特許 5959302 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5959302

(24)【登録日】2016年7月1日

(45)【発行日】2016年8月2日

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20160719BHJP

   B65D 85/86 20060101ALI20160719BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65D85/38 R

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2012-112745(P2012-112745)

(22)【出願日】2012年5月16日

(65)【公開番号】特開2013-239643(P2013-239643A)

(43)【公開日】2013年11月28日

【審査請求日】2014年10月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112335

【弁理士】

【氏名又は名称】藤本 英介

(74)【代理人】

【識別番号】100101144

【弁理士】

【氏名又は名称】神田 正義

(74)【代理人】

【識別番号】100101694

【弁理士】

【氏名又は名称】宮尾 明茂

(74)【代理人】

【識別番号】100124774

【弁理士】

【氏名又は名称】馬場 信幸

(72)【発明者】

【氏名】小川 統

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−０９９６６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特許第３６８２１７０（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特開２０１１−１３８８６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０６４３７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０８８９２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０５７６２４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８５／８６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数枚の半導体ウェーハを上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面を着脱自在に開閉する蓋体と、容器本体に収納されるレチクル収容容器搭載用の板状のアダプタとを備え、容器本体に自動搬送用の搬送具を取り付けた基板収納容器であって、
容器本体の内部両側に、半導体ウェーハを略水平に支持する一対の支持片を対向させて設け、この一対の支持片を上下方向に所定の間隔で複数配列し、支持片の表面の少なくとも前部にストッパを形成し、
アダプタの上面に、レチクル収容容器に接触して位置決めするレチクル収容容器用の複数の位置決め部材を設け、
容器本体の一対の支持片にアダプタの両側部を支持させ、支持片のストッパにより、アダプタが前後方向にずれるのを防止するようにしたことを特徴とする基板収納容器。

【請求項2】

アダプタの下面両側部に、支持片のストッパに接触する切り欠きをそれぞれ形成した請求項１記載の基板収納容器。

【請求項3】

アダプタの後部に、容器本体の内面とレチクル収容容器の少なくともいずれか一方に接触する規制保護部材を設けた請求項１又は２記載の基板収納容器。

【請求項4】

レチクル収容容器は、レチクルを収容してアダプタの上面に搭載される底板と、この底板にガスケット部材を介し着脱自在に嵌合される上蓋とを含み、底板の上面に、レチクルを略水平に支持する支持部材を設け、上蓋の内部には、レチクルに接触して保持する保持部材を設けた請求項１、２、又は３記載の基板収納容器。

【請求項5】

レチクル収容容器は、レチクルを収容してアダプタの上面に搭載される底板と、この底板の開口した上面を開閉する上蓋とを含んでなる請求項１、２、又は３記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウェーハの他、レチクル用のレチクル収容容器を収納可能な基板収納容器に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体製造ラインのリソグラフィ工程で使用される従来のレチクルは、図示しない５インチ角あるいは６インチ角に形成され、専用の収容容器に収容されてストッカーに保管されたり、必要に応じて露光装置まで搬送されたりした後、半導体ウェーハに露光処理して電子回路を形成する作業に使用される(特許文献１、２参照)。

【0003】

レチクル専用の収容容器は、１枚のレチクルを収容可能な背の低い角形に主に形成されるが、自動搬送用の手段を有していないので、搬送時には、別体の収納容器に収納され、台車等に載置して搬送される。この収容容器には、搬送時の便宜を図るため、何らかの搬送手段を設置することが可能ではあるが、外形寸法や保管スペースの拡大を招くおそれがあるので、省略されている。

【0004】

収容容器にレチクルが収容される場合、１枚のレチクルのみが収容されるが、半導体ウェーハに電子回路が形成される場合、一般的には複数枚のレチクルが使用される。このため、レチクルは、電子回路の形成作業に支障を来さないよう、収容容器に収容され、露光装置まで何回も搬送される。

【0005】

一方、露光処理される半導体ウェーハは、生産性の向上に資する大口径のφ３００ｍｍタイプが主流であり、工程内の基板収納容器(例えば、ＳＥＭＩ規格で標準化されたＦＯＵＰ)に２５枚が上下に並べて整列収納され、使用されている。基板収納容器は、所定の材料により正面が閉口した背の高いフロントオープンボックスに形成され、天井に搬送用のフランジが装着されており、このフランジが天井搬送装置に吊持された後、半導体の製造ラインを搬送される。

