特許 5959104 貼り合せ板状体検査装置及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5959104

(24)【登録日】2016年7月1日

(45)【発行日】2016年8月2日

(54)【発明の名称】貼り合せ板状体検査装置及び方法

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/02 20060101AFI20160719BHJP

   G01N 21/88 20060101ALI20160719BHJP

   G01B 11/14 20060101ALI20160719BHJP

【ＦＩ】

   G01B11/02 H

   G01N21/88 Z

   G01B11/14 H

【請求項の数】11

【全頁数】23

(21)【出願番号】特願2012-175895(P2012-175895)

(22)【出願日】2012年8月8日

(65)【公開番号】特開2013-83628(P2013-83628A)

(43)【公開日】2013年5月9日

【審査請求日】2015年7月30日

(31)【優先権主張番号】特願2011-211257(P2011-211257)

(32)【優先日】2011年9月27日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000002428

【氏名又は名称】芝浦メカトロニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100097205

【弁理士】

【氏名又は名称】樋口 正樹

(72)【発明者】

【氏名】林 義典

(72)【発明者】

【氏名】若葉 博之

(72)【発明者】

【氏名】井筒 紀

(72)【発明者】

【氏名】権藤 隆徳

(72)【発明者】

【氏名】小野 洋子

(72)【発明者】

【氏名】関 勝利

【審査官】 神谷 健一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−１９１３５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−３４７３９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−９３９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平９−２２２３０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１６４６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−２２７６１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−３２８７５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００６／００２７７６７（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｂ １１／００−１１／３０

Ｇ０１Ｎ ２１／８４−２１／９５８

Ｇ０６Ｔ １／００− １／４０

Ｇ０６Ｔ ３／００− ５／５０

Ｇ０６Ｔ ９／００− ９／４０

Ｇ１１Ｂ ７／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

透光性を有する第１板状体と、第２板状体とが接着剤により貼り合わされてなる貼り合せ板状体を撮影して検査する貼り合せ板状体検査装置であって、
前記貼り合せ板状体の前記第１板状体に対向して配置されるラインセンサカメラと、
前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から斜めに当該貼り合せ板状体を照明する照明手段と、
該照明手段により照明がなされている状態で前記貼り合せ板状体を走査する前記ラインセンサカメラから出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、
前記処理ユニットは、前記ラインセンサカメラから出力される映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段と、
前記検査画像情報生成手段により生成された前記検査画像情報から得られる前記第１板状体の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、前記検査ライン上での前記第１板状体の縁端と前記接着剤の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成手段とを有し、
前記第１板状体の縁端は、前記第２板状体の縁端より内側にあり、
前記縁端間距離情報生成手段は、前記接着剤が前記第１板状体の縁端からはみ出している場合と前記接着剤が前記第１板状体の縁端に達していない場合とを区別して、前記縁端間距離情報を生成し、前記縁端間距離情報生成手段にて生成される前記縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する貼り合せ板状体検査装置。

【請求項2】

前記縁端間距離情報生成手段は、前記検査画像情報から得られる前記第１板状体の縁端を横切る前記ラインセンサカメラの副走査方向または主走査方向に延びる検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて前記縁端間距離情報を生成する請求項１記載の貼り合せ板状体検査装置。

【請求項3】

前記縁端間距離情報生成手段は、前記検査画像情報において、前記第１板状体の縁端を
含む所定領域に対応した処理領域を設定する手段を有し、
前記処理領域から得られる前記検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて前記縁端
間距離情報を生成する請求項１または２に記載の貼り合せ板状体検査装置。

【請求項4】

前記縁端間距離情報生成手段は、前記ラインセンサカメラの副走査方向が前記第１板状体の縁端を横切る所定領域に対応した処理領域では、当該処理領域から得られる前記副走査方向に延びる検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて前記縁端間距離情報を生成する請求項３記載の貼り合せ板状体検査装置。

【請求項5】

前記縁端間距離情報生成手段は、前記ラインセンサカメラの主走査方向が前記第１板状体の縁端を横切る所定領域に対応した処理領域では、当該処理領域から得られる前記主走査方向に延びる検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて前記縁端間距離情報を生成する請求項３または４記載の貼り合せ板状体検査装置。

【請求項6】

前記縁端間距離情報生成手段は、前記濃淡値プロファイルにおいて、前記第１板状体の縁端に対応した第１明ピークの位置と、当該第１明ピークの位置から前記第１板状体の縁端の外側方向または内側方向の所定範囲内にある第１暗ボトムの位置との間で前記第１板状体の縁端に対応する第１位置を決定する第１位置決定手段と、
前記濃淡値プロファイルにおいて、前記第１明ピークから離れた第２明ピークの位置と、当該第２明ピークの位置から前記接着剤の縁端の外側方向または内側方向の所定範囲内にある第２暗ボトムの位置との間で前記接着剤の縁端に対応した第２位置を決定する第２位置決定手段と、
前記第１位置と前記第２位置との間の距離を演算する距離演算手段とを有し、
該距離演算手段にて得られた距離を表す前記縁端間距離情報を生成する請求項１乃至５のいずれかに記載の貼り合せ板状体検査装置。

【請求項7】

前記第２位置決定手段は、前記第２明ピークの濃淡値と前記第２暗ボトムの濃淡値との差が所定値より大きいとき、当該第２明ピークの位置と当該第２暗ボトムの位置との間で前記第２位置を決定する請求項６記載の貼り合せ板状体検査装置。

【請求項8】

前記第１位置決定手段は、前記濃淡値プロファイルにおいて、前記第１明ピークの濃淡値の位置と前記第１暗ボトムの濃淡値の位置との間の前記第１明ピークの濃淡値と前記第１暗ボトムの濃淡値との中間値に対応する位置を前記第１位置として決定する請求項６または７記載の貼り合せ板状体検査装置。

【請求項9】

前記第２位置決定手段は、前記濃淡値プロファイルにおいて、前記第２明ピークの濃淡値の位置と前記第２暗ボトムの濃淡値の位置との間の前記第２明ピークの濃淡値と前記第２暗ボトムの濃淡値との中間値に対応する位置を前記第２位置として決定する請求項６乃至８のいずれかに記載の貼り合せ板状体検査装置。

【請求項10】

透光性を有する第１板状体と、第２板状体とが接着剤により貼り合わされてなる貼り合せ板状体を撮影して検査する貼り合せ板状体検査方法であって、
前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から照明手段が当該貼り合せ板状体を照明している状態で前記貼り合せ板状体の第１板状体に対向して配置されたラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査する際に、前記ラインセンサカメラから出力される映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成ステップと、
前記検査画像情報生成ステップにより生成された前記検査画像情報から得られる前記第１板状体の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、前記検査ライン上での前記第１板状体の縁端と前記接着剤の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成ステップとを有し、
前記第１板状体の縁端は、前記第２板状体の縁端より内側にあり、
前記縁端間距離情報生成ステップは、前記接着剤が前記第１板状体の縁端からはみ出している場合と前記接着剤が前記第１板状体の縁端に達していない場合とを区別して、前記縁端間距離情報を生成し、前記縁端間距離情報生成ステップにて生成される前記縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する貼り合せ板状体検査方法。

【請求項11】

前記縁端間距離情報生成ステップは、前記検査画像情報から得られる前記第１板状体の縁端を横切る前記ラインセンサカメラの副走査方向または主走査方向に延びる検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて前記縁端間距離情報を生成する請求項１０記載の貼り合せ板状体検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、２枚の板状体が接着剤にて貼り合わされてなる貼り合せ板状体を撮影して検査する貼り合せ板状体検査装置及び方法に関する。

