着ノズルにおいて、前記密着面に形成され、前記凹部から当該吸着ノズルの外周面にかけて切欠かれた切欠部を備えたことを特徴とする。

【0007】

また、請求項３に記載の吸着ノズルは、請求項１または請求項２に記載の吸着ノズルにおいて、前記凹部の前記密着面への開口の断面積が、前記吹出口の断面積より大きいことを特徴とする。

【0008】

また、請求項４に記載の吸着ノズルは、請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の吸着ノズルにおいて、前記エア通路の前記吹出口への流路に設けられ、前記エア通路から前記吹出口へのエアの流れを許容するとともに、前記吹出口から前記エア通路へのエアの流れを禁止する逆止弁を備えたことを特徴とする。

【0009】

また、請求項５に記載の吸着ノズルは、請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の吸着ノズルにおいて、複数の前記吸引口を備え、それら複数の吸引口が、前記凹部を囲むように配置されることを特徴とする。

【0010】

また、請求項６に記載の吸着ノズルは、請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の吸着ノズルにおいて、前記吹出口の断面積が、前記吸引口の断面積より大きいことを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

請求項１に記載の吸着ノズルでは、密着面に吸引口と凹部とが形成され、凹部の内部にエアの吹出口が開口している。このため、吸引口からエアが吸引され、密着面に装着部品が密着すると、その装着部品によって吸引口は密閉される。これにより、大きな保持力で装着部品を吸着保持することが可能となる。また、装着部品の離脱時には、凹部に開口する吹出口からエアが吹出されることで、好適に装着部品を離脱することが可能となっている。さらに、密着面に形成された凹部によって、吸着ノズルと装着部品との密着面積は、小さくされている。これにより、より好適に装着部品を離脱することが可能となっている。したがって、請求項１に記載の吸着ノズルによれば、装着部品の離脱および装着部品の吸着保持を好適に行うことが可能となる。また、請求項１に記載の吸着ノズルでは、正負圧供給装置に接続されるエア通路が形成され、そのエア通路に吸引口と吹出口とが連通している。そして、そのエア通路に正圧と負圧とが選択的に供給される。つまり、１本のエア通路によって、吹出口からのエアの吹出および吸引口によるエアの吸引を行うことが可能となる。したがって、請求項１に記載の吸着ノズルによれば、シンプルな構造の吸着ノズルを構築することが可能となる。

【0012】

また、請求項２に記載の吸着ノズルでは、密着面に、凹部から吸着ノズルの外周面にかけて切欠かれた切欠部が形成されている。これにより、吹出口から吹出されたエアが吸着保持された装着部品に向かって流れ、そのエアの流れによって、より好適に装着部品を離脱することが可能となっている。また、切欠部は吸引口に連通しておらず、装着部品の吸着保持時の吸引口の密閉は維持されるため、吸着ノズルによる装着部品の保持力が低下することは無い。

【0013】

また、請求項３に記載の吸着ノズルでは、凹部の密着面への開口の断面積が、吹出口の断面積より大きくされている。つまり、凹部１００をバッファとして機能させ、吹出口から吹出されるエアを吸着保持された装着部品が受ける面積を大きくすることが可能となる。これにより、好適に装着部品を離脱することが可能となる。

【0014】

また、請求項４に記載の吸着ノズルでは、エア通路の吹出口への流路に逆止弁が設けられており、その逆止弁によって、吹出口からエア通路へのエアの流れが禁止されている。これにより、吹出口がエアの吹き出し専用の開口となる。

【0015】

また、請求項５に記載の吸着ノズルでは、複数の吸引口が吹出口を囲むように配置されている。これにより、装着部品をバランスよく保持することが可能となる。

【0016】

また、請求項６に記載の吸着ノズルでは、吹出口の断面積が吸引口の断面積より大きくされている。これにより、装着部品を離脱する際のエアの吹出量を多くすることが可能となり、好適に装着部品を離脱することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の実施例である吸着ノズルが装着された電子部品装着装置を示す斜視図である。

