特許 5961272 光測定装置、方法、プログラム、記録媒体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5961272

(24)【登録日】2016年7月1日

(45)【発行日】2016年8月2日

(54)【発明の名称】光測定装置、方法、プログラム、記録媒体

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/3581 20140101AFI20160719BHJP

【ＦＩ】

   G01N21/3581

【請求項の数】36

【全頁数】46

(21)【出願番号】特願2014-536713(P2014-536713)

(86)(22)【出願日】2013年8月22日

(86)【国際出願番号】JP2013073070

(87)【国際公開番号】WO2014045820

(87)【国際公開日】20140327

【審査請求日】2015年3月26日

(31)【優先権主張番号】特願2012-210073(P2012-210073)

(32)【優先日】2012年9月24日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】390005175

【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト

(74)【代理人】

【識別番号】100097490

【弁理士】

【氏名又は名称】細田 益稔

(72)【発明者】

【氏名】橋本 昌一

(72)【発明者】

【氏名】入澤 昭好

【審査官】 森口 正治

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１０／１３７５３６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１１−００７５９０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２１／００−２１／９５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の出力時点を測定する信号測定部と、
前記照射光パルスおよび前記スレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力するモニタ信号出力器と、
前記モニタ信号の出力時点を測定する時間測定部と、
前記時間測定部による測定結果と、該測定結果が得られた時点より前の前記時間測定部による測定結果とのずれを導出する時間差導出部と、
前記時間差導出部の導出結果に基づき、前記被測定信号の出力時点を補正する誤差補正部と、
を備え、
前記被測定信号の出力時点の測定誤差を補正し、
前記被測定信号と前記モニタ信号との時間差は一定である、
光測定装置。

【請求項2】

請求項１に記載の光測定装置であって、
前記マスタレーザ光パルスと前記スレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で、トリガ信号を出力するトリガ信号出力器を備え、
前記信号測定部は、前記トリガ信号を基準として、前記被測定信号の出力時点を測定し、
前記誤差補正部は、前記トリガ信号出力器による前記トリガ信号の出力時点を補正する、
光測定装置。

【請求項3】

請求項１に記載の光測定装置であって、
前記誤差補正部は、前記信号測定部による測定結果を補正する、
光測定装置。

【請求項4】

請求項１ないし３のいずれか一項に記載の光測定装置であって、
前記時間測定部は、前記モニタ信号を複数回測定し、
前記時間差導出部は、前記時間測定部による測定結果と、前回の前記時間測定部による測定結果とのずれを導出する、
光測定装置。

【請求項5】

請求項４に記載の光測定装置であって、
前記時間差導出部は、前記時間測定部による測定結果と、前回の前記時間測定部による測定結果であって、前記誤差補正部による補正後の測定結果とのずれを導出する、
光測定装置。

【請求項6】

請求項１ないし３のいずれか一項に記載の光測定装置であって、
前記被測定信号出力器が、前記モニタ信号出力器を兼ねており、
前記被測定信号出力器に、前記被測定光パルスと前記照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達する、
光測定装置。

【請求項7】

請求項６に記載の光測定装置であって、
前記被測定信号出力器に、前記被測定光パルスと前記照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達するために充分な程度、
前記照射光パルス出力器から前記被測定信号出力器への、前記被測定物が存在する光路と前記被測定物が存在しない光路との光路差が大きい、
光測定装置。

【請求項8】

請求項６に記載の光測定装置であって、
前記被測定信号出力器へ、前記被測定光パルスおよび前記照射光パルスのいずれか一方を選択して与える光学系を備えた光測定装置。

【請求項9】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の出力時点を測定する信号測定部と、
環境温度に対する前記被測定信号出力器の出力の出力時点の対応関係を記録する時間・温度特性記録部と、
前記時間・温度特性記録部の記録内容に基づき、基準温度および前記被測定信号が測定された時点の環境温度における前記被測定信号の出力時点のずれを導出する時間差導出部と、
前記時間差導出部の導出結果に基づき、前記被測定信号の出力時点を補正する誤差補正部と、
を備え、
前記被測定信号の出力時点の測定誤差を補正する光測定装置。

【請求項10】

請求項９に記載の光測定装置であって、
前記マスタレーザ光パルスと前記スレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で、トリガ信号を出力するトリガ信号出力器を備え、
前記信号測定部は、前記トリガ信号を基準として、前記被測定信号の出力時点を測定し、
前記誤差補正部は、前記トリガ信号出力器による前記トリガ信号の出力時点を補正する、
光測定装置。

【請求項11】

請求項９に記載の光測定装置であって、
前記誤差補正部は、前記信号測定部による測定結果を補正する、
光測定装置。

【請求項12】

請求項９ないし１１のいずれか一項に記載の光測定装置であって、
前記信号測定部は、前記被測定信号を複数回測定し、
前記基準温度は、前回に前記被測定信号が測定された時点の環境温度である、
光測定装置。

【請求項13】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の振幅を測定する信号測定部と、
前記照射光パルスおよび前記スレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力するモニタ信号出力器と、
前記モニタ信号の振幅を測定する振幅測定部と、
前記照射光パルス出力器に印加されるバイアス電圧に対する前記モニタ信号の振幅の対応関係を記録するモニタ・バイアス振幅特性記録部と、
前記モニタ・バイアス振幅特性記録部の記録内容に基づき、前記振幅測定部による測定結果を、該測定結果が得られた時点より前の前記振幅測定部による測定結果に一致させるための、前記バイアス電圧の補正量を導出する補正量導出部と、
前記補正量導出部の導出結果に基づき、前記被測定信号の振幅を補正する振幅誤差補正部と、
を備え、
前記被測定信号の振幅の測定誤差を補正する光測定装置。

【請求項14】

請求項１３に記載の光測定装置であって、
前記振幅誤差補正部は、前記バイアス電圧を、前記バイアス電圧の補正量だけ変化させる、
光測定装置。

【請求項15】

請求項１３に記載の光測定装置であって、
前記バイアス電圧に対する前記被測定信号出力器の出力の振幅の対応関係を記録するデバイス・バイアス振幅特性記録部を備え、
前記振幅誤差補正部は、前記デバイス・バイアス振幅特性記録部の記録内容に基づき、前記バイアス電圧の補正量に対応する前記被測定信号の振幅の変動量だけ、前記信号測定部による測定結果を補正する、
光測定装置。

【請求項16】

請求項１３ないし１５のいずれか一項に記載の光測定装置であって、
前記振幅測定部は、前記モニタ信号を複数回測定し、
前記補正量導出部は、前記振幅測定部による測定結果と、前回の前記振幅測定部による測定結果とに基づき、前記バイアス電圧の補正量を導出する、
光測定装置。

【請求項17】

請求項１６に記載の光測定装置であって、
前記補正量導出部は、前記振幅測定部による測定結果と、前回の前記振幅測定部による測定結果であって、前記振幅誤差補正部による補正後の測定結果とに基づき、前記バイアス電圧の補正量を導出する、
光測定装置。

【請求項18】

請求項１３ないし１５のいずれか一項に記載の光測定装置であって、
前記被測定信号出力器が、前記モニタ信号出力器を兼ねており、
前記被測定信号出力器に、前記被測定光パルスと前記照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達する、
光測定装置。

【請求項19】

請求項１８に記載の光測定装置であって、
前記被測定信号出力器に、前記被測定光パルスと前記照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達するために充分な程度、
前記照射光パルス出力器から前記被測定信号出力器への、前記被測定物が存在する光路と前記被測定物が存在しない光路との光路差が大きい、
光測定装置。

【請求項20】

請求項１８に記載の光測定装置であって、
前記被測定信号出力器へ、前記被測定光パルスおよび前記照射光パルスのいずれか一方を選択して与える光学系を備えた光測定装置。

【請求項21】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の振幅を測定する信号測定部と、
前記照射光パルス出力器に印加されるバイアス電圧、前記マスタレーザ光パルスのパワー、前記スレーブレーザ光パルスのパワーおよび環境温度のいずれか一つ以上である振幅変動要因に対する前記被測定信号出力器の出力の振幅の対応関係を記録するデバイス振幅特性記録部と、
前記デバイス振幅特性記録部の記録内容に基づき、基準振幅変動要因と前記被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因との間の前記被測定信号の振幅の誤差を導出する振幅誤差導出部と、
前記振幅誤差導出部の導出結果に基づき、前記被測定信号の振幅を補正する振幅誤差補正部と、
を備え、
前記被測定信号の振幅の測定誤差を補正する光測定装置。