【背景技術】

【0002】

タッチパネル式の液晶表示パネルには、例えば、図１Ａ及び図１Ｂに示すようなセンサパネルアッセンブリ１０（貼り合せ板状体）が用いられる。なお、図１Ａは、センサパネルアッセンブリ１０の構造を示す断面図であり、図１Ｂは、センサパネルアッセンブリ１０の構造を示す平面図である。このセンサパネルアッセンブリ１０は、センサ素子やグリッド等の回路部品が配列形成されたセンサパネル１１（第１板状体）とカバーガラス１２（第２板状体）とが当該センサパネル１１の全面に塗布された透光性を有する接着剤１３（レジン）によって貼り合わされた構造となっている。センサパネル１１は、ガラス基板上に回路部品が形成された構造となり、全体的に透光性を有する透光領域（ただし、回路部品の部分は不透光）となっている。また、カバーガラス１２は、周辺部が所定の幅の不透光領域１２ｂ（黒色領域）となっており、その内側の領域が透光性を有する透光領域１２ａとなっている。

【0003】

このような構造のセンサパネルアッセンブリ１０は、図１Ｃに示すように、液晶パネルアッセンブリ２０（液晶パネル、色フィルタ、偏光板等で構成される）に透光性を有する接着剤１５によって接着されている。このように形成されたタッチパネル式の液晶表示パネルでは、液晶パネルアッセンブリ２０によって画像表示がなされるとともに、指でタッチされたカバーガラス１２上の位置に対応するセンサパネル１１上のセンサ素子から信号が出力されるようになっている。そして、このセンサパネル１１の各センサ素子から出力される信号によって液晶パネルアッセンブリ２０による画像表示を制御することができる。

【0004】

ところで、上述したような構造のセンサパネルアッセンブリ１０（貼り合せ板状体）を製造する過程で、例えば、図２Ａに拡大して示すように、接着剤１３がセンサパネル１１とカバーガラス１２との間に正常に充填される場合だけではなく、例えば、図２Ｂに拡大して示すように、接着剤１３がカバーガラス１２の縁端より内側にあるセンサパネル１１の縁端からからはみ出してしまう場合（以下、オーバーフロー状態という）や、例えば、図２Ｃに拡大して示すように、接着剤１３がセンサパネル１１の縁端に達せずにセンサパネル１１とカバーガラス１２との間に十分に充填されない場合（以下、アンダーフロー状態という）がある。

【0005】

センサパネルアッセンブリ１０（貼り合せ板状体）において、上述したように接着剤１３のオーバーフロー状態（図２Ｂ参照）やアンダーフロー状態（図２Ｃ参照）が発生し得るセンサパネル１１の縁端（エッジ部分）前後の部分を検査する検査装置が有用である。このような検査装置（貼り合せ板状体検査装置）に、例えば、特許文献１に開示されるような技術を利用することが考えられる。

【0006】

特許文献１に開示される技術は、被測定部材に対向させた撮像センサ（光量センサ）をステップ状に移動させる際の各ステップ位置における撮像センサの視野の全部または一部の領域の信号強度を平均化し、被測定部材のエッジを含む領域での複数のステップ位置での平均化信号強度のパターンに応じて当該エッジ位置を算出するものである。このような技術を用いることにより、センサパネルアッセンブリ１０におけるセンサパネル１１の縁端の位置を検出し得るようになる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００７−１８０１７１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

前述したセンサパネルアッセンブリ１０（貼り合せ板状体）の検査装置に、前記従来の技術（特許文献１参照）を適用した場合、センサパネル１１（板状体）における１つのエッジ位置（縁端の位置）を検出するために多くの微小な領域についての信号強度の平均化処理を行わなければならず、その板状体において複数のエッジ位置（縁端の位置）を検出するために多くの時間を要してしまう。また、前記従来の技術は、比較的精度の高い形状の撥水板のエッジを検出することは可能であっても、形状が定まっていない前記オーバーフロー状態やアンダーフロー状態の接着剤１３の縁端を検出することは難しい。従って、前述したセンサパネルアッセンブリ１０（貼り合せ板状体）の検査装置に、前記従来の技術（特許文献１参照）を適用したとしても、センサパネル１１（板状体）の端縁と接着剤１３の縁端との間の間隔を適正に表し得る情報を容易に得ることができない。即ち、センサパネル１１（板状体）の端縁と接着剤１３の縁端との間の間隔を容易に検査（評価）することができない。

【0009】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、２つの板状体が接着剤により貼り合わされてなる貼り合せ板状体における板状体の縁端と接着剤の縁端との間の間隔を比較的容易に検査することのできる貼り合せ板状体検査装置及び方法を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明に係る貼り合せ板状体検査装置は、透光性を有する第１板状体と、第２板状体とが接着剤により貼り合わされてなる貼り合せ板状体を撮影して検査する貼り合せ板状体検査装置であって、前記貼り合せ板状体の前記第１板状体に対向して配置されるラインセンサカメラと、前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から斜めに当該貼り合せ板状体を照明する照明手段と、該照明手段により照明がなされている状態で前記貼り合せ板状体を走査する前記ラインセンサカメラから出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記ラインセンサカメラから出力される映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段と、前記検査画像情報生成手段により生成された前記検査画像情報から得られる前記第１板状体の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、前記検査ライン上での前記第１板状体の縁端と前記接着剤の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成手段とを有し、前記第１板状体の縁端は、前記第２板状体の縁端より内側にあり、前記縁端間距離情報生成手段は、前記接着剤が前記第１板状体の縁端からはみ出している場合と前記接着剤が前記第１板状体の縁端に達していない場合とを区別して、前記縁端間距離情報を生成し、前記縁端間距離情報生成手段にて生成される前記縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する構成となる。

【0011】

また、本発明に係る貼り合せ板状体検査方法は、透光性を有する第１板状体と、第２板状体とが接着剤により貼り合わされてなる貼り合せ板状体を撮影して検査する貼り合せ板状体検査方法であって、前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から照明手段が当該貼り合せ板状体を照明している状態で前記貼り合せ板状体の第１板状体に対向して配置されたラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査する際に、前記ラインセンサカメラから出力される映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成ステップと、前記検査画像情報生成ステップにより生成された前記検査画像情報から得られる前記第１板状体の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、前記検査ライン上での前記第１板状体の縁端と前記接着剤の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成ステップとを有し、前記第１板状体の縁端は、前記第２板状体の縁端より内側にあり、前記縁端間距離情報生成ステップは、前記接着剤が前記第１板状体の縁端からはみ出している場合と前記接着剤が前記第１板状体の縁端に達していない場合とを区別して、前記縁端間距離情報を生成し、前記縁端間距離情報生成ステップにて生成される前記縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する構成となる。

【0012】

これら本発明に係る貼り合せ板状体検査装置及び方法では、貼り合せ板状体の第１板状体側から照明手段が当該貼り合せ板状体を照明している状態で前記貼り合せ板状体の第１板状体に対向して配置されたラインセンサカメラが当該貼り合せ板状体を走査する際に、前記ラインセンサカメラから出力される映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報が生成され、この検査画像情報から得られる第１板状体の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、その検査ライン上での前記第１板状体の縁端と接着剤の縁端との間隔を表す縁端間距離情報が生成され、その縁端間距離情報に基づいた検査結果が提供されるようになる。

【発明の効果】

【0013】

本発明に係る貼り合せ板状体検査装置及び方法によれば、２つの板状体が接着剤により貼り合わされてなる貼り合せ板状体における板状体の縁端と接着剤の縁端との間の間隔を比較的容易に検査することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1A】貼り合せ板状体の一例であるセンサパネルアッセンブリの構造を示す断面図である。

【図1B】貼り合せ板状体の一例であるセンサパネルアッセンブリの構造を示す平面図である。

【図1C】図１Ａ及び図１Ｂに示すセンサパネルアッセンブリと液晶パネルアッセンブリとを接着剤により貼り合せた構造のタッチパネル式の液晶表示パネルの構造を示す断面図である。