【0006】

レチクルと半導体ウェーハとは、以上のように一度に搬送できる枚数が異なり、電子回路形成のため、複数枚のレチクルが必要であり、レチクルを何回も搬送しなければならないので、これが律速となって半導体ウェーハの搬送効率の悪化を招くこととなる。また、レチクル用の収容容器と半導体ウェーハ用の基板収納容器とは、大きさや搬送形態が相違し、別々の搬送ラインが要求されるので、複数の搬送ラインを設置しなければならず、設備やコスト、スペース占有等の点で問題がある。

【0007】

これらの問題を解消するため、従来においては、基板収納容器にレチクルを治具を介して収納し、一種類の基板収納容器を用いて搬送する半導体製造ラインが提案されている(特許文献３参照)。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特開平７−５８１９２号公報

【特許文献2】特開２０１１−３７２３号公報

【特許文献3】特許第３６８２１７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

しかしながら、半導体ウェーハ用の基板収納容器にレチクルを治具を介して収納しようとする場合、レチクル用の治具と基板収納容器とでは重量や重心の位置が大きく異なるので、同じように高速搬送することは振動によりレチクルがダメージを受ける等、非常に困難である。

【0010】

本発明は上記に鑑みなされたもので、レチクルと半導体ウェーハとを共に同じ容器に収納することができ、搬送効率を向上させ、搬送ラインを統一して設備やコスト等の削減を図ることのできる基板収納容器を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明においては上記課題を解決するため、複数枚の半導体ウェーハを上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面を着脱自在に開閉する蓋体と、容器本体に収納されるレチクル収容容器搭載用の板状のアダプタとを備え、容器本体に自動搬送用の搬送具を取り付けたものであって、
容器本体の内部両側に、半導体ウェーハを略水平に支持する一対の支持片を対向させて設け、この一対の支持片を上下方向に所定の間隔で複数配列し、支持片の表面の少なくとも前部にストッパを形成し、
アダプタの上面に、レチクル収容容器に接触して位置決めするレチクル収容容器用の複数の位置決め部材を設け、
容器本体の一対の支持片にアダプタの両側部を支持させ、支持片のストッパにより、アダプタが前後方向にずれるのを防止するようにしたことを特徴としている。

【0012】

なお、アダプタの下面両側部に、支持片のストッパに接触する切り欠きをそれぞれ形成することができる。
また、アダプタの後部に、容器本体の内面とレチクル収容容器の少なくともいずれか一方に接触する規制保護部材を設けることができる。

【0013】

また、レチクル収容容器は、レチクルを収容してアダプタの上面に搭載される底板と、この底板にガスケット部材を介し着脱自在に嵌合される上蓋とを含み、底板の上面に、レチクルを略水平に支持する支持部材を設け、上蓋の内部には、レチクルに接触して保持する保持部材を設けることが可能である。
また、レチクル収容容器は、レチクルを収容してアダプタの上面に搭載される底板と、この底板の開口した上面を開閉する上蓋とを含むことが可能である。

【0014】

また、レチクル収容容器は、レチクルを収容してアダプタの上面に搭載される底板と、この底板に回転可能に支持され、底板の開口した上面を開閉する上蓋と、この上蓋の前部に回転可能に支持されて底板の開口した前面を開閉する前蓋とを含み、
上蓋と前蓋との間にバネを架設し、上蓋の底板に対向する対向面に、レチクル用の押さえ部材を軸受を介し回転可能に支持させるとともに、この押さえ部材と軸受のいずれかにバネの一部を連結し、前蓋が底板の前面を閉じた場合に押さえ部材を連動させ、この押さえ部材によりレチクルを押さえることが可能である。

【0015】

ここで、特許請求の範囲における半導体ウェーハには、少なくともφ３００ｍｍや４５０ｍｍタイプのシリコンウェーハが含まれる。搬送具は、自動搬送用の自動機に対応可能であれば、フランジでも良いし、レール等でも良い。また、アダプタは、平面円形、楕円形、正方形、長方形、多角形等に形成することができる。「回転」という用語には、回動や揺動が含まれる。

