特許 5944578 ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5944578

(24)【登録日】2016年6月3日

(45)【発行日】2016年7月5日

(54)【発明の名称】ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置

(51)【国際特許分類】

   C03B 17/06 20060101AFI20160621BHJP

   C03B 25/02 20060101ALI20160621BHJP

【ＦＩ】

   C03B17/06

   C03B25/02

【請求項の数】13

【全頁数】22

(21)【出願番号】特願2015-511142(P2015-511142)

(86)(22)【出願日】2015年2月20日

(86)【国際出願番号】JP2015054887

(87)【国際公開番号】WO2015125943

(87)【国際公開日】20150827

【審査請求日】2015年2月25日

(31)【優先権主張番号】特願2014-31735(P2014-31735)

(32)【優先日】2014年2月21日

(33)【優先権主張国】JP

(31)【優先権主張番号】特願2014-31740(P2014-31740)

(32)【優先日】2014年2月21日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】598055910

【氏名又は名称】ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000165

【氏名又は名称】グローバル・アイピー東京特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】中嶋 公彦

【審査官】 増山 淳子

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−０７１８８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１３−５２８１４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１３−５２６４７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１３／０３８９７２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１１／００７６１７（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ０３Ｂ １７／０６

Ｃ０３Ｂ ２５／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ダウンドロー法を用いて熔融ガラスからガラス板を成形する成形工程と、
前記成形工程で成形されたガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する冷却工程と、
前記冷却工程で冷却されたガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置と前記脈理による歪量とを検出する検出工程と、
前記検出工程で検出された前記歪量が、基準量以上となる脈理の位置を判定する判定工程と、を備え、
前記成形工程又は前記冷却工程では、熱量制御装置により前記ガラス板を加熱するとともに、
前記判定工程で判定された脈理の位置で、前記歪量が前記基準量以下となるよう前記熱量制御装置からの熱輻射を遮ることで前記ガラス板が保有する熱量を制御し、
前記冷却工程では、前記ガラス板を、前記ガラス板の幅方向に引っ張りながら冷却する、
ことを特徴とするガラス板の製造方法。

【請求項2】

ダウンドロー法を用いて熔融ガラスからガラス板を成形する成形工程と、
前記成形工程で成形されたガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する冷却工程と、
前記冷却工程で冷却されたガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置と前記脈理による歪量とを検出する検出工程と、
前記検出工程で検出された前記歪量が、基準量以上となる脈理の位置を判定する判定工程と、を備え、
前記冷却工程では、炉壁で囲まれた炉室において、熱量制御装置により前記ガラス板を加熱するとともに、前記判定工程で判定された脈理の位置で、前記歪量が前記基準量以下となるよう前記熱量制御装置からの熱輻射を遮ることで前記ガラス板が保有する熱量を制御し、
前記ガラス板を、前記ガラス板の幅方向に引っ張りながら冷却する、
ことを特徴とするガラス板の製造方法。

【請求項3】

ダウンドロー法を用いて熔融ガラスからガラス板を成形する成形工程と、
前記成形工程で成形されたガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する冷却工程と、
前記冷却工程で冷却されたガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置を前記ガラス板の板厚偏差又は粘性偏差に基づいて検出する検出工程と、を備え、
前記成形工程又は前記冷却工程では、炉壁で囲まれた炉室において、熱量制御装置により前記ガラス板を加熱するとともに、前記ガラス板に対向する位置に配置され、前記ガラス板の搬送方向に対して、前記炉室を複数の空間に分割し、前記ガラス板が保有する熱量を変化させる断熱板を用いて、前記検出工程で検出された脈理の位置で、前記脈理が所定の条件を満たすよう前記熱量制御装置からの熱輻射を遮ることで前記断熱板が前記ガラス板に与える熱量を制御し、
前記冷却工程では、前記ガラス板を、前記ガラス板の幅方向に引っ張りながら冷却する、
ことを特徴とするガラス板の製造方法。

【請求項4】

前記炉室において、前記ガラス板に対向する位置に配置され、前記ガラス板の搬送方向に対して、前記炉室を複数の空間に分割し、前記ガラス板が保有する熱量を変化させる断熱板を備え、
前記断熱板には、前記ガラス板の幅方向に複数の前記熱量制御装置が設けられ、
前記検出工程で検出された脈理の位置に対向する前記熱量制御装置は、前記ガラス板に与える熱量を増加する、
ことを特徴とする請求項２又は３に記載のガラス板の製造方法。

【請求項5】

前記断熱板は、前記ガラス板の幅方向で複数に分割され、
冷却するガラス板と、前記検出工程で検出された脈理の位置に対向する分割された断熱板との距離を狭める、
ことを特徴とする請求項３又は４に記載のガラス板の製造方法。

【請求項6】

前記検出工程で検出された脈理の位置に断熱板を新たに設け、前記ガラス板と前記断熱板との距離を狭める、
ことを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。

【請求項7】

前記脈理は、前記ガラス板の幅方向に所定の幅を有し、前記ガラス板の搬送方向に連続的に発生する、
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。

【請求項8】

ダウンドロー法を用いて熔融ガラスからガラス板を成形し、成形したガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する成形装置と、
前記成形装置で成形され冷却されたガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置と前記脈理による歪量とを検出し、前記歪量が基準量以上となる脈理の位置を判定する検出装置と、を備え、
前記成形装置は、炉壁で囲まれた炉室において、前記ガラス板を加熱する熱量制御装置と、前記検出装置が判定した脈理の位置で、前記歪量が前記基準量以下となるよう前記熱量制御装置からの熱輻射を遮り前記ガラス板が保有する熱量を制御する熱量変化部材と、前記ガラス板を、前記ガラス板の幅方向に引っ張りながら冷却する冷却ローラとを備えることを特徴とするガラス板の製造装置。

【請求項9】

成形体からオーバーフローした熔融ガラスを、前記成形体の両側面に沿って流下させた後、前記成形体の下端部近傍で合流させてガラス板を成形する成形工程と、
前記成形工程で成形されたガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する冷却工程と、
前記冷却工程で冷却されたガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置と前記脈理による歪量とを検出する検出工程と、
前記検出工程で検出された前記歪量が、基準量以上となる脈理の位置を判定する判定工程と、を備え、
前記成形工程では、熱量制御装置により前記ガラス板を加熱するとともに、前記成形体の下端部近傍に対向する位置に配置された熱量変化部材により前記熱量制御装置からの熱輻射を遮ることで前記ガラス板が保有する熱量を変化させ、
前記判定工程で判定された脈理の位置において、前記検出工程された前記歪量が前記基準量以下となるよう、前記熱量変化部材が前記ガラス板に与える熱量を制御し、
前記冷却工程では、前記ガラス板を、前記ガラス板の幅方向に引っ張りながら冷却する、
ことを特徴とするガラス板の製造方法。

【請求項10】

前記成形工程では、前記熱量変化部材と前記ガラス板との距離を狭め、前記判定工程で判定された脈理の位置のガラス板の保有熱量を上昇させ、
前記冷却工程では、保有熱量が上昇した前記ガラス板を、前記ガラス板の幅方向に引っ張りながら冷却する、
ことを特徴とする請求項９に記載のガラス板の製造方法。

【請求項11】

前記熱量変化部材の幅は、前記検出工程で検出された脈理の幅に等しい、
ことを特徴とする請求項９又は１０に記載のガラス板の製造方法。

【請求項12】

前記脈理は、前記ガラス板の幅方向に所定の幅を有し、前記ガラス板の搬送方向に連続的に発生する、
ことを特徴とする請求項９から１１のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。

【請求項13】

成形体からオーバーフローした熔融ガラスを、前記成形体の両側面に沿って流下させた後、前記成形体の下端部近傍で合流させてガラス板を成形する成形装置と、
前記成形装置が成形したガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する冷却装置と、
前記冷却装置が冷却したガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置と前記脈理による歪量とを検出し、検出した脈理による前記歪量が、基準量以上となる脈理の位置を判定する判定装置と、を備え、
前記成形装置は、
前記ガラス板を加熱する熱量制御装置と、
前記成形体の下端部近傍に対向する位置に配置され、前記熱量制御装置からの熱輻射を遮ることで前記ガラス板が保有する熱量を変化させる熱量変化部材と、
前記ガラス板を、前記ガラス板の幅方向に引っ張りながら冷却する冷却ローラと、
を有し、
前記判定装置が判定した脈理の位置において、前記歪量が前記基準量以下となるよう、前記熱量変化部材が前記ガラス板に与える熱量を制御する、
ことを特徴とするガラス板の製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ガラス板の製造方法の一つとして、ダウンドロー法が用いられている。ダウンドロー法では、成形体からオーバーフローした熔融ガラスが、分流して成形体の側面に沿って流下する。次に、熔融ガラスは、成形体の下端部で合流して、ガラス板に成形される。成形されたガラス板は、鉛直方向下方に搬送されながら冷却される。冷却工程において、ガラス板は、粘性域から粘弾性域を経て弾性域へと推移する。