【図2A】接着剤が適正な状態にあるセンサパネルアッセンブリの縁端部の構造を拡大して示す断面図である。

【図2B】接着剤がセンサパネルからはみ出した状態（オーバーフロー）にあるセンサパネルアッセンブリの縁端部の構造を拡大して示す断面図である。

【図2C】接着剤がセンサパネルとカバーガラスとの間に十分充填されていない状態（アンダーフロー）にあるセンサパネルアッセンブリの縁端部の構造を拡大して示す断面図である。

【図3A】本発明の実施の一形態に係る貼り合せ板状体検査装置（センサパネルアッセンブリ検査装置）の側方から見た基本的な構成を示す図である。

【図3B】本発明の実施の一形態に係る貼り合せ板状体検査装置（センサパネルアッセンブリ検査装置）の上方から見た基本的な構成を示す図である。

【図4】本発明の実施の一形態に係る貼り合せ板状体検査装置（センサパネルアッセンブリ検査装置）の処理系の基本構成を示す図である。

【図5】センサパネルアッセンブリにおける接着剤の縁端部の状態を検査するための処理手順を示すフローチャートである。

【図6A】図５に示す検査処理における縁間距離算出に係る処理の具体的な手順（その１）を示すフローチャートである。

【図6B】図５に示す検査処理における縁間距離算出に係る処理の具体的な手順（その２）を示すフローチャートである。

【図7】センサパネルアッセンブリを示す平面図である。

【図8】図７におけるセンサパネルの縁線１１_Ｅ１を横切る方向Ｃ１−Ｃ１線での当該センサパネルアッセンブリの断面構造と照明光との関係を拡大して示す図である。

【図9】図７におけるセンサパネルの縁線１１_Ｅ３を横切る方向のＣ３−Ｃ３線での当該センサパネルアッセンブリの断面構造と照明光との関係を拡大して示す図である。

【図10】照明ユニットからの照明光の広がりを模式的に示す図である。

【図11】図７におけるセンサパネルの縁線１１_Ｅ２を横切る方向のＣ２−Ｃ２線での当該センサパネルアッセンブリの断面構造と照明光との関係を拡大して示す図である。

【図12】図７におけるセンサパネルの縁線１１_Ｅ４を横切る方向のＣ４−Ｃ４線での当該センサパネルアッセンブリの断面構造と照明光との関係を拡大して示す図である。

【図13】接着剤がオーバーフローとなるセンサパネルアッセンブリの端部（図７におけるセンサパネルの縁線１１_Ｅ１を含む）の検査画像の一例及びその検査画像における検査ライン上の濃淡値プロファイルを示す図である。

【図14】接着剤がアンダーフローとなるセンサパネルアッセンブリの端部（図７におけるセンサパネルの縁線１１_Ｅ１を含む）の検査画像の一例及びその検査画像における検査ライン上の濃淡値プロファイルを示す図である。

【図15】センサパネルアッセンブリの検査画像に設定される４つの処理領域を示す図である。

【図16A】センサパネルアッセンブリの検査画像に設定される第１処理領域と、該第１処理領域の検査ラインの例を示す図である。

【図16B】図１６Ａに示す第１処理領域における各検査ライン上での濃淡値プロファイルの例を模式的に示す図である。

【図17A】センサパネルアッセンブリの検査画像に設定される第２処理領域と、該第２処理領域の検査ラインの例を示す図である。

【図17B】図１７Ａに示す第２処理領域における各検査ライン上での濃淡値プロファイルの例を模式的に示す図である。

【図18A】センサパネルアッセンブリの検査画像に設定される第３処理領域と、該第３処理領域の検査ラインの例を示す図である。

【図18B】図１８Ａに示す第３処理領域における各検査ライン上での濃淡値プロファイルの例を模式的に示す図である。

【図19A】センサパネルアッセンブリの検査画像に設定される第４処理領域と、該第４処理領域の検査ラインの例を示す図である。

【図19B】図１９Ａに示す第４処理領域における各検査ライン上での濃淡値プロファイルの例を模式的に示す図である。

【図20A】第１処理領域の検査ライン上での濃淡値プロファイルから得られる縁端間距離情報ｄを示す図である。

【図20B】第４処理領域の検査ライン上での濃淡値プロファイルから得られる縁端間距離情報ｄを示す図である。

【図21】照明ユニットによるセンサパネルアッセンブリに対する照明位置と、濃淡値プロファイルにおける明ピーク値と暗ボトム値との差分（ＰＢ−ＢＤ：ダイナミックレンジ）との関係及びその差分に基づいて求められた縁端間距離情報ｄとの関係を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

【0016】

本発明の実施の一形態に係る貼り合せ板状体検査装置は、図３Ａ及び図３Ｂに示すように構成される。この貼り合せ板状体検査装置は、前述したように（図１Ａ、図１Ｂ、図２Ａ、図２Ｂ及び図２Ｃ参照）、センサパネル１１（第１板状体）とカバーガラス１２（第２板状体）とが接着剤１３にて貼り合わされてなるセンサパネルアッセンブリ１０（貼り合せ板状体）を検査するセンサパネルアッセンブリ検査装置である。なお、図３Ａは、センサパネルアッセンブリ検査装置の側方から見た基本的な構成を示し、図３Ｂは、センサパネルアッセンブリ検査装置の上方から見た基本的な構成を示している。

【0017】

図３Ａ及び図３Ｂにおいて、このセンサパネルアッセンブリ検査装置は、ラインセンサカメラ５０、照明ユニット５１（照明手段）、反射板５２、及び移動機構６０を有している。移動機構６０は、センサパネル１１を上方に、カバーガラス１２を下方にそれぞれ向けて移動経路上にセットされたセンサパネルアッセンブリ１０を所定の速度にて直線移動させる。ラインセンサカメラ５０は、例えばＣＣＤ素子列にて構成されたラインセンサ５０ａ及びレンズ等の光学系（図示略）を含み、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０のセンサパネル１１に対向するように固定配置されている。そして、ラインセンサカメラ５０の姿勢が、ラインセンサ５０ａの延びる方向がセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａを横切り（例えば、移動方向Ａと直交し）、かつ、その光軸Ａ_ＯＰＴ１がセンサパネルアッセンブリ１０（センサパネル１１）の表面に直交するように調整されている。反射板５２は、入射光を乱反射するように加工された反射面を有しており、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０の近傍で、その反射面がセンサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２に対向するように固定配置されている。このように配置された反射板５２（反射面）での反射光（照明光）により、センサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２側からラインセンサカメラ５０に向けて照明がなされるようになる。

【0018】

照明ユニット５１は、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａにおけるラインセンサカメラ５０の下流側、即ち、後述するラインセンサカメラ５０の走査方向Ｂにおける当該ラインセンサカメラ５０の上流側に、センサパネル１１に対向するように配置されている。照明ユニット５１の姿勢は、センサパネルアッセンブリ１０の斜め上方から、具体的には、センサパネルアッセンブリ１０（センサパネル１１）の表面の法線方向に対してその光軸Ａ_ＯＰT２が所定角度αとなる方向からラインセンサカメラ５０の光軸Ａ_ＯＰＴ１を横切ることなくセンサパネルアッセンブリ１０の表面を照明するように調整されている。

【0019】

このようにして、照明ユニット５１が、センサパネルアッセンブリ１０のセンサパネル１１側から斜めに当該センサパネルアッセンブリ１０を照明することにより、カバーガラス１２に接着剤１３を介して重ねられるセンサパネル１１の縁端部や接着剤１３の縁端部での乱反射光の一部をラインセンサカメラ５０で受光することができる。また、同時に、センサパネルアッセンブリ１０を斜めに透過して反射板５２にて乱反射した光の一部により、センサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２側からラインセンサカメラ５０に向けて照明がなされるようになる。この反射板５２からの反射光によるセンサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２側からの照明により、センサパネルアッセンブリ１０（センサパネル１１、カバーガラス１２）の欠陥や、接着剤１３内の気泡をラインセンサカメラ５０に投影することが可能になる

