特許 5952146 粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム及び粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5952146

(24)【登録日】2016年6月17日

(45)【発行日】2016年7月13日

(54)【発明の名称】粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム及び粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 15/06 20060101AFI20160630BHJP

【ＦＩ】

   G01N15/06 Z

   G01N15/06 D

【請求項の数】6

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2012-204343(P2012-204343)

(22)【出願日】2012年9月18日

(65)【公開番号】特開2014-59212(P2014-59212A)

(43)【公開日】2014年4月3日

【審査請求日】2015年5月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000006666

【氏名又は名称】アズビル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100079108

【弁理士】

【氏名又は名称】稲葉 良幸

(74)【代理人】

【識別番号】100109346

【弁理士】

【氏名又は名称】大貫 敏史

(74)【代理人】

【識別番号】100117189

【弁理士】

【氏名又は名称】江口 昭彦

(74)【代理人】

【識別番号】100134120

【弁理士】

【氏名又は名称】内藤 和彦

(72)【発明者】

【氏名】衣笠 静一郎

【審査官】 北川 創

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−３３３３９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１５７８６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−１４６８１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２９３７６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００６−５１１８２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００５／０１５１７０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開平０５−２７３１１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１１／０００４５５９（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１１−０１４００３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０５２８３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００５／００３０１７２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ １５／００ − １５／１４

Ｇ０１Ｎ １／００ − １／４４

Ｂ０１Ｌ １／０４

Ｆ２４Ｆ ７／００ − ７／０６

Ｇ０６Ｆ １９／００

Ｇ０６Ｑ １０／００ − ９９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

内部に湿度計を有する、流体に含まれる微生物粒子を検出する光学式微生物粒子検出装置と、
前記光学式微生物粒子検出装置内部の湿度と、前記光学式微生物粒子検出装置の部品であって、光源、レンズ、デテクタ、検出機構の回路、ノズル、吸気機構、及び排気機構を含む部品のメンテナンス費用と、の関係を、前記部品毎に保存する関係記憶装置であって、前記メンテナンス費用が、前記湿度に応じて、前記光学式微生物粒子検出装置の回路のソフトウェアによる補正、前記部品の清掃、及び前記部品の交換のいずれかを選択した際の作業代に基づいている、関係記憶装置と、
前記湿度計が測定した光学式微生物粒子検出装置内部の湿度の値に応じて、前記ソフトウェアによる補正に対応する関係、前記部品の清掃に対応する関係、又は前記部品の交換に対応する関係を前記部品毎に選択する関係選択部と、
前記選択された関係と、前記湿度計が測定した光学式微生物粒子検出装置内部の湿度の値と、に基づいて、前記部品毎にメンテナンス費用を特定する個別費用特定部と、
前記メンテナンス費用の総和を算出する総費用算出部と、
を備える、光学式微生物粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム。

【請求項2】

前記関係が、前記湿度を独立変数とし、前記部品のメンテナンス費用を従属変数とするメンテナンス費用算出式を含む、請求項１に記載の光学式微生物粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム。

【請求項3】

前記光学式微生物粒子検出装置の部品毎に複数の前記関係が用意される、請求項１又は２に記載の光学式微生物粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム。

【請求項4】

光学式微生物粒子検出装置内部の湿度と、前記光学式微生物粒子検出装置の部品であって、光源、レンズ、デテクタ、検出機構の回路、ノズル、吸気機構、及び排気機構を含む部品のメンテナンス費用と、の関係を、前記部品毎に用意することであって、前記メンテナンス費用が、前記湿度に応じて、前記光学式微生物粒子検出装置の回路のソフトウェアによる補正、前記部品の清掃、及び前記部品の交換のいずれかを選択した際の作業代に基づいている、ことと、
前記光学式微生物粒子検出装置内部に配置された湿度計で前記光学式微生物粒子検出装置内部の湿度の値を得ることと、
前記湿度計が測定した光学式微生物粒子検出装置内部の湿度の値に応じて、前記ソフトウェアによる補正に対応する関係、前記部品の清掃に対応する関係、又は前記部品の交換に対応する関係を前記部品毎に選択することと、
前記選択された関係と、前記湿度計が測定した光学式微生物粒子検出装置内部の湿度の値と、に基づいて、前記部品毎にメンテナンス費用を特定することと、
前記メンテナンス費用の総和を算出することと、
を含む、光学式微生物粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法。

【請求項5】

前記関係が、前記湿度を独立変数とし、前記部品のメンテナンス費用を従属変数とするメンテナンス費用算出式を含む、請求項４に記載の光学式微生物粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法。