【図2】図１に示す電子部品装着装置の備える装着ヘッドを、上部カバーを取り外した状態で示す斜視図である。

【図3】図２に示す装着ヘッドの有する吸着ノズルを示す断面図である。

【図4】図３に示すＡＡ線における断面図である。

【図5】変形例１の吸着ノズルを示す断面図である。

【図6】図５に示すＤＤ線における断面図である。

【図7】変形例２の吸着ノズルを示す断面図である。

【図8】図７に示すＦＦ線における断面図である。

【発明を実施するための最良の形態】

【0018】

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例および変形例を、図を参照しつつ詳しく説明する。

【0019】

＜電子部品装着装置の構成＞
図１に、電子部品装着装置（以下、「装着装置」と略す場合がある）１０を示す。その図は、装着装置１０の外装部品の一部を取り除いた斜視図である。装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に互いに隣接されて並んで配列された２つの電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１６とを含んで構成されており、回路基板に電子部品等を含む装着部品を装着する作業を行うものとされている。なお、以下の説明において、装着機１６の並ぶ方向をＸ軸方向とし、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。

【0020】

装着装置１０の備える装着機１６の各々は、主に、フレーム部２０とそのフレーム部２０に上架されたビーム部２２とを含んで構成された装着機本体２４と、回路基板をＸ軸方向に搬送するとともに設定された位置に固定する搬送装置２６と、その搬送装置２６によって固定された回路基板に装着部品を装着する装着ヘッド２８と、ビーム部２２に配設されて装着ヘッド２８をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる移動装置３０と、フレーム部２０の前方に配設され装着ヘッド２８に装着部品を供給する供給装置３２とを備えている。

【0021】

搬送装置２６は、２つのコンベア装置４０，４２を備えており、それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部２０のＹ軸方向での中央部に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送するとともに、所定の位置において回路基板を固定的に保持する構造とされている。

【0022】

移動装置３０は、ＸＹロボット型の移動装置であり、装着ヘッド２８を保持するスライダ４６をＸ方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えており、それら２つの電磁モータの作動によって、装着ヘッド２８を任意の位置に移動させることが可能となっている。

【0023】

供給装置３２は、フレーム部２０の前方側の端部に配設されており、フィーダ型の供給装置とされている。フィーダ型の供給装置３２は、装着部品がテーピング化されたテープ化部品から装着部品を装着ヘッド２８への供給位置に順次供給する構造とされており、テープ化部品が巻回された複数のテープフィーダ４８と、それら複数のテープフィーダ４８の各々を送り出す複数の送り装置（図示省略）とを有している。

【0024】

装着ヘッド２８は、搬送装置２６によって保持された回路基板に対して装着部品を装着するものであり、図２に示すように、電子部品を吸着する吸着ノズル５０を先端部に保持する装着ユニット５２を複数備えている。各吸着ノズル５０は、正負圧供給装置（図示省略）が接続されたエア通路に通じており、負圧にて電子部品を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持した電子部品を離脱する構造とされている。概して軸状をなす装着ユニット５２は、間欠回転するユニット保持体５６の外周部に、等角度ピッチで、軸方向が垂直となる状態に保持されており、吸着ノズル５０は、ユニット保持体５６の下面から下方に向かって延び出している。

【0025】

また、ユニット保持体５６は、保持体回転装置５８によって、装着ユニット５２の配設角度ピッチに等しい角度ずつ間欠回転させられ、そのユニット保持体５６に保持される装着ユニット５２が間欠回転させられる。間欠回転における装着ユニット５２の１つの停止位置である昇降ステーション（最も前方に位置するステーション）において、そのステーションに位置する装着ユニット５２は、ユニット昇降装置６０によって昇降させられる。また、昇降ステーションとは別の停止位置が、ユニット自転ステーションとされており、そのステーションにおいて、そのステーションに位置する装着ユニット５２が、ユニット自転装置６２によって自転させられる。これにより、吸着保持された電子部品の上下方向の位置および電子部品の保持姿勢を変更することが可能とされている。

【0026】

上述した構造により、装着機１６では、搬送装置２６に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２８によって装着部品の装着作業を行うことが可能とされている。具体的には、まず、搬送装置２６によって、回路基板が装着作業位置まで搬送されるとともに、その位置において回路基板が固定的に保持される。そして、供給装置３２のテープフィーダ４８による装着部品の供給位置に、装着ヘッド２８が移動装置３０によって移動させられ、その供給位置において、装着ヘッド２８の吸着ノズル５０が、負圧を利用して装着部品を吸着保持する。次に、装着部品を保持した状態の装着ヘッド２８が、移動装置３０によって回路基板上の装着位置に移動させられ、吸着ノズル５０が、正圧を利用して装着部品を離脱することで、回路基板に装着部品が装着される。