【0020】

センサパネルアッセンブリ検査装置の処理系は、図４に示すように構成される。

【0021】

図４において、ラインセンサカメラ５０、表示ユニット７１及び操作ユニット７２が処理ユニット７０に接続されている。また、処理ユニット７０は、移動機構６０によるセンサパネルアッセンブリ１０の移動に同期してセンサパネルアッセンブリ１０を光学的に走査するラインセンサカメラ５０からの映像信号に基づいてセンサパネルアッセンブリ１０の画像を表す検査画像情報を生成する。そして、処理ユニット７０は、前記検査画像情報に基づいてセンサパネルアッセンブリ１０の検査画像を表示ユニット７１に表示させる。この検査画像には、センサパネルアッセンブリ１０の接着剤１３中の気泡、異物、センサパネル１１の回路部品の他、後述するように、接着剤１３の縁端部（正常状態（図２Ａ参照）、オーバーフロー状態（図２Ｂ参照）またはアンダーフロー状態（図２Ｃ参照））が現れ得る。なお、処理ユニット７０は、操作ユニット７２の操作に応じた各種指示に係る情報を取得するとともに、前記検査画像から各種情報（気泡や異物のサイズ、接着剤１３の縁端部の位置等）を生成し、それを検査結果として表示ユニット７１に表示させることができる。

【0022】

処理ユニット７０は、図５に示す手順に従って、センサパネルアッセンブリ１０の接着剤１３の縁端部の状態を検査するための処理を実行する。

【0023】

図５において、処理ユニット７０は、照明ユニット５１からの照明がなされている状態で、移動機構６０によってセンサパネルアッセンブリ１０を移動させて、ラインセンサカメラ５０が図７に示すセンサパネルアッセンブリ１０をセンサパネル１１の縁端１１_Ｅ１の側から対向する縁端１１_Ｅ３に向かう方向Ｂに光学的に走査するように制御する（Ｓ１１）。その過程で、センサパネル１１の表面に所定角度αをもって斜めに入射する（図３Ａ参照）照明ユニット５１からの照明光Ｒ_Ｌが、図８、図９、図１１、図１２に示すように、センサパネル１１の各縁端１１_Ｅ１、１１_Ｅ２、１１_Ｅ３、１１_Ｅ４の部分に入射する。

【0024】

例えば、図８（図７におけるＣ１−Ｃ１線断面を示す）に示すように、斜めに照射される照明光Ｒ_Ｌがセンサパネル１１の外側から第１縁端１１_Ｅ１を通過して移動（走査）する際に、その照明光Ｒ_Ｌが、例えば、センサパネル１１の第１縁端１１_Ｅ１からはみ出してオーバーフロー状態にある接着剤１３の縁端１３_Ｅ１にて乱反射してその乱反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得るとともに、その照明光Ｒ_Ｌがセンサパネル１１の第１縁端１１_Ｅ１の角にて乱反射してその乱反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得る。この場合、照明光Ｒ_Ｌが所定の入射角度α（図３Ａ参照）にて斜めに照射されるので、センサパネル１１の第１縁端１１_Ｅ１から内側（走査方向Ｂ）に僅かに入った部分に影Ｅｄ１が形成され得るとともに、接着剤１３の縁端１３_Ｅ１から内側（走査方向Ｂ）に僅かに入った部分に影Ｅｄ２が形成され得る。

【0025】

例えば、図９（図７におけるＣ３−Ｃ３線断面を示す）に示すように、斜めに照射される照明光Ｒ_Ｌがセンサパネル１１の内側から第３縁端１１_Ｅ３を通過して移動（走査）する際に、その照明光Ｒ_Ｌがセンサパネル１１の第３縁端１１_Ｅ３の角で乱反射してその乱反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得るとともに、その照明光Ｒ_Ｌが、例えば、センサパネル１１の第３縁端１１_Ｅ３からはみ出してオーバーフロー状態にある接着剤１３の縁端１３_Ｅ３にて乱反射してその乱反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得る。この場合、照明光Ｒ_Ｌが所定の入射角度αにて斜めに照射されるので、センサパネル１１の第３縁端１１_Ｅ３から外側（走査方向Ｂ）に僅かに出た部分に影Ｅｄ３が形成され得るとともに、接着剤１３の縁端１３_Ｅ３から外側（走査方向Ｂ）に僅かに出た部分に影Ｅｄ４が形成され得る。

【0026】

照明光Ｒ_Ｌは、例えば、図１０に示すように、照明ユニット５１から、走査方向Ｂと平行な中心線ＣＬの両側に僅かな広がりをもって出射される。このような照明光Ｒ_Ｌがセンサパネル１１の第２縁端１１_Ｅ２に沿って移動（走査）する際に、例えば、図１１（図７におけるＣ２−Ｃ２線断面を示す）に示すように、その照明光Ｒ_Ｌがセンサパネル１１の第２縁端１１_Ｅ２の角にて乱反射してその乱反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得るとともに、その照明光Ｒ_Ｌが、例えば、センサパネル１１の第２縁端１１_Ｅ２からはみ出してオーバーフロー状態にある接着剤１３の縁端１３_Ｅ２にて乱反射してその乱反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得る。この場合、照明光Ｒ_Ｌが照明ユニット５１から僅かに外方に広がって斜めに照射されるので（図１０参照）、センサパネル１１の第２縁端１１_Ｅ２から外側（走査方向Ｂに直交する方向）に僅かに出た部分に影Ｅｄ５が形成され得るとともに、接着剤１３の縁端１３_Ｅ２から外側（走査方向Ｂに直交する方向）に僅かに出た部分に影Ｅｄ６が形成され得る。

【0027】

また、照明光Ｒ_Ｌがセンサパネル１１の前述した第２縁端１１_Ｅ２の逆側の第４縁端１１_Ｅ４に沿って移動（走査）する場合も同様に、例えば、図１２（図７におけるＣ４−Ｃ４線断面を示す）に示すように、照明光Ｒ_Ｌがセンサパネル１１の第４縁端１１_Ｅ４の角にて乱反射してその乱反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得るとともに、その照明光Ｒ_Ｌが、例えば、センサパネル１１の第４縁端１１_Ｅ４からはみ出してオーバーフロー状態にある接着剤１３の縁端１３_Ｅ４にて乱反射してその乱反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得る。この場合も、照明光Ｒ_Ｌが照明ユニット５１から僅かに外方に広がって斜めに照射されるので（図１０参照）、センサパネル１１の第４縁端１１_Ｅ４から外側（走査方向Ｂに直交する方向）に僅かに出た部分に影Ｅｄ７が形成され得るとともに、接着剤１３の縁端１３_Ｅ４から外側（走査方向Ｂに直交する方向）に僅かに出た部分に影Ｅｄ８が形成され得る。

【0028】

図８、図９、図１１及び図１２に示す例では、接着剤１３がオーバーフロー状態であったが、接着剤１３がアンダーフロー状態（図２Ｃ参照）であっても、同様に、センサパネル１１を透過する照明光Ｒ_Ｌが接着剤１３の縁端で乱反射してその乱反射光の一部がセンサパネル１１を透過してラインセンサカメラ５０に入射し得る。

【0029】

図５に戻って、処理ユニット７０は、上述したように、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_Ｌによって照明がなされている状態でセンサパネルアッセンブリ１０を走査するラインセンサカメラ５０から出力される映像信号に基づいて画素単位（例えば、ラインセンサカメラ５０の各ＣＣＤ素子に対応）の濃淡値（例えば、２５６階調）からなる検査画像情報を生成する（Ｓ１２）。処理ユニット７０は、センサパネルアッセンブリ１０全体について生成した検査画像情報を所定のメモリに格納する。前記検査画像情報により表される検査画像Ｉ_ＥＸには、接着剤１３がオーバーフロー状態である場合、例えば、図１３に示すように、センサパネル１１の縁端の角での乱反射光の一部（図８参照）による第１明線部Ｉ_ＰＢ１がその縁端に対応した位置に現れるとともに、接着剤１３の縁端での乱反射光の一部による第２明線部Ｉ_ＰＢ２がセンサパネル１１の縁端より外側の接着剤１３の縁端に対応した位置に現れる。また、接着剤１３がアンダーフロー状態である場合、検査画像Ｉ_ＥＸには、例えば、図１４に示すように、センサパネル１１の縁端の角での乱反射光の一部による第１明線部Ｉ_ＰＢ１がその縁端に対応した位置に現れるとともに、接着剤１３の縁端での乱反射光の一部による第２明線部Ｉ_ＰＢ２がセンサパネル１１の縁端より内側の接着剤１３の縁端に対応した位置に現れる。