【請求項22】

請求項２１に記載の光測定装置であって、
前記バイアス電圧に対する前記被測定信号出力器の出力の振幅の対応関係を記録するデバイス・バイアス振幅特性記録部と、
前記デバイス・バイアス振幅特性記録部の記録内容に基づき、導出された前記被測定信号の振幅の誤差を打ち消す分だけ前記被測定信号の振幅を変動させるために必要な前記バイアス電圧の補正量を導出する補正量導出部と、
を備え、
前記振幅誤差補正部は、前記バイアス電圧を、前記バイアス電圧の補正量だけ変化させる、
光測定装置。

【請求項23】

請求項２１に記載の光測定装置であって、
前記振幅誤差補正部は、導出された前記被測定信号の振幅の誤差を打ち消す分だけ、前記信号測定部による測定結果を補正する、
光測定装置。

【請求項24】

請求項２１ないし２３のいずれか一項に記載の光測定装置であって、
前記信号測定部は、前記被測定信号を複数回測定し、
前記基準振幅変動要因は、前回に前記被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因である、
光測定装置。

【請求項25】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の出力時点を測定する信号測定部と、
前記照射光パルスおよび前記スレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力するモニタ信号出力器と、
前記モニタ信号の出力時点を測定する時間測定部と、
を備え、
前記被測定信号の出力時点の測定誤差を補正し、
前記被測定信号と前記モニタ信号との時間差は一定である光測定装置を用いた光測定方法であって、
前記時間測定部による測定結果と、該測定結果が得られた時点より前の前記時間測定部による測定結果とのずれを導出する時間差導出工程と、
前記時間差導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の出力時点を補正する誤差補正工程と、
を備えた光測定方法。

【請求項26】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の出力時点を測定する信号測定部と、
前記照射光パルスおよび前記スレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力するモニタ信号出力器と、
前記モニタ信号の出力時点を測定する時間測定部と、
を備え、
前記被測定信号の出力時点の測定誤差を補正し、
前記被測定信号と前記モニタ信号との時間差は一定である光測定装置における光測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記光測定処理は、
前記時間測定部による測定結果と、該測定結果が得られた時点より前の前記時間測定部による測定結果とのずれを導出する時間差導出工程と、
前記時間差導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の出力時点を補正する誤差補正工程と、
を備えたプログラム。

【請求項27】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の出力時点を測定する信号測定部と、
前記照射光パルスおよび前記スレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力するモニタ信号出力器と、
前記モニタ信号の出力時点を測定する時間測定部と、
を備え、
前記被測定信号の出力時点の測定誤差を補正し、
前記被測定信号と前記モニタ信号との時間差は一定である光測定装置における光測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記光測定処理は、
前記時間測定部による測定結果と、該測定結果が得られた時点より前の前記時間測定部による測定結果とのずれを導出する時間差導出工程と、
前記時間差導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の出力時点を補正する誤差補正工程と、
を備えた記録媒体。

【請求項28】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の出力時点を測定する信号測定部と、
環境温度に対する前記被測定信号出力器の出力の出力時点の対応関係を記録する時間・温度特性記録部と、
を備え、
前記被測定信号の出力時点の測定誤差を補正する光測定装置を用いた光測定方法であって、
前記時間・温度特性記録部の記録内容に基づき、基準温度および前記被測定信号が測定された時点の環境温度における前記被測定信号の出力時点のずれを導出する時間差導出工程と、
前記時間差導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の出力時点を補正する誤差補正工程と、
を備えた光測定方法。

【請求項29】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の出力時点を測定する信号測定部と、
環境温度に対する前記被測定信号出力器の出力の出力時点の対応関係を記録する時間・温度特性記録部と、
を備え、
前記被測定信号の出力時点の測定誤差を補正する光測定装置における光測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記光測定処理は、
前記時間・温度特性記録部の記録内容に基づき、基準温度および前記被測定信号が測定された時点の環境温度における前記被測定信号の出力時点のずれを導出する時間差導出工程と、
前記時間差導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の出力時点を補正する誤差補正工程と、
を備えたプログラム。

【請求項30】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の出力時点を測定する信号測定部と、
環境温度に対する前記被測定信号出力器の出力の出力時点の対応関係を記録する時間・温度特性記録部と、
を備え、
前記被測定信号の出力時点の測定誤差を補正する光測定装置における光測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記光測定処理は、
前記時間・温度特性記録部の記録内容に基づき、基準温度および前記被測定信号が測定された時点の環境温度における前記被測定信号の出力時点のずれを導出する時間差導出工程と、
前記時間差導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の出力時点を補正する誤差補正工程と、
を備えた記録媒体。

【請求項31】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の振幅を測定する信号測定部と、
前記照射光パルスおよび前記スレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力するモニタ信号出力器と、
前記モニタ信号の振幅を測定する振幅測定部と、
前記照射光パルス出力器に印加されるバイアス電圧に対する前記モニタ信号の振幅の対応関係を記録するモニタ・バイアス振幅特性記録部と、
を備え、
前記被測定信号の振幅の測定誤差を補正する光測定装置を用いた光測定方法であって、
前記モニタ・バイアス振幅特性記録部の記録内容に基づき、前記振幅測定部による測定結果を、該測定結果が得られた時点より前の前記振幅測定部による測定結果に一致させるための、前記バイアス電圧の補正量を導出する補正量導出工程と、
前記補正量導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の振幅を補正する振幅誤差補正工程と、
を備えた光測定方法。

【請求項32】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の振幅を測定する信号測定部と、
前記照射光パルスおよび前記スレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力するモニタ信号出力器と、
前記モニタ信号の振幅を測定する振幅測定部と、
前記照射光パルス出力器に印加されるバイアス電圧に対する前記モニタ信号の振幅の対応関係を記録するモニタ・バイアス振幅特性記録部と、
を備え、
前記被測定信号の振幅の測定誤差を補正する光測定装置における光測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記光測定処理は、
前記モニタ・バイアス振幅特性記録部の記録内容に基づき、前記振幅測定部による測定結果を、該測定結果が得られた時点より前の前記振幅測定部による測定結果に一致させるための、前記バイアス電圧の補正量を導出する補正量導出工程と、
前記補正量導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の振幅を補正する振幅誤差補正工程と、
を備えたプログラム。

【請求項33】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の振幅を測定する信号測定部と、
前記照射光パルスおよび前記スレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力するモニタ信号出力器と、
前記モニタ信号の振幅を測定する振幅測定部と、
前記照射光パルス出力器に印加されるバイアス電圧に対する前記モニタ信号の振幅の対応関係を記録するモニタ・バイアス振幅特性記録部と、
を備え、
前記被測定信号の振幅の測定誤差を補正する光測定装置における光測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記光測定処理は、
前記モニタ・バイアス振幅特性記録部の記録内容に基づき、前記振幅測定部による測定結果を、該測定結果が得られた時点より前の前記振幅測定部による測定結果に一致させるための、前記バイアス電圧の補正量を導出する補正量導出工程と、
前記補正量導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の振幅を補正する振幅誤差補正工程と、
を備えた記録媒体。

【請求項34】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の振幅を測定する信号測定部と、
前記照射光パルス出力器に印加されるバイアス電圧、前記マスタレーザ光パルスのパワー、前記スレーブレーザ光パルスのパワーおよび環境温度のいずれか一つ以上である振幅変動要因に対する前記被測定信号出力器の出力の振幅の対応関係を記録するデバイス振幅特性記録部と、
を備え、
前記被測定信号の振幅の測定誤差を補正する光測定装置を用いた光測定方法であって、
前記デバイス振幅特性記録部の記録内容に基づき、基準振幅変動要因と前記被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因との間の前記被測定信号の振幅の誤差を導出する振幅誤差導出工程と、
前記振幅誤差導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の振幅を補正する振幅誤差補正工程と、
を備えた光測定方法。

【請求項35】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の振幅を測定する信号測定部と、
前記照射光パルス出力器に印加されるバイアス電圧、前記マスタレーザ光パルスのパワー、前記スレーブレーザ光パルスのパワーおよび環境温度のいずれか一つ以上である振幅変動要因に対する前記被測定信号出力器の出力の振幅の対応関係を記録するデバイス振幅特性記録部と、
を備え、
前記被測定信号の振幅の測定誤差を補正する光測定装置における光測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記光測定処理は、
前記デバイス振幅特性記録部の記録内容に基づき、基準振幅変動要因と前記被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因との間の前記被測定信号の振幅の誤差を導出する振幅誤差導出工程と、
前記振幅誤差導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の振幅を補正する振幅誤差補正工程と、
を備えたプログラム。