【0016】

本発明によれば、レチクル収容容器にレチクルを収容し、アダプタ上にレチクル収容容器を搭載するとともに、アダプタの複数の位置決め部材とレチクル収容容器の周囲とを接触させ、容器本体内にアダプタを収納してその両側部を容器本体の対向する一対の支持片にそれぞれ支持させ、その後、容器本体の開口した正面に蓋体を嵌めれば、基板収納容器にアダプタを収納することができる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、レチクルと半導体ウェーハを共に同じ容器に収納することができ、搬送効率を向上させ、搬送ラインを統一して設備やコスト等の削減を図ることができるという効果がある。また、設備投資や搬送ライン用の設置スペースを低減することができる。また例えば、カセットを構成する一対のサイドパネル等の間にレチクル収容容器を挟む構成ではないので、アダプタの上方や左右に余剰スペースを確保することができ、各種タイプのレチクル収容容器を搭載して搬送することができる。

【0018】

また、請求項２記載の発明によれば、支持片のストッパにアダプタの切り欠きが接触するので、容器本体に収納したアダプタが前後方向に位置ずれするのを有効に防止することができる。

【0019】

また、請求項３記載の発明によれば、容器本体内の背面や側面等の内面に規制保護部材が接触する場合、アダプタが容器本体の前後方向に位置ずれするのを防止することが可能となる。また例えば、レチクル収容容器に規制保護部材が接触する場合、衝撃等が加わることでレチクル収容容器の蓋が回転し、底板が開放してレチクルの汚染等を招くのを防ぐことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。

【図2】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体に半導体ウェーハの代わりにアダプタを収納する状態を模式的に示す全体斜視図である。

【図3】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体に複数枚のアダプタを収納した状態を模式的に示す斜視図である。

【図4】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるアダプタを模式的に示す斜視図である。

【図5】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるレチクル収容容器を模式的に示す断面説明図である。

【図6】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における容器本体に複数枚のアダプタを収納した状態を模式的に示す斜視図である。

【図7】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態におけるアダプタを模式的に示す斜視図である。

【図8】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態におけるレチクル収容容器を模式的に示す斜視説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図５に示すように、複数枚の半導体ウェーハＷを収納可能な容器本体１と、この容器本体１の開口した正面を着脱自在に開閉する蓋体１０と、半導体ウェーハＷの代わりに容器本体１に収納されるレチクル収容容器３０搭載用のアダプタ６０とを備え、容器本体１の一対の支持片２にアダプタ６０の両側部を着脱自在に支持させるようにしている。

【0022】

容器本体１と蓋体１０とは、所定の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料の樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。熱可塑性樹脂には、導電性を付与するため、適量のカーボンブラック、カーボン繊維、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ、導電性高分子、金属繊維、金属酸化物等が添加される。

【0023】

容器本体１は、図１や図２に示すように、正面が横長に開口した背の高いフロントオープンボックスに成形され、内部の両側、換言すれば、左右両側壁の内面に、φ３００ｍｍの半導体ウェーハＷの側部周縁を下方から水平に支持する一対の支持片２が対設されており、この一対の支持片２が上下方向に所定の間隔で複数配列される。

【0024】

容器本体１は、例えば２５枚や２６枚の半導体ウェーハＷを上下方向に並べて整列収納可能な大きさに形成される。また、各支持片２は、例えば容器本体１の前後方向に伸びる平坦な棚板に形成され、表面の前後部のうち、少なくとも前部に、収納された半導体ウェーハＷが正面方向に位置ずれするのを防止するストッパ３が隆起して一体形成される。

【0025】

容器本体１の底板下面には図示しないボトムプレートが選択的に装着され、容器本体１の天井中央部には、自動搬送用の搬送具である平面矩形のロボティックフランジ４が着脱自在に装着されており、このロボティックフランジ４が工場の天井搬送装置に把持して吊持された後、半導体の製造ラインを搬送される。また、容器本体１の内部背面には、非常時に半導体ウェーハＷの後部周縁を挟持可能な複数のリアサポートが並設され、容器本体１の正面周縁部は幅方向外側に屈曲して膨出形成されており、この正面周縁部の内面における上部両側と下部両側とには、蓋体１０用の施錠穴５がそれぞれ凹み形成される。