【0030】

また、図１４に明確に示されるように、検査画像Ｉ_ＥＸには、センサパネル１１の縁端に対応した位置に形成される第１明線部Ｉ_ＰＢ１の近傍に第１暗線部Ｉ_ＢＤ１が現れるとともに、接着剤１３の縁端に対応した位置に形成される第２明線部Ｉ_ＰＢ２の近傍に第２暗線部Ｉ_ＢＤ２が現れる。これは、図８、図９、図１１及び図１２を参照して説明したように、照明光Ｒ_Ｌが斜めに照射されることによりセンサパネル１１の縁端の近傍及び接着剤１３の縁端の近傍に影が形成されることに起因していると考えられる。

【0031】

このような検査画像Ｉ_ＥＸ（検査画像情報）に設定されるセンサパネル１１の縁端を横切る（例えば、直交する）検査ラインＬ_ＥＸ上の濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ）（走査ライン上の各位置（画素位置）に対応する濃淡値を表す）において、例えば、図１４（接着剤１３がアンダーフロー状態の例）に示すように、センサパネル１１の縁端に対応した前記第１明線部Ｉ_ＰＢ１を表す第１明ピークＰＢ１、接着剤１３の縁端に対応した前記第２明線部Ｉ_ＰＢ２を表す第２ピークＰＢ２、前記第１明線部Ｉ_ＰＢ１に隣接する第１暗線部Ｉ_ＢＤ１を表す第１暗ボトムＢＤ１、及び前記第２明線部Ｉ_ＰＢ２に隣接する第２暗線部Ｉ_ＢＤ２を表す第２暗ボトムＢＤ２が存在する。図１３に示す例（接着剤１３がオーバーフロー状態の例）においても、明確ではないが、検査画像Ｉ_ＥＸ（検査画像）に設定されるセンサパネル１１の縁端を横切る（例えば、直交する）検査ラインＬ_ＥＸ上の濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ）にも同様に、第１明ピークＰＢ１、第１暗ボトムＢＤ１、第２明ピークＰＢ２及び第２暗ボトムＢＤ２が存在する。

【0032】

図５に戻って、接着剤１３がオーバーフロー状態及びアンダーフロー状態にあるセンサパネルアッセンブリ１０の上述したような特徴（２つの明線部Ｉ_ＰＢ１、Ｉ_ＰＢ２、２つの暗線部Ｉ_ＢＤ１、Ｉ_ＢＤ２）を有する検査画像情報が生成され、所定のメモリに格納されると（Ｓ１２）、処理ユニット７０は、前記メモリに格納された検査画像情報（検査画像）において実際に処理すべき処理領域を設定する（Ｓ１３）。例えば、図１５に示す破線で囲まれ領域のように、センサパネル１１の第１縁端１１_Ｅ１を含み、カバーガラス１２の縁端から所定幅の領域に対応した第１処理領域Ｅ１が、センサパネル１１の第２縁端１１_Ｅ２を含み、カバーガラス１２の縁端から所定幅の領域に対応した第２処理領域Ｅ２が、センサパネル１１の第３縁端１１_Ｅ３を含み、カバーガラス１２の縁端から所定幅の領域に対応した第３処理領域Ｅ３が、及びセンサパネル１１の第４縁端１１_Ｅ４を含み、カバーガラス１２の縁端から所定幅の領域に対応した第４処理領域Ｅ４が、それぞれ設定される。

【0033】

センサパネルアッセンブリ１０全体の検査画像情報において上述したような４つの処理領域Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４が設定されると（Ｓ１３）、処理ユニット７０は、次の手順（Ｓ１４〜Ｓ１６）に従って第１処理領域Ｅ１から順番に全ての処理領域Ｅ１〜Ｅ４に対する処理を実行する。

【0034】

第１処理領域Ｅ１において、センサパネル１１の第１縁端１１_Ｅ１を横切る副走査方向Ｂに延びる検査ライン上での濃淡値プロファイルが抽出される（Ｓ１４）。例えば、図１６Ａに示す第１処理領域Ｅ１で設定された検査ラインＬ_ＥＸ１及びＬ_ＥＸ２上において、例えば、図１６Ｂに模式的に示すような濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ１）、Ｐｆ（Ｌ_ＥＸ２）が抽出される。接着剤１３がオーバーフロー状態にある部分に設定された検査ラインＬ_ＥＸ１上の濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ１）には、センサパネル１１の第１縁端１１_Ｅ１に対応した位置Ｐ（１１_Ｅ１）に第１明ピークＰＢ１が、該第１明ピークＰＢ１のセンサパネル１１の内側（ＩＮ）方向に隣接して第１暗ボトムＢＤ１がそれぞれ現れるともに、前記第１明ピークＰＢ１からセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向に離れて接着剤１３の縁端に対応した第２明ピークＰＢ２が、該第２明ピークＰＢ２のセンサパネル１１の内側（ＩＮ）方向に隣接して第２暗ボトムＢＤ２がそれぞれ現れる。また、接着剤１３がアンダーフロー状態にある部分に設定された検査ラインＬ_ＥＸ２上の濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ２）には、センサパネル１１の第１縁端１１_Ｅ１に対応した位置Ｐ（１１_Ｅ１）に第１明ピークＰＢ１が、該第１明ピークＰＢ１のセンサパネル１１の内側（ＩＮ）に隣接して第１暗ボトムＢＤ１がそれぞれ現れるとともに、前記第１明ピークＰＢ１からセンサパネル１１の内側（ＩＮ）方向に離れて接着剤１３の縁端に対応した第２明ピークＰＢ２が、該第２明ピークＰＢ２のセンサパネル１１の内側（ＩＮ）方向に隣接して第２暗ボトムＢＤ２がそれぞれ現れる。

【0035】

上述したような検査ラインＬ_ＥＸｉ上での濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）が抽出されると（Ｓ１４）、その濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）に基づいて、当該検査ラインＬ_ＥＸｉ上でのセンサパネル１１の第１縁端１１_Ｅ１と接着剤１３の縁端との間の距離が演算され、それら縁端の間隔を表す縁端間距離情報ｄが生成される（Ｓ１５）。なお、縁端間距離情報ｄを生成するための具体的な処理については後述する。その後、同様にして、所定間隔ずつ検査ラインＬ_ＥＸｉをずらしながら当該検査ラインＬ_ＥＸｉ上の濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）を抽出し（Ｓ１４）、その抽出した濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）に基づいて前記縁間距離情報ｄを生成する（Ｓ１５）処理が全ての処理領域Ｅ１〜Ｅ４（Ｓ１６）について実行される。なお、その過程で、前述した第１処理領域Ｅ１と同様に、第２処理領域Ｅ２、第３処理領域Ｅ３、第４処理領域Ｅ４において、例えば、図１７Ａ、図１７Ｂ、図１８Ａ、図１８Ｂ及び図１９Ａ、図１９Ｂに模式的に示すような濃淡値プロファイルＰｆが抽出される（Ｓ１４）。