【0003】

ところで、ダウンドロー法を用いるガラス板の製造装置では、一般的に、成形体から離れたガラス板が何物にも触れることなく冷却される空間である徐冷ゾーンが、断熱板によって複数の徐冷空間に区画される。断熱板は、徐冷空間の間の熱移動を抑え、さらに、各徐冷空間を移動する気流を抑えることにより、各徐冷空間の雰囲気温度が所望の温度プロファイルになるように制御するために配置される。ここで、所望の温度プロファイルとは、徐冷ゾーンの各徐冷空間における、ガラス板に歪みが発生しないような温度分布を意味する。すなわち、断熱板によって、ガラス板は下方に搬送されながら各徐冷空間で所望の温度に調節される。従って、断熱板は、ガラス板を徐冷することで歪みの少ないガラス板を成形するために重要である。

【0004】

しかし、徐冷ゾーンで徐冷されるガラス板の厚みは、一般的に、幅方向中央部より幅方向両端部の方が大きい。そのため、特許文献１に開示されているように、一枚板で成形された一対の断熱板でガラス板を挟む場合、少なくとも、ガラス板の厚みが最も大きい幅方向両端部が断熱板に触れない程度に、一対の断熱板の間の隙間の大きさを設定する必要がある。しかし、この隙間が大きければ大きいほど、各徐冷空間を移動する気流が発生し、この隙間を介して徐冷空間の間で熱交換が行われやすくなるので、各徐冷空間の雰囲気温度を所望の温度プロファイルになるように制御することが難しくなるという問題が発生する。

【0005】

このように、徐冷ゾーンを、断熱板によって複数の徐冷空間に区画して熱管理を行う技術は従来から行われている。一方、近年、液晶表示装置用ガラス基板においては、ガラス板の板厚偏差や、反り、歪み等の要求されるスペック（品質）が厳しくなっている。

【0006】

上述したように、ダウンドロー法においてガラス板を製造する場合、歪みを低減するために、予め、各徐冷空間において所望の温度プロファイルが設計されており、設計された温度プロファイルとなるように、雰囲気の熱管理を行う。しかしながら、各徐冷空間を移動する気流が発生した状態で、各徐冷空間の雰囲気温度を所望の温度プロファイルに制御できないと、ガラス板の搬送方向に脈理が発生するおそれがある。この脈理は、所定の幅においてガラス板の厚み（高さ）が変動した歪みの一種であり、ガラス板の搬送方向に筋状に連続的に発生する。脈理の発生を抑制し、近年の厳しい要求スペックを満たすためには、設計された温度プロファイルの精度を高める必要があり、そのため、熱管理の精度を高める必要がでてきた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００８―８８００５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

そこで、本発明は、ガラス板の搬送方向に脈理が発生した位置において、ガラス板が保有する熱量を制御することによりガラス板の脈理を抑えることができるガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、以下の形態を有する。
（形態１）
ダウンドロー法を用いて熔融ガラスからガラス板を成形する成形工程と、
前記成形工程で成形されたガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する冷却工程と、
前記冷却工程で冷却されたガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置と前記脈理による変化量とを検出する検出工程と、
前記検出工程で検出された前記変化量が、基準量以上となる脈理の位置を判定する判定工程と、を備え、
前記判定工程で判定された脈理の位置で、前記変化量が前記基準量以下となるよう前記ガラス板が保有する熱量を制御する、
ことを特徴とするガラス板の製造方法。

【0010】

（形態２）
ダウンドロー法を用いて熔融ガラスからガラス板を成形する成形工程と、
前記成形工程で成形されたガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する冷却工程と、
前記冷却工程で冷却されたガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置と前記脈理による変化量とを検出する検出工程と、
前記検出工程で検出された前記変化量が、基準量以上となる脈理の位置を判定する判定工程と、を備え、
前記冷却工程では、炉壁で囲まれた炉室において、前記判定工程で判定された脈理の位置で、前記変化量が前記基準量以下となるよう前記ガラス板が保有する熱量を制御する、
ことを特徴とする、ガラス板の製造方法。

【0011】

（形態３）
ダウンドロー法を用いて熔融ガラスからガラス板を成形する成形工程と、
前記成形工程で成形されたガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する冷却工程と、
前記冷却工程で冷却されたガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置を前記ガラス板の板厚偏差又は粘性偏差に基づいて検出する検出工程と、を備え、
前記成形工程又は前記冷却工程では、炉壁で囲まれた炉室において、前記ガラス板に対向する位置に配置され、前記ガラス板の搬送方向に対して、前記炉室を複数の空間に分割し、前記ガラス板が保有する熱量を変化させる断熱板を用いて、前記検出工程で検出された脈理の位置で、前記脈理が所定の条件を満たすよう、前記断熱板が前記ガラス板に与える熱量を制御する、
ことを特徴とする、ガラス板の製造方法。

【0012】

（形態４）
前記炉室において、前記ガラス板に対向する位置に配置され、前記ガラス板の搬送方向に対して、前記炉室を複数の空間に分割し、前記ガラス板が保有する熱量を変化させる断熱板を備え、
前記断熱板には、前記ガラス板の幅方向に複数の熱量制御装置が設けられ、
前記検出工程で検出された脈理の位置に対向する前記熱量制御装置は、前記ガラス板に与える熱量を増加する、
ことを特徴とする形態２又は３に記載のガラス板の製造方法。

【0013】

（形態５）
前記断熱板は、前記ガラス板の幅方向で複数に分割され、
前記冷却工程では、冷却するガラス板と、前記検出工程で検出された脈理の位置に対向する分割された断熱板との距離を狭める、
ことを特徴とする形態３又は形態４に記載のガラス板の製造方法。

【0014】

（形態６）
前記冷却工程では、前記検出工程で検出された脈理の位置に断熱板を新たに設け、前記ガラス板と前記断熱板との距離を狭める、
ことを特徴とする形態３〜５のいずれかに記載のガラス板の製造方法。

【0015】

（形態７）
前記脈理は、前記ガラス板の幅方向に所定の幅を有し、前記ガラス板の搬送方向に連続的に発生する、
ことを特徴とする形態１から５のいずれかに記載のガラス板の製造方法。

【0016】

（形態８）
ダウンドロー法を用いて熔融ガラスからガラス板を成形し、成形したガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する成形装置と、
前記成形装置で成形され冷却されたガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置と前記脈理による変化量とを検出し、前記変化量が基準量以上となる脈理の位置を判定する検出装置と、を備え、
前記成形装置は、炉壁で囲まれた炉室において、前記検出装置が判定した脈理の位置で、前記変化量が前記基準量以下となるよう前記ガラス板が保有する熱量を制御する、
ことを特徴とする、ガラス板の製造装置。

【0017】

（形態９）
成形体からオーバーフローした熔融ガラスを、前記成形体の両側面に沿って流下させた後、前記成形体の下端部近傍で合流させてガラス板を成形する成形工程と、
前記成形工程で成形されたガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する冷却工程と、
前記冷却工程で冷却されたガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置と前記脈理による変化量とを検出する検出工程と、
前記検出工程で検出された前記変化量が、基準量以上となる脈理の位置を判定する判定工程と、を備え、
前記成形工程では、
前記成形体の下端部近傍に対向する位置に配置され、前記ガラス板が保有する熱量を変化させる熱量変化部材を有し、
前記判定工程で判定された脈理の位置において、前記検出工程された前記変化量が前記基準量以下となるよう、前記熱量変化部材が前記ガラス板に与える熱量を制御する、
ことを特徴とする、ガラス板の製造方法。

【0018】

（形態１０）
前記成形工程では、前記熱量変化部材と前記ガラス板との距離を狭め、前記判定工程で判定された脈理の位置のガラス板の保有熱量を上昇させ、
前記冷却工程では、保有熱量が上昇した前記ガラス板を、前記ガラス板の幅方向に引っ張りながら冷却する、
ことを特徴とする形態９に記載のガラス板の製造方法。

