特許 5949445 圧電フィルタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5949445

(24)【登録日】2016年6月17日

(45)【発行日】2016年7月6日

(54)【発明の名称】圧電フィルタ

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/56 20060101AFI20160623BHJP

   H03H 9/10 20060101ALI20160623BHJP

   H01L 41/18 20060101ALI20160623BHJP

   H01L 41/09 20060101ALI20160623BHJP

【ＦＩ】

   H03H9/56 D

   H03H9/10

   H01L41/18 101A

   H01L41/08 L

【請求項の数】8

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2012-236254(P2012-236254)

(22)【出願日】2012年10月26日

(65)【公開番号】特開2014-86983(P2014-86983A)

(43)【公開日】2014年5月12日

【審査請求日】2015年5月27日

(73)【特許権者】

【識別番号】000149734

【氏名又は名称】株式会社大真空

(74)【代理人】

【識別番号】100086737

【弁理士】

【氏名又は名称】岡田 和秀

(72)【発明者】

【氏名】前田 浩

【審査官】 ▲高▼橋 義昭

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第９７／００５６９９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 実開平０３−００２７４１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００２−１８５２８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−３０８６８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０９４４１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−０１７９７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３０３８２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２００９５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−２９５０７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−１３８５６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−０８３２９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０６−０４５８６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−１０２７８５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０３Ｈ ９／５６

Ｈ０１Ｌ ４１／０９

Ｈ０１Ｌ ４１／１８

Ｈ０３Ｈ ９／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

矩形状の圧電板の一方の面に複数の分割電極を、また、他方の面に前記複数の分割電極に共通して対向する共通電極を備え、前記圧電板の外周縁上にある４つの角部のうちの３つの角部に前記各電極を引き出す引出電極が形成され、これら引出電極が引き出された前記３つの角部に導電性接着剤が塗布されている圧電フィルタであって、
前記圧電板の一方の辺方向中央を通る中心線と他方の辺方向中央を通る中心線とが交差する箇所を当該圧電板の中心部とし、前記圧電板の中心部に対して、前記共通電極の中心部が、前記一方の辺方向に沿ってずれると共に、前記他方の辺方向に沿ってずれることによって、前記圧電板の導電性接着剤が塗布されていない残りの１つの角部の方向に偏心していることを特徴とする圧電フィルタ。

【請求項2】

矩形状の圧電板の一方の面に複数の矩形状の分割電極を、また、他方の面に前記複数の分割電極に共通して対向する矩形状の共通電極を備え、前記圧電板の外周縁上にある４つの角部のうちの３つの角部に前記各電極を引き出す引出電極が形成され、これら引出電極が引き出された前記３つの角部に導電性接着剤が塗布されている圧電フィルタであって、
少なくとも前記３つの角部に対向する前記分割電極および共通電極の外周縁上の角部が面取りないし切り欠かれ、前記面取りないし切り欠きにより電極面積が減少した分割電極または共通電極が、前記減少した電極面積分に応じて、前記圧電板の一方の辺方向または他方の辺方向に伸長させられて、前記面取りないし切り欠き前よりも横長または縦長の電極となっている、ことを特徴とする圧電フィルタ。

【請求項3】

矩形状の圧電板の一方の面に複数の矩形状の分割電極を、また、他方の面に前記複数の分割電極に共通して対向する矩形状の共通電極を備え、前記圧電板の外周縁上にある４つの角部のうちの３つの角部に前記各電極を引き出す引出電極が形成され、これら引出電極が引き出された前記３つの角部に導電性接着剤が塗布されている圧電フィルタであって、
前記圧電板の一方の辺方向中央を通る中心線と他方の辺方向中央を通る中心線とが交差する箇所を当該圧電板の中心部とし、前記圧電板の中心部に対して、前記共通電極の中心部が、前記一方の辺方向に沿ってずれると共に、前記他方の辺方向に沿ってずれることによって、前記圧電板の導電性接着剤が塗布されていない残りの１つの角部の方向に偏心していると共に、
少なくとも前記３つの角部に対向する前記分割電極および共通電極の外周縁上の角部が面取りないし切り欠かれ、前記面取りないし切り欠きにより電極面積が減少した分割電極または共通電極が、前記減少した電極面積分に応じて、前記圧電板の一方の辺方向または他方の辺方向に伸長させられて、前記面取りないし切り欠き前よりも横長または縦長の電極となっている、ことを特徴とする圧電フィルタ。