【0027】

＜装着ノズルの構造＞
上述したように、装着機１６では、吸着ノズル５０が、負圧によって装着部品を吸着保持し、正圧によって装着部品を離脱することで、装着作業が行われている。装着部品には、粘着性の高い部材、例えば、ゴム材等を使用したものがあり、粘着性の高い部材を吸着ノズル５０によって保持した場合には、その部材が吸着ノズル５０に張り付いて、吸着ノズル５０から離脱し難い場合がある。また、粘着性の高い部材を使用していない装着部品であっても、静電気等により、装着部品が吸着ノズル５０に張り付いて、吸着ノズル５０から離脱し難い場合がある。このようなことに鑑みて、装着機１６では、装着部品に密着する面に凹部を形成し、その凹部の内部にエアを吹出すことで、適切に装着部品の離脱を行うことが可能な吸着ノズル５０が採用されている。以下に、吸着ノズル５０の具体的な構造に関して説明する。

【0028】

吸着ノズル５０を先端部において保持する装着ユニット５２の内部には、図３に示すように、ユニット側エア通路７０が軸線方向に延びるように形成されており、そのユニット側エア通路７０には、正負圧供給装置（図示省略）が接続されている。一方、吸着ノズル５０には、ノズル側エア通路７２が、ユニット側エア通路７０と同軸的に形成されており、それらユニット側エア通路７０とノズル側エア通路７２とは、吸着ノズル５０が装着ユニット５２に保持された状態において、連通している。また、吸着ノズル５０の下端面には、４個の吸引口（図３では、２個のみ示されている）７４が形成されており、各吸引口７４は、ノズル側エア通路７２と連通している。これにより、吸着ノズル５０の各吸引口７４から、エアを吸引することが可能となり、吸着ノズル５０は、吸引口７４において電子部品を吸着保持することが可能とされている。

【0029】

その吸着ノズル５０は、装着ユニット５２の下端部に着脱可能に装着される上部ノズルハウジング７６と、その上部ノズルハウジング７６の下端部に固定的に嵌合される下部ノズルハウジング７８と、その下部ノズルハウジング７８の下端部に固定的に嵌入されるノズル先端部８０とを有している。上部ノズルハウジング７６は、断面形状が概して矩形の本体部８２とその本体部８２の外周面に形成されたフランジ部８４とからなり、フランジ部８４は、本体部８２の軸線方向での略中央部に形成されている。

【0030】

本体部８２は、フランジ部８４より上方において、装着ユニット５２の下端面に形成された取付穴８６に嵌入されており、その取付穴８６は、ユニット側エア通路７０に連続している。本体部８２には、軸線方向に延びるように貫通穴８８が形成されており、本体部８２が取付穴８６に嵌入されることで、貫通穴８８がユニット側エア通路７０に接続される。そして、本体部８２が取付穴８６に嵌入された状態で、フランジ部８４の上面が装着ユニット５２の下端面に取り付けられることで、上部ノズルハウジング７６が、装着ユニット５２の下端面に装着される。なお、上部ノズルハウジング７６は、ワンタッチで着脱可能な機構を介して、装着ユニット５２に装着されるが、この機構は公知であることから、図示及び説明を省略する。

【0031】

また、下部ノズルハウジング７８は、概して角筒状とされており、下部ノズルハウジング７８の内寸は、上部ノズルハウジング７６の本体部８２の下端部の外寸と略同じとされている。そして、その本体部８２の下端部が下部ノズルハウジング７８の上端部に固定的に嵌入されている。また、ノズル先端部８０の外寸も、下部ノズルハウジング７８の内寸と略同じとされており、ノズル先端部８０は、下部ノズルハウジング７８の下端部に固定的に嵌入されている。なお、ノズル先端部８０の上端面と上部ノズルハウジング７６の本体部８２の下端面との間には、エア室９０が区画されており、そのエア室９０に上部ノズルハウジング７６の貫通穴８８が連通している。