【0019】

（形態１１）
前記熱量変化部材の幅は、前記検出工程で検出された脈理の幅に等しい、
ことを特徴とする形態９又は形態１０に記載のガラス板の製造方法。

【0020】

（形態１２）
前記脈理は、前記ガラス板の幅方向に所定の幅を有し、前記ガラス板の搬送方向に連続的に発生する、
ことを特徴とする形態９から形態１１のいずれかに記載のガラス板の製造方法。

【0021】

（形態１３）
成形体からオーバーフローした熔融ガラスを、前記成形体の両側面に沿って流下させた後、前記成形体の下端部近傍で合流させてガラス板を成形する成形装置と、
前記成形装置が成形したガラス板を鉛直方向下方に搬送しながら冷却する冷却装置と、
前記冷却装置が冷却したガラス板の搬送方向に発生する脈理の位置と前記脈理による変化量とを検出し、検出した脈理による前記変化量が、基準量以上となる脈理の位置を判定する判定装置と、を備え、
前記成形装置は、
前記成形体の下端部近傍に対向する位置に配置され、前記ガラス板が保有する熱量を変化させる熱量変化部材を有し、
前記判定装置が判定した脈理の位置において、前記変化量が前記基準量以下となるよう、前記熱量変化部材が前記ガラス板に与える熱量を制御する、
ことを特徴とするガラス板の製造装置。

【発明の効果】

【0022】

上述の態様のガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置によれば、ガラス板の搬送方向に脈理が発生した位置において、ガラス板が保有する熱量を制御することによりガラス板の脈理を抑えることができる

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本実施形態にかかるガラス板製造装置の概略構成図である。

【図2】成形装置の断面概略構成図である。

【図3】成形装置の側面概略構成図である。

【図4】成形装置で成形されるガラス板を平面視した一形状を示す図である。

【図5】ガラス板を挟む断熱部材を平面視した場合の概略図である。

【図6】ガラス板の脈理の位置を示した図である。

【図7】平面視したガラス板を挟む断熱板の位置を変更した図である。

【図8】ガラス板から断熱板までの距離と歪量との関係を示した図である。

【図9】実施形態２にかかるガラス板を挟む断熱部材を平面視した場合の概略図である。

【図10】実施形態３にかかるガラス板を挟む断熱部材を平面視した場合の概略図である。

【図11】実施形態４にかかるガラス板を挟む断熱部材を平面視した場合の概略図である。

【図12】（ａ）は、実施形態５にかかる成形体の下端を拡大した断面概略図であり、（ｂ）は、（ａ）における成形体の下端側から平面視した図である。

【図13】ガラス板から断熱板までの距離と歪量との関係を示した図である。

【図14】実施形態６にかかる磁性管を成形体の下端側から平面視した図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

（実施形態１）
以下、本実施形態にかかるガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置について説明する。図１は、本実施形態にかかるガラス板製造装置の概略構成図である。
ガラス板製造装置１００は、図１に示すように、溶解槽２００と、清澄槽３００と、成形装置４００とから構成される。溶解槽２００では、ガラスの原料が溶解され熔融ガラスが生成される。溶解槽２００で生成された熔融ガラスは、清澄槽３００へ送られる。清澄槽３００では、熔融ガラスに含有される気泡の除去が行われる。清澄槽３００で気泡が除去された熔融ガラスは、成形装置４００へ送られる。成形装置４００では、例えばオーバーフローダウンドロー法によって、熔融ガラスからガラス板Ｇが連続的に成形される。その後、成形されたガラス板Ｇは、冷却され、所定の大きさのガラス板に切断される。ガラス板Ｇは、例えば、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板（例えば、液晶ディスプレイ用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板）、カバーガラスや磁気ディスク用などの強化ガラス用ガラス基板、ロール状に巻き取られるガラス基板、半導体ウエハ等の電子デバイスが積層されたガラス基板として用いられる。

【0025】

（ガラス組成）
熔解槽２００では、図示されない加熱手段によりガラス原料が溶解され、熔融ガラスが生成される。ガラス原料は、所望の組成のガラスを実質的に得ることができるように調製される。ガラスの組成の一例として、パネルディスプレイやフラットパネルディスプレイ用のガラス基板として好適な無アルカリガラスは、ＳｉＯ_２：５０質量％〜７０質量％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０質量％〜２５質量％、Ｂ_２Ｏ_３：０質量％〜１５質量％、ＭｇＯ：０質量％〜１０質量％、ＣａＯ：０質量％〜２０質量％、ＳｒＯ：０質量％〜２０質量％、ＢａＯ：０質量％〜１０質量％を含有する。ここで、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯの合計の含有量は、５質量％〜３０質量％である。あるいは、酸化物半導体ディスプレイ用ガラス基板及びＬＴＰＳディスプレイ用ガラス基板に好適なガラス基板は、ＳｉＯ_２：５５質量％〜７０質量％、Ａｌ_２Ｏ_３：１５質量％〜２５質量％、Ｂ_２Ｏ_３：０質量％〜１０質量％、ＭｇＯ：０質量％〜１０質量％、ＣａＯ：０質量％〜２０質量％、ＳｒＯ：０質量％〜２０質量％、ＢａＯ：０質量％〜１０質量％を含有する。ここで、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯの合計の含有量は、５質量％〜３０質量％である。このとき、上記ガラス基板は、ＳｉＯ_２を６０質量％〜７０質量％、ＢａＯを３質量％〜１０質量％を含有することがより好ましい。

【0026】

パネルディスプレイやフラットパネルディスプレイ用のガラス基板として、無アルカリガラスの他に、アルカリ金属を微量含むアルカリ微量含有ガラスを用いてもよい。ガラス基板のガラスが、酸化錫を含む無アルカリガラス、又は、酸化錫を含むアルカリ微量含有ガラスであると、清澄槽３００の内壁に用いる白金族金属の揮発によって生じる白金族金属の凝集物の異物が熔融ガラスに混入することを抑制する効果は顕著となる。無アルカリガラス又はアルカリ微量含有ガラスは、アルカリガラスと比較してガラス粘度が高い。熔解工程で熔融温度を高くすることにより多くの酸化錫が熔解工程で還元されることから、清澄効果を得るために清澄工程における熔融ガラス温度を高くして、酸化錫の還元を促進し、かつ熔融ガラス粘度を低下させることが必要である。また、酸化錫は、従来清澄剤として用いられていた亜ヒ酸やアンチモンと比較して還元反応を促進する温度が高いため、熔融ガラスの温度を高くして清澄を促進させるために、清澄槽３００の内壁の温度を高くする必要がある。つまり、酸化錫を含む無アルカリガラス基板、又は、酸化錫を含むアルカリ微量含有ガラスのガラス基板を製造する場合には、清澄工程における熔融ガラス温度を高くする必要があるので、白金族金属の揮発が生じやすい。なお、無アルカリガラス基板とは、アルカリ金属酸化物（Ｌｉ_２Ｏ、Ｋ_２Ｏ、及びＮａ_２Ｏ）を実質的に含有しないガラスである。また、アルカリ微量含有ガラスとは、アルカリ金属酸化物の含有量（Ｌｉ_２Ｏ、Ｋ_２Ｏ、及びＮａ_２Ｏの合量）が０超０．８モル％以下のガラスである。アルカリ微量含有ガラスは、成分として、例えば０．１質量％〜０．５質量％のアルカリ金属酸化物を含み、好ましくは、０．２質量％〜０．５質量％のアルカリ金属酸化物を含む。ここで、アルカリ金属酸化物は、Ｌｉ_２Ｏ、Ｎａ_２ＯおよびＫ_２Ｏから選択される少なくとも１種である。アルカリ金属酸化物の含有量の合計は、０．１質量％未満であってもよい。

【0027】

本実施形態によって製造されるガラス基板は、上記成分に加えて、ＳｎＯ_２ ０．０１質量％〜１質量％（好ましくは、０．０１質量％〜０．５質量％）、Ｆｅ_２Ｏ_３ ０質量％〜０．２質量％（好ましくは、０．０１質量％〜０．０８質量％）をさらに含有してもよい。本実施形態によって製造されるガラス基板は、環境負荷を考慮して、Ａｓ_２Ｏ_３、Ｓｂ_２Ｏ_３およびＰｂＯを含有しない、あるいは実質的に含有しないことが好ましい。