【0036】

第２処理領域Ｅ２において、センサパネル１１の第２縁端１１_Ｅ２を横切る主走査方向（ラインセンサ５０ａの延びる方向）に延びる検査ライン上での濃淡値プロファイルが抽出される。例えば、図１７Ａに示す第２処理領域Ｅ２で設定された検査ラインＬ_ＥＸ３及びＬ_ＥＸ４上において、例えば、図１７Ｂに模式的に示すような濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ３）、Ｐｆ（Ｌ_ＥＸ４）が抽出される。接着剤１３がアンダーフロー状態にある部分に設定された検査ラインＬ_ＥＸ３上の濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ３）には、センサパネル１１の第２縁端１１_Ｅ２に対応した位置Ｐ（１１_Ｅ２）に第１明ピークＰＢ１が、該第１明ピークＰＢ１のセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向に隣接して第１暗ボトムＢＤ１がそれぞれ現れるとともに、前記第１明ピークＰＢ１からセンサパネル１１の内側（ＩＮ）方向に離れて接着剤１３の縁端に対応した第２明ピークＰＢ２が、該第２明ピークＰＢ２のセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向に隣接して第２暗ボトムＢＤ２がそれぞれ現れる。また、接着剤１３がオーバーフロー状態にある部分に設定された検査ラインＬ_ＥＸ４上の濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥX４）には、センサパネル１１の第２縁端１１_Ｅ２に対応した位置Ｐ（１１_Ｅ２）に第１明ピークＰＢ１が、該第１明ピークＰＢ１のセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向に隣接して第１暗ボトムＢＤ１がそれぞれ現れるとともに、前記第１明ピークＰＢ１からセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向に離れて接着剤１３の縁端に対応した第２明ピークＰＢ２が、該第２明ピークＰＢ２のセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向に隣接して第２暗ボトムＢＤ２がそれぞれ現れる。

【0037】

また、第３処理領域Ｅ３において、センサパネル１１の第３縁端１１_Ｅ３を横切る副走査方向Ｂに延びる検査ライン上での濃淡値プロファイルが抽出される。例えば、図１８Ａに示す第３処理領域Ｅ３で設定された検査ラインＬ_ＥＸ５及びＬ_ＥＸ６上において、例えば、図１８Ｂに模式的に示すような濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ５）、Ｐｆ（Ｌ_ＥＸ６）が抽出される。接着剤１３がアンダーフロー状態にある部分に設定された検査ラインＬ_ＥＸ５上の濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ５）には、センサパネル１１の第３縁端１１_Ｅ３に対応した位置Ｐ（１１_Ｅ３）に第１明ピークＰＢ１が、該第１明ピークＰＢ１のセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向に隣接して第１暗ボトムＢＤ１がそれぞれ現れるともに、前記第１明ピークＰＢ１からセンサパネル１１の内側（ＩＮ）方向に離れて接着剤１３の縁端に対応した第２明ピークＰＢ２が、該第２明ピークＰＢ２のセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向に隣接して第２暗ボトムＢＤ２がそれぞれ現れる。また、接着剤１３がオーバーフロー状態にある部分に設定された検査ラインＬ_ＥＸ６上の濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ６）には、センサパネル１１の第３縁端１１_Ｅ３に対応した位置Ｐ（１１_Ｅ３）に第１明ピークＰＢ１が、該第１明ピークＰＢ１のセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）に隣接して第１暗ボトムＢＤ１がそれぞれ現れるとともに、前記第１明ピークＰＢ１からセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向に離れて接着剤１３の縁端に対応した第２明ピークＰＢ２が、該第２明ピークＰＢ２のセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向に隣接して第２暗ボトムＢＤ２がそれぞれ現れる。

【0038】

更に、第４処理領域Ｅ４では、前述した第２処理領域Ｅ２の場合と同様、図１９Ａ及び図１９Ｂに模式的に示すように、センサパネル１１の第４縁端１１_Ｅ４を横切る主走査方向（ラインセンサ５０ａの延びる方向）に延びる検査ライン上での濃淡値プロファイルが抽出される。例えば、第４処理領域Ｅ４で接着剤１３がアンダーフロー状態及びオーバーフロー状態となる部分に設定された検査ラインＬ_ＥＸ７及びＬ_ＥＸ８上において、それぞれ第１明ピークＰＢ１、第１暗ボトムＢＤ１、第２明ピークＰＢ２、及び第２暗ボトムＢＤ２が現れる濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ７）、Ｐｆ（Ｌ_ＥＸ８）が抽出される。

【0039】

前述したように抽出される濃淡値プロファイルに基づいて縁端間距離情報ｄを生成するための処理（図５におけるＳ１５）は、具体的に、図６Ａ及び図６Ｂに従ってなされる。なお、処理ユニット７０には、検査対象のセンサパネルアッセンブリ１０（センサパネル１１、カバーガラス１２）の形状データ及び搬送路上のセンサパネルアッセンブリ１０の姿勢情報等が予め登録されている。

【0040】

図６Ａにおいて、処理ユニット７０は、センサパネルアッセンブリ１０の前記形状データ及び姿勢情報等に基づいて前記濃淡値プロファイルＰｆにおいてセンサパネル１１の縁端に対応する位置と見込まれる位置（画素位置）を探し、その位置を含む当該濃淡値プロファイルＰｆの所定範囲内で最大濃淡値となる第１明ピークＰＢ１を決定する（Ｓ１５０１）。そして、処理ユニット７０は、現在の処理領域が第１処理領域Ｅ１、第２処理領域Ｅ２、第３処理領域Ｅ３及び第４処理領域Ｅ４（図１５参照）のいずれであるかを判定する（Ｓ１５０２）。

【0041】

現在の処理領域が、濃淡値プロファイルにおいて第１明ピークＰＢ１のセンサパネル１１の内側方向に隣接して第１暗ボトムＢＤ１が現れ得る（図１６Ｂ参照）第１処理領域Ｅ１である場合、処理ユニット７０は、例えば、図２０Ａ（図１６Ａ及び図１６Ｂ参照）に模式的に示すように、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において上記のようにして決定した第１明ピークＰＢ１の位置よりセンサパネル１１の内側（ＩＮ）方向（図２０Ａに示す濃淡値プロファイルにおいて左方向）の所定範囲内で最小濃淡値となる第１暗ボトムＢＤ１を決定する（Ｓ１５０３）。一方、現在の処理領域が、濃淡値プロファイルにおいて第１明ピークＰＢ１のセンサパネル１１の外側方向に隣接して第１暗ボトムＢＤ１が現れ得る（図１７Ｂ、図１８Ｂ、図１９Ｂ参照）第２処理領域Ｅ２、第３処理領域Ｅ３及び第４処理領域Ｅ４のいずれかである場合、処理ユニット７０は、例えば、図２０Ｂ（図１７Ａ、図１７Ｂ、図１８Ａ、図１８Ｂ、図１９Ａ、図１９Ｂ参照）に模式的に示すように、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において上記のようにして決定した第１明ピークＰＢ１の位置よりセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向（図２０Ｂに示す濃淡値プロファイルにおいて右方向）の所定範囲内で最小濃淡値となる第１暗ボトムＢＤ１を決定する（Ｓ１５０４）。

【0042】

このようにして、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において、第１明ピークＰＢ１と第１暗ボトムＢＤ１とが決まると、処理ユニット７０は、当該濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において前記第１明ピークＰＢ１の位置（画素位置）と前記第１暗ボトムＢＤ１の位置（画素位置）との間の位置をセンサパネル１１の縁端に対応する第１位置Ｐ１として決定する（Ｓ１５０５）。具体的には、図２０Ａ及び図２０Ｂに示すように、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において、前記第１明ピークＰＢ１の濃淡値の位置（画素位置）と前記第１暗ボトムＢＤ１の位置（画素位置）との間の前記第１明ピークＰＢ１の濃淡値と前記第１暗ボトム１の濃淡値との中間値（（ＰＢ１−ＢＤ１）／２）に対応する位置（画素位置）が第１位置Ｐ１として決定される（Ｓ１５０５）。

【0043】

濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）においてセンサパネル１１の縁端に対応する第１位置Ｐ１を決定すると、処理ユニット７０は、図６Ｂに示す手順に従って処理を継続する。

