特許 5953135 抵抗測定装置および回路基板検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5953135

(24)【登録日】2016年6月17日

(45)【発行日】2016年7月20日

(54)【発明の名称】抵抗測定装置および回路基板検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 27/02 20060101AFI20160707BHJP

   G01R 31/02 20060101ALI20160707BHJP

   H05K 3/00 20060101ALI20160707BHJP

【ＦＩ】

   G01R27/02 R

   G01R31/02

   H05K3/00 U

【請求項の数】5

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2012-134395(P2012-134395)

(22)【出願日】2012年6月14日

(65)【公開番号】特開2013-257259(P2013-257259A)

(43)【公開日】2013年12月26日

【審査請求日】2015年5月27日

(73)【特許権者】

【識別番号】000227180

【氏名又は名称】日置電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100083404

【弁理士】

【氏名又は名称】大原 拓也

(74)【代理人】

【識別番号】100166752

【弁理士】

【氏名又は名称】久保 典子

(72)【発明者】

【氏名】伴 和浩

【審査官】 荒井 誠

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−００２１９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００４／０４６７３７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００７−１７８２５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０１４６０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−３４０４７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６０−２１４２７１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ２７／０２−２７／２６

Ｇ０１Ｒ ３１／０２

Ｈ０５Ｋ ３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１直流電流源および第１電圧測定手段を有する第１抵抗測定部と、第２直流電流源および第２電圧測定手段を有する第２抵抗測定部とを含み、上記各抵抗測定部により四端子法にて隣接している第１および第２の２つの被測定体の抵抗値測定を同時に行う抵抗値測定装置において、
上記２つの被測定体ごとに割り当てられ、その各々に引き回し配線を介して４本のプローブが接続される一対のスキャナボードを備え、上記各スキャナボードには、
上記第１，第２電圧測定手段の高電位極Ｈｐ１，Ｈｐ２のいずれかに択一的に接続される第１主スイッチ、上記第１，第２直流電流源の高電位極Ｈｃ１，Ｈｃ２のいずれかに択一的に接続される第２主スイッチ、上記第１，第２電圧測定手段の低電位極Ｌｐ１，Ｌｐ２のいずれかに択一的に接続される第３主スイッチおよび上記第１，第２直流電流源の低電位極Ｌｃ１，Ｌｃ２のいずれかに択一的に接続される第４主スイッチと、
上記４本の各プローブを上記第１ないし第４の各主スイッチのコモン接点のいずれか一つに選択的に接続する第１ないし第４の４つの副スイッチとが設けられており、
上記一方のスキャナボード側の４本のプローブのうちの２本のプローブを上記第１被測定体の一方の端子部に接触させ、残りの２本のプローブを上記第２被測定体の一方の端子部に接触させるとともに、上記他方のスキャナボード側の４本のプローブのうちの２本のプローブを上記第１被測定体の他方の端子部に接触させ、残りの２本のプローブを上記第２被測定体の他方の端子部に接触させた状態で、
上記各主スイッチと上記各副スイッチとにより、上記第１被測定体の両端子部に接触する４本のプローブを上記第１抵抗測定部に接続するとともに、上記第２被測定体の両端子部に接触する４本のプローブを上記第２抵抗測定部に接続し、上記第１被測定体に対しては上記第１直流電流源より上記一方のスキャナボード側から電流を流し、上記第２被測定体に対しては上記第２直流電流源より上記他方のスキャナボード側から電流を流し、上記第１被測定体に流される電流方向と、上記第２被測定体に流される電流方向とが逆方向とされることを特徴とする抵抗値測定装置。