【請求項4】

前記圧電板の２枚が縦続接続されて４ポールタイプとなっている、ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電フィルタ。

【請求項5】

前記両圧電板のうちの一方の圧電板の対向する２つの分割電極を共に該対向方向に対して横長形状とし、他方の圧電板の対向する２つの分割電極を共に該対向方向に対して縦長形状とした、ことを特徴とする請求項４に記載の圧電フィルタ。

【請求項6】

前記圧電板に、２つの圧電フィルタ形成領域を形成し、各圧電フィルタ形成領域には、２つの分割電極と共通電極とからなる２ポールタイプの圧電フィルタを形成して、両圧電フィルタ形成領域全体で４ポールタイプとなっており、且つ、前記各圧電フィルタ形成領域の４つの角部のうち、導電性接着剤が塗布される３つの角部に前記各電極からの引出電極が形成されており、前記各圧電フィルタ形成領域の中心部に対して当該各圧電フィルタ形成領域内の共通電極の中心部が、導電性接着剤が塗布されない１つの角部の方向に偏心している、ことを特徴とする請求項１に記載の圧電フィルタ。

【請求項7】

前記各圧電フィルタ形成領域それぞれにおいて、少なくとも前記３つの角部に対向する前記分割電極および引出電極の角部が面取りないし切り欠かれている、ことを特徴とする請求項６に記載の圧電フィルタ。

【請求項8】

前記圧電板が、平板、逆メサ型、またはメサ型のＡＴカット水晶板である、ことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の圧電フィルタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧電板の厚みすべり振動等を利用した圧電フィルタに関する。

【背景技術】

【0002】

圧電フィルタは、通信機器等の分野で広く用いられているフィルタである。圧電フィルタには、水晶板等からなる圧電板の一方の面に入出力用として該一方の面上で所定間隔を隔てて対向する２つの分割電極を、また、他方の面に前記一対の分割電極に該圧電板を間にして共通に対向する１つの共通電極を形成したものがある。

【0003】

かかる圧電フィルタにおいては、両分割電極による振動相互の音響結合を利用し、圧電板に発生する対称モードの共振周波数ｆｓと非対称モードの共振周波数ｆａとを重畳し合わせて、中心部周波数がほぼｆａ、通過帯域幅がほぼ２×（ｆａ−ｆｓ）となる、所謂多重モードフィルタを実現する（例えば特許文献１参照）。

【0004】

こうした圧電フィルタは、パッケージ内の接着パッド上に搭載され、分割電極や共通電極といった振動電極を、引出電極により圧電板の角部にまで引き出したうえで、導電性接着剤で接着パッドに接合している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許３５０７２０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

このような圧電フィルタにおいては、低周波帯用とする場合、振動電極の面積を拡大することが行われるが、電極面積を拡大すると、引出電極に塗布される導電性接着剤と振動電極とが距離的に近づく。

【0007】

しかし、このように導電性接着剤と振動電極との距離が近づくと、導電性接着剤の塗布の位置や状態が僅かに変化しただけでも、その挿入損失に悪影響を及ぼすようになる。そのため、振動電極の面積を拡大して導電性接着剤と振動電極とが距離的に近づく際は、導電性接着剤を高精度に塗布して導電性接着剤を正確に塗布することが必要となる。

【0008】

また、圧電板において引出電極の数は、分割電極２つ分と共通電極１つ分の都合３つあるために、導電性接着剤を高精度に塗布する箇所は３箇所となるが、これら圧電板の角部３箇所の全てに自動塗布機械であるディスペンサーにより導電性接着剤を高精度に塗布することは難しく、塗布後の圧電フィルタの不良品率が高く、歩留まりは低かった。

【0009】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、振動電極の面積を拡大して低周波帯用とする際に、圧電板の角部３箇所に導電性接着剤を塗布した場合の良品率を向上させ、歩留まりが高い圧電フィルタを提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明者は、前記目的を達成するため、鋭意研究を重ね、導電性接着剤の塗布対象である圧電板の角部３箇所のうち、高精度に導電性接着剤の塗布が要求される箇所を多くても１箇所に低減し得た構造として、高歩留まりで製造することを可能とした圧電フィルタを完成したものである。