【0028】

また、本実施形態で製造されるガラス基板として、さらに、以下のガラス組成のガラス基板も例示される。したがって、以下のガラス組成をガラス基板が有するようにガラス原料は調合される。例えば、モル％表示で、ＳｉＯ_２ ５５〜７５モル％、Ａｌ_２Ｏ_３ ５〜２０モル％、Ｂ_２Ｏ_３ ０〜１５モル％、ＲＯ ５〜２０モル％（ＲＯはＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量)、Ｒ’_２Ｏ ０〜０．４モル％（Ｒ’はＬｉ_２Ｏ、Ｋ_２Ｏ、及びＮａ_２Ｏの合量）、ＳｎＯ_２ ０．０１〜０．４モル％、含有する。このとき、ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｂ_２Ｏ_３、及びＲＯ（Ｒは、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａのうち前記ガラス基板に含有される全元素）の少なくともいずれかを含み、モル比（（２×ＳｉＯ_２）＋Ａｌ_２Ｏ_３）／（（２×Ｂ_２Ｏ_３）＋ＲＯ）は４．０以上であってもよい。モル比（（２×ＳｉＯ_２）＋Ａｌ_２Ｏ_３）／（（２×Ｂ_２Ｏ_３）＋ＲＯ）は４．０以上であるガラスは、高温粘性の高いガラスの一例である。

【0029】

次に、成形装置４００の詳細な構成について説明する。図２は、成形装置の断面概略構成図であり、図３は、成形装置の側面概略構成図である。
成形装置４００は、図２及び図３に示すように、成形体１０と、仕切り部材２０と、冷却ローラ３０と、断熱部材４０ａ，４０ｂ，・・・，４０ｈと、送りローラ５０ａ，５０ｂ，・・・，５０ｈと、温度制御ユニット（温度制御装置、熱量制御装置）６０ａ，６０ｂ，・・・，６０ｈとから構成される。また、成形装置４００は、仕切り部材２０より上方の空間である成形体収容部４１０と、仕切り部材２０直下の空間である成形ゾーン４２ａと、成形ゾーン４２ａの下方の空間である徐冷ゾーン４２０とを有する。徐冷ゾーン４２０は、複数の徐冷空間４２ｂ，４２ｃ，・・・,４２ｈを有する。成形ゾーン４２ａ、徐冷空間４２ｂ、徐冷空間４２ｃ、・・・,４２ｈは、この順番で鉛直方向上方から下方に向かって積層している。成形ゾーン４２ａと徐冷ゾーン４２０とは、耐火材及び／又は断熱材建物（図示せず）によって囲まれ、成形ゾーン４２ａ、徐冷ゾーン４２０において、温度制御ユニット６０ａ等が、ガラス板Ｇを成形、冷却するのに適する温度に制御する。

【0030】

成形体１０は、図２に示すように、略楔状の断面形状を有する部材である。成形体１０は、略楔状の尖端が下端に位置するように、成形体収容部４１０に配置される。図３に示すように、成形体１０の上端面には、溝１２が形成されている。溝１２は、成形体１０の長手方向、すなわち図３の紙面左右方向に形成されている。溝１２の一方の端部には、ガラス供給管１４が設けられている。溝１２は、ガラス供給管１４が設けられる一方の端部から他方の端部に近づくに従って、徐々に浅くなるように形成されている。成形体１０の長手方向の両端には、側壁から熔融ガラスがはみ出るのを妨げるガイドが取り付けられている。このガイドは、平面視で楔形をしており、成形体１０の端面全体をカバーできる大きさの板材で作られている。鉛直方向に関して、ガイドの先端の位置は、成形体１０の下端に一致している。ガイドの働きにより、熔融ガラスの全部を側壁に沿って流すことが可能である。ガラス板Ｇは熔融ガラスが下端で融合して成形されるが、熔融ガラスはガイドによりせき止められるため、ガイド付近、つまり、成形体１０の長手方向の両端部には熔融ガラスが溜まる。このため、成形体１０の下端で融合したガラス板Ｇの幅方向の端部Ｇ１は、図４に示すように、球根状で厚みのある形状となる。ガラス板Ｇの幅方向とは、熔融ガラスＭＧの表面あるいはガラス板Ｇの表面の面内における方向のうち、搬送される搬送方向に直交する方向をいう。ここで端部Ｇ１とは、ガラス板Ｇの幅方向中央の板厚に対して所定の厚みを有する部分をいう。また、端部Ｇ１で挟まれた幅方向の領域を中央領域Ｇ２という。中央領域Ｇ２は、端部Ｇ１と比較して薄く、保有熱量が小さいため、徐冷ゾーン４２０で発生する気流の乱れ、温度制御ユニット６０の温度ムラ等によって、保有熱量が変化しやすく、反り、歪みが生じやすい。このため、中央領域Ｇ２の冷却量を厳密に管理する必要がある。

【0031】

仕切り部材２０は、成形体１０の下端の近傍に配置される板状の断熱材である。仕切り部材２０は、その下端の高さ方向の位置が、成形体１０の下端の高さ方向の位置から下方に位置するように、配置されている。仕切り部材２０は、図２に示すように、ガラス板Ｇの厚み方向両側に配置される。仕切り部材２０は、成形体収容部４１０と成形ゾーン４２ａとを仕切ることにより、成形体収容部４１０から成形ゾーン４２ａへの熱移動を抑制する。断熱材である仕切り部材２０により、成形体収容部４１０と成形ゾーン４２ａとを仕切るのは、成形体収容部４１０と成形ゾーン４２ａとの各々において、空間内の温度について両空間が互いに影響しあわないように温度制御を行うためである。また、仕切り部材２０は、徐冷ゾーン４２０から成形体収容部４１０に入る気流の体積流量を抑制するように、ガラス板Ｇと仕切り部材２０との間の間隔があらかじめ調節されて配置されている。

【0032】

冷却ローラ３０は、成形ゾーン４２ａにおいて、仕切り部材２０の近傍に配置される。また、冷却ローラ３０は、ガラス板Ｇの厚み方向両側に配置され、ガラス板Ｇを厚さ方向に挟み、ガラス板Ｇを下方に搬送しながらガラス板Ｇの端部Ｇ１を冷却する役割を担う。

【0033】

断熱部材４０ａ，４０ｂ，・・・，４０ｈは、徐冷ゾーン４２０において、ガラス板Ｇの搬送方向（鉛直方向下方）に対して、徐冷ゾーン４２０を複数の徐冷空間４２ｂ，４２ｃ，・・・，４２ｈに分割し、分割した各徐冷空間の熱移動を抑制する。また、断熱部材４０ａ，４０ｂ，・・・，４０ｈは、冷却ローラ３０の下方、かつ、ガラス板Ｇの厚み方向両側に配置される板状の部材であり、ガラス板Ｇを搬送方向へ導くスリット状の空間を有する。上述したように、成形ゾーン４２ａと徐冷ゾーン４２０とは、耐火材及び／又は断熱材建物（図示せず）によって囲まれているが、徐冷ゾーン４２０には、ガラス板Ｇが搬出されるスリット状の空間があり、また、断熱材建物等には一部隙間がある。このため、煙突効果によって、徐冷ゾーン４２０において、鉛直方向下方から成形ゾーン４２ａに向かう上昇気流が発生する。この気流はガラス板Ｇに沿って上昇し、気流によってガラス板Ｇが冷却されるため、この気流を抑制する断熱部材４０ａ，４０ｂ，・・・，４０ｈが必要となる。例えば、図２に示すように、断熱部材４０ａは、成形ゾーン４２ａと徐冷空間４２ｂとを形成し、断熱部材４０ｂは、徐冷空間４２ｂと徐冷空間４２ｃとを形成する。断熱部材４０ａ，４０ｂ，・・・，４０ｈは、上下の空間の間における熱移動を抑制する。例えば、断熱部材４０ａは、成形ゾーン４２ａと徐冷空間４２ｂとの間の熱移動及び上昇気流を抑制し、断熱部材４０ｂは、徐冷空間４２ｂと徐冷空間４２ｃとの間の熱移動及び上昇気流を抑制する。

