特許5958183Ｎｉ又はＮｉ合金スパッタリングターゲット及びその製造方法

発明の名称　Ｎｉ又はＮｉ合金スパッタリングターゲット及びその製造方法

出願人　三菱マテリアル株式会社　（識別番号 6264）

　　　　特許公開件数ランキング 234 位（139件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 223 位（135件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5958183

公報発行日　2016年7月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5958183

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