【請求項36】

マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、
前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、
前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、
前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器と、
前記被測定信号の振幅を測定する信号測定部と、
前記照射光パルス出力器に印加されるバイアス電圧、前記マスタレーザ光パルスのパワー、前記スレーブレーザ光パルスのパワーおよび環境温度のいずれか一つ以上である振幅変動要因に対する前記被測定信号出力器の出力の振幅の対応関係を記録するデバイス振幅特性記録部と、
を備え、
前記被測定信号の振幅の測定誤差を補正する光測定装置における光測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記光測定処理は、
前記デバイス振幅特性記録部の記録内容に基づき、基準振幅変動要因と前記被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因との間の前記被測定信号の振幅の誤差を導出する振幅誤差導出工程と、
前記振幅誤差導出工程の導出結果に基づき、前記被測定信号の振幅を補正する振幅誤差補正工程と、
を備えた記録媒体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光の測定に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、テラヘルツ出力器（例えば、光伝導スイッチ）から被測定物に与えられたテラヘルツ光Ａ（パルスである）が被測定物を透過したものと、テラヘルツ光Ａのパルス周期とわずかに異なるパルス周期の光Ｂとをテラヘルツ検出器（例えば、光伝導スイッチ）で受けて、被測定物を測定する方法が知られている（例えば、特許文献１（特開２０１０−２２１８号公報）および特許文献２（特開２０１１−７５９０号公報）を参照）。
上記のような従来技術においては、テラヘルツ出力器にはマスタレーザからマスタレーザ光パルスを与え、テラヘルツ検出器にはスレーブレーザからスレーブレーザ光パルス（光Ｂ）を与える。ただし、マスタレーザ光パルスおよびスレーブレーザ光パルスの繰り返し周波数は、わずかに異なる。なお、マスタレーザ光パルスおよびスレーブレーザ光パルスの繰り返し周波数を、わずかに異ならせる技術は、特許文献３（特許第４７８２８８９号）および特許文献４（特許第４７８６７６７号）に記載がある。
また、マスタレーザ光パルスおよびスレーブレーザ光パルスを基に、トリガ信号を生成する。このトリガ信号は、テラヘルツ検出器により検出された信号の時間原点となる（例えば、特許文献１の図６を参照）。

【発明の概要】

【0003】

しかしながら、上記のような従来技術においては、周囲の温度変化により、テラヘルツ光Ａ、スレーブレーザ光パルス（光Ｂ）およびマスタレーザ光パルスの光路長が伸縮することが考えられる。光路長が伸縮すると、テラヘルツ検出器により検出された信号の時間原点に対するずれ、すなわち位相情報が正確に得られなくなる。
さらに、上記のような従来技術においては、周囲の温度変化により、テラヘルツ光Ａ、スレーブレーザ光パルス（光Ｂ）およびマスタレーザ光パルスの光軸がずれることが考えられる。このような光軸のずれにより、テラヘルツ光Ａの発生効率および検出感度が変動してしまう。また、マスタレーザおよびスレーブレーザの出力パワーにも揺らぎがある。これにより、テラヘルツ検出器により検出された信号の振幅が正しく測定できない場合がある。
そこで、本発明は、テラヘルツ光などの光による被測定物の測定結果（例えば、位相情報または振幅）を正確に得ることを課題とする。
本発明にかかる光測定装置は、マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器とを備え、前記被測定信号の測定誤差を補正するように構成される。
上記のように構成された光測定装置によれば、マスタレーザが、マスタレーザ光パルスを出力する。スレーブレーザが、前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力する。照射光パルス出力器が、前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する。被測定信号出力器が、前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する。さらに、前記被測定信号の測定誤差を補正する。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号の出力時点の測定誤差を補正するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号の出力時点を測定する信号測定部と、前記照射光パルスおよび前記スレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力するモニタ信号出力器と、前記モニタ信号の出力時点を測定する時間測定部と、前記時間測定部による測定結果と、該測定結果が得られた時点より前の前記時間測定部による測定結果とのずれを導出する時間差導出部と、前記時間差導出部の導出結果に基づき、前記被測定信号の出力時点を補正する誤差補正部とを備え、前記被測定信号と前記モニタ信号との時間差は一定であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記マスタレーザ光パルスと前記スレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で、トリガ信号を出力するトリガ信号出力器を備え、前記信号測定部は、前記トリガ信号を基準として、前記被測定信号の出力時点を測定し、前記誤差補正部は、前記トリガ信号出力器による前記トリガ信号の出力時点を補正するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記誤差補正部が、前記信号測定部による測定結果を補正するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記時間測定部が、前記モニタ信号を複数回測定し、前記時間差導出部は、前記時間測定部による測定結果と、前回の前記時間測定部による測定結果とのずれを導出するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記時間差導出部が、前記時間測定部による測定結果と、前回の前記時間測定部による測定結果であって、前記誤差補正部による補正後の測定結果とのずれを導出するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号出力器が、前記モニタ信号出力器を兼ねており、前記被測定信号出力器に、前記被測定光パルスと前記照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号出力器に、前記被測定光パルスと前記照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達するために充分な程度、前記照射光パルス出力器から前記被測定信号出力器への、前記被測定物が存在する光路と前記被測定物が存在しない光路との光路差が大きいようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号出力器へ、前記被測定光パルスおよび前記照射光パルスのいずれか一方を選択して与える光学系を備えるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号の出力時点を測定する信号測定部と、環境温度に対する前記被測定信号出力器の出力の出力時点の対応関係を記録する時間・温度特性記録部と、前記時間・温度特性記録部の記録内容に基づき、基準温度および前記被測定信号が測定された時点の環境温度における前記被測定信号の出力時点のずれを導出する時間差導出部と、前記時間差導出部の導出結果に基づき、前記被測定信号の出力時点を補正する誤差補正部とを備えるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記マスタレーザ光パルスと前記スレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で、トリガ信号を出力するトリガ信号出力器を備え、前記信号測定部は、前記トリガ信号を基準として、前記被測定信号の出力時点を測定し、前記誤差補正部は、前記トリガ信号出力器による前記トリガ信号の出力時点を補正するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記誤差補正部が、前記信号測定部による測定結果を補正するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記信号測定部が、前記被測定信号を複数回測定し、前記基準温度は、前回に前記被測定信号が測定された時点の環境温度であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号の振幅の測定誤差を補正するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号の振幅を測定する信号測定部と、前記照射光パルスおよび前記スレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力するモニタ信号出力器と、前記モニタ信号の振幅を測定する振幅測定部と、前記照射光パルス出力器に印加されるバイアス電圧に対する前記モニタ信号の振幅の対応関係を記録するモニタ・バイアス振幅特性記録部と、前記モニタ・バイアス振幅特性記録部の記録内容に基づき、前記振幅測定部による測定結果を、該測定結果が得られた時点より前の前記振幅測定部による測定結果に一致させるための、前記バイアス電圧の補正量を導出する補正量導出部と、前記補正量導出部の導出結果に基づき、前記被測定信号の振幅を補正する振幅誤差補正部とを備えるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記振幅誤差補正部が、前記バイアス電圧を、前記バイアス電圧の補正量だけ変化させるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記バイアス電圧に対する前記被測定信号出力器の出力の振幅の対応関係を記録するデバイス・バイアス振幅特性記録部を備え、前記振幅誤差補正部は、前記デバイス・バイアス振幅特性記録部の記録内容に基づき、前記バイアス電圧の補正量に対応する前記被測定信号の振幅の変動量だけ、前記信号測定部による測定結果を補正するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記振幅測定部が、前記モニタ信号を複数回測定し、前記補正量導出部は、前記振幅測定部による測定結果と、前回の前記振幅測定部による測定結果とに基づき、前記バイアス電圧の補正量を導出するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記補正量導出部が、前記振幅測定部による測定結果と、前回の前記振幅測定部による測定結果であって、前記振幅誤差補正部による補正後の測定結果とに基づき、前記バイアス電圧の補正量を導出するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号出力器が、前記モニタ信号出力器を兼ねており、前記被測定信号出力器に、前記被測定光パルスと前記照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号出力器に、前記被測定光パルスと前記照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達するために充分な程度、前記照射光パルス出力器から前記被測定信号出力器への、前記被測定物が存在する光路と前記被測定物が存在しない光路との光路差が大きいようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号出力器へ、前記被測定光パルスおよび前記照射光パルスのいずれか一方を選択して与える光学系を備えるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記被測定信号の振幅を測定する信号測定部と、前記照射光パルス出力器に印加されるバイアス電圧、前記マスタレーザ光パルスのパワー、前記スレーブレーザ光パルスのパワーおよび環境温度のいずれか一つ以上である振幅変動要因に対する前記被測定信号出力器の出力の振幅の対応関係を記録するデバイス振幅特性記録部と、前記デバイス振幅特性記録部の記録内容に基づき、基準振幅変動要因と前記被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因との間の前記被測定信号の振幅の誤差を導出する振幅誤差導出部と、前記振幅誤差導出部の導出結果に基づき、前記被測定信号の振幅を補正する振幅誤差補正部とを備えるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記バイアス電圧に対する前記被測定信号出力器の出力の振幅の対応関係を記録するデバイス・バイアス振幅特性記録部と、前記デバイス・バイアス振幅特性記録部の記録内容に基づき、導出された前記被測定信号の振幅の誤差を打ち消す分だけ前記被測定信号の振幅を変動させるために必要な前記バイアス電圧の補正量を導出する補正量導出部とを備え、前記振幅誤差補正部は、前記バイアス電圧を、前記バイアス電圧の補正量だけ変化させるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記振幅誤差補正部が、導出された前記被測定信号の振幅の誤差を打ち消す分だけ、前記信号測定部による測定結果を補正するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる光測定装置は、前記信号測定部が、前記被測定信号を複数回測定し、前記基準振幅変動要因は、前回に前記被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因であるようにしてもよい。
本発明は、マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器とを備えた光測定装置を用いた光測定方法であって、前記被測定信号の測定誤差を補正する工程を備えた光測定方法である。
本発明は、マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器とを備えた光測定装置における光測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記光測定処理は、前記被測定信号の測定誤差を補正する工程を備えたプログラムである。
本発明は、マスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザと、前記マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数または位相が異なるスレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザと、前記マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する照射光パルス出力器と、前記照射光パルスを被測定物に照射して得られた被測定光パルスを受け、さらに前記スレーブレーザ光パルスを受けた時点で、前記被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する被測定信号出力器とを備えた光測定装置における光測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記光測定処理は、前記被測定信号の測定誤差を補正する工程を備えた記録媒体である。