【0034】

各断熱部材４０ａ，４０ｂ，・・・，４０ｈは、複数の断熱板４１が組み合わされて、ガラス板Ｇに対向する位置に近接配置される。そして、断熱板４１は、稼働機構（図示せず）によって、ガラス板Ｇの厚さ方向に、熱移動及び上昇気流を抑制するように移動可能となっている。図５は、ガラス板Ｇを挟む断熱部材４０を平面視した場合の概略図である。本実施形態では、断熱部材４０は、同図に示すように、ガラス板Ｇに対向する位置に配置され、複数の断熱板４１がガラス板Ｇの幅方向に連結されて形成される。ガラス板Ｇと断熱部材４０（断熱板４１）との間には隙間があり、この隙間の距離Ｄ１を、断熱板４１をガラス板Ｇの方向に移動させることにより任意に設定できる。距離Ｄ１の隙間を気流が通ることによりガラスＧが冷却されると、ガラス板Ｇを所望の温度に調節することができず、ガラス板Ｇに脈理が発生する原因となる。このため、ガラス板Ｇに脈理が発生した位置に対向する断熱板４１を移動させて、ガラス板Ｇの冷却量を調節することにより、ガラス板Ｇに発生する脈理を抑制することができる。
なお、断熱板４１のサイズ、数は、任意に設定することができる。例えば、断熱板４１のサイズを小さくして、多数の断熱板４１を連結することにより、ガラス板Ｇの脈理が発生した位置に対向する位置の断熱板４１を移動することもできる。

【0035】

送りローラ５０ａ，５０ｂ，・・・，５０ｈは、徐冷ゾーン４２０において、鉛直方向に所定間隔で、ガラス板Ｇの厚み方向両側に複数配置される。送りローラ５０ａ，５０ｂ，・・・，５０ｈは、それぞれ、徐冷空間４２ｂ，４２ｃ，・・・，４２ｈに配置され、ガラス板Ｇを下方に搬送する。

【0036】

温度制御ユニット６０ａ，６０ｂ，・・・，６０ｈは、例えば、抵抗加熱、誘電加熱、マイクロ波加熱によって発熱するシーズヒータ、カートリッジヒータ、セラミックヒータ、及び、温度センサ等から構成され、それぞれ、成形ゾーン４２ａ及び徐冷空間４２ｂ，４２ｃ，・・・，４２ｈにガラス板Ｇの幅方向に沿って配置され、成形ゾーン４２ａ及び徐冷空間４２ｂ，４２ｃ，・・・，４２ｈの雰囲気温度を測定し、制御する。また、温度制御ユニット６０ａ，６０ｂ，・・・，６０ｈは、ガラス板Ｇの反り、歪みが生じないように設計された所定の温度分布（以下、「温度プロファイル」という）を形成するように、成形ゾーン４２ａ及び徐冷空間４２ｂ，４２ｃ，・・・，４２ｈの雰囲気温度を制御する。成形ゾーン４２ａ及び徐冷空間４２ｂ等の雰囲気温度によってガラス板Ｇの温度（保有熱量）は変化するが、雰囲気温度は温度が均一になりにくく、温度の高低差がある温度ムラが生じると、ガラス板Ｇの温度にもムラが生じする。ガラス板Ｇの中央領域Ｇ２の板厚は、０．０５〜１．０ｍｍと薄く、保有熱量が変化しやすく、反り、歪み、脈理が生じやすい。本実施形態にかかるガラス板Ｇの中央領域Ｇ２の板厚は、好ましくは、０．０５〜０．５ｍｍであり、より好ましくは０．０５〜０．３ｍｍである。ガラス板Ｇの板厚が薄くなるほど、保有熱量が変化しやすく、反り、歪み、板厚偏差が生じやすいため、中央領域Ｇ２の冷却量を厳密に管理する必要がある。以下では、温度制御ユニット６０ａ，６０ｂ，・・・，６０ｈを総称する場合、温度制御ユニット６０と記載する。なお、上流側とは、ガラス板Ｇの搬送方向と逆方向の側をいい、本実施形態では、徐冷ゾーン４２０からみて成形体１０の側をいう。

【0037】

検出装置７０は、脈理を検出する部分であり、歪あるいはガラス板Ｇの表面の凹凸をガラス板Ｇの幅方向に沿った各位置で検出する。検出装置７０は、例えば、光学センサ、凹凸検知器、歪検知器から構成され、徐冷ゾーン４２０（徐冷空間４２ｈ）から搬送されてきたガラス板Ｇに発生した歪みの位置、及び、歪量（歪値、歪度）、板厚偏差、粘性偏差等を検出する。検出装置７０は、例えば、ガラス板Ｇの幅方向の左先端（左端部Ｇ１）から、Ｘ１ｍｍ〜Ｘ２ｍｍの位置に、Ｙ量の歪みがあると検出する。特に、検出装置７０は、所定の幅（例えば、１０ｍｍ幅）において、ガラス板Ｇに厚み（高さ）変動がある脈理を検出する。すなわち。検出装置７０は、ガラス板Ｇの歪あるいは表面凹凸を検出して、歪みの変化量あるいは表面凹凸の量を計測する。ガラス板Ｇの板厚は、ガラス板Ｇの両側の表面凹凸により定まるものであるため、表面凹凸には、ガラス板Ｇの板厚の変動（板厚偏差）が含まれる。また、ガラス板Ｇの歪みの変化量は、ガラス板Ｇの粘性により定まるものであるため、歪量には、ガラス板Ｇの粘性の変動（粘性偏差）が含まれる。また、検出装置７０は、検出した歪の変化量あるいは表面凹凸の量が基準量以上であるか否かを判定し、この量が基準量以上となった位置を脈理が発生した位置と判定する。脈理は、熔融ガラスＭＧが成形体の下端１１を離れると同時に、表面張力によりガラス板Ｇの幅方向に収縮することにより、ガラス板Ｇの表面凹凸が発生し、この凹凸が徐冷ゾーン４２０において抑制されずに残ったことにより生じる歪みである。脈理は、ガラス板Ｇの収縮が原因であるため、ガラスＧの搬送方向に沿って筋状に連続して発生する。また、ガラス板Ｇの成形時に異質なガラス成分が入り込み、異質なガラス成分が入り込んだガラス板Ｇの一部の保有熱量が他の部分と異なるために、保有熱量が異なる部分が脈理となる。この脈理を抑制するためには、ガラス板Ｇにおいて凹凸が発生した幅方向の位置のみの温度（保有熱量）を制御する必要があるが、徐冷ゾーン４２０の雰囲気温度を制御する温度制御ユニット６０では、筋状の部分のみの温度を制御することが困難であり、温度プロファイルを実現することができない場合がある。このため、検出装置７０が検出した脈理の位置、及び、脈理による変化量（表面凹凸の変化、歪の変化）に基づいて、断熱板４１の位置を調整することにより、筋状に温度が変化したガラス板Ｇの一部の温度のみを制御し、以降に成形するガラス板Ｇの脈理を抑制する。

【0038】

磁性管８０は、磁性体の金属材料から構成され、電源装置（図示せず）に接続され、電源装置から誘導コイルに交流電流が流れると、磁界強度が変化して、磁性管に渦電流が発生する。この渦電流が磁性管８０を流れることによりジュール熱が発生し、磁性管８０が発熱する。磁性管８０は、耐熱性、耐浸食性に優れ、仕切り部材２０より上流（上方）側の位置で、高温となる成形体１０の下端１１に対向する位置に設けられ、稼働機構（図示せず）によって、ガラス板Ｇの厚さ方向、及び、幅方向に移動可能になっている。磁性管８０を熔融ガラスＭＧ（ガラス板Ｇ）に近づけたり離したりすることにより、磁性管８０から熔融ガラスＭＧに伝わる熱量を調整して、ガラス板Ｇに発生する歪み、凹凸を抑制する。また、複数の磁性管８０をガラス板Ｇの幅方向に並べて設けることにより、ガラス板Ｇの幅方向における熱量を調整して、ガラス板Ｇに発生する歪み、凹凸を抑制する。また、磁性管８０は、温度制御ユニット６０からの熱輻射を遮ることにより、ガラス板Ｇに与えられる熱量を抑制し、ガラス板Ｇの保有熱量を制御する。
磁性管８０は、歪みの発生を抑制できる歪点より上流側（上方の空間側）、例えば、成形体１０の下端１１に対向する位置、成形ゾーン４２ａ及び徐冷ゾーン４２０（徐冷空間４２ｂ，４２ｃ，・・・，４２ｈ）の位置に適宜設けることができる。ここで、成形体１０の下端１１とは、下端１１の位置から例えば５０ｃｍの範囲内を意味する。ガラス板Ｇに発生する脈理、歪を抑制するためには、成形体１０の下端１１から歪点の近傍まで、ガラス板Ｇの温度制御が行われる。特に、脈理を抑制するためには、成形体１０の下端１１から中央領域Ｇ２の温度が徐冷点となる範囲で、特に成形体１０の下端１１から中央領域Ｇ２の温度がガラス軟化点の近傍までの範囲で、ガラス板Ｇの温度制御が行われることが好ましい。また、特に、歪を抑制するためには、中央領域Ｇ２の温度が徐冷点から歪点となるまでの範囲で、ガラス板Ｇの温度制御が行われることが好ましい。ここで、ガラス軟化点の近傍とは、ガラス軟化点−２０℃からガラス軟化点＋２０℃までの温度領域であることが好ましい。磁性管８０における管の直径、管の長さ、管の形状、管の本数は、ガラス板Ｇに発生する歪みの位置、及び、歪量に基づいて、適宜変更できる。また、磁性管８０は、熔融ガラスＭＧ（ガラス板Ｇ）を加熱又は冷却して、熔融ガラスＭＧの温度、粘度を変えることができればよいため、磁性管８０に代えて、棒状あるいは板状の、ヒータ、発熱部材、冷却部材、あるいは熱量変化部材であってもよい。また、磁性管８０に代えて、熔融ガラスＭＧに与えられる熱量を抑制する断熱板、熱遮蔽板であってもよい。