【0026】

容器本体１の両側壁の外面には、手動操作用の操作ハンドル６がそれぞれ着脱自在に装着され、各側壁の下部には、自動搬送具である搬送レール７が必要に応じ着脱自在に装着されて前後方向に水平に指向する。

【0027】

蓋体１０は、図１や図２に示すように、容器本体１の正面に着脱自在に嵌合される断面略皿形の蓋本体１１と、この蓋本体１１の開口した表面を覆うカバープレート１５とを備え、これら蓋本体１１とカバープレート１５との間に施錠機構１７が内蔵される。蓋本体１１は、横長の略矩形に形成され、裏面の中央部に、半導体ウェーハＷの前部周縁を弾性片で弾発的に保持するフロントリテーナ１２が着脱自在に装着される。蓋本体１１の周壁には、容器本体１の正面内周面に圧接変形する枠形のガスケット１３が嵌合され、蓋本体１１の周壁における上部両側と下部両側とには、施錠機構１７用の出没孔１４がそれぞれ貫通して穿孔される。

【0028】

カバープレート１５は、透明、半透明、あるいは不透明の板に形成され、両側部に、施錠機構１７用の操作孔１６がそれぞれ貫通して穿孔されており、各操作孔１６を蓋体開閉装置の回転可能な操作キーが外部から貫通する。

【0029】

施錠機構１７は、同図に示すように、カバープレート１５の操作孔１６を貫通した蓋体開閉装置の操作キーに回転操作される左右一対の回転プレート１８と、各回転プレート１８の回転に応じて上下方向にスライドする複数のスライドバー１９と、各スライドバー１９の先端部に連結軸支され、蓋本体１１周壁の出没孔１４を貫通して容器本体１の施錠穴５に嵌合係止する出没可能な複数の施錠爪２０とを備えて構成される。

【0030】

施錠機構１７は、容器本体１や蓋体１０と同様の成形材料により成形される。複数の回転プレート１８とスライドバー１９とは、蓋本体１１内に設けられる支持リブを介して軸支されたり、支持されたりし、各回転プレート１８の周縁部寄りの一対の円弧溝孔２１にスライドバー１９の末端部がピンを介しそれぞれ遊嵌される。また、各施錠爪２０は、例えば断面略Ｌ字形に屈曲形成され、自由端部に摩擦軽減用のローラが回転可能に軸支される。

【0031】

このような基板収納容器は、容器本体１内に複数枚の半導体ウェーハＷが順次収納され、容器本体１の正面に蓋体１０が蓋体開閉装置により圧入して嵌合されるとともに、各半導体ウェーハＷの前部周縁をフロントリテーナ１２が保持し、施錠機構１７が蓋体開閉装置に施錠操作されて蓋体１０を強固に固定する。蓋体１０が強固に固定されると、容器本体１のロボティックフランジ４が工場の天井搬送装置に吊持され、次の加工処理工程に搬送されて各半導体ウェーハＷに加工と処理とが順次施され、半導体ウェーハＷの表面に電子回路が形成されることとなる。

【0032】

レチクル収容容器３０は、図３や図５に示すように、１枚のレチクルＲを収容してアダプタ６０の上面に搭載される底板３１と、この底板３１にシールガスケット３４を介し上方から着脱自在に嵌合される上蓋３９とを備え、レチクルＳＭＩＦ ＰＯＤ１０と呼称される。このレチクル収容容器３０の底板３１と上蓋３９とは、例えば静電気によるレチクルＲの損傷を防止する観点から、カーボン等の導電材料を含有する所定の成形材料（例えば、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、ポリエーテルエーテルケトン等の各種合成樹脂）によりそれぞれ成形される。

【0033】

底板３１は、相対向する平面略矩形の上板３２と下板３５とを備え、これら上板３２と下板３５との間に隙間が区画形成されており、この隙間に施錠用のロック機構３６が内蔵される。上板３２の上面には、１枚のレチクルＲの周縁部を水平に支持する一対の支持部材３３が間隔をおいて敷設され、各支持部材３３が例えば図５の奥方向に伸びるレールに形成されており、上板３２の上面周縁部付近には、弾性変形可能な平面枠形のシールガスケット３４が装着される。

【0034】

ロック機構３６は、上板３２と下板３５の中央部付近に回転可能に支持されて底板３１の外部から回転操作される回転操作板３７と、この回転操作板３７の周縁部に揺動可能に連結されて底板２１の周面方向に水平に伸びる複数の出没バー３８とを備え、回転操作板３７の回転に応じ、各出没バー３８の先端部が底板３１の周面の隙間から出没する。