【0044】

図６Ｂにおいて、処理ユニット７０は、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において前記第１明ピークＰＢ１を含む所定範囲を除いた範囲で最大濃淡値となる第２明ピークＰＢ２を決定する（Ｓ１５０６）。そして、処理ユニット７０は、現在の処理領域が第１処理領域Ｅ１、第２処理領域Ｅ２、第３処理領域Ｅ３及び第４処理領域Ｅ４のいずれであるかを判定する（Ｓ１５０７）。

【0045】

現在の処理領域が、濃淡値プロファイルにおいて第２明ピークＰＢ２のセンサパネル１１の内側（ＩＮ）方向に隣接して第２暗ボトムＢＤ２が現れ得る（図１６Ｂ参照）第１処理領域Ｅ１である場合、処理ユニット７０は、例えば、図２０Ａ（図１６Ａ及び図１６Ｂ参照）に模式的に示すように、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において上記のようにして決定した第２明ピークＰＢ２の位置よりセンサパネル１１の内側（ＩＮ）方向（図２０Ａに示す濃淡値プロファイルにおいて左方向）の所定範囲内で最小濃淡値となる第２暗ボトムＢＤ２を決定する（Ｓ１５０８）。一方、現在の処理領域が、濃淡値プロファイルにおいて第２明ピークＰＢ２のセンサパネル１１の外側方向に隣接して第２暗ボトムＢＤ２が現れ得る（図１７Ｂ、図１８Ｂ、図１９Ｂ参照）第２処理領域Ｅ２、第３処理領域Ｅ３及び第４処理領域Ｅ４のいずれかである場合、処理ユニット７０は、例えば、図２０Ｂ（図１７Ａ、図１７Ｂ、図１８Ａ、図１８Ｂ、図１９Ａ、図１９Ｂ参照）に模式的に示すように、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において上記のようにして決定した第２明ピークＰＢ２の位置よりセンサパネル１１の外側（ＯＵＴ）方向（図２０Ｂに示す濃淡値プロファイルにおいて右方向）の所定範囲内で最小濃淡値となる第２暗ボトムＢＤ２を決定する（Ｓ１５０９）。

【0046】

その後、処理ユニット７０は、上記のように決定した第２明ピークＰＢ２の濃淡値と第２暗ボトムＢＤ２の濃淡値との差が所定値Ｔｈより大きいか否かを判定する（Ｓ１５１０）。前記差が所定値Ｔｈより大きい場合（Ｓ１５１０でＹＥＳ）、前記第２明ピークＰＢ２及び第２暗ボトムＢＤ２が接着剤１３の縁端によるものであるとして、処理ユニット７０は、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において前記第２明ピークＰＢ２の位置（画素位置）と前記第２暗ボトムＢＤ２の位置（画素位置）との間の位置を接着剤１３の縁端に対応する第２位置Ｐ２として決定する（Ｓ１５１１）。具体的には、図２０Ａ及び図２０Ｂに示すように、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において、前記第２明ピークＰＢ２の濃淡値の位置（画素位置）と前記第２暗ボトムＢＤ２の濃淡値の位置（画素位置）との間の前記第２明ピークＰＢ２の濃淡値と前記第２暗ボトムＢＤ２の濃淡値との中間値（（ＰＢ２−ＢＤ２）／２）に対応した位置（画素位置）が第２位置Ｐ２として決定される（Ｓ１５１１）。

【0047】

そして、処理ユニット７０は、前述したようにして決定された接着剤１３の縁端に対応する第２位置Ｐ２とセンサパネル１１の縁端に対応する第１位置Ｐ１との差分（Ｐ２−Ｐ１）を算出し、その差分（Ｐ２−Ｐ１）をセンサパネル１１の縁端と接着剤１３の縁端との間隔を表す縁端間距離情報ｄとして検査ラインＬ_ＥＸｉ（センサパネル１１の縁端上の位置）に対応付けて所定のメモリに格納する（Ｓ１５１２）。この縁端間距離情報ｄは、例えば、接着剤１３がオーバーフロー状態（図２Ｂ参照）にある場合、正の値とし、接着材１３がアンダーフロー状態（図２Ｃ参照）にある場合、負の値とすることができる。これにより、縁端間距離情報ｄは、その値の正負によって、オーバーフロー状態とアンダーフロー状態とを区別して表すことができる。

【0048】

一方、前記第２明ピークＰＢ２の濃淡値と前記第２暗ボトムＢＤ２の濃淡値との差が所定値Ｔｈより大きくない場合（Ｓ１５１０でＮＯ）、前記第２明ピークＰＢ２及び第２暗ボトムＢＤ２が接着剤１３の縁端によるものではなく、例えば、図１３及び図１４に示す濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸ）におけるノイズ等の細かい濃淡振動であるとして、処理ユニット７０は、縁端間距離情報ｄをゼロ（ｄ＝０）として検査ラインＬ_ＥＸｉ（センサパネル１１の縁端上の位置）に対応付けて所定のメモリに格納する（Ｓ１５１３）。この場合、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）からは、接着剤１３の縁端が検出されないとして、接着剤１３がセンサパネル１１とカバーガラス１２との間に適正に充填されている（図２Ａ参照）と判断することができる。

【0049】

図５に戻って、上記のようにしてセンサパネル１１の縁端と接着剤１３の縁端との間隔を表す縁端間距離情報ｄの生成が、全ての処理領域Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４から抽出される全ての濃淡値プロファイルについて終了すると（Ｓ１６でＹＥＳ）、処理ユニット７０は、各検査ラインに対応付けてメモリに格納された縁端間距離情報ｄに基づいて、検査結果情報を生成して表示ユニット７１に表示させる（Ｓ１７）。例えば、センサパネル１１の縁端の各位置での当該縁端と接着剤１３の縁端までの距離を、表形式、グラフ形式、センサパネルアッセンブリ１０の画像上にそれぞれ検査結果として表示ユニット７１に表示させることができる。この場合、その検査結果からセンサパネル１１の縁端の各位置での接着剤１３の縁端の位置を個別的に知ることができる。また、全検査ラインに対応した縁端間距離情報ｄの平均値、標準偏差等を検査結果として表示ユニット７１に表示させることができる。この場合、センサパネルアッセンブリ１０における接着剤１３の全体的な充填状態を知ることができる。なお、出力すべき検査結果情報は、前述したものに限られることなく、センサパネル１１の縁端の各位置に対応づけられた縁端間距離情報ｄに基づいて、検査の目的に応じて種々に生成することができる。

【0050】

前述したセンサパネルアッセンブリ検査装置では、センサパネルアッセンブリ１０のセンサパネル１１側から照明ユニット５１が当該センサパネルアッセンブリ１０を照明している状態でセンサパネル１１に対向して配置されたラインセンサカメラ５０がそのセンサパネルアッセンブリ１０を走査する際に、ラインセンサカメラ５０から出力される映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報が生成される。そして、この検査画像情報から得られるセンサパネル１１の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、その検査ライン上でのセンサパネル１１の縁端と接着剤１３の縁端との間隔を表す縁端間距離情報ｄが生成され、その縁端間距離情報に基づいた検査結果が表示ユニット７１に表示されるようになる。そのため、センサパネルアッセンブリ１０におけるセンサパネル１１の縁端と接着剤１３の縁端との間の間隔を比較的容易に検査することができるようになる。

【0051】

また、前記センサパネルアッセンブリ検査装置では、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において、第１明ピークＰＢ１の濃淡値の位置（画素位置）と第１暗ボトムＢＤ１の濃淡値の位置（画素位置）との間の前記第１明ピークＰＢ１の濃淡値と前記第１暗ボトムＢＤ１の濃淡値との中間値（ＰＢ１−ＢＤ１）／２に対応する位置（画素位置）をセンサパネル１１の縁端に対応した位置とし、第２明ピークＰＢ２の濃淡値の位置と第２暗ボトムＢＤ２の濃淡値の位置との間の前記第２明ピークＰＢ２の濃淡値と前記第２暗ボトムＢＤ２の濃淡値との中間値（ＰＢ２−ＢＤ２）／２に対応する位置（画素位置）を接着剤１３の縁端に対応した位置として、それらの位置間の距離から縁端間距離情報ｄを生成している。