【0011】

すなわち、本発明第１にかかる圧電フィルタは、矩形状の圧電板の一方の面に複数の分割電極を、また、他方の面に前記複数の分割電極に共通して対向する共通電極を備え、前記圧電板の外周縁上にある４つの角部のうちの３つの角部に前記各電極を引き出す引出電極が形成され、これら引出電極が引き出された前記３つの角部に導電性接着剤が塗布されている圧電フィルタであって、前記圧電板の一方の辺方向中央を通る中心線と他方の辺方向中央を通る中心線とが交差する箇所を当該圧電板の中心部とし、前記圧電板の中心部に対して、前記共通電極の中心部が、前記一方の辺方向に沿ってずれると共に、前記他方の辺方向に沿ってずれることによって、前記圧電板の導電性接着剤が塗布されていない残りの１つの角部の方向に偏心している、ことを特徴とする。

【0012】

ここで、前記共通電極の中心部とは、当該共通電極の形状を、平面視矩形形状ないしは平面視「Ｈ」形状とした、上下左右に対称な形状を有した電極とすると、共通電極の上下方向の対称軸と左右方向の対称軸とが交差する箇所となり、これは幾何学上の重心となる。

【0013】

なお、幾何学重心とは、共通電極の平面形状における重心である。

【0014】

パッケージに収納される圧電板の数は、１枚でも、また、２枚以上の複数枚でもよい。

【0015】

前記分割電極の数は、２つ以上であれば、特に限定されない。

【0016】

前記圧電板の数が１枚で、その圧電板に形成される分割電極の数が２つの場合は、当該圧電フィルタは２ポールタイプであり、分割電極の数が３つの場合は、当該圧電フィルタは、３ポールタイプとなる。また、圧電板の数が２枚であり、それぞれの圧電板に２の分割電極が形成され、各圧電板同士が縦続接続される場合は、４ポールタイプとなる。本発明は、これらいずれのタイプも含む。

【0017】

前記共通電極の形状は、特に限定されないが、好ましくは、平面視矩形形状である。共通電極の形状は、分割電極の形状に合わせた平面視「Ｈ」形状であってもよい。また、「Ｈ」形状に対してパーシャル調整により電極が追加されて平面視矩形形状となった電極形状、あるいはパーシャル調整電極を含まず、当初から平面視矩形形状も含む。

【0018】

導電性接着剤は、特に限定されず、導電性を有する接着剤であればよい。導電性接着剤は、ディスペンサー等の塗布機械やその他により塗布される。導電性接着剤は、所定温度以上に加熱すると、熱硬化し、この熱硬化により引出電極を接着パッドに接合できるものが好ましい。

【0019】

本発明第１によれば、圧電板の中心部に対して前記共通電極の中心部が、導電性接着剤が塗布されない残りの角部の方向に偏心しているので、３つの塗布箇所のうち、前記残りの角部からみて前記偏心方向とは反対方向に位置する２つの塗布箇所においては、分割電極および共通電極からの距離が遠くなり、その結果、当該２つの塗布箇所では導電性接着剤の塗布精度が低くても振動の影響を軽減できる。

【0020】

これにより、従来のように導電性接着剤塗布箇所の３箇所全てにおいて、導電性接着剤の塗布を高精度に行う必要があった圧電フィルタとは異なり、本発明では、多くても１箇所での塗布を高精度に行うだけで済むこととなり、低周波用として高い歩留まりで製造が可能な圧電フィルタを提供できる。

【0021】

本発明第２にかかる圧電フィルタは、矩形状の圧電板の一方の面に複数の矩形状の分割電極を、また、他方の面に前記複数の分割電極に共通して対向する矩形状の共通電極を備え、前記圧電板の外周縁上にある４つの角部のうちの３つの角部に前記各電極を引き出す引出電極が形成され、これら引出電極が引き出された前記３つの角部に導電性接着剤が塗布されている圧電フィルタであって、少なくとも前記３つの角部に対向する前記分割電極および共通電極の外周縁上の角部が面取りないし切り欠かれ、前記面取りないし切り欠きにより電極面積が減少した分割電極または共通電極が、前記減少した電極面積分に応じて、前記圧電板の一方の辺方向または他方の辺方向に伸長させられて、前記面取りないし切り欠き前よりも横長または縦長の電極となっていることを特徴とする。