【0039】

次に、ガラス板Ｇの冷却を低減して、幅方向で保有熱量を均一にすることにより、脈理（歪み）を抑制する方法について説明する。
まず、一般的なオーバーフローダウンドロー法によって、ガラス板Ｇを成形及び徐冷する。ガラス板Ｇを成形及び徐冷する方法は、例えば、特開２００８―８８００５号公報に記載される内容を含み、当該内容が参酌される。ガラス板Ｇは、歪が生じないように設計された温度プロファイルで制御された成形ゾーン４２ａ及び徐冷ゾーン４２０（徐冷空間４２ｂ，４２ｃ，・・・，４２ｈ）を経て成形されるが、徐冷ゾーン４２０等で発生する気流の乱れや雰囲気温度の温度ムラによって、ガラス板Ｇの一部に脈理が発生する場合がある。このため、脈理が発生した位置、及び、脈理による変化量（表面凹凸の変化、歪の変化（歪量、歪値、歪度））を検出し、あるいは、凹凸の量を検出し、以後に形成するガラス板Ｇに脈理が生じないように、断熱板４１、磁性管８０を移動させて、ガラス板Ｇの保有熱量を均一にして、脈理を抑制する。

【0040】

次に、検出装置７０は、徐冷ゾーン４２０（徐冷空間４２ｈ）から搬送されてきたガラス板Ｇの脈理の幅方向の位置及び変化量（表面凹凸の変化、歪の変化）を検出する。図６は、ガラス板Ｇの脈理ＧＳの幅方向の位置を示した図である。同図に示すように、検出装置７０は、搬送されるガラス板Ｇにおいて、左端部からの位置Ｘ１〜Ｘ２の間に、脈理ＧＳを検出する。さらに、検出装置７０は、検出した脈理ＧＳによる変化量（表面凹凸の変化、歪の変化）を検出する。具体的には、検出装置７０は判定装置としても機能し、検出した変化量が基準量以上であるか否かを判定し、この変化量が基準量以上となった位置を脈理が発生した位置と判定する。ここで、基準量は、ガラス板Ｇの要求スペックによって変化するものであり、任意である。検出装置７０は、上記変化量が基準量以上である場合には、検出した位置Ｘ１〜Ｘ２にある脈理ＧＳを、変化量が基準量未満となるよう抑制すべき脈理であると判定する。ガラス板Ｇの搬送方向に筋状に連続して発生する脈理ＧＳは、気流の乱れや雰囲気温度の温度ムラによって発生するため、この気流を抑制し、さらに温度ムラをなくして雰囲気温度を均一にしない限り、ガラス板Ｇの幅方向における一定の位置（ここでは、位置Ｘ１〜Ｘ２）に、発生し続ける。また、脈理ＧＳによる変化量は、温度ムラをなくして雰囲気温度を均一にしない限り、ガラス板Ｇの一部が搬送方向に筋状に冷却され続けられているため、基本的には一定である。このため、徐冷ゾーン４２０において脈理ＧＳが発生する位置の雰囲気温度を均一にして、所定の温度プロファイルを実現することにより、脈理ＧＳを抑制することができる。温度制御ユニット６０は雰囲気温度を制御できるが、脈理ＧＳが発生した位置Ｘ１〜Ｘ２のみの温度を制御して、ガラス板Ｇの幅方向での保有熱量を均一にすることは困難である。このため、ガラス板Ｇと断熱板４１との距離を制御することにより、ガラス板Ｇの保有熱量を均一にする。

【0041】

次に、成形装置４００は、駆動機構を制御して、位置Ｘ１〜Ｘ２近傍の雰囲気温度が均一になるよう断熱板４１の位置を設定する。図７は、平面視したガラス板Ｇを挟む断熱板４１の位置を変更した図である。成形装置４００は、検出装置７０が検出した脈理ＧＳの位置Ｘ１〜Ｘ２に対向する位置にある断熱板４１を移動させ、ガラス板Ｇと断熱板４１との距離を、Ｄ１からＤ２に変更する。図８は、ガラス板Ｇから断熱板４１までの距離と脈理ＧＳによる変化量（表面凹凸の変化、歪の変化）との関係を示した図である。ガラス板Ｇから断熱板４１までの距離Ｄ１では、脈理ＧＳによる変化量が要求品質を満たさないため、成形装置４００は、断熱板４１の位置を変更して、同図に示すように、距離Ｄ１から距離Ｄ２に変更する。距離Ｄ２では、ガラス板Ｇの脈理ＧＳは要求品質を満たす。脈理ＧＳが発生した位置に対向する位置に設けられた断熱板４１からガラス板Ｇまでの距離を狭めると、この位置を通過する気流が抑制されてガラス板Ｇの冷却量が減少し、さらに、雰囲気温度が均一になる。つまり、断熱板４１をガラス板Ｇに近づけると、断熱板４１に対向するガラス板Ｇの一部では、断熱板４１からの熱輻射が増大し、断熱板４１に対向する位置のみのガラス板Ｇの温度（保有熱量）が上昇する。脈理の発生位置であるガラス板Ｇの温度が低下している筋状の位置のみを加熱でき、ガラス板Ｇの搬送方向におけるクリアランスを変化させ、温度制御ユニット６０で制御された温度プロファイルを実現できる。そして、ガラス板Ｇから断熱板４１までの距離をＤ２に変更した以降に成形されるガラス板Ｇの変化量（表面凹凸の変化、歪の変化）は、要求品質を満たすこととなる。なお、ガラス板Ｇから断熱板４１までの距離と変化量（表面凹凸の変化、歪の変化）との関係は、距離を徐々に変化させて、変化量を検出することにより求めてもよく、また、雰囲気温度とガラス板Ｇの温度とから、変化量をシミュレーションして求めてもよい。

【0042】

ガラス板Ｇの脈理ＧＳは、ガラス板Ｇの温度が歪点に達する前に発生する。ここで、歪点とは、一般的なガラスの歪点をいい、１０^１４．５ポワズの粘度に相当する温度（例えば、６６１℃）である。ガラス板Ｇの歪点は６５０℃以上であってもよく、６６０℃以上であることがより好ましく、６９０℃以上であることがさらに好ましく、７３０℃以上が特に好ましい。歪点が高いガラスは、熔融されているガラスの粘度が高い傾向にある。粘度が高いガラスほど、ガラス板Ｇの成形時に異質なガラス成分が入り込んだ場合には、異質なガラス成分が拡散しにくいため、脈理ＧＳが発生しやすい。そのため、歪点が高いガラスほど、脈理ＧＳを低減できる効果が顕著になる本発明に好適である。脈理ＧＳを抑制するためには、ガラス板Ｇの温度が歪点から−５０℃に達する前に、ガラス板Ｇの温度（保有熱量）を制御する必要がある。成形ゾーン４２ａ、徐冷ゾーン４２０において、ガラス板Ｇの温度が歪点から−５０℃以上となるのは、断熱部材４０ａから断熱部材４０ｆまでの領域である。このため、断熱部材４０ａから断熱部材４０ｆの位置にある断熱板４１の位置を変更し、断熱板４１からガラス板Ｇに与える熱量を増加させることにより、効果的に、ガラス板Ｇの脈理ＧＳを抑制することができる。断熱板４１によりガラス板Ｇの温度制御が行われる範囲は、磁性管８０と同様である。