【請求項6】

前記光学式微生物粒子検出装置の部品毎に複数の前記関係が用意される、請求項４又は５に記載の光学式微生物粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は環境評価技術に関し、特に粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム及び粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法に関する。

【背景技術】

【0002】

バイオクリーンルーム等のクリーンルームにおいては、粒子検出装置を用いて、飛散している汚染物質等の粒子が検出され、記録される（例えば、非特許文献１参照。）。しかし、空調システム等の改善によってクリーンルーム内に飛散する粒子の量が低減すると、その後は、粒子検出装置を配置する必要性が薄れる場合がある。そのため、クリーンルームの所有者は、高価な粒子検出装置を購入せず、クリーンルームの立ち上げ後、一定期間のみリース業者等から粒子検出装置を借りる場合がある。クリーンルームの所有者は、一定期間経過後、リース業者に粒子検出装置を返却する。

【0003】

粒子検出装置は、例えば、クリーンルーム内の空気を吸引するための吸気機構と、吸引された空気中の粒子を検出するための検出機構と、粒子を検出した後の空気をクリーンルームに戻すための排気機構と、を有する。粒子検出装置の内部に吸引された気体に含まれる粒子は、検出機構を通過後、そのほとんどが外部に排出される。しかし、粒子検出装置の内部に付着する粒子もある。したがって、クリーンルームの汚染度に応じて、粒子検出装置の内部も汚染される。そのため、リース業者は、返却された粒子検出装置をメンテナンスした後に、次の客に粒子検出装置を貸す。

【先行技術文献】

【非特許文献】

【0004】

【非特許文献1】長谷川倫男他，「気中微生物リアルタイム検出技術とその応用」，株式会社山武，azbil Technical Review 2009年12月号，p.2-7，2009年

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

メンテナンスされている間は、粒子検出装置は稼働していない。したがって、粒子検出装置のメンテナンス期間の長期化は、粒子検出装置の稼働率を下げる要因となる。そのため、粒子検出装置のメンテナンス期間は、短い方が好ましい。しかし、粒子検出装置のリース先のクリーンルームの環境は事前には不明であることが多く、またリース先によって様々である。そのため、粒子検出装置の汚染度は、返却後、メンテナンスに着手して初めて明らかになることが多い。よって、リース業者側の努力によって、粒子検出装置のメンテナンス期間を短縮するのは困難である。

【0006】

また、粒子検出装置のメンテナンス費用は、リース先に請求することが可能であるが、上述したように粒子検出装置のメンテナンス費用はリース先のクリーンルームの環境に応じて変動する。そのため、リース先に一律なメンテナンス費用を請求することは公平ではない。そこで、本発明は、粒子検出装置の使用環境に応じて粒子検出装置のメンテナンス費用を算出可能な、粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム及び粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法を提供することを目的の一つとする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述したように、粒子検出装置のメンテナンス費用は、粒子検出装置の使用環境に応じて変動する。しかし、メンテナンスを実施後、実際にかかったメンテナンス費用を粒子検出装置の借用者に請求すると、借用者が不服を申し立てた場合に、メンテナンス費用の回収が困難となる場合がある。したがって、借用者が粒子検出装置の借用を終えた段階で、実際にメンテナンス作業に着手する前に、メンテナンス費用を算出し、借用者に請求することが好ましい。また、一律ではないメンテナンス費用を請求する以上、メンテナンス費用の算出根拠は、客観的かつ具体的であることが望まれる。ここで、本発明者は、粒子検出装置の内部の汚染度は、粒子検出装置の内部の湿度に相関することを見出し、汚染度に相関するメンテナンス費用を、粒子検出装置の内部で測定した湿度の値から見積もるということに想到した。

【0008】

本発明の態様によれば、（ａ）内部に湿度計を有する粒子検出装置と、（ｂ）粒子検出装置内部の湿度と、粒子検出装置の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置の部品毎に保存する関係記憶装置と、（ｃ）関係と、湿度計が測定した粒子検出装置内部の湿度の値と、に基づいて、粒子検出装置の部品毎にメンテナンス費用を特定する個別費用特定部と、（ｄ）メンテナンス費用の総和を算出する総費用算出部と、を備える、粒子検出装置のメンテナンス費用算出システムが提供される。