【0035】

上蓋３９は、例えば透明、不透明、あるいは半透明で断面略ハット形の平面略矩形に形成され、底板３１との嵌合時に幅方向外側に水平に突出するフランジでシールガスケット３４を圧接変形してシール性を確保する。この上蓋３９の内部天井には、レチクルＲの上面周縁部に接触して保持する一対の保持部材４０が間隔をおいて対設され、各保持部材４０が例えば図５の奥方向に伸びるレールに形成されて支持部材３３に上方から対向する。

【0036】

上蓋３９の幅方向外側に突出するフランジは、その先端部が下方に短く屈曲形成されて底板３１の周面に対向し、この先端部の内面に、ロック機構３６の複数の出没バー３８の先端部に嵌合されるロック溝４１がそれぞれ凹み形成される。また、上蓋３９の外面天井には、搬送装置等に把持される搬送用フランジ４２が装着される。

【0037】

アダプタ６０は、図２ないし図４に示すように、例えば所定の成形材料により、容器本体１の隣接する支持片２と支持片２との間に挿入可能な厚さと大きさを有する円板に成形され、両側部が容器本体１の一対の支持片２に水平に支持される。このアダプタ６０の成形材料としては、例えばポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、ポリエーテルエーテルケトン等の各種合成樹脂、ポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系等の熱可塑性エラストマーがあげられる。

【0038】

これらの成形材料に導電性を確保したい場合等には、適量のカーボンブラック、カーボン繊維、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ、導電性高分子、金属繊維、金属酸化物等が添加される。

【0039】

アダプタ６０は、例えば半導体ウェーハＷと略同じ大きさに形成され、上面周縁部付近に、レチクル収容容器３０に前後左右、前後、又は左右から接触して位置決めする複数の位置決めバー６１が矩形を描くよう間隔をおいて配設されており、各位置決めバー６１が直線的な略Ｉ字形等に形成されたり、平面略半円形に形成されたりする。

【0040】

アダプタ６０の上面には、レチクル収容容器３０用の収容穴等が選択的に穿孔される。また、アダプタ６０の下面における両側部周縁には、支持片２のストッパ３に接触する切り欠き６２が他の部分よりも厚さが薄くなるようそれぞれ形成され、各切り欠き６２が支持片２のストッパ３に接触してアダプタ６０が前後方向、特に前方向に位置ずれしたり、がたつくのを有効に防止したりする。

【0041】

上記構成において、レチクル収容容器３０に１枚のレチクルＲを収容し、アダプタ６０にレチクル収容容器３０を搭載する場合には、先ず、底板３１の一対の支持部材３３上にレチクルＲを水平に支持させ、底板３１に上蓋３９を上方から嵌めてその一対の保持部材４０をレチクルＲの上面周縁部に位置決め接触させ、底板３１のロック機構３６を施錠操作して上蓋３９をロックすることにより、レチクル収容容器３０に１枚のレチクルＲを収容する。こうしてレチクル収容容器３０にレチクルＲを収容したら、アダプタ６０の複数の位置決めバー６１の間にレチクル収容容器３０を嵌め入れて位置決めすれば良い。

【0042】

次に、基板収納容器に複数枚のアダプタ６０を収納する場合には、空の容器本体１内に複数枚のアダプタ６０を順次収納してその両側部を容器本体１の対向する一対の支持片２にそれぞれ支持させ、各支持片２のストッパ３にアダプタ６０の切り欠き６２をそれぞれ接触させ、位置や姿勢を安定させた後、容器本体１の開口した正面に蓋体１０を圧入して嵌合すれば、基板収納容器に複数枚のアダプタ６０を収納することができる。この際、アダプタ６０とアダプタ６０との間隔を空け、アダプタ６０の下面にレチクル収容容器３０が衝突しないようにすることが好ましい。

【0043】

上記構成によれば、半導体ウェーハＷを収納した基板収納容器の重心位置と、アダプタ６０を収納したときの基板収納容器の重心位置とを略一致させるようにするので、収納する物品により、重心の位置が大きく相違するのを防ぐことができる。したがって、半導体ウェーハＷを収納した基板収納容器とレチクル収容容器３０を収納した基板収納容器とを高速搬送しても、同じように安全に搬送することができる。