【請求項2】

上記一方のスキャナボード側の上記４本のプローブを第１ないし第４プローブ，上記他方のスキャナボード側の上記４本のプローブを第５ないし第８プローブとして、上記第１被測定体の一方の端子部に第１，第２プローブを、上記第２被測定体の一方の端子部に第３，第４プローブを接触させるとともに、上記第１被測定体の他方の端子部に第５，第６プローブを、上記第２被測定体の他方の端子部に第７，第８プローブを接触させて、上記第１抵抗測定部による上記第１被測定体の抵抗値測定と、上記第２抵抗測定部による上記第２被測定体の抵抗値測定とを同時に行うにあたって、
上記各主スイッチと上記各副スイッチとにより、上記第１，第５プローブを上記第１直流電流源の高電位極Ｈｃ１，低電位極Ｌｃ１に、上記第２，第６プローブを上記第１電圧測定手段の高電位極Ｈｐ１，低電位極Ｌｐ１に接続するとともに、上記第３，第７プローブを上記第２直流電流源の高電位極Ｈｃ１，低電位極Ｌｃ１に、上記第４，第８プローブを上記第２電圧測定手段の高電位極Ｈｐ１，低電位極Ｌｐ１に接続することを特徴とする請求項１に記載の抵抗値測定装置。

【請求項3】

上記一方のスキャナボードから各プローブに至る引き回し配線が隣接して配線されているとともに、上記他方のスキャナボードから各プローブに至る引き回し配線が隣接して配線されていることを特徴とする請求項１または２に記載の抵抗値測定装置。

【請求項4】

上記第１抵抗測定部と上記第２抵抗測定部に対して、上記一対のスキャナボードが複数並列に接続されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の抵抗値測定装置。

【請求項5】

上記被測定体が回路基板に隣接して配置されている抵抗素子もしくはスルーホール内の導電体であり、請求項１ないし４のいずれか１項に記載の抵抗値測定装置により、上記複数の被測定体を２つ１組としてそれらの各抵抗値を順次測定することを特徴とする回路基板検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、抵抗測定装置および回路基板検査装置に関し、さらに詳しく言えば、四端子法による２つの抵抗測定部を備え、２つの被測定体の抵抗値（電気導電度）を同時に測定する技術に関するものである。

【背景技術】

【0002】

四端子法による抵抗測定法では、直流電源と電圧計とを用い、直流電源より電流供給プローブを介して被測定体に所定の直流定電流Ｉを流し、これにより被測定体の両端子間に生ずる電圧Ｖを電圧検出プローブを介して電圧計にて測定し、Ｖ／Ｉなる除算により被測定体の抵抗値Ｒが求められる。

【0003】

この四端子法による抵抗測定法によれば、特に被測定体が低抵抗である場合、プローブの接触抵抗や配線抵抗等の影響を殆ど受けることなく、被測定被測定体の抵抗値Ｒをより正確に測定することができるが、多くの場合、直流電源から電流供給プローブに至る電流供給ラインと、電圧計から電圧検出プローブに至る電圧検出ラインとが隣接して配線されている。

【0004】

そのため、通電により電流供給ラインの周りに発生する磁束が隣接する電圧検出ラインに鎖交することにより、電圧検出ラインに起電力が誘起され、これが測定の誤差要因となることがある。

【0005】

この点を解消すべく、本出願人は先に特許文献１として、図３に示す抵抗測定装置を提案している。この抵抗測定装置は、第１および第２の抵抗測定部１０，２０を備え、これら抵抗測定部１０，２０により、２つの被測定体Ｒａ，Ｒｂを同時に測定する。

【0006】

被測定体Ｒａ，Ｒｂは、回路基板に実装されている抵抗素子もしくは回路基板に穿設されているスルーホール内の銅箔等からなる導電体であり、スルーホールの場合には、測定された抵抗値により断線有無の検査が行われる。

【0007】

第１および第２の抵抗測定部１０，２０は、いずれも四端子法によるもので、第１抵抗測定部１０は、直流電流源１１と電圧検出手段としての電圧計１２とを備え、同様に、第２抵抗測定部２０は、直流電流源２１と電圧検出手段としての電圧計２２とを備える。