【図面の簡単な説明】

【0004】

第１図は、本発明の第一の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。
第２図は、第一の実施形態にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。
第３図は、第一の実施形態の動作を示すフローチャートである。
第４図は、１回目から２回目の測定におけるモニタ信号、被測定信号およびトリガ信号のタイムチャートである。
第５図は、２回目から３回目の測定におけるモニタ信号、被測定信号およびトリガ信号のタイムチャートである。
第６図は、本発明の第二の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。
第７図は、第二の実施形態にかかるＩ／Ｖアンプ２６の出力する被測定信号およびモニタ信号の波形を示す図である。
第８図は、本発明の第三の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である（モニタ信号取得時）。
第９図は、本発明の第三の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である（被測定信号取得時）。
第１０図は、第一の実施形態の変形例（光パルス遅延器３４を用いないで誤差の補正を行う）にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。
第１１図は、本発明の第四の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。
第１２図は、第四の実施形態にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。
第１３図は、時間・温度特性記録部４７２の記録内容の一例を示す図である。
第１４図は、第四の実施形態の動作を示すフローチャートである。
第１５図は、時間差導出部４７の導出する時間差を示す図である。
第１６図は、第四の実施形態の変形例（光パルス遅延器３４を用いないで誤差の補正を行う）にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。
第１７図は、本発明の第五の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。
第１８図は、第五の実施形態にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。
第１９図は、第五の実施形態の動作を示すフローチャートである。
第２０図は、モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２の記録内容の一例を示す図である。
第２１図は、補正量導出部４１８の導出するバイアス電圧の補正量を示す図である。
第２２図は、本発明の第六の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。
第２３図は、第六の実施形態にかかるＩ／Ｖアンプ２６の出力する被測定信号およびモニタ信号の波形を示す図である。
第２４図は、本発明の第七の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である（モニタ信号取得時）。
第２５図は、本発明の第七の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である（被測定信号取得時）。
第２６図は、第五の実施形態の変形例（バイアス電圧を変化させないで振幅誤差の補正を行う）にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。
第２７図は、デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０の記録内容の一例を示す図である。
第２８図は、振幅誤差補正部４１９が導出する被測定信号の振幅の変動量ΔＶｄを示す図である。
第２９図は、本発明の第八の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。
第３０図は、第八の実施形態にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。
第３１図は、デバイス振幅特性記録部４２２の記録内容の一例を示す図である。
第３２図は、第八の実施形態の動作を示すフローチャートである。
第３３図は、振幅誤差導出部４１７の導出する振幅誤差を説明するための図である。
第３４図は、補正量導出部４２６によるバイアス電圧の補正量の導出を説明するための図である。
第３５図は、第八の実施形態の変形例（バイアス電圧の変化によらない振幅誤差の補正を行う）にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0005】