【0044】

また、基板収納容器とアダプタ６０とを使用すれば、一度に複数枚のレチクルＲを搬送することができるので、半導体ウェーハＷの搬送効率の悪化を有効に防止することができる。また、複数の搬送ラインを設置する必要がないので、設備やコスト、スペース等を大幅に削減することが可能となる。

【0045】

次に、図６ないし図８は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、レチクル収容容器３０Ａとアダプタ６０Ａとをそれぞれ別タイプとし、アダプタ６０Ａの上面に、レチクル収容容器３０Ａに四隅、斜め二隅、又は二隅から接触して位置決めする複数の位置決めバー６１Ａを矩形を描くよう間隔をおいて配設し、各位置決めバー６１Ａを平面略Ｌ字形に屈曲形成するようにしている。

【0046】

レチクル収容容器３０Ａは、図８に示すように、レチクルＲを１枚収容する平面矩形の底板３１Ａと、この底板３１の開口した上面を開閉する上蓋３９Ａと、この上蓋３９Ａに回転可能に軸支されて底板３１Ａの開口した前面を開閉する前蓋５４とを備えて構成される。このレチクル収容容器３０Ａの底板３１Ａは、背の低い正面視略チャネル形に形成され、板体の後部周縁にブロック形の後部壁４３が立設されるとともに、板体の両側部周縁にブロック形の側壁４４がそれぞれ立設されており、これら後部壁４３と一対の側壁４４とが一体的に連設される。

【0047】

底板３１Ａの上面両側部には、１枚のレチクルＲを水平に搭載する左右一対の支持レール４５が配設される。各支持レール４５は、例えばレチクルＲとの接触面積の低減に資する断面略凸字形に形成され、レチクル収容容器３０Ａの前後方向に直線的に指向する。また、底板３１Ａの両側壁４４外面には、水平横方向に張り出すガイドグリップ４６がそれぞれ配設される。

【0048】

各ガイドグリップ４６は、基本的には握持操作可能な平面略溝形に屈曲形成され、前部に差し込み凹部４７が形成されており、この差し込み凹部４７に、固定用の押さえバネ４８の一端部が挿着される。この押さえバネ４８は、他端部側が略鉤形に屈曲形成され、この他端部側が側壁４４と上蓋３９Ａの側部に係合して弾圧付勢することにより、底板３１Ａに上蓋３９Ａを固定するよう機能する。また、ガイドグリップ４６の後部４９は、他の部分よりも水平横方向に張り出し形成され、レチクル収容容器用の図示しない保管棚にレチクル収容容器３０Ａが保管されたり、取り出されたりする際のガイドとなる。

【0049】

上蓋３９Ａは、底板３１Ａの大きさに対応する平面矩形の板に形成され、底板３１Ａの後部壁４３に上下方向に揺動可能に軸支される。この上蓋３９Ａの底板３１Ａ上面に対向する対向面５０の両側部付近には、レチクルＲを上方から押さえる押さえ部材５１が軸受５２を介しそれぞれ揺動可能(起伏可能)に軸支され、各押さえ部材５１が直線的な短いバーに形成される。

【0050】

上蓋３９Ａの対向面５０の両側部付近には、押さえ部材５１の後方に位置するコイルバネ５３の一端部がそれぞれ装着され、各コイルバネ５３の中央部等の一部が軸受５２に連結されており、各コイルバネ５３の他端部が前蓋５４の内面に装着される。この一対のコイルバネ５３は、上蓋３９Ａと前蓋５４との間に張架され、底板３１Ａの開口した前面方向に前蓋５４を弾圧付勢することにより、底板３１Ａの開口した前面を前蓋５４により閉塞するよう機能する。

【0051】

前蓋５４は、底板３１Ａの前面に対応する横長の板に形成され、上蓋３９Ａの前端部に回転可能に軸支されており、回転して一対の押さえ部材５１を共に揺動させる。すなわち、前蓋５４が回転して底板３１Ａの前面を開放する場合、押さえ部材５１は、軸受５２に連結されたコイルバネ５３の伸長動作により、上蓋３９Ａに連動してレチクルＲから離れ、上蓋３９Ａの対向面５０方向に揺動してレチクルＲの底板３１Ａからの取り出しを許容する。