【0008】

図３の例において、一方の被測定体Ｒａの両端子部には、引き回し配線１１０を介して第１抵抗測定部１０の直流電流源１１に接続される一対の電流供給プローブ１１１，１１２と、引き回し配線１２０を介して第１抵抗測定部１０の電圧計１２に接続される一対の電圧検出プローブ１２１，１２２とが接触される。

【0009】

同様に、他方の被測定体Ｒｂの両端子部には、引き回し配線２１０を介して第２抵抗測定部２０の直流電流源２１に接続される一対の電流供給プローブ２１１，２１２と、引き回し配線２２０を介して第２抵抗測定部２０の電圧計２２に接続される一対の電圧検出プローブ２２１，２２２とが接触される。

【0010】

この場合、第１抵抗測定部１０側の引き回し配線１１０，１２０と、第２抵抗測定部２０側の引き回し配線２１０，２２０は極力近づけて配線し、直流電流源１１，２１から供給される電流値は同じであるが逆極性とする。

【0011】

すなわち、第１抵抗測定部１０の電流供給側の引き回し配線１１０には、図示実線矢印方向に電流を流すのに対して、第２抵抗測定部２０の電流供給側の引き回し配線２１０には、逆方向となるように図示鎖線矢印方向に電流を流す。

【0012】

このように、第１抵抗測定部１０の電流供給側の引き回し配線１１０と第２抵抗測定部２０の電流供給側の引き回し配線２１０とに対して、互いに逆極性で電流値の等しい直流電流（測定電流）を同時に流すことにより、それらの直流電流に起因して発生する磁束が打ち消されるため、電圧検出側の引き回し配線１２０，２２０に起電力が誘導されることがなく、より正確な抵抗値測定を行うことができるとともに、同時に２つの被測定体の抵抗値を測定することが可能となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0013】

【特許文献1】特開２０１０−２１９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0014】

しかしながら、回路基板上に多数（例えば数１００以上）の被測定体が存在しているような場合には次のような問題がある。

【0015】

各プローブをフライング形式として、被測定体Ｒａ，Ｒｂを測定したのち、次の２つの被測定体に移動させて測定を行う場合には、プローブの移し替えに時間がかかるばかりでなく、引き回し配線もその分長くする必要があり、好ましくない。

【0016】

また、各プローブを各被測定体ごとにピンボードに植設するフィクスチュア形式とする場合には、第１抵抗測定部１０と第２抵抗測定部２０とに対する各プローブの配線本数がきわめて多くなり、配線経路が複雑になるばかりでなく、それら配線の接続にも多大な手間がかかることになる。また、配線面積が増える分、浮遊容量も増大することになる。さらには、配線本数が増えると、その本数に応じて切替スイッチの数も多くなり、部品コストが嵩むことになる。

【0017】

そこで、本発明の課題は、四端子法による第１および第２の２つの抵抗測定部を有する抵抗測定装置において、数多く存在する被測定体のうち、順次所定の２つの被測定体の抵抗値を同時に測定するにあたって、各被測定体に割り当てられるプローブの各抵抗測定部に対する接続を容易にするとともに、その引き回し配線長もより短くして浮遊容量が増加しないようにすることにある。