【0009】

また、本発明の態様によれば、（ａ）粒子検出装置内部の湿度と、粒子検出装置の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置の部品毎に用意することと、（ｂ）粒子検出装置内部に配置された湿度計で粒子検出装置内部の湿度の値を得ることと、（ｃ）関係と、湿度計が測定した粒子検出装置内部の湿度の値と、に基づいて、粒子検出装置の部品毎にメンテナンス費用を特定することと、（ｄ）メンテナンス費用の総和を算出することと、を含む、粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法が提供される。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、粒子検出装置のメンテナンス費用を算出可能な、粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム及び粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法を提供可能である。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の第１の実施の形態に係る粒子検出装置のメンテナンス費用算出システムの模式図である。

【図2】本発明の第１の実施の形態に係るクリーンルームの模式図である。

【図3】本発明の第１の実施の形態に係る粒子検出装置の模式図である。

【図4】本発明の第１の実施の形態に係る粒子検出装置内部の湿度と、粒子検出装置の部品のメンテナンス費用と、の関係の例を示す第１のグラフである。

【図5】本発明の第１の実施の形態に係る粒子検出装置内部の湿度と、粒子検出装置の部品のメンテナンス費用と、の関係の例を示す第２のグラフである。

【図6】本発明の第１の実施の形態に係る粒子検出装置内部の湿度と、粒子検出装置の部品のメンテナンス費用と、の関係の例を示す第３のグラフである。

【図7】本発明の第１の実施の形態に係る粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法を示す第１のフローチャートである。

【図8】本発明の第１の実施の形態に係る粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法を示す第２のフローチャートである。

【図9】本発明の第２の実施の形態に係る粒子検出装置のメンテナンス費用算出システムの模式図である。

【図10】本発明のその他の実施の形態に係るパルスカウントのグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。

【0013】

（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係る粒子検出装置のメンテナンス費用算出システムは、図１に示すように、内部に湿度計を有する粒子検出装置２０と、粒子検出装置２０内部の湿度と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置２０の部品毎に保存する関係記憶装置４０１と、関係と、湿度計が測定した粒子検出装置２０内部の湿度の値と、に基づいて、粒子検出装置２０の部品毎にメンテナンス費用を特定する個別費用特定部３０１と、メンテナンス費用の総和を算出する総費用算出部３０２と、を備える。関係記憶装置４０１、個別費用特定部３０１、及び総費用算出部３０２は、例えば中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００に含まれている。

【0014】

粒子検出装置２０は、例えばクリーンルームに配置される。図２に示す移動式クリーンルーム１０は、骨格をなす例えばアルミニウム製のフレームと、フレームにはめ込まれた、側壁をなすポリカーボネート製の透明パネルと、を備える。ただし、実施の形態に係るクリーンルームは、これに限定されない。例えば、コンテナ型のクリーンルーム、プレハブ型のクリーンルーム、及び移動式手術室等も、実施の形態に係るクリーンルームに含まれる。また、移動式ではないクリーンルームも、実施の形態に係るクリーンルームに含まれる。

【0015】

クリーンルーム１０内部には、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）及びＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）等の超高性能エアフィルタを通して、清浄な空気が送り込まれる。さらにクリーンルーム１０内部には、空気等の気体に含まれる微粒子や微生物を除去し、気体を清浄化する清浄化装置が配置されていてもよい。

【0016】

図３に示すように、粒子検出装置２０は、クリーンルーム１０内の気体を内部に吸引するための吸気機構に接続された吸引口２１と、検査後の気体をクリーンルーム１０に戻すための排気機構に接続された排気口２２と、を有する。例えば、粒子検出装置２０は、内部に、レーザ光源が発したレーザ光を、吸引された気体に照射する光学系２３を備える。レーザ光は、可視光であっても、紫外光であってもよい。レーザ光が可視光である場合、レーザ光の波長は、例えば４００乃至４１０ｎｍの範囲内であり、例えば４０５ｎｍである。レーザ光が紫外光である場合、レーザ光の波長は、例えば３１０乃至３８０ｎｍの範囲内であり、例えば３５５ｎｍである。なお、粒子検出装置２０が備える光源はレーザ光源に限られない。例えば、粒子検出装置２０は、粒子に光を照射する光源として、発光ダイオード（ＬＥＤ）、及びキセノンランプ等を備えていてもよい。

