特許5959071半導体構造中の貫通電極の形成方法

発明の名称　半導体構造中の貫通電極の形成方法

出願人　インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション　（識別番号 390009531）

　　　　特許公開件数ランキング 96 位（292件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 26 位（680件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5959071

公報発行日　2016年8月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5959071

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