特許5948329液相化学堆積装置及びプロセス並びにその製品

発明の名称　液相化学堆積装置及びプロセス並びにその製品

出願人　デ，ロシェモント，エル．，ピエール　（識別番号 507101598）

　　　　特許公開件数ランキング 31134 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25269 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5948329

公報発行日　2016年7月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5948329

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