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
第一の実施形態
第一の実施形態から第四の実施形態までにかかる光測定装置１は、トリガ信号を基準とした被測定信号の時間を測定するものである。
第１図は、本発明の第一の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。第一の実施形態にかかる光測定装置１は、マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２３、ミラーＭ２２、Ｍ２４、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６、モニタ信号出力器１８、第一Ｉ／Ｖアンプ２２、第二Ｉ／Ｖアンプ２４、トリガ信号出力器３２、光パルス遅延器（誤差補正部）３４、波形表示器４０を備える。第一の実施形態にかかる光測定装置１は、被測定物２を測定する装置である。
なお、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２３は単なる一例であり、光を分岐できるものであればハーフミラーでなくてもかまわない。
マスタレーザ１１は、マスタレーザ光パルスを出力する。なお、マスタレーザ光パルスの繰り返し周波数はｆ_ｒｅｐ１である。ｆ_ｒｅｐ１は、例えば、５０ＭＨｚ程度である。マスタレーザ光パルスは、ハーフミラーＭ１１により、光パルス遅延器３４へ与えられる光と、照射光パルス出力器１４に与えられる光とに分けられる。
スレーブレーザ１２は、マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数が異なるスレーブレーザ光パルスを出力する。スレーブレーザ光パルスの繰り返し周波数はｆ_ｒｅｐ２（＝ｆ_ｒｅｐ１−Δｆ）である。ただし、Δｆは０ではない。Δｆは、例えば、およそ１ｋＨｚ以下の値（例えば、５Ｈｚ程度）である。なお、スレーブレーザ光パルスは、マスタレーザ光パルスと繰り返し周波数が同じであっても、位相が異なればよい。例えば、スレーブレーザ光パルスとマスタレーザ光パルスとの位相のずれが、時間の経過とともに変化するようにすればよい。
スレーブレーザ光パルスは、ハーフミラーＭ１２により、トリガ信号出力器３２へ与えられる光と、被測定信号出力器１６およびモニタ信号出力器１８に与えられる光とに分けられる。被測定信号出力器１６およびモニタ信号出力器１８に与えられる光は、さらに、ハーフミラーＭ２３により、被測定信号出力器１６に与えられる光と、モニタ信号出力器１８に与えられる光とに分けられる。モニタ信号出力器１８に与えられる光は、ミラーＭ２４により反射され、モニタ信号出力器１８に与えられる。
照射光パルス出力器１４は、マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する。照射光パルス出力器１４は、例えば、光伝導スイッチであり、バイアス電圧が印加されている。例えば、照射光パルスは、周波数が０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の電磁波であり、テラヘルツ波（例えば、周波数が０．０３［ＴＨｚ］以上１０［ＴＨｚ］以下）であることが考えられる。
照射光パルスは、ハーフミラーＭ２１により、被測定信号出力器１６へ与えられる光と、モニタ信号出力器１８に与えられる光とに分けられる。
被測定信号出力器１６へ与えられる方の照射光パルスは、レンズＬにより集束されながら、被測定物２に照射される。照射光パルスが被測定物２を透過したもの（被測定光パルス）は、レンズＬにより集束されながら、被測定信号出力器１６に与えられる。
モニタ信号出力器１８に与えられる方の照射光パルスは、ミラーＭ２２により反射され、さらに２枚のレンズＬにより集束されながら、モニタ信号出力器１８に与えられる。
被測定信号出力器１６は、照射光パルスを被測定物２に照射して得られた被測定光パルスを受ける。被測定信号出力器１６は、被測定光パルスを受け、さらにスレーブレーザ光パルスを受けた時点で、被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する。被測定信号出力器１６は、例えば、光伝導スイッチである。
モニタ信号出力器１８は、照射光パルスおよびスレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力する。モニタ信号出力器１８は、例えば、光伝導スイッチである。
第一Ｉ／Ｖアンプ２２は、被測定信号出力器１６の出力する被測定信号（電流信号である）を、増幅しながら、電圧信号に変換し、波形表示器４０に与える。
第二Ｉ／Ｖアンプ２４は、モニタ信号出力器１８の出力するモニタ信号（電流信号である）を、増幅しながら、電圧信号に変換し、波形表示器４０に与える。
トリガ信号出力器３２は、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で、トリガ信号を出力する。ただし、トリガ信号出力器３２は、光パルス遅延器３４を介して、マスタレーザ光パルスを受ける。なお、トリガ信号は、波形表示器４０に与えられる。
トリガ信号出力器３２は、例えば、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で光パルスを出力する光カプラと、光カプラの出力を光電変換して電気信号であるトリガ信号を出力するフォトディテクタとを有する。
光パルス遅延器（誤差補正部）３４は、ハーフミラーＭ１１からマスタレーザ光パルスを受けて、遅延させ、トリガ信号出力器３２に与える。なお、光パルス遅延器３４は、波形表示器４０の時間差導出部４８から受けた時間差Δｔだけ、マスタレーザ光パルスを遅延させる時間を変えていく。また、光パルス遅延器３４は、マスタレーザ光パルスではなく、スレーブレーザ光パルスを遅延させてもよい。さらに、光パルス遅延器３４は、トリガ信号を受けて、遅延させてもよい。いずれにせよ、光パルス遅延器３４は、トリガ信号出力器３２によるトリガ信号の出力時点を、時間差Δｔだけ補正するものである（第４図（ｃ）および第５図（ｃ）を参照）。これにより、光パルス遅延器３４は、時間差導出部４８の導出結果（時間差Δｔ）に基づき、トリガ信号の出力時点を時間原点としたときの被測定信号の出力時点を補正する。
波形表示器４０は、被測定信号の波形を表示する。
第２図は、第一の実施形態にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。第一の実施形態にかかる波形表示器４０は、信号測定部４２、信号表示部４３、時間測定部４４、基準時間記録部４５、測定時間記録部４６、時間差導出部４８を有する。
信号測定部４２は、被測定信号およびトリガ信号を受け、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点であるが、出力の開始から終了までの間の時点であればよい）を測定する。しかも、信号測定部４２は、被測定信号の電圧を、トリガ信号を基準とした時間に対応づけて測定する。
信号表示部４３は、信号測定部４２の測定結果を表示する。この表示結果が、被測定信号の波形である。
時間測定部４４は、モニタ信号の出力時点（例えば、出力開始時点）を、複数回測定する。
測定時間記録部４６は、時間測定部４４による測定結果（例えば、モニタ信号の出力開始時点Δｔ２ｍ、Δｔ３ｍ）を記録する（第４図（ｂ）および第５図（ｂ）を参照）。
基準時間記録部４５は、時間測定部４４による測定結果（測定時間記録部４６に記録されたもの）が得られた時点より前の時間測定部４４による測定結果（例えば、モニタ信号の出力開始時点Δｔ１ｍ、Δｔ２ｍ’）を記録する（第４図（ａ）および第５図（ａ）を参照）。
例えば、測定時間記録部４６は、モニタ信号の出力開始時点の２回目の測定結果Δｔ２ｍを記録し、基準時間記録部４５は、モニタ信号の出力開始時点の１回目の測定結果Δｔ１ｍを記録する（第４図（ｂ）および第４図（ａ）を参照）。
例えば、測定時間記録部４６は、モニタ信号の出力開始時点の３回目の測定結果Δｔ３ｍを記録し、基準時間記録部４５は、モニタ信号の出力開始時点の２回目の測定結果Δｔ２ｍ’を記録する（第５図（ｂ）および第５図（ａ）を参照）。
時間差導出部４８は、時間測定部４４による測定結果（測定時間記録部４６の記録内容）と、その測定結果が得られた時点より前の時間測定部４４による測定結果（基準時間記録部４５の記録内容）とのずれを導出する。
例えば、時間差導出部４８は、時間測定部４４による測定結果（測定時間記録部４６の記録内容Δｔ２ｍ、Δｔ３ｍ）と、前回の時間測定部４４による測定結果（基準時間記録部４５の記録内容Δｔ１ｍ、Δｔ２ｍ’）とのずれΔｔ（＝Δｔ２ｍ−Δｔ１ｍ、Δｔ３ｍ−Δｔ２ｍ’）を導出する（第４図（ｃ）および第５図（ｃ）を参照）。
例えば、時間差導出部４８は、時間測定部４４による測定結果（測定時間記録部４６の記録内容Δｔ３ｍ）と、前回の時間測定部４４による測定結果であって、光パルス遅延器（誤差補正部）３４による補正後の測定結果（基準時間記録部４５の記録内容Δｔ２ｍ’）とのずれΔｔ（＝Δｔ３ｍ−Δｔ２ｍ’）を導出する（第５図（ｃ）を参照）。
次に、第一の実施形態の動作を説明する。
第３図は、第一の実施形態の動作を示すフローチャートである。第４図は、１回目から２回目の測定におけるモニタ信号、被測定信号およびトリガ信号のタイムチャートである。第５図は、２回目から３回目の測定におけるモニタ信号、被測定信号およびトリガ信号のタイムチャートである。なお、第４図および第５図において、縦軸は電圧、横軸は時間を示す（第７図も同様）。