【0043】

成形装置４００は、検出装置７０が検出した脈理ＧＳの位置及び脈理ＧＳによる変化量に基づいて、断熱板４１の位置の調整を繰り返すことにより、断熱板４１の位置の調整後に成形するガラス板Ｇの脈理ＧＳを抑制することができる。また、ガラス板Ｇに複数の脈理ＧＳが存在する場合には、成形装置４００は、複数の脈理ＧＳが発生した位置に対向する位置の断熱板４１の位置の調整を繰り返すことにより、ガラス板Ｇの脈理ＧＳを抑制することができる。

【0044】

以上説明したように、本発明によれば、ガラス板に発生した脈理に対向する断熱板の位置を調整し、雰囲気温度を均一にすることにより、位置調整
後に成形するガラス板の脈理を抑制することができる。また、気流を抑制し、ガラス板の冷却量を低減することにより、脈理が生じないように設計された温度プロファイルを実現できる。

【0045】

（実施形態２）
次に、断熱部材４０が一体に形成されている場合に、断熱板４１を断熱部材４０に沿って設けることにより、ガラス板Ｇの脈理ＧＳを抑制する方法について説明する。なお、上述の実施形態と共通する構成については説明を省略する。

【0046】

図９は、本実施形態にかかるガラス板を挟む断熱部材を平面視した場合の概略図である。断熱板４１は、同図に示すように、断熱部材４０に沿うように設けられる。断熱板４１は、例えば、徐冷空間４２ｈの下端に形成されているガラス板Ｇが搬出されるスリットから、徐冷ゾーン４２０内部に挿入することにより設けることができる。なお、断熱板４１を設ける方法は、成形ゾーン４２ａ、徐冷ゾーン４２０の構造によって任意に変更できる。

【0047】

成形装置４００は、検出装置７０が検出した脈理ＧＳの位置及び歪量を、例えば成形装置４００の操作者に掲示する。断熱板４１を設ける位置は、脈理ＧＳが発生した位置に対向する位置であり、また、断熱板４１は、脈理ＧＳの幅方向の長さに一致する長さを有し、ガラス板Ｇから断熱板４１までの距離が要求品質を満たす距離Ｄ２となる厚みを有するサイズである。この断熱板４１を、図９に示すように、断熱部材４０に沿うように設けることにより、断熱板４１を設けた以降に成形するガラス板Ｇの脈理ＧＳを抑制することができる。

【0048】

以上説明したように、本発明によれば、ガラス板の脈理が発生した位置及び脈理による変化量（表面凹凸の変化、歪の変化）に対応する断熱板を設けることができるため、ガラス板の脈理を適切に抑制することができる。また、断熱部材が一体に形成されている場合であっても、ガラス板から断熱部材（断熱板）までの距離を任意に変更できるため、距離変更後のガラス板の脈理を抑制することができる。

【0049】

（実施形態３）
次に、ガラス板Ｇにおける端部Ｇ１と中央領域Ｇ２との間に発生する脈理を抑制する方法について説明する。なお、上述の実施形態と共通する構成については説明を省略する。

【0050】

ガラス板Ｇは、図４に示すように、厚さがほぼ均一な中央領域Ｇ２と、中央領域Ｇ２より厚みのある端部Ｇ１からなる。両端部Ｇ１は、厚さがほぼ均一な中央領域Ｇ２と比較して厚みがあるため、中央領域Ｇ２より保有熱量が大きく、両端部Ｇ１と中央領域Ｇ２とに保有熱量の差があるために、両端部Ｇ１と中央領域Ｇ２との間で応力が発生し、ガラス板Ｇに反り、歪みが生じることとなる。このため、両端部Ｇ１と中央領域Ｇ２との保有熱量を等しくすることによって、脈理ＧＳ（歪み）を低減する。この変化量（歪量）は、図８に示すように、ガラス板Ｇから断熱部材４０までの距離によって変化する。このため、端部Ｇ１から断熱部材４０までの距離と、中央領域Ｇ２から断熱部材４０までの距離がほぼ等しく、かつ、これらの距離が、要求品質を満たす距離以下であればよい。

【0051】

図１０は、本実施形態にかかるガラス板を挟む断熱部材を平面視した場合の概略図である。断熱板４１は、同図に示すように、端部Ｇ１及び中央領域Ｇ２から断熱板４１までの距離がほぼ等しくなるように、傾斜形状になっている。両端部Ｇ１と中央領域Ｇ２との間における脈理ＧＳは、板厚の差による保有熱量の差によって発生するため、歪量が幅方向で異なる。このため、傾斜形状を有する断熱板４１を断熱部材４０に沿って設けることにより、雰囲気温度を均一にして、脈理ＧＳが生じないように設計された温度プロファイルによりガラス板Ｇを冷却する。これにより、断熱板４１を設けた以後に成形するガラス板Ｇの脈理ＧＳを抑制することができる。
なお、断熱板４１の形状、サイズは、ガラス板Ｇの脈理ＧＳの幅、歪量に基づいて、任意に変更することができる。

【0052】

以上説明したように、本発明によれば、ガラス板の端部と中央領域に発生する脈理を抑制することができる。また、断熱部材が一体に形成されている場合であっても、両端部及び中央領域から断熱部材（断熱板）までの距離を任意に変更できるため、距離変更後のガラス板の脈理を抑制することができる。

【0053】

（実施形態４）
次に、断熱部材４０に複数の温度制御ユニット（温度制御装置、熱量制御装置）６０を設けることにより、ガラス板Ｇの脈理を抑制する方法について説明する。なお、上述の実施形態と共通する構成については説明を省略する。

【0054】

図１１は、本実施形態にかかるガラス板を挟む断熱部材を平面視した場合の概略図である。断熱部材４０には、同図に示すように、ガラス板Ｇの幅方向に、複数の温度制御ユニット６０が設けられる。温度制御ユニット６０は、例えば、断熱部材４０がガラス板Ｇと対向する面（側）と逆面（側）に設けられ、温度（発熱量）を制御することにより、断熱部材４０からガラス板Ｇに与える熱量を制御する。検出装置７０が検出した脈理ＧＳの位置に対応する温度制御ユニット６０は、発熱量を増加することにより、ガラス板Ｇに与える熱量を増加させて、ガラス板Ｇに発生する脈理ＧＳを抑制することができる。

【0055】

以上説明したように、本発明によれば、ガラス板の脈理が発生した位置及び脈理による変化量（表面凹凸の変化、歪の変化）に対応して、熱量を増加することができるため、ガラス板の脈理を適切に抑制することができる。また、断熱部材が一体に形成されている場合であっても、ガラス板に与える熱量を任意に変更でき、ガラス板の脈理を抑制することができる。