【0022】

本発明第２によれば、圧電板の４つの角部のうちの３つの角部それぞれにまで引き出した前記引出電極を接着パッド上に導電性接着剤で接合した場合、前記３つの角部に対向する前記分割電極および引出電極の角部が面取りないし切り欠かれているので、前記圧電板の３つの角部における塗布箇所から前記分割電極や共通電極までの距離が遠くなる。その結果、これら３つの角部の引出電極に導電性接着剤を塗布する精度が従来よりも低く済むので、低周波帯用として電極面積を大きくして高い歩留まりの圧電フィルタを提供できる。

【0023】

また、前記面取りないし切り欠きにより、電極面積が減少した分割電極または共通電極においては、当該減少した電極面積分、前記圧電板の一方の辺方向または他方の辺方向に伸長させられて、より横長またはより縦長の電極としたので、電極面積が減少しない分、低周波帯用に適した圧電フィルタを提供することができる。

【0024】

本発明第３の圧電フィルタは、矩形状の圧電板の一方の面に複数の矩形状の分割電極を、また、他方の面に前記複数の分割電極に共通して対向する矩形状の共通電極を備え、前記圧電板の外周縁上にある４つの角部のうちの３つの角部に前記各電極を引き出す引出電極が形成され、これら引出電極が引き出された前記３つの角部に導電性接着剤が塗布されている圧電フィルタであって、前記圧電板の一方の辺方向中央を通る中心線と他方の辺方向中央を通る中心線とが交差する箇所を当該圧電板の中心部とし、前記圧電板の中心部に対して、前記共通電極の中心部が、前記一方の辺方向に沿ってずれると共に、前記他方の辺方向に沿ってずれることによって、前記圧電板の導電性接着剤が塗布されていない残りの１つの角部の方向に偏心していると共に、少なくとも前記３つの角部に対向する前記分割電極および共通電極の外周縁上の角部が面取りないし切り欠かれ、前記面取りないし切り欠きにより電極面積が減少した分割電極または共通電極が、前記減少した電極面積分に応じて、前記圧電板の一方の辺方向または他方の辺方向に伸長させられて、前記面取りないし切り欠き前よりも横長または縦長の電極となっていることを特徴とする。

【0025】

本発明第３では、本発明第１、第２の効果を併せ持つ。

【0026】

本発明第１〜第３において、好ましい実施態様は、前記に記載の圧電フィルタに用いる圧電板を２枚縦続接続して４ポールタイプとする。

【0027】

この実施態様では、さらに前記両圧電板のうちの一方の圧電板の対向する２つの分割電極を共に該対向方向に対して横長形状とし、他方の圧電板の対向する２つの分割電極を共に該対向方向に対して縦長形状とする。

【0028】

本発明第１において、好ましい実施態様は、前記圧電板に、２つの圧電フィルタ形成領域を形成し、各圧電フィルタ形成領域には、２つの分割電極と共通電極とからなる２ポールタイプの圧電フィルタを形成して、両圧電フィルタ形成領域全体で４ポールタイプとなっており、且つ、前記各圧電フィルタ形成領域の４つの角部のうち、導電性接着剤が塗布される３つの角部に前記各電極からの引出電極が形成されており、前記各圧電フィルタ形成領域の中心部に対して当該各圧電フィルタ形成領域内の共通電極の中心部が、導電性接着剤が塗布されない１つの角部の方向に位置的に偏心している。

【0029】

この実施態様でさらに好ましくは、前記各圧電フィルタ形成領域それぞれにおいて、少なくとも前記３つの角部に対向する前記分割電極および引出電極の角部が面取りないし切り欠かれている。

【0030】

本発明第１〜第３において、好ましい実施態様は、前記圧電板が、平板、逆メサ型、またはメサ型のＡＴカット水晶板である。

【発明の効果】

【0031】

本発明では、圧電板に形成される電極面積を大きくして低周波用とする場合、圧電板の４つの角部のうち、導電性接着剤が塗布される３つの角部に各電極からの引出電極が形成され、且つ、圧電板の中心部に対して共通電極の幾何学重心である中心部を圧電板の導電性接着剤が塗布されない残りの角部の方向に偏心させたことで、導電性接着剤の塗布を高精度に行う必要がある塗布箇所を従来の３箇所から１箇所に低減させることができ、該偏心させていない圧電フィルタと比較して挿入損失が規格レベル以上となって良品となる割合が高くなり、結果として低周波帯用としの設計が容易で且つ歩留まりが高い低周波帯用の圧電フィルタを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0032】