【課題を解決するための手段】

【0018】

上記課題を解決するため、本発明は請求項１に記載されているように、第１直流電流源および第１電圧測定手段を有する第１抵抗測定部と、第２直流電流源および第２電圧測定手段を有する第２抵抗測定部とを含み、上記各抵抗測定部により四端子法にて隣接している第１および第２の２つの被測定体の抵抗値測定を同時に行う抵抗値測定装置において、
上記２つの被測定体ごとに割り当てられ、その各々に引き回し配線を介して４本のプローブが接続される一対のスキャナボードを備え、上記各スキャナボードには、
上記第１，第２電圧測定手段の高電位極Ｈｐ１，Ｈｐ２のいずれかに択一的に接続される第１主スイッチ、上記第１，第２直流電流源の高電位極Ｈｃ１，Ｈｃ２のいずれかに択一的に接続される第２主スイッチ、上記第１，第２電圧測定手段の低電位極Ｌｐ１，Ｌｐ２のいずれかに択一的に接続される第３主スイッチおよび上記第１，第２直流電流源の低電位極Ｌｃ１，Ｌｃ２のいずれかに択一的に接続される第４主スイッチと、
上記４本の各プローブを上記第１ないし第４の各主スイッチのコモン接点のいずれか一つに選択的に接続する第１ないし第４の４つの副スイッチとが設けられており、
上記一方のスキャナボード側の４本のプローブのうちの２本のプローブを上記第１被測定体の一方の端子部に接触させ、残りの２本のプローブを上記第２被測定体の一方の端子部に接触させるとともに、上記他方のスキャナボード側の４本のプローブのうちの２本のプローブを上記第１被測定体の他方の端子部に接触させ、残りの２本のプローブを上記第２被測定体の他方の端子部に接触させた状態で、
上記各主スイッチと上記各副スイッチとにより、上記第１被測定体の両端子部に接触する４本のプローブを上記第１抵抗測定部に接続するとともに、上記第２被測定体の両端子部に接触する４本のプローブを上記第２抵抗測定部に接続し、上記第１被測定体に対しては上記第１直流電流源より上記一方のスキャナボード側から電流を流し、上記第２被測定体に対しては上記第２直流電流源より上記他方のスキャナボード側から電流を流し、上記第１被測定体に流される電流方向と、上記第２被測定体に流される電流方向とが逆方向とされることを特徴としている。

【0019】

具体的には、請求項２に記載されているように、上記一方のスキャナボード側の上記４本のプローブを第１ないし第４プローブ，上記他方のスキャナボード側の上記４本のプローブを第５ないし第８プローブとして、上記第１被測定体の一方の端子部に第１，第２プローブを、上記第２被測定体の一方の端子部に第３，第４プローブを接触させるとともに、上記第１被測定体の他方の端子部に第５，第６プローブを、上記第２被測定体の他方の端子部に第７，第８プローブを接触させて、上記第１抵抗測定部による上記第１被測定体の抵抗値測定と、上記第２抵抗測定部による上記第２被測定体の抵抗値測定とを同時に行うにあたって、
上記各主スイッチと上記各副スイッチとにより、上記第１，第５プローブを上記第１直流電流源の高電位極Ｈｃ１，低電位極Ｌｃ１に、上記第２，第６プローブを上記第１電圧測定手段の高電位極Ｈｐ１，低電位極Ｌｐ１に接続するとともに、上記第３，第７プローブを上記第２直流電流源の高電位極Ｈｃ１，低電位極Ｌｃ１に、上記第４，第８プローブを上記第２電圧測定手段の高電位極Ｈｐ１，低電位極Ｌｐ１に接続する。

【0020】

好ましくは、請求項３に記載されているように、上記一方のスキャナボードから各プローブに至る引き回し配線が隣接して配線されているとともに、上記他方のスキャナボードから各プローブに至る引き回し配線が隣接して配線される。

【0021】

多数の被測定体を２つ１組として測定するにあたって、請求項４に記載されているように、上記第１抵抗測定部と上記第２抵抗測定部に対して、上記一対のスキャナボードが複数並列に接続される。

【0022】

また、本発明には、請求項５に記載されているように、上記被測定体が回路基板に隣接して配置されている抵抗素子もしくはスルーホール内の導電体であり、請求項１ないし４のいずれか１項に記載の抵抗値測定装置により、上記複数の被測定体を２つ１組としてそれらの各抵抗値を順次測定する回路基板検査装置も含まれる。

【発明の効果】

【0023】

本発明によれば、各スキャナボードに設けられている主スイッチと副スイッチを選択的に切り換えるだけの操作で、第１被測定体の両端子部に接触する４本のプローブを第１抵抗測定部に接続するとともに、第２被測定体の両端子部に接触する４本のプローブを第２抵抗測定部に接続でき、第１被測定体に対しては第１直流電流源より一方のスキャナボード側から電流を流し、第２被測定体に対しては第２直流電流源より他方のスキャナボード側から電流を流し、これにより、第１被測定体に流される電流方向と、第２被測定体に流される電流方向とを逆方向とすることができる。