【0017】

空気中に細菌を含む微生物等の微粒子が含まれる場合、レーザ光を照射された細菌に含まれるトリプトファン、ニコチンアミドアデニンジヌクレオチド、及びリボフラビン等が、蛍光を発する。細菌の例としては、グラム陰性菌、グラム陽性菌、及びカビ胞子を含む真菌が挙げられる。グラム陰性菌の例としては、大腸菌が挙げられる。グラム陽性菌の例としては、表皮ブドウ球菌、枯草菌芽胞、マイクロコッカス、及びコリネバクテリウムが挙げられる。カビ胞子を含む真菌の例としては、アスペルギルスが挙げられる。粒子検出装置２０は、レーザ光を照射された微生物が発した蛍光を検出する検出機構をさらに備える。検出機構は、例えばフォトデテクタ等を含む。また、検出機構は、検出した蛍光の蛍光強度を計測する、フォトデテクタに接続された回路等も含む。粒子検出装置２０は、蛍光強度の大きさに基づき、空気中に含まれている微生物を検出する。

【0018】

なお、粒子検出装置２０が検出対象とする粒子は微生物に限られない。例えば、粒子検出装置２０が検出対象とする粒子は、無害又は有害な化学物質、ごみ、ちり、及び埃等のダストも含む。また、粒子検出装置２０の粒子の検出原理も、上記に限定されない。粒子検出装置２０は、逐次、検出した粒子の数の情報を含む検出結果情報を電子的又は磁気的に生成する。生成された検出結果情報は、粒子検出装置２０が備える内部メモリ等に逐次保存される。さらに粒子検出装置２０は、シリアルナンバ等の識別記号を記録した識別素子を備えていてもよい。この場合、粒子検出装置２０は、識別記号を検出結果情報に付与する。

【0019】

湿度計２６は、例えば、粒子検出装置２０の光学系２３の近傍に配置されている。ここで、粒子検出装置２０が吸引した気体に微生物が含まれていると、微生物が粒子検出装置２０内部の部品に付着し、増殖する場合がある。微生物の増殖は、一般に、雰囲気の湿度と相関し、湿度が高いほど微生物の増殖速度は速く、湿度が低いほど微生物の増殖速度は遅い。したがって、粒子検出装置２０内部に配置された湿度計２６で測定された湿度の値が高いほど、粒子検出装置２０内部の部品が微生物の増殖により汚染されている可能性が高い。湿度計２６は、逐次、測定した湿度の値の情報を含む湿度情報を電子的又は磁気的に生成する。生成された湿度情報は、湿度計２６が備える内部メモリ等に逐次保存される。湿度計２６は、粒子検出装置２０の識別記号を湿度情報に付与してもよい。

【0020】

粒子検出装置２０には、送受信機２及びアンテナ２４が固定されている。送受信機２は、逐次、アンテナ２４を用いて、図１に示すネットワークに湿度情報を無線送信する。なお、送受信機２は、有線ネットワークに情報を送信してもよい。例えば、図３に示す粒子検出装置２０が備える電子機器には、内蔵バッテリ２５から電源が供給される。あるいは、電子機器は、外部電源から電源が供給されてもよい。

【0021】

図１に示す情報受信機３は、ネットワークを経由してきた湿度情報を受信する。情報受信機３は、受信した湿度情報をＣＰＵ３００に伝送する。情報受信機３はＣＰＵ３００に直接接続されていてもよいし、有線又は無線ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）を介して接続されていてもよい。

【0022】

関係記憶装置４０１は、湿度と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置２０の光源、レンズ、デテクタ、検出機構の回路、ノズル、吸気機構、及び排気機構等の部品毎に保存する。関係は、テーブルで表現されていてもよい。ここで、粒子検出装置２０のメンテナンスとは、粒子検出装置２０のソフトウェアによる検出機構の補正、粒子検出装置２０を構成する部品の清掃、及び部品の交換等を含む。

【0023】

粒子検出装置２０に必要なメンテナンスは、粒子検出装置２０内部の湿度によって異なりうる。例えば、粒子検出装置２０内部の湿度が低かった場合は、粒子検出装置２０の部品を清掃あるいは交換することなく、粒子検出装置２０に含まれる検出機構の回路をソフトウェアで補正することによって、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされる。粒子検出装置２０内部の湿度が低くなく、ソフトウェアによる補正では粒子検出装置２０の機能回復が不十分である場合には、粒子検出装置２０の部品を清掃することによって、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされる。粒子検出装置２０内部の湿度が高く、部品の清掃では粒子検出装置２０の機能回復が不十分である場合には、粒子検出装置２０の部品を交換することによって、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされる。