【0052】

これに対し、前蓋５４が回転して底板３１Ａの前面を閉塞する場合、押さえ部材５１は、軸受５２に連結されたコイルバネ５３の圧縮動作により、上蓋３９Ａに連動して上蓋３９Ａの対向面５０から離れ、レチクル方向に揺動して接触することにより、レチクルＲの底板３１Ａからの取り出しやがたつきを規制することとなる。

【0053】

アダプタ６０Ａは、横長の平面矩形に形成され、上面の後端部に、容器本体１の内面とレチクル収容容器３０Ａの前蓋５４のうち、少なくとも前蓋５４の下部に接触してその回転を規制する規制保護片６３が左右方向に細長く一体形成される。アダプタ６０Ａの両側部からは薄肉の張出片６４がそれぞれ水平横方向に突出し、この一対の張出片６４が容器本体１の支持片２に着脱自在に支持される。

【0054】

各張出片６４の下面には、支持片２のストッパ３に接触する切り欠き６２が形成され、この切り欠き６２が支持片２のストッパ３に接触してアダプタ６０Ａが前後方向、特に前方向に位置ずれするのを有効に防止する。

【0055】

上記構成において、レチクル収容容器３０Ａに１枚のレチクルＲを収容する場合には、開放した底板３１Ａの一対の支持レール４５上にレチクルＲを水平に支持させ、開放した上蓋３９Ａを閉じるとともに、底板３１Ａに上蓋３９Ａを押さえバネ４８により固定し、前端部の前蓋５４を閉じることにより、レチクルＲに一対の押さえ部材５１を回転させて位置決め接触させれば、レチクル収容容器３０Ａに１枚のレチクルＲを収容することができる。

【0056】

レチクル収容容器３０ＡにレチクルＲを収容したら、アダプタ６０Ａの複数の位置決めバー６１Ａの間にレチクル収容容器３０Ａを後ろ向きに嵌め入れて位置決めし、アダプタ６０Ａの規制保護片６３にレチクル収容容器３０Ａの前蓋５４下部を接触させれば、アダプタ６０Ａにレチクル収容容器３０Ａを搭載することができる。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様、設備投資の削減や省スペース化を図ることができ、生産効率の向上も期待できる。

【0057】

なお、レチクル収容容器３０は上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、１枚のレチクルＲを収容してアダプタ６０の上面に搭載される略箱形の底板３１と、この底板３１の開口した上面を着脱自在に開閉する上蓋３９とから構成しても良い。また、上記実施形態ではコイルバネ５３の一部と押さえ部材５１の軸受５２とを連結したが、上蓋３９Ａと押さえ部材５１とを連動させることができるのであれば、押さえ部材５１とコイルバネ５３の一部とを連結しても良い。

【0058】

また、上記実施形態ではアダプタ６０Ａの後端部に規制保護片６３を一体形成したが、アダプタ６０Ａの後部に規制保護片６３を形成しても良いし、別体の規制保護片６３を後付けしても良い。さらに、規制保護片６３を左右水平方向に細長く連続的に伸ばしたが、左右水平方向に複数の規制保護片６３を間隔をおいて並べ設けても良い。

【産業上の利用可能性】

【0059】

本発明に係る基板収納容器は、半導体やレチクルを取り扱う分野で使用することができる。

【符号の説明】

【0060】

１ 容器本体
２ 支持片
３ ストッパ
４ ロボティックフランジ(搬送具)
１０ 蓋体
１７ 施錠機構
３０ レチクル収容容器
３０Ａ レチクル収容容器
３１ 底板
３１Ａ 底板
３３ 支持部材
３４ シールガスケット(ガスケット部材)
３９ 上蓋
３９Ａ 上蓋
４０ 保持部材
４４ 側壁
４５ 支持レール
５０ 対向面
５１ 押さえ部材
５２ 軸受
５３ コイルバネ（バネ）
５４ 前蓋
６０ アダプタ
６０Ａ アダプタ
６１ 位置決めバー(位置決め部材)
６１Ａ 位置決めバー(位置決め部材)
６２ 切り欠き
６３ 規制保護片（規制保護部材）
６４ 張出片
Ｒ レチクル
Ｗ 半導体ウェーハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】