特許 5945493 シート貼付装置および貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5945493

(24)【登録日】2016年6月3日

(45)【発行日】2016年7月5日

(54)【発明の名称】シート貼付装置および貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20160621BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20160621BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20160621BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   H01L21/304 622J

   H01L21/78 M

【請求項の数】3

【全頁数】8

(21)【出願番号】特願2012-241059(P2012-241059)

(22)【出願日】2012年10月31日

(65)【公開番号】特開2014-93314(P2014-93314A)

(43)【公開日】2014年5月19日

【審査請求日】2015年6月18日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】上道 厚史

【審査官】 梶尾 誠哉

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−１１６９２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０１０１５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１５３４３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１３６５６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−３５２０５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００７／０１３１３４４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／００９６０９０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ２１／３０４

２１／４６３

２１／６７−２１／６８３

Ｂ６５Ｃ １／００−１１／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

間欠動作を繰り返して所定形状の接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
帯状の剥離シートの一方の面に仮着された帯状の原接着シートに対し、剥離シートに達する環状の切込が設けられることで、当該切込の内側に前記所定形状の接着シートが形成され、当該切込の外側に不要シートが形成された原反を繰り出す繰出手段と、
前記剥離シートから前記所定形状の接着シートを剥離する剥離手段と、
剥離された前記所定形状の接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを有し、
前記所定形状の接着シートが剥離されて表出した前記剥離シートの表出部と前記剥離シート上に不要シートが積層された積層部との境界を検知する検知手段を備え、前記繰出手段は、当該検知手段の検知結果を基に前記原反を間欠的に繰り出す
ことを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

間欠動作を繰り返して所定形状の接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
帯状の剥離シートの一方の面に帯状の原接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記原接着シート側から前記剥離シートに達する環状の切込を設けることで、当該切込の内側に前記所定形状の接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切込手段と、
前記剥離シートから前記所定形状の接着シートを剥離する剥離手段と、
剥離された前記所定形状の接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを有し、
前記所定形状の接着シートが剥離されて表出した前記剥離シートの表出部と前記剥離シート上に不要シートが積層された積層部との境界を検知する検知手段を備え、前記繰出手段は、当該検知手段の検知結果を基に前記原反を間欠的に繰り出す
ことを特徴とするシート貼付装置。

【請求項3】

間欠動作を繰り返して所定形状の接着シートを被着体に貼付するシートの貼付方法において、
帯状の剥離シートの一方の面に仮着された帯状の原接着シートに対し、剥離シートに達する環状の切込が設けられることで、当該切込の内側に前記所定形状の接着シートが形成され、当該切込の外側に不要シートが形成された原反を繰り出す繰出工程と、
前記剥離シートから前記所定形状の接着シートを剥離手段で剥離する工程と、
剥離された前記所定形状の接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを含み、
前記所定形状の接着シートが剥離されて表出した前記剥離シートの表出部と前記剥離シート上に不要シートが積層された積層部との境界を検知する検知工程を行い、前記繰出工程において、当該検知工程の検知結果を基にして前記原反を間欠的に繰り出す工程を実施する
ことを特徴とする貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下単に「ウェハ」という場合がある）の表面に接着シートを貼付するために、例えば、特許文献１のようなシート貼付装置が用いられる。
特許文献１のシート貼付装置では、プリカット装置によって形成された接着シートを、繰り出しと停止とを繰り返す所謂間欠動作によって１枚ずつ繰り出すため、形成された接着シートの間隔に合わせて確実に間欠動作を行なわなければならない。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−１１６９２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載のシート貼付装置において間欠動作を行う場合、プリカット装置で形成した切込を光学センサ、撮像装置、接触型のセンサ等の検知手段で検知させようとすると、切込の幅が狭いため、光の変化、画像の変化、厚みの変化等による境界位置の検知が非常に困難となり、そのような状況でも検知が行える特殊で高価な検出手段を採用しなければならないという問題がある。