【0024】

また、各プローブの引き回し配線も、スキャナボードとプローブ間だけに配線すればよく、引き回し配線をより短くすることができるとともに、一方のスキャナボードから各プローブに至る引き回し配線を隣接して配線し、同様に、他方のスキャナボードから各プローブに至る引き回し配線を隣接して配線することにより、電圧検出側の引き回し配線に誘導起電力が生じないようにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】本発明による抵抗測定装置の実施形態を示す模式的な斜視図。

【図2】本発明で用いられるスキャナボードの構成を示す模式図。

【図3】四端子法による２つの抵抗測定部を備えた従来の抵抗測定装置を示す模式図。

【発明を実施するための形態】

【0026】

次に、図１および図２により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

【0027】

まず、図１を参照して、この実施形態に係る抵抗測定装置は、複数の被測定体Ｒａ〜Ｒｎの抵抗値を測定するため、計測ボード１００と、中継基板としてのＩＦボード２００を介して計測ボード１００に接続されるスキャナボード３００，４００とを備える。なお、ＩＦボード２００は任意的な構成要素で、スキャナボード３００，４００は、直接的に計測ボード１００に接続されてよい。

【0028】

また、この実施形態において、被測定体Ｒａ〜Ｒｎは、回路基板に穿設されているスルーホール内の銅箔で、その抵抗値が所定の閾値よりも高い抵抗値を示す場合には、図示しない制御手段によりスルーホール内断線と判定される。被測定体Ｒａ〜Ｒｎは、回路基板上に実装された例えば抵抗チップ等の抵抗素子であってもよい。

【0029】

いずれにしても、この実施形態において、被測定体Ｒａ〜Ｒｎは、例えば数１００個単位で存在するが、以下の説明において、被測定体Ｒａ〜Ｒｎを区別する必要がない場合には、その総称として被測定体ＲＸとする。

【0030】

計測ボード１００には、ともに四端子法による第１抵抗測定部１０１と、第２抵抗測定部１０２とが設けられている。

【0031】

第１抵抗測定部１０１は、直流定電流源ＣＣ１と、電圧測定手段としての電圧計Ｖ１とを備える。ここでの説明において、直流定電流源ＣＣ１の高電位極をＨｃ１，その低電位極をＬｃ１，電圧計Ｖ１の高電位極をＨｐ１，その低電位極をＬｐ１とする。

【0032】

同様に、第２抵抗測定部１０２も、直流定電流源ＣＣ２と、電圧測定手段としての電圧計Ｖ２とを備え、直流定電流源ＣＣ２の高電位極をＨｃ２，その低電位極をＬｃ２，電圧計Ｖ１の高電位極をＨｐ２，その低電位極をＬｐ２とする。なお、説明の便宜上、第１抵抗測定部１０１に通ずる電路をライン１とし、第２抵抗測定部１０２に通ずる電路をライン２とする。

【0033】

スキャナボード３００，４００について説明すると、一方のスキャナボード３００は、被測定体ＲＸの一方の端子部側に接触するプローブ３０１〜３０４を有する基板で、他方のスキャナボード４００は、被測定体ＲＸの他方の端子部側に接触するプローブ４０１〜４０４を有する基板である。

【0034】

この実施形態において、スキャナボード３００，４００はともに、複数枚が用いられているため、その各々をスキャナボード３００ａ〜３００ｍ，スキャナボード４００ａ〜４００ｍとする。スキャナボード３００（３００ａ〜３００ｍ）とスキャナボード４００（４００ａ〜４００ｍ）は同一構成であり、好ましくは、各スキャナボード３００，４００は同数枚である。