【0052】

接着剤１３の縁端部分に対応して現れる濃淡値プロファイルＰｆの第２明ピークＰＢ２から第２暗ボトムＢＤ２にかけての領域の濃淡値は、センサパネルアッセンブリ１０に斜めに照射される照明光Ｒ_Ｌの当該接着剤１３の縁端部分での乱反射光がラインセンサカメラ５０に入射することにより得られるものであるので、接着剤１３の縁端部分の表面形状の影響を多分に受けている。つまり、その領域の濃淡値は、接着剤１３の縁端部分の表面の傾きや凹凸によって発生した乱反射光等が合成されることにより得られる値であって、例えば、第２明ピークＰＢ２の濃淡値は、接着剤１３の縁端で単純に発生した乱反射光に起因したものではなく、接着剤１３の縁端部分の表面の傾きや凹凸によって、ラインセンサカメラ５０の方向に反射した乱反射光等が合成されることにより得られた濃淡値であると考えられる。このため、実際の接着剤１３の縁端は、第２明ピークＰＢ２の位置に正確に対応しないことが考えられる。そこで、本実施の形態では、第２明ピークＰＢ２の濃淡値の位置と第２暗ボトムＢＤ２の濃淡値の位置との間の第２明ピークＰＢ２の濃淡値と第２暗ボトムＢＤ２の濃淡値との中間値（ＰＢ２−ＢＤ２）／２に対応する位置を、接着剤１３の縁端に対応した位置Ｐ２として決定している。

【0053】

また、センサパネル１１の縁端部分に対応して現れる濃淡値プロファイルＰｆの第１明ピークＰＢ１から第１暗ボトムＢＤ１にかけての領域の濃淡値も、センサパネル１１の縁端部分に形成されている面取りや、側面の表面状態の影響を多分に受けている。つまり、その領域の濃淡値は、センサパネル１１の縁端部分に形成されている面取りや、側面の表面の凹凸によって発生した乱反射光等が合成されることにより得られる値であって、例えば、第１明ピークＰＢ１の濃淡値は、センサパネル１１の縁端で単純に発生した乱反射光に起因したものではなく、センサパネル１１の縁端に形成されている面取りや、側面の表面の凹凸によって、ラインセンサカメラ５０の方向に反射した乱反射光や接着剤１３の表面からの乱反射光等が合成されることにより得られた濃淡値であると考えられる。このため、実際のセンサパネル１１の縁端は、第１明ピークＰＢ１の位置に正確に対応しないことが考えられる。そこで、本実施の形態では、第１明ピークＰＢ１の濃淡値の位置と第１暗ボトムＢＤ１の濃淡値の位置との間の第１明ピークＰＢ１の濃淡値と第１暗ボトムＢＤ１の濃淡値との中間値（ＰＢ１−ＢＤ１）／２に対応する位置を、センサパネル１１の縁端に対応した位置Ｐ１として決定し、この位置Ｐ１と上記接着剤１３の縁端に対応した位置Ｐ２とに基づいて縁端間距離情報ｄを生成している。

【0054】

上述した縁端間距離情報ｄの生成について検証してみる。図２１において、横軸は、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_Ｌの照明位置を表し、縦軸は、照明位置を変えたときの主走査方向（Ｌ_ＥＸｉ）と副走査方向（Ｌ_ＥＸｊ）の縁端間距離情報ｄと、明ピークＰＢの濃淡値と暗ボトムＢＤ濃淡値との差分ＤＲ（ダイナミックレンジ）の値とを示している。この図２１によると、照明位置がカメラ直下より離れるに従って、明ピークＰＢの濃淡値と暗ボトムＢＤ濃淡値との差分ＤＲが増大しても、縁端間距離情報ｄの変動が僅かなことを示している。従って、検査対象であるセンサパネルアッセンブリ１０に対する照明位置やダイナミックレンジが変動しても、安定した縁端間距離情報ｄを得ることができることが判る。

【0055】

なお、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）において、第１明ピークＰＢ１の濃淡値の位置（画素位置）と第１暗ボトムＢＤ１の濃淡値の位置（画素位置）との間の前記第１明ピークＰＢ１の濃淡値と前記第１暗ボトムＢＤ１の濃淡値との中間値（ＰＢ１−ＢＤ１）／２に対応する位置（画素位置）をセンサパネル１１の縁端に対応した位置としたが、前記第１明ピークＰＢ１の位置（画素位置）と前記第１暗ボトムＢＤ１の位置（画素位置）との間において所定の規則に従って決めた位置であれば、センサパネル１１の縁端に対応した位置とすることができる。また、同様に、第２明ピークＰＢ２の濃淡値の位置（画素位置）と第２暗ボトムＢＤ２の濃淡値の位置（画素位置）との間の前記第２明ピークＰＢ２の濃淡値と前記第２暗ボトムＢＤ２の濃淡値との中間値（ＰＢ２−ＢＤ２）／２に対応する位置（画素位置）を接着剤１３の縁端に対応した位置としたが、前記第２明ピークＰＢ２の位置（画素位置）と前記第２暗ボトムＢＤ２の位置（画素位置）との間において所定の規則に従って決めた位置であれば、接着剤１３の縁端の位置とすることができる。この場合、センサパネル１１の縁端の位置として決められた位置と接着剤１３の縁端の位置として決められた位置との間の距離を縁端間距離情報ｄとすることができる。

【0056】

更に、光学条件が安定的に維持され、また、センサパネルアッセンブリ１０の形状が安定したものであれば、濃淡値プロファイルＰｆ（Ｌ_ＥＸｉ）から決められた第１明ピークＰＢ１（センサパネル１１の縁端に対応）と第２明ピークＰＢ２（接着剤１３の縁端に対応）との間の距離を縁端間距離情報ｄとすることもできる。

【0057】

また、特にセンサパネル１１の縁端形状（例えば、面取りや側面の状態）が安定したものであるならば、センサパネル１１の縁端に対応した位置を第１明ピークＰＢ１の濃淡値の位置とし、第２明ピークＰＢ２の位置と第２暗ボトムＢＤ２の位置との間において所定の規則に従って決めた位置、例えば、第２明ピークＰＢ２の位置と第２暗ボトムＢＤ２の濃淡値との中間値（ＰＢ２−ＢＤ２）／２に対応する位置を接着剤１３の縁端に対応した位置として、それらの位置間の距離を縁端間距離情報ｄとしてもよい。

【0058】

また、前記センサパネルアッセンブリ検査装置では、センサパネルアッセンブリ１０全体について生成された検査画像情報において設定された処理領域Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４（図１５参照）に対してだけ処理（Ｓ１４、Ｓ１５（Ｓ１５０１〜Ｓ１５１３））がなされるので、センサパネル１１とカバーガラス１２との間に充填された接着剤１３の状態を効率的に検査することができる。

【0059】

なお、上述した実施の形態では、第１板状体としてセンサパネル１１、第２板状体としてカバーガラス１２を例にあげたが、これに限られるものではなく、接着剤により貼り合わされる板状体であれば本発明を適用できる。

【符号の説明】

【0060】

１０ センサパネルアッセンブリ（貼り合せ板状体）
１１ センサパネル（第１板状体）
１２ カバーガラス（第２板状体）
１２ａ 透光領域
１２ｂ 不透光領域
１３、１５ 接着剤
２０ 液晶パネルアッセンブリ
５０ ラインセンサカメラ
５０ａ ラインセンサ
５１ 照明ユニット（照明手段）
５２ 反射板
６０ 移動機構
７０ 処理ユニット
７１ 表示ユニット
７２ 操作ユニット

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16A】

【図16B】

【図17A】

【図17B】

【図18A】

【図18B】

【図19A】

【図19B】

【図20A】

【図20B】

【図21】