【0005】

本発明の目的は、特殊で高価な検出手段を採用することなく、原反の間欠送りを確実に行うことができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、間欠動作を繰り返して所定形状の接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、帯状の剥離シートの一方の面に仮着された帯状の原接着シートに対し、剥離シートに達する環状の切込が設けられることで、当該切込の内側に前記所定形状の接着シートが形成され、当該切込の外側に不要シートが形成された原反を繰り出す繰出手段と、前記剥離シートから前記所定形状の接着シートを剥離する剥離手段と、剥離された前記所定形状の接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを有し、前記所定形状の接着シートが剥離されて表出した前記剥離シートの表出部と前記剥離シート上に不要シートが積層された積層部との境界を検知する検知手段を備え、前記繰出手段は、当該検知手段の検知結果を基に前記原反を間欠的に繰り出すという構成を採用している。

【0007】

また、本発明のシート貼付装置は、間欠動作を繰り返して所定形状の接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、帯状の剥離シートの一方の面に帯状の原接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記原接着シート側から前記剥離シートに達する環状の切込を設けることで、当該切込の内側に前記所定形状の接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切込手段と、前記剥離シートから前記所定形状の接着シートを剥離する剥離手段と、剥離された前記所定形状の接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを有し、前記所定形状の接着シートが剥離されて表出した前記剥離シートの表出部と前記剥離シート上に不要シートが積層された積層部との境界を検知する検知手段を備え、前記繰出手段は、当該検知手段の検知結果を基に前記原反を間欠的に繰り出すという構成を採用している。

【0008】

一方、本発明の貼付方法は、間欠動作を繰り返して所定形状の接着シートを被着体に貼付するシートの貼付方法において、帯状の剥離シートの一方の面に仮着された帯状の原接着シートに対し、剥離シートに達する環状の切込が設けられることで、当該切込の内側に前記所定形状の接着シートが形成され、当該切込の外側に不要シートが形成された原反を繰り出す繰出工程と、前記剥離シートから前記所定形状の接着シートを剥離手段で剥離する工程と、剥離された前記所定形状の接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを含み、前記所定形状の接着シートが剥離されて表出した前記剥離シートの表出部と前記剥離シート上に不要シートが積層された積層部との境界を検知する検知工程を行い、前記繰出工程において、当該検知工程の検知結果を基にして前記原反を間欠的に繰り出す工程を実施する。

【発明の効果】

【0009】

以上のような本発明のシート貼付装置および貼付方法によれば、検知手段が接着シートの剥離後に表出した剥離シートの表出部と剥離シート上に不要シートが積層された積層部との境界を検知するので、検知の対象となる部分が広く（大きく）なり、光の変化、画像の変化、厚みの変化等による境界位置の検知を容易に行うことができ、特殊で高価な検出手段を採用することなく、原反の間欠送りを確実行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

【図2】図１の要部側面図。

【図3】変形例の要部側面図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。

【0012】

図１、図２において、本実施形態のシート貼付装置１は、間欠動作を繰り返して所定形状の接着シートとしての接着シートＡＳ１を被着体としてのウェハＷＦに貼付するものであり、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＤとからなる帯状の原接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、原接着シートＡＳ側から剥離シートＲＬに達する環状の切込ＣＵを設けることで、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳ１を形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切込手段３と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段４と、剥離された接着シートＡＳ１をウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ５と、接着シートＡＳ１が剥離されて表出した剥離シートＲＬの表出部ＲＬ１と剥離シートＲＬ上に不要シートＵＳが積層された積層部ＲＵとの境界ＢＤを検知する検知手段６と、ウェハＷＦを支持して搬送する搬送手段７とを備えて構成されている。なお、本実施形態の場合、剥離シートＲＬが透明または半透明で、原接着シートＡＳが着色されているものとする。

【0013】

繰出手段２は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、駆動機器としての回転モータ２３によって回転駆動される駆動ローラ２４と、剥離シートＲＬおよび不要シートＵＳを駆動ローラ２４との間に挟み込むピンチローラ２５と、図示しない駆動機器によって駆動され、不要シートＵＳ付きの剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備え、ベースフレーム２０に支持されている。