【0032】

また、ノズル先端部８０の下端面の中央部には、図３のＡＡ線における断面図である図４に示すように、凹部１００が形成されている。凹部１００のノズル先端部８０の下端面への開口は、概して矩形とされており、ノズル先端部８０の下端面には、さらに、矩形とされた凹部１００の開口の４つの辺からノズル先端部８０の外周面にかけて切欠かれた４つの切欠部１０２も形成されている。また、ノズル先端部８０が嵌入される下部ノズルハウジング７８の下端部にも、４つの切欠部１０２に連通する４つの切欠部１０４が形成されており、切欠部１０２，１０４によって、凹部１００は、下部ノズルハウジング７８の外周面、つまり、吸着ノズル５０の外周面に連通している。

【0033】

凹部１００と４つの切欠部１０２が形成されたノズル先端部８０は、矩形状の部材の４隅から４本の四角柱が垂下されたような形状とされており、それら４本の四角柱には、図４のＢＢ線における断面図である図３に示すように、軸線方向に延びる４本の貫通穴（図３では、２本のみ示されている）１０６が形成されている。各貫通穴１０６の上端は、エア室９０に開口するとともに、各貫通穴１０６の下端はノズル先端部８０の下端面に開口し、各貫通穴１０６のノズル先端部８０の下端面への開口が吸引口７４となっている。

【0034】

また、ノズル先端部８０には、凹部１００の内部とエア室９０とを連通する連通穴１０８が形成されており、その連通穴１０８には、逆止弁１１０が設けられている。逆止弁１１０は、エア室９０から凹部１００へのエアの流れは許容するが、凹部１００からエア室９０へのエアの流れは禁止する構造とされている。つまり、連通穴１０８の凹部１００の内部への開口から、エアの吹出は許容されているが、その開口からのエアの吸引は禁止されており、その開口はエアの吹出し専用の吹出口１１２となっている。

【0035】

上記構造とされた吸着ノズル５０では、貫通穴８８とエア室９０と貫通穴１０６と連通穴１０８とによってノズル側エア通路７２が構成されており、ユニット側エア通路７０に負圧が供給された場合、つまり、ユニット側エア通路７０からエアが吸引された場合には、ノズル側エア通路７２を介して、ノズル先端部８０の下端面に開口する４個の吸引口７４からエアが吸引される。これにより、吸着ノズル５０の下端面である密着面１１４に装着部品が密着し、吸着ノズル５０によって装着部品が吸着保持される。この際、密着面１１４に装着部品が密着すると、その装着部品によって吸引口７４は密閉される。これにより、大きな保持力で装着部品を吸着保持することが可能となり、好適に装着部品を吸着保持することが可能となる。

【0036】

次に、吸着保持された装着部品を、吸着ノズル５０から離脱する際には、ユニット側エア通路７０に正圧が供給される。つまり、ユニット側エア通路７０にエアが吹き込まれる。これにより、エアが、ノズル側エア通路７２を介して、吸引口７４および吹出口１１２から吹出され、吸着保持された装着部品が、吸着ノズル５０から離脱される。特に、装着部品が密着面１１４に密着し、吸引口７４からエアが吹出され難い場合であっても、吹出口１１２は装着部品に塞がれることなく凹部１００の内部に開放されているため、吹出口１１２から凹部１００の内部にエアが吹き出される。そして、凹部１００は、切欠部１０２，１０４を介して、吸着ノズル５０の外部に連通していることから、凹部１００の内部に吹出されたエアは、装着部品に向かって流れた後に、吸着ノズル５０の外部に流れる。このようなエアの流れによって、密着面１１４に密着している装着部品を、好適に離脱することが可能となる。

【0037】

また、吸着ノズル５０の下端面に、凹部１００および切欠部１０２，１０４が形成されることで、吸着ノズル５０と装着部品との密着面積は、相当小さくされている。これにより、より好適に装着部品を離脱することが可能となっている。さらに言えば、凹部１００の開口は、吹出口１１２より大きくされており、凹部１００がバッファとして機能する。これにより、吹出口１１２から吹出されるエアを受ける面積が大きくなり、さらに好適に装着部品を離脱することが可能となっている。