【0035】

スキャナボード３００（３００ａ〜３００ｍ）は、上部のスキャナラックＡ内に収納され、スキャナボード４００（４００ａ〜４００ｍ）は、下部のスキャナラックＢ内に収納されるが、スキャナラックＡ側の１枚とスキャナラックＢ側の１枚とが一対として、２つの被測定体ＲＸに割り当てられる。すなわち、被測定体ＲＸが例えば１００個であるとすると、スキャナボード３００，４００はともに５０枚が用意されることになる。

【0036】

図１には、スキャナボード３００ａとスキャナボード４００ａとが対として、隣接する２つの被測定体Ｒａ，Ｒｂの抵抗値測定を行う状態が図解されているため、これについて図２により説明する。

【0037】

スキャナボード３００ａは、第１ないし第４の４つの主スイッチ３１１〜３１４と、第１ないし第４の４つの副スイッチ３２１〜３２４とを備える。

【0038】

第１主スイッチ３１１は、２つのスイッチ素子３１１ａ，３１１ｂを有し、第１，第２電圧計Ｖ１，Ｖ２の高電位極Ｈｐ１，Ｈｐ２のいずれか一方を選択する。第２主スイッチ３１２は、２つのスイッチ素子３１２ａ，３１２ｂを有し、第１，第２直流定電流源ＣＣ１，ＣＣ２の高電位極Ｈｃ１，Ｈｃ２のいずれか一方を選択する。

【0039】

第３主スイッチ３１３は、２つのスイッチ素子３１３ａ，３１３ｂを有し、第１，第２電圧計Ｖ１，Ｖ２の低電位極Ｌｐ１，Ｌｐ２のいずれか一方を選択する。第４主スイッチ３１４は、２つのスイッチ素子３１４ａ，３１４ｂを有し、第１，第２直流定電流源ＣＣ１，ＣＣ２の低電位極Ｌｃ１，Ｌｃ２のいずれか一方を選択する。

【0040】

第１副スイッチ３２１は、４つのスイッチ素子３２１ａ〜３２１ｄを有し、プローブ３０１を各主スイッチ３１１〜３１４のコモン接点３１１ｃ〜３１４ｃのいずれか一つに接続する。

【0041】

第２副スイッチ３２２は、４つのスイッチ素子３２２ａ〜３２２ｄを有し、プローブ３０２を各主スイッチ３１１〜３１４のコモン接点３１１ｃ〜３１４ｃのいずれか一つに接続する。

【0042】

第３副スイッチ３２３は、４つのスイッチ素子３２３ａ〜３２３ｄを有し、プローブ３０３を各主スイッチ３１１〜３１４のコモン接点３１１ｃ〜３１４ｃのいずれか一つに接続する。

【0043】

第４副スイッチ３２４は、４つのスイッチ素子３２４ａ〜３２４ｄを有し、プローブ３０４を各主スイッチ３１１〜３１４のコモン接点３１１ｃ〜３１４ｃのいずれか一つに接続する。

【0044】

同様に、スキャナボード４００ａも、第１ないし第４の４つの主スイッチ４１１〜４１４と、第１ないし第４の４つの副スイッチ４２１〜４２４とを備える。

【0045】

第１主スイッチ４１１は、２つのスイッチ素子４１１ａ，４１１ｂを有し、第１，第２電圧計Ｖ１，Ｖ２の高電位極Ｈｐ１，Ｈｐ２のいずれか一方を選択する。第２主スイッチ４１２は、２つのスイッチ素子４１２ａ，４１２ｂを有し、第１，第２直流定電流源ＣＣ１，ＣＣ２の高電位極Ｈｃ１，Ｈｃ２のいずれか一方を選択する。

【0046】

第３主スイッチ４１３は、２つのスイッチ素子４１３ａ，４１３ｂを有し、第１，第２電圧計Ｖ１，Ｖ２の低電位極Ｌｐ１，Ｌｐ２のいずれか一方を選択する。第４主スイッチ４１４は、２つのスイッチ素子４１４ａ，４１４ｂを有し、第１，第２直流定電流源ＣＣ１，ＣＣ２の低電位極Ｌｃ１，Ｌｃ２のいずれか一方を選択する。

