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特許5956053微細パターニング用表面化学処理装置
発明の名称 微細パターニング用表面化学処理装置
出願人 株式会社島津製作所 （識別番号 1993）
特許公開件数ランキング 222 位（149件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 97 位（258件）（共同出願を含む）
出願人 公立大学法人首都大学東京 （識別番号 305027401）
特許公開件数ランキング 722 位（41件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1062 位（18件）（共同出願を含む）
出願人 学校法人早稲田大学 （識別番号 899000068）
特許公開件数ランキング 1617 位（20件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 2725 位（22件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5956053
公報発行日 2016年7月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5956053
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