【0038】

＜変形例１＞
上記実施例の吸着ノズル５０では、吹出口１１２が１個しか形成されていないが、複数の吹出口が形成された吸着ノズルを採用することが可能である。このような複数の吹出口が形成された吸着ノズルを、変形例１の吸着ノズル１２０として、図５および図６に示す。なお、図５は、図６のＣＣ線における断面図であり、図６は、図５のＤＤ線における断面図である。

【0039】

吸着ノズル１２０は、図５に示すように、装着ユニット５２の下端部に着脱可能に装着される上部ノズルハウジング１２２と、その上部ノズルハウジング１２２の下端部に固定的に嵌合される下部ノズルハウジング１２４と、その下部ノズルハウジング１２４の下端部に固定的に嵌入されるノズル先端部１２６とを有している。上部ノズルハウジング１２２は、円筒部１２８と、その円筒部１２８の外周面に形成されたフランジ部１３０とからなり、フランジ部１３０は、円筒部１２８の軸線方向での略中央部に形成されている。円筒部１２８は、フランジ部１３０より上方において、装着ユニット５２の取付穴８６に嵌入されており、その取付穴８６に円筒部１２８が嵌入されることで、円筒部１２８の内部がユニット側エア通路７０に接続される。

【0040】

また、下部ノズルハウジング１２４は、円筒状とされており、それの内径は、上部ノズルハウジング１２２の円筒部１２８の外径と略同じとされている。そして、円筒部１２８下端部が下部ノズルハウジング１２４の上端部に固定的に嵌入されている。また、ノズル先端部１２６は、短円柱状とされており、それの外径も、下部ノズルハウジング１２４の内径と略同じとされ、ノズル先端部１２６が下部ノズルハウジング１２４の下端部に固定的に嵌入されている。なお、ノズル先端部１２６の上端面と上部ノズルハウジング１２２の円筒部１２８の下端面との間には、エア室１３２が区画されており、そのエア室１３２に上部ノズルハウジング１２２の円筒部１２８内部が連通している。

【0041】

また、ノズル先端部１２６の下端面の中央部には、図６に示すように、凹部１３４が形成されており、凹部１３４のノズル先端部１２６の下端面への開口は、概して矩形とされている。ノズル先端部１２６の下端面には、さらに、矩形とされた凹部１３４の開口の４つの辺の各々からノズル先端部１２６の外周面にかけて切欠かれた２本の切欠部１３６も形成されている。つまり、ノズル先端部１２６の下端面には、凹部１３４の開口からノズル先端部１２６の外周面にかけて８本の切欠部１３６が形成されている。なお、ノズル先端部１２６が嵌入される下部ノズルハウジング１２４の下端部にも、８本の切欠部１３６に連通する８個の切欠部１３８が形成されており、切欠部１３６，１３８によって、凹部１３４は、下部ノズルハウジング１２４の外周面、つまり、吸着ノズル１２０の外周面に連通している。

【0042】

また、凹部１３４および切欠部１３６が形成されていないノズル先端部１２６の下端面である密着面１４０に開口するように、軸線方向に延びる貫通穴１４２が８本形成されている。各貫通穴１４２のノズル先端部１２６の下端面への開口は、吸引口１４４となっており、８個の吸引口１４４が、ノズル先端部１２６の下端面の８等配の位置に開口している。なお、各貫通穴１４２の上端は、エア室１３２に開口している。

【0043】

また、ノズル先端部１２６には、凹部１３４の内部とエア室１３２とを連通する連通穴１４６が２個形成されており、各連通穴１４６には、上記実施例の吸着ノズル５０の逆止弁１１０と同じ構造の逆止弁１４８が設けられている。これにより、連通穴１４６の凹部１３４の内部への開口から、エアの吹出は許容されているが、その開口からのエアの吸引は禁止されており、その開口はエアの吹出し専用の吹出口１５０となっている。