【0056】

（実施形態５）
次に、複数の磁性管８０の設置位置を調整することにより、ガラス板Ｇの脈理を抑制する方法について説明する。なお、上述の実施形態と共通する構成については説明を省略する。
成形装置４００は、駆動機構を制御して、位置Ｘ１〜Ｘ２近傍の雰囲気温度が均一になるよう成形体１０の下端１１付近に設けられた磁性管８０の位置を設定する。図１２（ａ）は、成形体１０の下端１１を拡大した断面概略図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）における成形体１０の下端１１側から平面視した図である。本実施形態の磁性管８０は、図２に示すように、成形工程と、冷却工程（ガラス板Ｇを徐冷する工程）とを仕切る仕切り部材２０よりガラス板Ｇの搬送方向の上流側（成形体１０の位置する側）に設けられている。成形装置４００は、検出装置７０が検出した脈理ＧＳの位置Ｘ１〜Ｘ２と同一の幅方向の位置に磁性管８０を移動させ、熔融ガラスＭＧと磁性管８０との距離をＤ１に設定する。磁性管８０を用いて熔融ガラスＭＧ及びガラス板Ｇを加熱することにより、ガラス板Ｇが下端１１を離れた際に生じる収縮を抑制する。検出装置７０が検出した位置Ｘ１〜Ｘ２に脈理ＧＳが生じている場合、ガラス板Ｇ（熔融ガラスＭＧ）が下端１１を離れた際に、同一の位置Ｘ１〜Ｘ２に脈理ＧＳがすでに生じている。このため、成形装置４００は、同図に示すように、幅方向における位置Ｘ１〜Ｘ２に磁性管８０を設けて、ガラス板Ｇ（熔融ガラスＭＧ）を加熱することにより、ガラス板Ｇの粘性を変化させて収縮を抑制する。また、図１３は、熔融ガラスＭＧから磁性管８０までの距離と変化量（表面凹凸の変化、歪の変化）との関係を示した図である。徐冷ゾーン４２０において除去できない歪み、凹凸が発生した幅方向の位置に磁性管８０を設けていない場合（図１３中の「磁性管なし」）、検出装置７０が検出する脈理ＧＳによる変化量（表面凹凸の変化、歪の変化）が要求品質を満たさない。このため、成形装置４００は、駆動機構を制御して、磁性管８０を熔融ガラスＭＧに近づけるように移動させ、さらに、要求スペックを満たす距離Ｄ１になるよう熔融ガラスＭＧと磁性管８０との距離を設定する。すなわち、ガラス板Ｇが要求スペックを満たすように、距離は、計測により得られた歪の変化量あるいは表面凹凸の量に応じて変化するよう制御される。同図に示すように、距離Ｄ１では、徐冷ゾーン４２０で徐冷されたガラス板Ｇの脈理ＧＳは要求品質を満たす。脈理ＧＳが発生した位置に対向する位置に設けられた磁性管８０から熔融ガラスＭＧまでの距離を狭めると、熔融ガラスＭＧが磁性管８０から受ける熱量が増加し、熔融ガラスＭＧの粘性が低下するため、下端１１から離れるガラス板Ｇ（熔融ガラスＭＧ）の粘度も低下する。下端１１から離れたガラス板Ｇは、冷却ローラ３０により端部Ｇ１が挟み込まれ、幅方向へ収縮するのを抑制されながら搬送されるが、粘度が低いガラス板Ｇは変形が容易であるため、冷却ローラ３０により幅方向にガラス板Ｇが引っ張られることにより、収縮が抑制され、ガラス板Ｇに生じる脈理ＧＳも抑制できる。徐冷ゾーン４２０に搬送されるガラス板Ｇの歪量を一定以下にすることにより、徐冷ゾーン４２０において所定の温度プロファイルで温度管理されたガラス板Ｇの変化量（歪量）が、要求スペックを満たすようになる。このため、磁性管８０を設けた以降に成形されるガラス板Ｇの変化量（表面凹凸の変化、歪の変化）は、要求品質を満たすこととなる。なお、熔融ガラスＭＧから磁性管８０までの距離と変化量との関係は、距離を徐々に変化させて、変化量を検出することにより求めてもよく、また、ガラス板Ｇの温度や粘度等とから、変化量をシミュレーションして求めてもよい。

【0057】

成形装置４００は、検出装置７０が検出した脈理ＧＳの位置及び脈理ＧＳによる変化量（歪量）に基づいて、磁性管８０の位置の調整を繰り返すことにより、磁性管８０の位置の調整後に成形するガラス板Ｇの脈理ＧＳを抑制することができる。また、ガラス板Ｇに複数の脈理ＧＳが存在する場合には、成形装置４００は、複数の脈理ＧＳが発生した位置に対応する幅方向の位置に、複数の磁性管８０を移動させることにより、ガラス板Ｇの脈理ＧＳを抑制することができる。

【0058】

以上説明したように、本発明によれば、徐冷ゾーンにガラス板が搬送される前に、歪量、凹凸を一定以下に抑制することにより、成形したガラス板の脈理による変化量が要求スペック、すなわち要求条件、を満たすようにすることができる。また、要求スペックを満たさないガラス板に脈理が発生した場合であっても、その脈理が連続的に発生することを抑制することができる。また、ガラス板に発生する脈理の原因となるガラス板上の凹凸発生を抑制することもできる。

【0059】

（実施形態６）
次に、複数の磁性管８０の設置位置を調整することにより、ガラス板Ｇの脈理を抑制する方法について説明する。なお、上述の実施形態と共通する構成については説明を省略する。

【0060】

図１４は、本実施形態にかかる磁性管８０を成形体１０の下端側１１から平面視した図である。磁性管８０は、成形体１０の下端側１１近傍に、熔融ガラスＭＧ（ガラス板Ｇ）に対向する位置に設けられる。検出装置７０は、ガラス板Ｇに形成される凹凸の位置及びその凹凸の量を検出し、検出した凹凸の量が基準量以上である場合に、検出した凹凸の位置に脈理が発生したと判定する。同図における位置Ｘ３〜Ｘ５、及び、位置Ｘ６〜Ｘ７は、検出装置７０により脈理があると判定された位置である。徐冷ゾーン４２０を経て成形されたガラスＧの位置Ｘ３〜Ｘ５に脈理があり、位置Ｘ３〜Ｘ４において、位置Ｘ４〜Ｘ５より脈理の程度が大きい場合、成形装置４００は、成形体１０の下端側１１近傍において、位置Ｘ３〜Ｘ５に対応する位置に、磁性管８０を移動させ、さらに、磁性管８０と熔融ガラスＭＧとの距離を、位置Ｘ３〜Ｘ４では距離Ｄ２、位置Ｘ４〜Ｘ５では距離Ｄ３になるように設置する。熔融ガラスＭＧに与える熱量を変化させる熱量変化部材として機能させる磁性管８０の幅は、検出された脈理の幅に等しくなるように調整される。さらに、位置Ｘ３〜Ｘ４の変化量、凹凸は、位置Ｘ４〜Ｘ５の変化量、凹凸より大きいため、位置Ｘ３〜Ｘ４では、磁性管８０の位置は位置Ｘ４〜Ｘ５に比べて熔融ガラスＭＧにより近く、距離Ｄ２＜距離Ｄ３となるように設けられる。また、徐冷ゾーン４２０を経て成形されたガラスＧの脈理の位置Ｘ３〜Ｘ５とは異なる面において、位置Ｘ６〜Ｘ７に脈理が成形された場合、成形装置４００は、脈理が成形された面側で、成形体１０の下端側１１近傍において、位置Ｘ６〜Ｘ７に対応する位置に、磁性管８０を移動させ、さらに、磁性管８０と熔融ガラスＭＧとの距離をＤ４になるように設置する。脈理の幅が広い（位置Ｘ３〜Ｘ５までの距離が長い）場合、位置Ｘ３〜Ｘ５までの距離と同距離になるように、複数の磁性管８０が、熔融ガラスＭＧの幅方向に並べて配置される。これにより、複数の磁性管８０が配置された以降に成形されるガラス板Ｇの脈理を低減することができる。また、一か所に発生した脈理において変化量が異なる場合、磁性管８０と熔融ガラスＭＧとの距離を、磁性管８０ごとに変化させて、距離Ｄ２、Ｄ３とすることで、変化量に対応した脈理低減を行うことができる。成形装置４００は、成形体１０の下端側１１近傍において、検出装置７０が検出した脈理の位置に対応する幅方向の位置に磁性管８０を設け、また、検出装置７０が検出した変化量に基づいて、磁性管８０と熔融ガラスＭＧとの距離を定めることにより、脈理が発生した位置、変化量に応じた歪み低減を行うことができる。
さらに、熔融ガラスＭＧに与える熱量を変化させる熱量変化部材として機能させる磁性管８０の幅は、検出された脈理の幅に等しくなるように調整されることが好ましい。

【0061】

以上説明したように、本発明によれば、ガラス板の脈理が発生した位置及び変化量に対応して磁性管を設けることができるため、ガラス板の脈理を適切に抑制することができる。また、磁性管の設置位置、磁性管と熔融ガラスとの距離を任意に設定できるため、要求スペックを満たさないガラス板に脈理が発生した場合であっても、その脈理を抑制することができる。

【0062】

以上、本発明のガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。

【符号の説明】

【0063】

４００ 成形装置
４１０ 成形体収容部
４２０ 徐冷ゾーン
Ｇ ガラス板
２０ 仕切り部材
３０ 冷却ローラ
４０ａ，４０ｂ，・・・ 断熱部材
４１ 断熱板
４２ａ 成形ゾーン
４２ｂ，４２ｃ，・・・ 徐冷空間
５０ａ，５０ｂ，・・・ 送りローラ
６０ａ，６０ｂ，・・・ 温度制御ユニット
７０ 検出装置
８０ 磁性管

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】