【0024】

なお、粒子検出装置２０内部の湿度に応じたメンテナンスの内容は部品によって異なりうる。例えば、ある湿度に対して、ある部品に対しては掃除がなされたり、ある部品に対しては交換がなされたりしうる。また、湿度と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係は、一つの部品に対して一つのみ用意されてもよいし、一つの部品に対して複数用意されてもよい。一つの部品に対して一つの関係が用意された場合は、一つの関係が、ソフトウェアによる補正、部品の掃除、交換等のメンテナンスの複数の内容に対応する。一つの部品に対して複数の関係が用意された場合は、複数の関係のそれぞれが、ソフトウェアによる補正、部品の掃除、交換等のメンテナンスの複数の内容のいずれかに対応する。

【0025】

湿度と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係は、図４に示すように、湿度を独立変数とし、部品のメンテナンス費用を従属変数とするメンテナンス費用算出式で表されていてもよい。メンテナンス費用算出式は、一次方程式で表される場合もあるし、二次を含む高次方程式で表される場合もある。例えば、光源のように、劣化により急に光量が落ちるものは、劣化が進んだ時点を境にメンテナンス費用が急上昇する。したがって、図５に示すように、光源のメンテナンス費用算出式は、高次方程式で表される場合もある。

【0026】

湿度と、部品のメンテナンス費用と、の関係は、例えば部品を加湿槽に格納して、湿度と部品の特性の劣化の関係を取得し、さらに部品の特性の劣化と、メンテナンス費用と、の関係を取得することによって得られる。あるいは、湿度と、部品のメンテナンス費用と、の関係は、例えば部品を初期状態における特性を取得し、その後、粒子検出装置２０に部品を組み付けて、粒子検出装置２０を加湿槽に格納して、湿度と部品の特性の劣化の関係を取得し、さらに部品の特性の劣化と、メンテナンス費用と、の関係を取得することによって得られる。これらの試験は、加速試験によって得られてもよい。また、これらの試験は、粒子検出装置２０が配置される環境と同じ温度条件下で実施されるのが好ましい。

【0027】

一つの部品に対して複数の関係が用意された場合、ＣＰＵ３００は、関係選択部３０３をさらに有しうる。関係選択部３０３は、粒子検出装置２０内部の湿度計２６が測定した湿度に応じて、複数の関係から一つの関係を選択する。例えば、測定湿度が所定の第１の設定値Ｎ₁未満である場合は、関係選択部３０３は、ソフトウェアによる補正に対応する関係を選択する。測定湿度が第１の設定値Ｎ₁以上第２の設定値Ｎ₂未満である場合は、関係選択部３０３は、部品の清掃に対応する関係を選択する。測定湿度が第２の設定値Ｎ₂以上である場合は、関係選択部３０３は、部品の交換に対応する関係を選択する。第１の設定値Ｎ₁及び第２の設定値Ｎ₂は、部品毎に任意に設定される。

【0028】

粒子検出装置２０内部の湿度と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係は、ソフトウェアによる補正に必要な作業代、部品の清掃に必要な清掃具の費用、部品の清掃に必要な作業代、交換する際の部品の費用、及び部品の交換に必要な作業代等に基づいて、予め取得される。例えば、湿度が高くなるにつれて、ソフトウェアによる補正が複雑になったり、部品の清掃時間が長くなったりするので、それらに対応するように、関係は求められる。また、部品の清掃や交換が行われることにより、ソフトウェアによる補正が行われなくなることもありうる。

【0029】

個別費用特定部３０１は、関係選択部３０３が関係記憶装置４０１から選択して読み出した粒子検出装置２０の部品毎に用意された関係と、粒子検出装置２０内部の湿度計２６が測定した湿度と、に基づいて、粒子検出装置２０の部品毎にメンテナンス費用を特定する。関係がメンテナンス費用算出式で表されている場合、個別費用特定部３０１は、粒子検出装置２０の部品毎に用意されたメンテナンス費用算出式の独立変数に、粒子検出装置２０内部の湿度計２６が測定した湿度の値を代入して、粒子検出装置２０の部品毎にメンテナンス費用を特定する。例えば個別費用特定部３０１は、湿度の測定値に応じて、粒子検出装置２０の光源のメンテナンス費用、レンズのメンテナンス費用、デテクタのメンテナンス費用、検出機構の回路のメンテナンス費用、ノズルのメンテナンス費用、吸気機構のメンテナンス費用、及び排気機構のメンテナンス費用等を算出する。個別費用特定部３０１は、部品毎に特定したメンテナンス費用を、ＣＰＵ３００に含まれる個別費用記憶装置４０３に保存する。