【0047】

第１副スイッチ４２１は、４つのスイッチ素子４２１ａ〜４２１ｄを有し、プローブ４０４を各主スイッチ４１１〜４１４のコモン接点４１１ｃ〜４１４ｃのいずれか一つに接続する。

【0048】

第２副スイッチ４２２は、４つのスイッチ素子４２２ａ〜４２２ｄを有し、プローブ４０３を各主スイッチ４１１〜４１４のコモン接点４１１ｃ〜４１４ｃのいずれか一つに接続する。

【0049】

第３副スイッチ４２３は、４つのスイッチ素子４２３ａ〜４２３ｄを有し、プローブ４０２を各主スイッチ４１１〜４１４のコモン接点４１１ｃ〜４１４ｃのいずれか一つに接続する。

【0050】

第４副スイッチ４２４は、４つのスイッチ素子４２４ａ〜４２４ｄを有し、プローブ４０１を各主スイッチ４１１〜４１４のコモン接点４１１ｃ〜４１４ｃのいずれか一つに接続する。

【0051】

２つの被測定体Ｒａ，Ｒｂの抵抗値を測定するにあたって、スキャナボード３００ａ側の４本のプローブ３０１〜３０４のうちの２本のプローブ３０１，３０２を被測定体Ｒａの一方の端子部ＲａＴ１に接触させ、スキャナボード４００ａ側の４本のプローブ４０１〜４０４のうちの２本のプローブ４０１，４０２を被測定体Ｒａの他方の端子部ＲａＴ２に接触させる。

【0052】

また、スキャナボード３００ａ側の残りの２本のプローブ３０３，３０４を被測定体Ｒｂの一方の端子部ＲｂＴ１に接触させるとともに、スキャナボード４００ａ側の残りの２本のプローブ４０３，４０４を被測定体Ｒｂの他方の端子部ＲｂＴ２に接触させる。

【0053】

この実施形態においては、被測定体Ｒａの両端子部ＲａＴ１，ＲａＴ２に接触するプローブ３０１，３０２，４０１，４０２のうち、プローブ３０２，４０１を電流供給プローブとし、プローブ３０１，４０２を電圧検出プーロブとする。

【0054】

また、被測定体Ｒｂの両端子部ＲｂＴ１，ＲｂＴ２に接触するプローブ３０３，３０４，４０３，４０４のうち、プローブ３０４，４０３を電流供給プローブとし、プローブ３０３，４０４を電圧検出プーロブとする。

【0055】

そして、被測定体Ｒａに対しては、スキャナボード４００ａ側から直流の定電流（測定電流）Ｉ１を流し、被測定体Ｒｂに対しては、スキャナボード３００ａ側から直流の定電流（測定電流）Ｉ２を流すようにする。なお、測定電流Ｉ１，Ｉ２の電流値は同一（Ｉ１＝Ｉ２）とする。

【0056】

そのため、スキャナボード３００ａ側においては、プローブ３０１を第１副スイッチ３２１のスイッチ素子３２１ｂおよび第３主スイッチ３１３のスイッチ素子３１３ｂを介してライン２における第２電圧計Ｖ２の低電位極Ｌｐ２に接続する。

【0057】

また、プローブ３０２を第２副スイッチ３２２のスイッチ素子３２２ａおよび第４主スイッチ３１４のスイッチ素子３１４ｂを介してライン２における第２直流定電流源ＣＣ２の低電位極Ｌｃ２に接続する。

【0058】

また、プローブ３０３を第３副スイッチ３２３のスイッチ素子３２３ｄおよび第１主スイッチ３１１のスイッチ素子３１１ａを介してライン１における第１電圧計Ｖ１の高電位極Ｈｐ１に接続する。

【0059】

また、プローブ３０４を第４副スイッチ３２４のスイッチ素子３２４ｃおよび第２主スイッチ３１２のスイッチ素子３１２ａを介してライン１における第１直流定電流源ＣＣ１の高電位極Ｈｃ１に接続する。