【0014】

切込手段３は、原反ＲＳの基材シートＢＳ側に位置し、駆動機器としての回転モータ３１によって回転駆動されるとともに、表面にカッター刃３２が設けられたダイローラ３３と、原反ＲＳを間に挟んでダイローラ３３と対向配置されたダイ受けローラ３４とを備えている。

【0015】

剥離手段４は、左下方に傾斜した姿勢でベースフレーム２０に支持された剥離板４１を備え、当該剥離板４１の左下端が原反ＲＳを駆動ローラ２４側に折り返す折曲端縁４２とされ、図２に示すように、折曲端縁４２から駆動ローラ２４側に向かって所定間隔離れた裏面側に収容穴４３が設けられている。

【0016】

検知手段６は、剥離板４１に形成された収容穴４３内に配置された反射型の光学センサからなり、剥離板４１の折曲端縁４２で折り返された不要シートＵＳ付きの剥離シートＲＬに光を照射すると同時に、当該剥離シートＲＬで反射した反射光を受光することで、当該受光した光の強さの変化によって、境界ＢＤを検知可能となっている。すなわち、検知手段６で照射され剥離シートＲＬのみの部分で反射する光は、当該剥離シートＲＬを透過する光の量が多いので、当該検知手段６が受光する光の強さは小さい。一方、検知手段６で照射され剥離シートＲＬに不要シートＵＳが積層された積層部ＲＵで反射する光は、不要シートＵＳが仮着されている分剥離シートＲＬのみの部分に比べて透過する光の量が少ないので、当該検知手段６が受光する光の強さは大きくなる。これにより、検知手段６が境界ＢＤを検知することができるようになっている。

【0017】

搬送手段７は、駆動機器としてのリニアモータ７１のスライダ７２上に支持されるとともに、上面に形成された図示しない吸引口を介してウェハＷＦを吸着支持可能な支持テーブル７３を備えている。

【0018】

以下、シート貼付装置１による接着シートＡＳ１の貼付手順を説明する。
先ず、図１に示すように、原反ＲＳを通紙し、オペレータが図示しない操作パネル等の操作手段を介して自動運転モードを選択すると、繰出手段２および切込手段３が回転モータ２３および回転モータ３１を駆動し、原反ＲＳ繰り出すとともに、当該繰り出された原反ＲＳに対し、回転モータ２３が切込ＣＵを設け、接着シートＡＳ１および不要シートＵＳを形成する。また、自動運転モードが選択された時点から、検知手段６が剥離シートＲＬに向けて光を照射するとともに、剥離シートＲＬで反射した光の強さの監視を開始する。そして、１番目の接着シートＡＳ１が剥離板４１の折曲端縁４２で剥離されて表出した剥離シートＲＬの表出部ＲＬ１が駆動ローラ２４方向に搬送されると、検知手段６が照射した光が積層部ＲＵから剥離シートＲＬのみの部分に変わった時点、すなわち、受光した光の強さが強から弱に変化した時点で境界ＢＤを検知し、繰出手段２および切込手段３が回転モータ２３，３１の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。このとき１番目の接着シートＡＳ１は、図２に示すように、剥離シートＲＬから一部だけ剥離した状態でその先端が押圧ローラ５に達している。

【0019】

搬送手段７がリニアモータ７１を駆動し、支持テーブル７３を左方に移動してウェハＷＦが剥離板４１の下方所定位置で図示しない検知手段によって検知されると、繰出手段２および切込手段３が回転モータ２３，３１を駆動し、ウェハＷＦの搬送速度と同じ速度で１番目の接着シートＡＳ１を繰り出すとともに、原反ＲＳに切込ＣＵを形成する。そして繰り出された１番目の接着シートＡＳ１は、折曲端縁４２で剥離シートＲＬから剥離されつつ、押圧ローラ５によって押圧されてウェハＷＦに貼付される。１番目の接着シートＡＳ１全体がウェハＷＦに貼付され後も、繰出手段２および切込手段３が回転モータ２３，３１を駆動し、２番目の接着シートＡＳ１が剥離板４１の折曲端縁４２で剥離される。この間、検知手段６が受光する光の強さは、弱から強に変化した後に強から弱に変化するので、この強から弱に変化した時点で再び境界ＢＤを検知し、繰出手段２および切込手段３が回転モータ２３，３１の駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
そして、１番目の接着シートＡＳ１が貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送手段によって別の工程に搬送され、支持テーブル７３が右方に搬送されて以降上記同様の動作が繰り返される。