【0030】

総費用算出部３０２は、個別費用特定部３０１が部品毎に算出したメンテナンス費用の総和を算出する。例えば、総費用算出部３０２は、個別費用特定部３０１が算出した光源のメンテナンス費用と、レンズのメンテナンス費用と、デテクタのメンテナンス費用と、検出機構の回路のメンテナンス費用と、ノズルのメンテナンス費用と、吸気機構のメンテナンス費用と、排気機構のメンテナンス費用と、の総和を算出する。総費用算出部３０２は、算出した図６に示すようなメンテナンス費用の総和を、算出費用記憶装置４０２に保存する。また、図１に示すＣＰＵ３００には、出力装置３５０が接続されている。総費用算出部３０２は、算出したメンテナンス費用の総和を、出力装置３５０に出力させる。出力装置３５０としては、プリンタ、及びディスプレイ等が使用可能である。出力装置３５０は、ＣＰＵ３００に直接接続されていてもよいし、ネットワークや他のコンピュータを介して、ＣＰＵ３００に接続されていてもよい。

【0031】

ＣＰＵ３００は、期間監視部３０４をさらに含んでいてもよい。期間監視部３０４は、例えば、粒子検出装置２０のリース期間等の所定の期間が満了したか否かを監視する。なお、期間監視部３０４の機能は、ＣＰＵ３００にネットワークを介して接続されたタイムサーバ等によって実現されてもよい。例えば、個別費用特定部３０１は、期間監視部３０４が、所定の期間が満了したと判断した場合に、粒子検出装置２０の部品毎のメンテナンス費用の特定を行ってもよい。

【0032】

ＣＰＵ３００は、費用請求部３０５及び入金確認部３０６をさらに含んでいてもよい。費用請求部３０５は、総費用算出部３０２が算出したメンテナンス費用の総和を、粒子検出装置２０の借用者のコンピュータ等に、ネットワークを介して送信する。入金確認部３０６は、例えば、粒子検出装置２０の所有者の口座を監視し、粒子検出装置２０の借用者から、請求したメンテナンス費用の入金があったか否かを監視する。

【0033】

ＣＰＵ３００は、費用リセット部３０７をさらに含んでいてもよい。費用リセット部３０７は、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされた場合、あるいは粒子検出装置２０をメンテナンスすることが決定され、粒子検出装置２０の稼働が停止した場合、あるいは粒子検出装置２０の借用者から請求したメンテナンス費用の入金があった場合に、総費用算出部３０２が算出したメンテナンス費用の総和をゼロにリセットする。

【0034】

ＣＰＵ３００は、警告部３０８をさらに含んでいてもよい。警告部３０８は、粒子検出装置２０内部の湿度計２６が測定した湿度の値が所定の値を超えた場合、例えば粒子検出装置２０の正常な稼働が保証できなくなったことを知らせる警告信号を発する。この場合、粒子検出装置２０は、リース期間の満了前であっても、稼働を停止してもよい。

【0035】

次に、図７及び図８に示すフローチャートを用いて、第１の実施の形態に係るメンテナンス時予測方法について説明する。

【0036】

（ａ）ステップＳ１０１で、図３に示す粒子検出装置２０の借用者は、図２に示すクリーンルーム１０に粒子検出装置２０を設置する。クリーンルーム１０に設置される粒子検出装置２０は、予めメンテナンスされている。なお、粒子検出装置２０が新品で清浄であれば、設置前のメンテナンスは必ずしも必要ではない。粒子検出装置２０は、粒子の検出を開始すると、粒子の検出を開始したことを示す信号を生成し、図１に示す期間監視部３０４に送信する。ステップＳ１０２で、信号を受信した期間監視部３０４は、粒子検出装置２０が粒子の検出を開始した時刻を記録する。また、期間監視部３０４は、粒子検出装置２０が粒子の検出を開始した時刻からの粒子検出装置２０の稼働時間をタイマー等で計測する。

【0037】

（ｂ）ステップＳ１０３で、粒子検出装置２０は、粒子の検出を継続する。ステップＳ１０４で、粒子検出装置２０内部の湿度計２６は、湿度を測定し、測定した湿度の値の情報を含む湿度情報を、ネットワークを介して、ＣＰＵ３００に逐次送信する。なお、湿度計は、所定の期間における湿度の平均値の情報を含む湿度情報を、ネットワークを介して、ＣＰＵ３００に送信してもよい。