【0044】

このような構造により、変形例１の吸着ノズル１２０でも、上部ノズルハウジング１２２の円筒部１２８の内部とエア室１３２と貫通穴１４２と連通穴１４６とによってノズル側エア通路１５２が形成されることで、上記吸着ノズル５０と同様に、装着部品の吸着保持時に、装着部品によって吸引口１４４は密閉される。これにより、大きな保持力で装着部品を吸着保持することが可能となり、好適に装着部品を吸着保持することが可能となる。また、吹出口１５０から吹出されるエアの流れ，凹部１３４のバッファとしての機能，密着面積の省スペース化等により、好適に装着部品を離脱することが可能となっている。さらに、吸着ノズル１２０では、上記吸着ノズル５０の吹出口１１２と同径の吹出口１５０が２個形成され、大容量のエアを吹出し可能とされることで、さらに好適に装着部品を離脱することが可能となっている。

【0045】

＜変形例２＞
上記吸着ノズル５０，１２０では、凹部１００，１３４から吸着ノズル５０，１２０の外周面にかけて切欠かれた切欠部１０２，１０４，１３６，１３８が形成されているが、切欠部が形成されていない吸着ノズルを採用することも可能である。このような切欠部が形成されていない吸着ノズルを、変形例２の吸着ノズル１６０として、図７および図８に示す。変形例２の吸着ノズル１６０は、切欠部が形成されていない点を除いて、上記吸着ノズル５０と同様の構成であるため、上記吸着ノズル５０と同様の機能の構成要素について、図７および図８に同じ符号を記し、吸着ノズル１６０の構造の説明は省略する。なお、図７は、図８のＥＥ線における断面図であり、図８は、図７のＦＦ線における断面図である。

【0046】

変形例２の吸着ノズル１６０でも、上記吸着ノズル５０と同様に、装着部品の吸着保持時に、装着部品によって吸引口７４が密閉されることで、好適に装着部品を吸着保持することが可能となる。また、装着部品を離脱する際に、吹出口１１２からのエアの吹出しにより、凹部１００内の圧力を高めることで、好適に装着部品を離脱することが可能となっている。また、吸着ノズル１６０でも、凹部１００によって、吸着ノズル１６０と装着部品との密着面積が小さくされることで、より好適に装着部品を離脱することが可能となっている。さらに、上記吸着ノズル５０，１２０と同様に、凹部１００がバッファとして機能することで、吹出口１１２から吹出されるエアを受ける面積が大きくなり、さらに好適に装着部品を離脱することが可能となっている。

【0047】

ちなみに、上記実施例および変形例において、吸着ノズル５０，１２０，１６０は、吸着ノズルの一例である。吸着ノズル５０を構成するノズル側エア通路７２，吸引口７４，凹部１００，切欠部１０２，１０４，逆止弁１１０，吹出口１１２，密着面１１４は、エア通路，吸引口，凹部，切欠部，逆止弁，吹出口，密着面の一例である。吸着ノズル１２０を構成する凹部１３４，切欠部１３６，１３８，密着面１４０，吸引口１４４，逆止弁１４８，吹出口１５０，ノズル側エア通路１５２は、凹部，切欠部，密着面，吸引口，逆止弁，吹出口，エア通路の一例である。吸着ノズル１６０を構成するノズル側エア通路７２，吸引口７４，凹部１００，逆止弁１１０，吹出口１１２，密着面１１４は、エア通路，吸引口，凹部，逆止弁，吹出口，密着面の一例である。

【0048】

なお、本発明は、上記実施例および変形例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例および変形例では、正圧と負圧とが選択的に供給されるノズル側エア通路７２，１５２に吸引口７４，１４４および吹出口１１２，１５０が連通しており、吹出口１１２，１５０に逆止弁１１０，１４８が設けられているが、吸引口と吹出口との各々に専用のエア通路を連通させてもよい。つまり、正圧と負圧とが選択的に供給されるエア通路に吸引口を連通し、正圧のみが供給されるエア通路に吹出口を連通するように構成してもよい。

【符号の説明】

【0049】

５０：吸着ノズル ７２：ノズル側エア通路（エア通路） ７４：吸引口 １００：凹部 １０２：切欠部 １０４：切欠部 １１０：逆止弁 １１４：密着面 １２０：吸着ノズル １３４：凹部 １３６：切欠部 １３８：切欠部 １４０：密着面 １４４：吸引口 １５０：吹出口 １５２：ノズル側エア通路（エア通路） １６０：吸着ノズル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】