【0020】

以上のような実施形態によれば、次の効果がある。
すなわち、シート貼付装置１では、検知手段６が接着シートＡＳ１の剥離後に表出した剥離シートＲＬの表出部ＲＬ１と剥離シートＲＬ上に不要シートＵＳが積層された積層部ＲＵとの境界ＢＤを検知するので、検知の対象となる部分が広くなり、検知手段６が受光する光の強弱変化による境界ＢＤの検知を容易に行うことができ、特殊で高価な検出手段を採用することなく、原反ＲＳの間欠送りを確実に行うことができる。

【0021】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0022】

例えば、支持テーブル７３およびウェハＷＦと干渉しない位置で、検知手段６をベースフレーム２０にブラケット等を介して取り付け、折曲端縁４２を過ぎてから回収ローラ２６で巻き取られるまでの間で境界ＢＤを検知するように構成してもよい。要するに、検知手段６は、不要シートＵＳが積層された積層部ＲＵと接着シートＡＳ１が剥離板４１で剥離されて表出した剥離シートＲＬの表出部ＲＬ１との境界ＢＤを検知できればよく、その取り付け位置は任意である。
さらに、境界ＢＤとしては、不要シートＵＳと接着シートＡＳ１が剥離シートＲＬから剥離されて表出した剥離シートＲＬの表出部ＲＬ１との境界であれば何れの位置でもよく、例えば、図２中ＢＤ１で示す不要シートＵＳと１つ前の接着シートＡＳ１が剥離シートＲＬから剥離されて表出した表出部ＲＬ１との境界であってもよい。

【0023】

また、検知手段６は、透過型の光学センサを採用してもよいし、カメラ等の撮像手段を採用してもよい。
さらに、検知手段６は、図３に示すように、リミットスイッチ等の接触型のセンサ６１を採用してもよく、当該接触型のセンサ６１の接触部材６２が剥離板４１で折り返された不要シートＵＳ付きの剥離シートＲＬに接触し、不要シートＵＳが仮着された積層部ＲＵと剥離シートＲＬのみの部分との厚みの差（段差）の変化を検知するようになっている。このような接触型のセンサは、剥離シートＲＬが着色され原接着シートＡＳが透明または間透明の場合や、それら両方が透明または半透明の場合等、光の強弱を検出し難い場合に有効となる。要するに、検知手段６は、境界ＢＤを検知できればよく、接触型を採用するか非接触型を採用するかは任意であるし、不要シートＵＳ付きの剥離シートＲＬに対して剥離シートＲＬ側に配置するか不要シートＵＳ側に配置するかも任意である。
また、原反ＲＳとして、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された帯状の原接着シートＡＳに対し、剥離シートＲＬに達する環状の切込ＣＵが予め設けられることで、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳ１が形成され、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳが形成されたものが採用された場合、前記実施形態における切込手段３は必要ない。

【0024】

さらに、本発明における原接着シートＡＳや接着シートＡＳ１および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、原接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性の原接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層ＡＤだけの単層のもの、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するもの、基材シートＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートＢＳを接着剤層ＡＤから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、原接着シートＡＳや接着シートＡＳ１を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付するができる。

【0025】

また、前記実施形態における駆動機器は、回転モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0026】

１ シート貼付装置
２ 繰出手段
３ 切込手段
４ 剥離手段
５ 押圧ローラ（押圧手段）
６ 検知手段
４１ 剥離板
ＡＳ 原接着シート
ＡＳ１ 接着シート（所定形状の接着シート）
ＢＤ 境界
ＣＵ 切込
ＲＬ 剥離シート
ＲＬ１ 表出部
ＲＳ 原反
ＲＵ 積層部
ＵＳ 不要シート
ＷＦ ウェハ（被着体）

【図1】

【図2】

【図3】