【図1】本発明の実施形態に係る圧電フィルタの概略平面図である。

【図2】図１の圧電フィルタの２枚の圧電板の拡大平面図である。

【図3】本発明の他の実施形態に係る圧電フィルタの概略平面図である。

【図4】本発明のさらに他の実施形態に係る圧電フィルタの概略平面図である。

【図5】本発明のさらに他の実施形態に係る圧電フィルタの概略平面図である。

【図6】本発明のさらに他の実施形態に係る圧電フィルタの概略平面図である。

【図7】本発明のさらに他の実施形態に係る圧電フィルタの概略平面図である。

【図8】特性試験に用いる圧電フィルタの共通電極のサイズを示す図である。

【図9】従来と本発明の圧電フィルタの歩留まりを比較する図である。

【発明を実施するための形態】

【0033】

以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態に係る圧電フィルタを説明する。この圧電フィルタの圧電材料はＡＴカットされた水晶であるが、これに限定されず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムなど他の圧電材料にも適用できる。

【0034】

図１を参照して、実施形態の圧電フィルタを説明する。図１（ａ）は、圧電フィルタの概略平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。

【0035】

圧電フィルタ１は、２ポールタイプの圧電板２，３を縦続接続してなり、これら圧電板２，３を、パッケージ４に収納して構成される。パッケージ４の開口は図示略の蓋体により気密封止される。

【0036】

なお、圧電板２，３は、例えば、電気軸をＸ軸とし、機械軸であるＹ軸から３５．１５°ずれた新たなＹ´軸とし、さらに光学軸であるＺ´軸から３５．１５°ずれた新たなＺ´軸として各結晶軸に沿って形成された直方体形状をなし、例えば平面視略矩形状のＡＴカットの水晶板からなる。

【0037】

パッケージ４は、底部４ａと、その底部４ａ四周に立設した周部４ｂとで凹部４ｃを備え、この底部４ａの内底面の適宜箇所に複数の接着パッド５が形成され、各接着パッド５上それぞれに導電性接着材６が下塗りされて、圧電フィルタ１を構成する２つの圧電板２、３が搭載される。

【0038】

この下塗りにより各圧電板２、３の裏面側の分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂそれぞれの引出電極７ｃ，７ｄ；８ｃ，８ｄは接着パッド５に接合される。また、圧電板２，３の表面側の共通電極９ａ，９ｂそれぞれの引出電極９ｃ，９ｄは導電性接着剤１０により上塗りされて接着パッド５に接合される。共通電極９ａ，９ｂが分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂの形状に対応して平面視「Ｈ」形状となっているのは、スプリアス規格を満足させるためである。

【0039】

そして、４ポールタイプとして、圧電板２の分割電極７ａは入力側分割電極となり、分割電極７ｂは出力側分割電極となる。また、圧電板２の出力側分割電極７ｂは、圧電板３の入力側分割電極８ｃに、パッケージ４内部を通る配線を介して接続されている。圧電板３の分割電極８ｃは入力側分割電極となり、分割電極８ｄは出力側分割電極となる。

【0040】

これにより、圧電フィルタ１は、２ポールタイプの圧電板２，３を２組縦続接続し、圧電板２，３それぞれの分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂによる振動相互の音響結合を利用し、圧電板２，３に発生する対称モードの共振周波数ｆｓと非対称モードの共振周波数ｆａとが重畳し合って、中心部周波数略ｆａ、通過帯域幅略２×（ｆａ−ｆｓ）となる４ポールタイプの圧電フィルタを実現する。

【0041】

これら圧電板２，３における電極の配置について図２を参照して説明する。図２は、パッケージの図示を略する。図２に示す圧電板２，３は図１のそれと同様の関係にある。

【0042】

圧電板２，３は、平面視矩形形状であるので、圧電板のＸ軸方向の辺（長辺）中央を通る中心線Ｌ１とＺ´軸方向の辺（短辺）中央を通る中心線Ｌ２との交点は、圧電板２，３それぞれの中心部Ｏ１，Ｏ２となる。

【0043】

平面視矩形である圧電板２は、外周縁上に略直角となる４つの角部Ａ１〜Ｄ１を有し、そのうち、引出電極７ｃ，７ｄ；９ｃが引き出されて導電性接着剤６，１０が塗布される角部をＡ１，Ｂ１，Ｃ１とし、導電性接着剤６，１０が塗布されない角部をＤ１としている。