【0038】

（ｃ）ステップＳ１０５で、期間監視部３０４は、粒子検出装置２０が粒子の検出を開始した時刻からの粒子検出装置２０の稼働時間と、粒子検出装置２０のリース期間と、を対比して、粒子検出装置２０のリース期間が満了したか否かを監視する。期間監視部３０４が粒子検出装置２０のリース期間が満了したと判断した場合は、粒子検出装置２０は粒子の検出を終了し、ステップＳ１０６に進む。期間監視部３０４が粒子検出装置２０のリース期間が満了していないと判断した場合は、ステップＳ１０３に戻る。

【0039】

（ｄ）ステップＳ１０６で、関係選択部３０３は、粒子検出装置２０の構成部品のうち、メンテナンス費用の算出がなされていない一つの部品を特定する。ステップＳ１０７で、関係選択部３０３は、粒子検出装置２０内部の湿度計２６による湿度の測定値が、ステップＳ１０６で特定された部品に対して設定された第１の設定値Ｎ₁未満であるか否かを判断する。湿度の測定値が第１の設定値Ｎ₁未満である場合、ステップＳ２０１に進む。

【0040】

（ｅ）ステップＳ２０１で、関係選択部３０３は、関係記憶装置４０１から、湿度と、ステップＳ１０６で特定された部品の、清掃交換を伴わないメンテナンス費用と、の関係を選択して読み出す。関係選択部３０３は、選択した関係と、湿度の測定値と、を、個別費用特定部３０１に伝送する。ステップＳ２０２で、個別費用特定部３０１は、関係選択部３０３が選択した関係と、湿度の測定値と、に基づいて、ステップＳ１０６で特定された部品のメンテナンス費用を特定する。個別費用特定部３０１は、特定した部品のメンテナンス費用を、個別費用記憶装置４０３に保存する。

【0041】

（ｆ）ステップＳ１０７で、関係選択部３０３が、湿度の測定値が第１の設定値Ｎ₁以上であると判断した場合、ステップＳ１０８に進む。ステップＳ１０８で、関係選択部３０３は、湿度の測定値が、ステップＳ１０６で特定された部品に対して設定された第１の設定値Ｎ₁以上第２の設定値Ｎ₂未満であるか否かを判断する。湿度の測定値が第１の設定値Ｎ₁以上第２の設定値Ｎ₂未満である場合、ステップＳ３０１に進む。

【0042】

（ｇ）ステップＳ３０１で、関係選択部３０３は、関係記憶装置４０１から、湿度と、ステップＳ１０６で特定された部品を清掃するためのメンテナンス費用と、の関係を選択して読み出す。関係選択部３０３は、選択した関係と、湿度の測定値と、を、個別費用特定部３０１に伝送する。ステップＳ３０２で、個別費用特定部３０１は、関係選択部３０３が選択した関係と、湿度の測定値と、に基づいて、ステップＳ１０６で特定された部品のメンテナンス費用を特定する。個別費用特定部３０１は、特定した部品のメンテナンス費用を、個別費用記憶装置４０３に保存する。

【0043】

（ｈ）ステップＳ１０８で、関係選択部３０３が、湿度の測定値が第２の設定値Ｎ₂以上であると判断した場合、ステップＳ４０１に進む。ステップＳ４０１で、関係選択部３０３は、関係記憶装置４０１から、湿度と、ステップＳ１０６で特定された部品を交換するためのメンテナンス費用と、の関係を選択して読み出す。関係選択部３０３は、選択した関係と、湿度の測定値と、を、個別費用特定部３０１に伝送する。ステップＳ４０２で、個別費用特定部３０１は、関係選択部３０３が選択した関係と、湿度の測定値と、に基づいて、ステップＳ１０６で特定された部品のメンテナンス費用を特定する。個別費用特定部３０１は、特定した部品のメンテナンス費用を、個別費用記憶装置４０３に保存する。

【0044】

（ｉ）ステップＳ５０１で、総費用算出部３０２は、個別費用記憶装置４０３に、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用が保存されているか否かを確認する。メンテナンス費用が特定されていない部品がある場合は、ステップＳ１０６に戻る。ステップＳ１０６からステップＳ５０１までのループが繰り返されることで、粒子検出装置２０の総ての構成部品のそれぞれのメンテナンス費用が算出され、個別費用記憶装置４０３に保存される。なお、メンテナンス費用の算出対象となっていない部品は、「総ての構成部品」には含まれない。