まず、マスタレーザ１１から出力されたマスタレーザ光パルスが、ハーフミラーＭ１１を介して、照射光パルス出力器１４に与えられる。照射光パルス出力器１４からは照射光パルスが出力される。照射光パルスは、ハーフミラーＭ２１を透過して、さらに被測定物２を透過し、被測定光パルスとなって、被測定信号出力器１６に与えられる。また、照射光パルスは、ハーフミラーＭ２１により反射され、さらにミラーＭ２２により反射され、モニタ信号出力器１８に与えられる。
また、スレーブレーザ１２から出力されたスレーブレーザ光パルスが、ハーフミラーＭ１２、Ｍ２３を介して、被測定信号出力器１６に与えられる。スレーブレーザ光パルスは、ハーフミラーＭ１２を透過し、ハーフミラーＭ２３およびミラーＭ２４により反射され、モニタ信号出力器１８に与えられる。
被測定信号出力器１６からは被測定信号（電流信号である）が出力され、第一Ｉ／Ｖアンプ２２により増幅されながら、電圧信号に変換され、波形表示器４０に与えられる。モニタ信号出力器１８からはモニタ信号（電流信号である）が出力され、第二Ｉ／Ｖアンプ２４により増幅されながら、電圧信号に変換され、波形表示器４０に与えられる。
なお、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとは、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２により反射されて、トリガ信号出力器３２に与えられる。ただし、マスタレーザ光パルスは、光パルス遅延器３４を介して、トリガ信号出力器３２に与えられる。トリガ信号出力器３２は、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で、トリガ信号を出力する。なお、トリガ信号は、波形表示器４０に与えられる。
第４図（ａ）は、１回目の測定におけるモニタ信号、被測定信号およびトリガ信号のタイムチャートである。被測定信号およびトリガ信号が信号測定部４２に与えられ、モニタ信号およびトリガ信号が時間測定部４４に与えられる。
ここで、第３図および第４図（ａ）を参照し、時間測定部４４が、トリガ信号を基準としたモニタ信号の出力時点（例えば、出力開始時点Δｔ１ｍ）を測定する（Ｓ１０：１回目の測定）。さらに、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の電圧を測定する（Ｓ１２：１回目の測定）。
時間測定部４４の測定結果（Δｔ１ｍ）は、基準時間記録部４５に記録される。信号測定部４２の測定結果は、信号表示部４３により表示される。
なお、モニタ信号の出力開始時点と、被測定信号の出力開始時点との間の時間差Δｔｍｄは、一定であるものとする。時間差Δｔｍｄが一定となる条件は、照射光パルス出力器１４から被測定信号出力器１６までの光路長と、照射光パルス出力器１４からモニタ信号出力器１８までの光路長との差が一定（好ましくは０）であり、しかも、ハーフミラーＭ２３から被測定信号出力器１６までの光路長と、ハーフミラーＭ２３からモニタ信号出力器１８までの光路長との差が一定（好ましくは０）であることである。
第４図（ｂ）は、２回目の測定におけるモニタ信号およびトリガ信号のタイムチャートである。被測定信号の測定（Ｓ１２：１回目の測定）から、ある程度の時間が経過してから、時間測定部４４が、トリガ信号を基準として、モニタ信号の出力時点（例えば、出力開始時点Δｔ２ｍ）を測定する（Ｓ２２：２回目の測定）。
ここで、モニタ信号の出力開始時点の１回目の測定結果Δｔ１ｍと、２回目の測定結果Δｔ２ｍとが異なっている。これは、１回目と２回目の測定時における、光測定装置１の周囲の温度（環境温度）の変化により、マスタレーザ光パルス、スレーブレーザ光パルスおよび照射光パルスの光路長が伸縮したことに起因するものと考えられる。モニタ信号の測定誤差はΔｔ２ｍ−Δｔ１ｍであり、モニタ信号と被測定信号との間の時間Δｔｍｄが一定であることから、被測定信号の出力時点の測定誤差もまたΔｔ２ｍ−Δｔ１ｍであるといえる。
時間測定部４４による２回目の測定結果Δｔ２ｍは、測定時間記録部４６に記録される。
第４図（ｃ）は、２回目の測定におけるモニタ信号、被測定信号およびトリガ信号のタイムチャートである。まず、時間差導出部４８が、時間測定部４４による２回目の測定結果（測定時間記録部４６の記録内容Δｔ２ｍ）と、１回目の時間測定部４４による測定結果（基準時間記録部４５の記録内容Δｔ１ｍ）とのずれ（時間差）Δｔ（＝Δｔ２ｍ−Δｔ１ｍ）を導出する（Ｓ２４）。
時間差導出部４８から出力された時間差Δｔは、光パルス遅延器（誤差補正部）３４に与えられる。光パルス遅延器３４は、マスタレーザ光パルスを時間差Δｔだけずらす（Ｓ２６）。これにより、トリガ信号が時間差Δｔだけずれるので、モニタ信号および被測定信号の出力時点の測定誤差が補正される。
ここで、時間測定部４４が、トリガ信号を基準としたモニタ信号の出力時点（例えば、出力開始時点Δｔ２ｍ’）を測定する（Ｓ２７：２回目の測定）。Δｔ２ｍ’は、Δｔ１ｍに実質的には等しくなる。Δｔ２ｍ’は、基準時間記録部４５に記録される。さらに、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の電圧を測定する（Ｓ２８：２回目の測定）。
さらに、被測定信号の測定（Ｓ２７：２回目の測定）から、ある程度の時間が経過してから、時間測定部４４が、トリガ信号を基準として、モニタ信号の出力時点（例えば、出力開始時点Δｔ３ｍ）を測定する（Ｓ２２：３回目の測定）。
第５図（ａ）は、２回目の測定におけるモニタ信号、被測定信号およびトリガ信号のタイムチャートである。第５図（ｂ）は、３回目の測定におけるモニタ信号およびトリガ信号のタイムチャートである。
ここで、モニタ信号の出力開始時点の２回目の測定結果Δｔ２ｍ’（光パルス遅延器３４による測定誤差の補正後の測定結果）と、３回目の測定結果Δｔ３ｍとが異なっている。これは、２回目と３回目の測定時における、光測定装置１の周囲の温度（環境温度）の変化により、マスタレーザ光パルス、スレーブレーザ光パルスおよび照射光パルスの光路長が伸縮したことに起因するものと考えられる。モニタ信号の測定誤差はΔｔ３ｍ−Δｔ２ｍ’であり、モニタ信号と被測定信号との間の時間差Δｔｍｄが一定であることから、被測定信号の測定誤差もまたΔｔ３ｍ−Δｔ２ｍ’であるといえる。
時間測定部４４による３回目の測定結果Δｔ３ｍは、測定時間記録部４６に記録される。
第５図（ｃ）は、３回目の測定におけるモニタ信号、被測定信号およびトリガ信号のタイムチャートである。まず、時間差導出部４８が、時間測定部４４による３回目の測定結果（測定時間記録部４６の記録内容Δｔ３ｍ）と、２回目の時間測定部４４による測定結果（基準時間記録部４５の記録内容Δｔ２ｍ’）とのずれ（時間差）Δｔ（＝Δｔ３ｍ−Δｔ２ｍ’）を導出する（Ｓ２４）。
時間差導出部４８から出力された時間差Δｔは、光パルス遅延器（誤差補正部）３４に与えられる。光パルス遅延器３４は、マスタレーザ光パルスを時間差Δｔだけずらす（Ｓ２６）。これにより、トリガ信号が時間差Δｔだけずれるので、モニタ信号および被測定信号の出力時点の測定誤差が補正される。
ここで、時間測定部４４が、トリガ信号を基準としたモニタ信号の出力時点（例えば、出力開始時点Δｔ３ｍ’）を測定する（Ｓ２７：３回目の測定）。Δｔ３ｍ’は、Δｔ２ｍ’に実質的には等しくなる。Δｔ２ｍ’は、Δｔ１ｍに実質的には等しいので、Δｔ３ｍ’はΔｔ１ｍに実質的には等しいということになる。Δｔ３ｍ’は、基準時間記録部４５に記録される。さらに、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の電圧を測定する（Ｓ２８：３回目の測定）。
第一の実施形態によれば、テラヘルツ光（照射光パルス）などの光による被測定物２の測定結果（出力時点）の、光測定装置１の周囲の温度（環境温度）の変化による誤差を時間差導出部４８により導出し、その誤差を光パルス遅延器３４により補正するため、被測定物２の測定結果の位相情報を正確に得ることができる。
なお、第一の実施形態においては、光パルス遅延器３４によりトリガ信号をΔｔだけずらして誤差を補正したが、光パルス遅延器３４を用いない誤差の補正も可能である。第１０図は、第一の実施形態の変形例（光パルス遅延器３４を用いないで誤差の補正を行う）にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。
第一の実施形態の変形例にかかる波形表示器４０は、第一の実施形態の波形表示器４０に、さらに時間差補正部（誤差補正部）４９を付加した構成となっている。
第一の実施形態の変形例にかかる波形表示器４０における時間差導出部４８は、導出した時間差Δｔを、光パルス遅延器３４にではなく、時間差補正部４９に与える。時間差補正部４９は、時間差Δｔを、信号測定部４２および時間測定部４４に与え、信号測定部４２および時間測定部４４において、−Δｔだけ被測定信号およびモニタ信号の時間をずらすようにする。なお、信号測定部４２および時間測定部４４は、その測定結果をデジタルデータとしてから出力するものとすれば、このデジタルデータにおける時間のデータを−Δｔだけ変更してから出力すればよい。このようにして、信号測定部４２による測定結果が補正される。
第二の実施形態
第二の実施形態にかかる光測定装置１は、被測定信号出力器１６が、モニタ信号出力器を兼ねている点が、第一の実施形態にかかる光測定装置１とは異なる。
第６図は、本発明の第二の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。第二の実施形態にかかる光測定装置１は、マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２３、ミラーＭ２２、Ｍ２４、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６、Ｉ／Ｖアンプ２６、トリガ信号出力器３２、光パルス遅延器（誤差補正部）３４、波形表示器４０を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は、第一の実施形態と同じ番号を付して説明を省略する。
マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、トリガ信号出力器３２、光パルス遅延器（誤差補正部）３４および波形表示器４０は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
スレーブレーザ１２が出力するスレーブレーザ光パルスは、ハーフミラーＭ１２を透過して、被測定信号出力器１６に与えられる。
照射光パルスは、ハーフミラーＭ２１により、被測定物２に向かう光と、被測定物２には向かわない光とに分けられる。前者（被測定物２に向かう光）は、被測定物２を透過して（被測定光パルス）、被測定信号出力器１６に与えられる。被測定信号出力器１６は、被測定光パルスを受けて、被測定信号を出力する。後者（被測定物２には向かわない光：照射光パルス）は、ミラーＭ２２、Ｍ２４およびハーフミラーＭ２３により反射され、被測定信号出力器１６に与えられる。被測定信号出力器１６は、後者（照射光パルス）を受けて、モニタ信号を出力する。
このように、被測定信号出力器１６は、被測定信号の出力も、モニタ信号の出力も行う。すなわち、被測定信号出力器１６が、モニタ信号出力器を兼ねている。
Ｉ／Ｖアンプ２６は、被測定信号出力器１６の出力した被測定信号およびモニタ信号を増幅しながら、電圧信号に変換し、波形表示器４０に与える。
第７図は、第二の実施形態にかかるＩ／Ｖアンプ２６の出力する被測定信号およびモニタ信号の波形を示す図である。なお、第７図において、縦軸は電圧、横軸は時間を示す。第７図を参照して、被測定信号およびモニタ信号が時間領域において重ならない。このためには、被測定信号出力器１６に、被測定光パルスと照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達すればよい。第二の実施形態においては、照射光パルス出力器１４から被測定信号出力器１６への、被測定物２が存在する光路（被測定物２を透過する光路）と、被測定物２が存在しない光路（ミラーＭ２２、Ｍ２４により反射される光路）との光路差を大きくして（ただし、一定値）、被測定信号出力器１６に、被測定光パルスと照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達するようにしている。
第二の実施形態の動作は、第一の実施形態と同様である。
第二の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を、モニタ信号出力器１８を用いないで奏することができる。
なお、第二の実施形態においても、第一の実施形態の変形例（第１０図参照）と同様に、光パルス遅延器３４を用いないで、時間差補正部（誤差補正部）４９による誤差の補正が可能である。
第三の実施形態
第三の実施形態にかかる光測定装置１は、被測定信号出力器１６へ被測定光パルスおよび照射光パルスのいずれか一方を選択して与える光学系（ミラーＭ２１、Ｍ２２、Ｍ２３、Ｍ２４、ステージＳｔｇ１、Ｓｔｇ２）を備えた点が、第二の実施形態にかかる光測定装置１とは異なる。
第８図は、本発明の第三の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である（モニタ信号取得時）。第９図は、本発明の第三の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である（被測定信号取得時）。第三の実施形態にかかる光測定装置１は、マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、ミラーＭ２１、Ｍ２３、Ｍ２２、Ｍ２４、ステージＳｔｇ１、Ｓｔｇ２、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６、Ｉ／Ｖアンプ２６、トリガ信号出力器３２、光パルス遅延器（誤差補正部）３４、波形表示器４０を備える。以下、第二の実施形態と同様な部分は、第二の実施形態と同じ番号を付して説明を省略する。
マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６、Ｉ／Ｖアンプ２６、トリガ信号出力器３２、光パルス遅延器（誤差補正部）３４および波形表示器４０は、第二の実施形態と同様であり説明を省略する。
第二の実施形態において、Ｍ２１、Ｍ２３はハーフミラーであるが、第三の実施形態においては、Ｍ２１、Ｍ２３はミラーである。ミラーＭ２１、Ｍ２２は、ステージＳｔｇ１に載せられている。ミラーＭ２３、Ｍ２４は、ステージＳｔｇ２に載せられている。
ステージＳｔｇ１はミラーＭ２１を、照射光パルスを反射する位置（第８図参照）または照射光パルスを反射しない位置（第９図参照）に移動できる。ステージＳｔｇ２はミラーＭ２３を、照射光パルスを反射する位置（第８図参照）または照射光パルスを反射しない位置（第９図参照）に移動できる。なお、第８図および第９図において、点線の矢印は、ステージＳｔｇ１およびステージＳｔｇ２を移動できる方向を示す。
第８図を参照して、ステージＳｔｇ１がミラーＭ２１を、ステージＳｔｇ２はミラーＭ２３を、照射光パルスを反射する位置に移動させた場合は、照射光パルス出力器１４から被測定信号出力器１６へ照射光パルスが与えられる。よって、被測定信号出力器１６はモニタ信号を出力する。
第９図を参照して、ステージＳｔｇ１がミラーＭ２１を、ステージＳｔｇ２はミラーＭ２３を、照射光パルスを反射しない位置に移動させた場合は、被測定信号出力器１６へ被測定光パルスが与えられる。よって、被測定信号出力器１６が被測定信号を出力する。
これにより、被測定信号出力器１６に、被測定光パルスと照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達する。第三の実施形態においては、照射光パルス出力器１４から被測定信号出力器１６への、被測定物２が存在する光路（第９図参照）と、被測定物２が存在しない光路（第８図参照）との光路差は一定値であれば、０であってもよい。
第三の実施形態の動作は、第一の実施形態と同様である。
第三の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を、モニタ信号出力器１８を用いないで奏することができる。
なお、第三の実施形態においても、第一の実施形態の変形例（第１０図参照）と同様に、光パルス遅延器３４を用いないで、時間差補正部（誤差補正部）４９による誤差の補正が可能である。
第四の実施形態
第四の実施形態は、モニタ信号を用いないで、光測定装置１の周囲の温度（環境温度）を測定することにより、被測定信号の位相測定誤差を補正する点が、第一の実施形態と異なる。
第１１図は、本発明の第四の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。第四の実施形態にかかる光測定装置１は、マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６、Ｉ／Ｖアンプ２８、トリガ信号出力器３２、光パルス遅延器（誤差補正部）３４、波形表示器４０を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は、第一の実施形態と同じ番号を付して説明を省略する。
マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６、トリガ信号出力器３２および光パルス遅延器（誤差補正部）３４は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
Ｉ／Ｖアンプ２８は、被測定信号出力器１６の出力する被測定信号（電流信号である）を、増幅しながら、電圧信号に変換し、波形表示器４０に与える。
波形表示器４０は、被測定信号の波形を表示する。
第１２図は、第四の実施形態にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。第四の実施形態にかかる波形表示器４０は、温度計４１、信号測定部４２、信号表示部４３、時間・温度特性記録部４７２、時間差導出部４７を有する。信号測定部４２および信号表示部４３は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、信号測定部４２は、被測定信号を複数回測定し、被測定信号の測定を開始する旨を温度計４１に伝達する。
温度計４１は、信号測定部４２から被測定信号の測定を開始する旨の伝達を受けると、その時点の光測定装置１の周囲の温度（環境温度Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，…）を測定し、時間差導出部４７に与える。例えば、被測定信号の１回目の測定時の環境温度がＴ１、被測定信号の２回目の測定時の環境温度がＴ２、被測定信号の３回目の測定時の環境温度がＴ３となる。温度計４１による環境温度の測定は、厳密には、被測定信号の測定の直前に行われる。しかし、一般的には環境温度が瞬間的に大きく変動するわけではないので、被測定信号の測定の直前（または直後）に測定した環境温度も、被測定信号の測定時の環境温度であるとみなすことができる。
なお、波形表示器４０内に温度計４１があるものとして説明したが、温度計４１の位置を波形表示器４０内に限定するものではない。例えば、温度計４１は光パルス遅延器３４の近傍に配置されていてもよい。すなわち、温度計４１は、環境温度を測定できるような位置にあればよい。
時間・温度特性記録部４７２は、環境温度に対する被測定信号出力器１６の出力の出力時点（例えば、出力開始時点Δｔ１ｍ＋Δｔｍｄ：第４図参照）の対応関係を記録する。この対応関係は、例えば、光測定装置１を恒温槽に入れて環境温度を変化させながら、被測定物２を光測定装置１から外して、被測定信号の出力開始時点を測定することにより取得できる。なお、記録される対応関係は、環境温度と被測定信号出力器１６の出力の出力時点とのデータであってもよいし、環境温度と被測定信号出力器１６の出力の出力時点との関係を表す数式であってもよい。