【0044】

同様に、平面視矩形である圧電板３は、４つの角部Ａ２〜Ｄ２を有し、そのうち、引出電極８ｃ，８ｄ；９ｄが引き出されて導電性接着剤６，１０が塗布される角部をＡ２，Ｂ２，Ｃ２とし、導電性接着剤６，１０が塗布されない角部をＤ２としている。

【0045】

そして、圧電板２，３それぞれにおいて、共通電極９ａ，９ｂの中心部Ｏ１´，Ｏ２´は、圧電板２，３の中心部Ｏ１，Ｏ２に対して、Ｘ軸方向にＸ１、Ｚ´軸方向にＺ´１だけ、導電性接着剤が塗布されない角部Ｄ１，Ｄ２の方向に位置的に偏心している。この場合、共通電極９ａ，９ｂの中心部Ｏ１´，Ｏ２´はいずれも幾何学重心である。

【0046】

また、このＸ軸方向およびＺ´軸方向の偏心の距離は実験により種々に設定できる。本発明における偏心の距離の設定と、これに基づく歩留まり等の実証については後述する。分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂは、共通電極９ａ，９ｂに対応して形成されている。

【0047】

共通電極９ａ，９ｂの中心部Ｏ１´，Ｏ２´の偏心により、圧電板２，３の角部Ｂ１，Ｃ１；Ｂ２，Ｃ２それぞれの導電性接着剤１０，６の２箇所の塗布位置は分割電極７ｂ，８ｂや共通電極９ａ，９ｂから、距離的により離間することになるので、分割電極７ｂ，８ｂや共通電極９ａ，９ｂに対する圧電板２，３の角部Ｂ１，Ｃ１；Ｂ２，Ｃ２における導電性接着剤１０，６の塗布の影響は軽減される。

【0048】

一方、圧電板２，３の角部Ａ１，Ａ２の導電性接着剤６の塗布位置は、共通電極９ａ，９ｂの中心部Ｏ１´，Ｏ２´の偏心により、分割電極７ａ，８ａや共通電極９ａ，９ｂから距離的により離間したとは必ずしもいえないので、圧電板２，３の角部Ａ１，Ａ２では、導電性接着剤６の塗布を留意して行うことが必要となる。

【0049】

したがって、従来では、圧電板２，３の中心部Ｏ１，Ｏ２と、共通電極９ａ，９ｂの中心部Ｏ１´，Ｏ２´と、が一致するように、これら共通電極９ａ，９ｂが蒸着等により圧電板２，３上に形成されていたため、圧電板２，３の角部Ａ１〜Ｃ１；Ａ２〜Ｃ２それぞれの３箇所の全てにおいて導電性接着剤の塗布を高精度に行う必要があり、当該圧電フィルタの歩留まりが非常に低いものであった。

【0050】

これに対して、本実施形態では、圧電板２，３の角部Ａ１〜Ｃ１；Ａ２〜Ｃ２それぞれの３箇所のうち、角部Ｂ１，Ｃ１；Ｂ２，Ｃ２の２箇所においては、導電性接着剤１０，６の塗布位置から電極までの距離が長くなる結果、フィルタ特性に対する塗布の影響が低減され、従来と比較して、不良品となる圧電フィルタが大幅に減少し、圧電フィルタの歩留まりが格段に向上する。

【0051】

なお、圧電板２，３の中心部Ｏ１，Ｏ２に対する、共通電極９ａ，９ｂの中心部Ｏ１´，Ｏ２´の偏心の程度は、実験により適宜に設定することができる。

【0052】

また、共通電極９ａ，９ｂは、スプリアス規格を満たすために平面視「Ｈ」形状であるが、共通電極９ａ，９ｂの平面視形状は特に限定されるものではない。また、図２の共通電極９ａ，９ｂには、パーシャル調整前であり、そのため、共通電極９ａ，９ｂと同等の材質の薄膜が蒸着されて周波数調整される電極は図示されていない。しかし、この共通電極９ａ，９ｂは、パーシャル調整用の電極を含めて、その中心部Ｏ１´，Ｏ２´を設定してもよい。

【0053】

図３を参照して本発明の他の実施形態に係る圧電フィルタを説明する。図３において、図１と対応する部分には同一の符号を付している。

【0054】

圧電フィルタ１１は、圧電板２，３を備える。これら圧電板２，３は図１と同様、パッケージ４に収納され、接着パッド５に搭載される。

【0055】

そして、この実施形態では、圧電板２，３それぞれの角部Ａ１〜Ｄ１；Ａ２〜Ｄ２に対向する分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂ、および共通電極９ａ，９ｂそれぞれの角部を面取したことを特徴とする。