【0045】

（ｊ）ステップＳ５０１で、総費用算出部３０２が、個別費用記憶装置４０３に、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用が保存されていることを確認した場合、図８に示すステップＳ５０２で、総費用算出部３０２は、個別費用記憶装置４０３から、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用を読み出す。次に、総費用算出部３０２は、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用の総和を算出する。ステップＳ５０３で、総費用算出部３０２は、算出したメンテナンス費用の総和を算出費用記憶装置４０２に保存する。また、ステップＳ５０４で、総費用算出部３０２は、算出したメンテナンス費用の総和を出力装置３５０に出力する。

【0046】

（ｋ）ステップＳ５０５で、費用請求部３０５は、算出費用記憶装置４０２からメンテナンス費用の総和を読み出す。次に、費用請求部３０５は、メンテナンス費用の総和を、粒子検出装置２０の借用者のコンピュータ等に、ネットワークを介して送信し、粒子検出装置２０の借用者にメンテナンス費用を請求する。ステップＳ５０６で、入金確認部３０６は、粒子検出装置２０の借用者からのメンテナンス費用の入金が、粒子検出装置２０の所有者の口座にあったか否かを監視する。入金が確認された場合は、ステップＳ５０７に進む。ステップＳ５０７で、費用リセット部３０７は、総費用算出部３０２が算出したメンテナンス費用の総和をゼロにリセットする。ステップＳ５０６で入金が確認されなかった場合は、ステップＳ５０５に戻り、再度、粒子検出装置２０の借用者にメンテナンス費用を請求する。

【0047】

以上説明した第１の実施の形態に係るメンテナンス時予測方法によれば、粒子検出装置２０のメンテナンス費用を借用者に請求する場合に、請求するメンテナンス費用の客観的かつ具体的な裏付けを、借用者に対して提示することが可能となる。

【0048】

（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る粒子検出装置のメンテナンス費用算出システムは、図９に示すように、ＣＰＵ３００が、更新確認部３０９をさらに含む。更新確認部３０９は、入金確認部３０６が粒子検出装置２０の借用者から請求したメンテナンス費用の入金があったことを確認した場合に、粒子検出装置２０の借用者が所有するコンピュータ等に、リース契約を更新するか否かを問い合わせる信号を、ネットワークを介して送信する。借用者から契約を更新する回答があった場合は、更新確認部３０９は、粒子検出装置２０を再稼働させる。

【0049】

なお、更新確認部は、借用者にリース契約を更新するか否かを問い合わせる信号を送る前に、粒子検出装置２０の再稼働可能期間を計算してもよい。再稼働可能期間Ａは、検出粒子数の所定の上限値をＮ_MAX、契約期間中に検出した粒子の数をｎ、契約期間をＣとして、下記（１）式で表される。
Ａ＝（Ｎ_MAX／ｎ）×Ｃ ・・・（１）
再稼働可能期間Ａが所定の期間より短い場合は、更新確認部３０９は、借用者にリース契約を更新するか否かを問い合わせる信号を送らなくてもよい。

【0050】

（その他の実施の形態）
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、図１に示す関係選択部３０３は、粒子検出装置２０内部の湿度計２６が測定した湿度の経時変化を観測し、図１０に示すように、測定湿度が所定の第１の設定値Ｎ₁未満になった場合のパルスカウント、測定湿度が第１の設定値Ｎ₁以上第２の設定値Ｎ₂未満になった場合のパルスカウント、及び測定湿度が第２の設定値Ｎ₂以上になった場合のパルスカウントを生成してもよい。ここで、第１の設定値Ｎ₁未満のパルスカウントが最も多かった場合は、関係選択部３０３は、ソフトウェアによる補正に対応する関係を選択する。第１の設定値Ｎ₁以上第２の設定値Ｎ₂未満のパルスカウントが最も多かった場合は、関係選択部３０３は、部品の清掃に対応する関係を選択する。第２の設定値Ｎ₂以上であるパルスカウントが最も多かった場合は、関係選択部３０３は、部品の交換に対応する関係を選択する。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。

【符号の説明】

【0051】

２ 送受信機
３ 情報受信機
１０ クリーンルーム
２０ 粒子検出装置
２１ 吸引口
２２ 排気口
２３ 光学系
２４ アンテナ
２５ 内蔵バッテリ
２６ 湿度計
３０１ 個別費用特定部
３０２ 総費用算出部
３０３ 関係選択部
３０４ 期間監視部
３０５ 費用請求部
３０６ 入金確認部
３０７ 費用リセット部
３０８ 警告部
３０９ 更新確認部
３５０ 出力装置
４０１ 関係記憶装置
４０２ 算出費用記憶装置
４０３ 個別費用記憶装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】