【0060】

一方、スキャナボード４００ａ側においては、プローブ４０１を第４副スイッチ４２４のスイッチ素子４２４ｃおよび第２主スイッチ４１２のスイッチ素子４１２ｂを介してライン２における第２直流定電流源ＣＣ２の高電位極Ｈｃ２に接続する。

【0061】

また、プローブ４０２を第３副スイッチ４２３のスイッチ素子４２３ｄおよび第１主スイッチ４１１のスイッチ素子４１１ｂを介してライン２における第２電圧計Ｖ２の高電位極Ｈｐ２に接続する。

【0062】

また、プローブ４０３を第２副スイッチ４２２のスイッチ素子４２２ａおよび第４主スイッチ４１４のスイッチ素子４１４ａを介してライン１における第１直流定電流源ＣＣ１の低電位極Ｌｃ１に接続する。

【0063】

また、プローブ４０４を第１副スイッチ４２１のスイッチ素子４２１ｂおよび第３主スイッチ４１３のスイッチ素子４１３ａを介してライン１における第１電圧計Ｖ１の低電位極Ｌｐ１に接続する。

【0064】

なお、上記の主スイッチおよび副スイッチの切り替えは、図示しない制御手段により行われる。また、主スイッチおよび副スイッチは、半導体素子等よりなる電子スイッチが好ましく用いられるが、マイクロスイッチに代表されるメカニカルスイッチが用いられてもよい。

【0065】

このようにして、各スキャナボード３００ａ，４００ａのスイッチ切り替えにより、被測定体Ｒａを第２抵抗測定部１０２のライン２に接続し、被測定体Ｒｂを第１抵抗測定部１０１のライン１に接続することができるとともに、被測定体Ｒａに対する測定電流Ｉ１の流れ方向と、被測定体Ｒｂに対する測定電流Ｉ２の流れ方向とが逆方向となる。

【0066】

したがって、プローブ３０１，３０２の各引き回し配線と、プローブ３０３，３０４の各引き回し配線とを近接配置、また、プローブ４０１，４０２の各引き回し配線と、プローブ４０３，４０４の各引き回し配線とを近接配置することにより、測定電流の通電により生ずる誘導起電力を打ち消すことができる。

【0067】

また、引き回し配線もスキャナボードとプローブ間に配線されるだけですむので、その配線長をより短くすることができる。

【0068】

以上、スキャナボード３００ａ，４００ａについて説明したが、同様に、スキャナボード３００ｂ，４００ｂ；３００ｃ，４００ｃ…３００ｍ，４００ｍがそれぞれ対として用いられ、被測定体Ｒａ，Ｒｂと同じく、隣接配置されている２つの被測定体ＲＸの抵抗値測定が同時に行われる。

【0069】

また、上記抵抗測定装置が搭載された回路基板検査装置によれば、例えば多数のスルーホール（ビアホール）を有する回路基板のスルーホール内断線の有無等を、測定電流の通電による誘導起電力の影響を受けることなく、素早くより正確に検査することができる。

【符号の説明】

【0070】

１００ 計測ボード
１０１ 第１抵抗測定部（ライン１）
１０２ 第２抵抗測定部（ライン２）
３００（３００ａ〜３００ｍ） 一方のスキャナボード
４００（４００ａ〜４００ｍ） 他方のスキャナボード
３０１〜３０４，４０１〜４０４ プローブ
３１１〜３１４，４１１〜４１４ 主スイッチ
３２１〜３２４，４２１〜４２４ 副スイッチ
Ｖ１，Ｖ２ 電圧計（電圧測定手段）
ＣＣ１，ＣＣ２ 直流定電流源
ＲＸ（Ｒａ〜Ｒｎ） 被測定体
ＲａＴ１，ＲａＴ２，ＲｂＴ１，ＲｂＴ２ 端子部

【図1】

【図2】

【図3】