【0056】

これら圧電板２，３それぞれの共通電極９ａ，９ｂの面取箇所をＭ１〜Ｍ４、分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂの面取箇所をＮ１〜Ｎ４とする。

【0057】

分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂ、共通電極９ａ，９ｂそれぞれの角部を面取すると、分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂ、共通電極９ａ，９ｂは圧電板２，３の角部Ａ１，Ｂ１，Ｃ１；Ａ２，Ｂ２，Ｃ２に塗布される導電性接着剤６，１０の塗布位置から距離的に離れることになる。これにより、前記共通電極９ａ，９ｂおよび分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂの角部に対する面取により、圧電フィルタ１１のフィルタ特性への前記導電性接着剤６，１０の塗布の影響を大きく低減することができる。

【0058】

したがって、図３の圧電フィルタ１１においては、各圧電板２，３それぞれの共通電極９ａ，９ｂの中心部が、圧電板２，３の中心部に対して当該圧電板２，３の角部Ｄ１，Ｄ２方向に偏心していることに加えて、共通電極９ａ，９ｂ、分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂの面取りにより、電板２，３の角部Ａ１，Ｂ１，Ｃ１；Ａ２，Ｂ２，Ｃ２の３箇所全てにおいて、導電性接着剤１０，６の塗布によるフィルタ特性に対する塗布の影響が低減され、従来と比較して、不良品となる圧電フィルタが大幅に減少し、圧電フィルタの歩留まりが格段に向上する。

【0059】

図４を参照して本発明のさらに他の実施形態にかかる圧電フィルタ１２を説明する。図３の圧電フィルタ１１は分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂと共通電極９ａ，９ｂの角部を面取したため、電極面積が減少している。図４の圧電フィルタ１２においては、前記面取により電極面積が減少しないように、一方の圧電板２では電極をＸ軸方向（図中、縦方向）に延伸し、他方の圧電板３では電極をＺ´軸方向（図中、横方向）に延伸している。面取以前の電極面積と面取後の電極面積とが同一になるようにしている。

【0060】

なお、図４の圧電フィルタ１２においても、各圧電板２，３それぞれの共通電極９ａ，９ｂの中心部は、圧電板２，３の中心部に対して当該圧電板２，３の角部Ｄ１，Ｄ２方向に偏心している。そして、さらに、図４の圧電フィルタ１２では、分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂおよび共通電極９ａ，９ｂのいずれも角部が面取され、且つ、面取以前の電極面積と面取後の電極面積とが同一になるように、圧電板２では電極形状がＸ軸方向に縦長、圧電板３では電極形状がＺ´軸方向に横長となる組合せとしている。

【0061】

図５を参照して本発明のさらに他の実施形態にかかる圧電フィルタを説明する。図５の圧電フィルタ１３は矩形状の１枚の圧電板（圧電ウエハ）１４からなり、この圧電板１４は、共に均等面積の圧電フィルタ形成領域Ｒ１，Ｒ２を２つ有し、一方の圧電フィルタ形成領域Ｒ１には、分割電極７ａ，７ｂと共通電極９ａとからなる２ポールタイプの圧電フィルタ１３ａを形成し、他方の圧電フィルタ形成領域Ｒ２には、分割電極７ｃ，７ｄと共通電極９ｂとからなる２ポールタイプ圧電フィルタ１３ｂを形成し、これら圧電フィルタ形成領域Ｒ１，Ｒ２それぞれの圧電フィルタ１３ａ，１３ｂにより全体で４ポールタイプの圧電フィルタ１３となっている。

【0062】

この圧電フィルタ１３においても、圧電フィルタ１３ａ，１３ｂは、それぞれの圧電フィルタ形成領域Ｒ１，Ｒ２内において、共通電極９ａ，９ｂそれぞれの中心部Ｏ１´，Ｏ２´は、圧電フィルタ形成領域Ｒ１，Ｒ２それぞれの中心部Ｏ１．Ｏ２に対して当該圧電フィルタ形成領域Ｒ１，Ｒ２の導電性接着剤を塗布しない角部方向に偏心している。

【0063】

図６を参照して本発明のさらに他の実施形態にかかる圧電フィルタを説明する。この圧電フィルタ１５は、図１では、分割電極７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂに対応して平面視「Ｈ」形状の共通電極９ａ，９ｂをそれぞれ有する圧電板２，３からなる圧電フィルタ１に対して、パーシャル調整のための電極１５ａ，１５ｂを形成したものである。電極１５ａ，１５ｂは、図解の都合で、ハッチングで示している。

【0064】

圧電フィルタ１５では、図１の圧電フィルタ１の共通電極９ａ，９ｂとは異なって、パーシャル調整電極１５ａ，１５ｂが形成されているが、圧電板２，３それぞれの中心部Ｏ１，Ｏ２に対して、共通電極９ａ，９ｂの中心部Ｏ１´，Ｏ２´の偏心は、図１の場合と同様である。

【0065】

なお、実施形態では、圧電板２，３は、平板であったが、図７（ａ）（ｂ）の圧電板１６に示すように、中央部分を薄肉部（振動領域）１６ａとし、この薄肉部１６ａの周囲に振動領域を補強する厚肉部１６ｂを形成した逆メサ型の圧電板であってもよい。なお、図７では図１〜図６と対応する部分には同一の符号を付している。図７に示す圧電板１６においては、分割電極７ａ，７ｂおよび共通電極９ａは、圧電板１６の角部に対向する角部は面取されている。また、圧電板２，３は、図示を略するが、メサ型構造のものであってもよい。

【0066】

図７の圧電板１６においては、パッケージに収納した状態の図示を略しているが、パッケージサイズを同一にして電極面積を大きくして低周波用とするため、圧電板１６全体の中心部に対して、共通電極９ａ全体の中心部を圧電板１６の４つの角部のうち、導電性接着剤６，１０が塗布される３つの角部を除いた角部の方向に偏心させる。そして、前記面取により減少した電極面積分、圧電板１６の一方の辺方向または他方の辺方向に分割電極７ａ，７ｂ、共通電極９ａを伸長して、横長またはより縦長の電極とするとよい。

【実施例】

【0067】

図８に実施例に用いる共通電極の平面視形状およびサイズを示す。実施例の圧電フィルタは、パッケージ内に２つの圧電板をＺ´軸方向に並置するものであり、図８（ａ）は前記２つの圧電板のうちの一方の圧電板上の共通電極の形状および寸法を示し、図８（ｂ）は他方の圧電板上の共通電極の形状および寸法を示している。圧電板そのものの図示は略している。従来の圧電フィルタは図示を略するが、圧電板中心部と共通電極中心部とが一致するのに対して、本発明の圧電フィルタは、圧電板中心部Ｏ１，Ｏ２に対して共通電極中心部Ｏ１´，Ｏ２´がＸ軸方向で０．１ｍｍ、Ｚ´軸方向で０．１ｍｍずれている。なお、図８の各共通電極の形状および寸法は図示してある通りであり、その詳細な説明は略する。

【0068】

図９（ａ）は、横軸を挿入損失[ｄＢ]、縦軸をサンプル数１００％に対して当該挿入損失を有するサンプル数の割合[％]として、従来品のサンプル数２００〜３００個に対する挿入損失の分布を棒グラフで表す図である。この棒グラフに示すように、従来の圧電フィルタでは、規格ライン３．３ｄＢ近傍より挿入損失が大きいものを不良品、挿入損失が小さいものを良品とすると、不良品の数が極めて多く、歩留まりが非常に悪い。

【0069】

図９（ｂ）は、本発明品のサンプル数２００〜３００個に対する挿入損失の分布を示す棒グラフであり、本発明品では、規格ラインを超えた不良品は無く、全てが規格ライン以下の良品であった。そのため、本発明品では歩留まりが従来品より格段に向上している。

【0070】

図９（ｃ）は、本発明のさらに別のサンプル数２００〜３００個に対する挿入損失の分布を示す棒グラフであり、本発明品も、規格ラインを超えた不良品は無く、全てが規格ライン以下の良品であった。したがって、このサンプルに対しても本発明品では歩留まりが従来品より格段に向上している。

【0071】

このように、本発明では、電極面積を大きくして低周波帯用の圧電フィルタとする場合、挿入損失（ロス）に関して、図９から明らかであるように、圧電板の中心部に対して、共通電極の中心部を導電性接着剤が塗布されない角部の方向に偏心させなかった従来品と比較して、歩留まりが格段に向上した。

【符号の説明】

【0072】

１ 圧電フィルタ
２，３ 圧電板
７ａ，７ｂ；８ａ，８ｂ 分割電極
９ａ，９ｂ 共通電極

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】