第１３図は、時間・温度特性記録部４７２の記録内容の一例を示す図である。環境温度が上昇するにつれ、被測定光パルス等の光路長が伸長してしまい、被測定信号出力器１６の出力の出力開始時点が変化する（例えば、遅くなる）。これにより、第１３図においては、環境温度が上昇するにつれ、被測定信号出力器１６の出力の出力開始時点（開始時間）が変化（例えば、単調増加）するように図示している。なお、第１３図においては、被測定信号出力器１６の出力の出力開始時点を曲線で図示しているが、直線となる場合も考えられる。
時間差導出部４７は、時間・温度特性記録部４７２の記録内容に基づき、基準温度（環境温度Ｔ１，Ｔ２）および被測定信号が測定された時点の環境温度（環境温度Ｔ２，Ｔ３）における被測定信号の出力時点のずれ（時間差Δｔ１，Δｔ２）を導出する。
第１５図は、時間差導出部４７の導出する時間差を示す図である。なお、第１５図に示す被測定信号の出力開始時点（開始時間）は、第１３図と同様である。
基準温度を、前回に被測定信号が測定された時点の環境温度とすれば、基準温度Ｔ１（１回目）および環境温度Ｔ２（２回目）の場合の被測定信号の出力時点のずれ（時間差）はΔｔ１となる。これは、被測定信号が１回目に測定された時点よりも、被測定信号が２回目に測定された時点において、環境温度がＴ１からＴ２に上昇することにより、被測定信号の出力開始時点がΔｔ１遅れるであろうということが推測されることを意味する。
基準温度Ｔ２（２回目）および環境温度Ｔ３（３回目）の場合の被測定信号の出力時点のずれ（時間差）はΔｔ２となる。これは、被測定信号が２回目に測定された時点よりも、被測定信号が３回目に測定された時点において、環境温度がＴ２からＴ３に上昇することにより、被測定信号の出力開始時点がΔｔ２遅れるであろうということが推測されることを意味する。
時間差導出部４７は、時間差Δｔ１，Δｔ２，…を、光パルス遅延器（誤差補正部）３４に与える。なお、光パルス遅延器３４は、波形表示器４０の時間差導出部４７から受けた時間差Δｔ１，Δｔ２，…だけ、マスタレーザ光パルスを遅延させる時間を長くしていく。これにより、トリガ信号の出力時点を時間差Δｔ１，Δｔ２，…だけ遅く補正していき、トリガ信号の出力時点を時間原点としたときの被測定信号の出力時点の遅れΔｔ１，Δｔ２，…を補正する。
次に、第四の実施形態の動作を説明する。
第１４図は、第四の実施形態の動作を示すフローチャートである。
まず、マスタレーザ１１から出力されたマスタレーザ光パルスが、ハーフミラーＭ１１を介して、照射光パルス出力器１４に与えられる。照射光パルス出力器１４からは照射光パルスが出力される。照射光パルスは、被測定物２を透過し、被測定光パルスとなって、被測定信号出力器１６に与えられる。
また、スレーブレーザ１２から出力されたスレーブレーザ光パルスが、ハーフミラーＭ１２を介して、被測定信号出力器１６に与えられる。
被測定信号出力器１６からは被測定信号（電流信号である）が出力され、Ｉ／Ｖアンプ２８により増幅されながら、電圧信号に変換され、波形表示器４０に与えられる。
なお、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとは、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２により反射されて、トリガ信号出力器３２に与えられる。ただし、マスタレーザ光パルスは、光パルス遅延器３４を介して、トリガ信号出力器３２に与えられる。トリガ信号出力器３２は、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で、トリガ信号を出力する。なお、トリガ信号は、波形表示器４０に与えられる。
ここで、温度計４１が、環境温度Ｔ１を測定する（Ｓ３０：１回目の測定）。環境温度Ｔ１は、時間差導出部４７に与えられる。さらに、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の電圧を測定する（Ｓ３２：１回目の測定）。信号測定部４２の測定結果は、信号表示部４３により表示される。
被測定信号の測定（Ｓ３２：１回目の測定）から、ある程度の時間が経過してから温度計４１が、環境温度Ｔ２を測定する（Ｓ４２：２回目の測定）。
ここで、時間差導出部４７は、時間・温度特性記録部４７２の記録内容に基づき、基準温度（環境温度Ｔ１：１回目の測定）および被測定信号が測定された時点の環境温度（環境温度Ｔ２：２回目の測定）における被測定信号の出力時点のずれ（時間差Δｔ１）を導出する（Ｓ４４）。環境温度がＴ１からＴ２に上昇することにより、被測定信号の出力開始時点がΔｔ１遅れるであろうということが推測される。
時間差導出部４７は、時間差Δｔ１を、光パルス遅延器（誤差補正部）３４に与える。なお、光パルス遅延器３４は、波形表示器４０の時間差導出部４７から受けた時間差Δｔ１だけ、マスタレーザ光パルスを遅延させる時間を長くしていく。これにより、トリガ信号の出力時点を時間差Δｔ１だけ遅くしていき、トリガ信号の出力時点を時間原点としたときの被測定信号の出力時点の遅れΔｔ１を補正する（Ｓ４６）。
その後、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の電圧を測定する（Ｓ４８：２回目の測定）。
被測定信号の測定（Ｓ４８：２回目の測定）から、ある程度の時間が経過してから温度計４１が、環境温度Ｔ３を測定する（Ｓ４２：３回目の測定）。
ここで、時間差導出部４７は、時間・温度特性記録部４７２の記録内容に基づき、基準温度（環境温度Ｔ２：２回目の測定）および被測定信号が測定された時点の環境温度（環境温度Ｔ３：３回目の測定）における被測定信号の出力時点のずれ（時間差Δｔ２）を導出する（Ｓ４４）。環境温度がＴ２からＴ３に上昇することにより、被測定信号の出力開始時点がΔｔ２遅れるであろうということが推測される。
時間差導出部４７は、時間差Δｔ２を、光パルス遅延器（誤差補正部）３４に与える。なお、光パルス遅延器３４は、波形表示器４０の時間差導出部４７から受けた時間差Δｔ２だけ、マスタレーザ光パルスを遅延させる時間を長くしていく。これにより、トリガ信号の出力時点を時間差Δｔ２だけ遅くしていき、トリガ信号の出力時点を時間原点としたときの被測定信号の出力時点の遅れΔｔ２を補正する（Ｓ４６）。
その後、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の電圧を測定する（Ｓ４８：３回目の測定）。
第四の実施形態によれば、テラヘルツ光（照射光パルス）などの光による被測定物２の測定結果（出力時点）の、光測定装置１の周囲の温度（環境温度）の変化による誤差を環境温度から時間差導出部４８が推測して、その誤差を光パルス遅延器３４により補正するため、被測定物２の測定結果の位相情報を正確に得ることができる。
なお、第四の実施形態においては、光パルス遅延器３４によりトリガ信号をΔｔ１，Δｔ２，…だけずらして誤差を補正したが、光パルス遅延器３４を用いない誤差の補正も可能である。第１６図は、第四の実施形態の変形例（光パルス遅延器３４を用いないで誤差の補正を行う）にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。
第四の実施形態の変形例にかかる波形表示器４０は、第四の実施形態の波形表示器４０に、さらに時間差補正部（誤差補正部）４９を付加した構成となっている。
第四の実施形態の変形例にかかる波形表示器４０における時間差導出部４７は、導出した時間差Δｔ１，Δｔ２，…を、光パルス遅延器３４にではなく、時間差補正部４９に与える。時間差補正部４９は、時間差Δｔ１，Δｔ２，…を、信号測定部４２に与え、信号測定部４２において、−Δｔ１，−Δｔ２，…だけ被測定信号の時間をずらすようにする。なお、信号測定部４２は、その測定結果をデジタルデータとしてから出力するものとすれば、このデジタルデータにおける時間のデータを−Δｔだけ変更してから出力すればよい。このようにして、信号測定部４２による測定結果が補正される。
第五の実施形態
第五の実施形態から第八の実施形態までにかかる光測定装置１は、被測定信号の振幅を測定するものである。
第１７図は、本発明の第五の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。第五の実施形態にかかる光測定装置１は、マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２３、ミラーＭ２２、Ｍ２４、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６、モニタ信号出力器１８、第一Ｉ／Ｖアンプ２２、第二Ｉ／Ｖアンプ２４、トリガ信号出力器３２、波形表示器４０、バイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０を備える。第五の実施形態にかかる光測定装置１は、被測定物２を測定する装置である。
なお、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２３は単なる一例であり、光を分岐できるものであればハーフミラーでなくてもかまわない。
マスタレーザ１１は、マスタレーザ光パルスを出力する。なお、マスタレーザ光パルスの繰り返し周波数はｆ_ｒｅｐ１である。ｆ_ｒｅｐ１は、例えば、５０ＭＨｚ程度である。マスタレーザ光パルスは、ハーフミラーＭ１１により、トリガ信号出力器３２へ与えられる光と、照射光パルス出力器１４に与えられる光とに分けられる。
スレーブレーザ１２は、マスタレーザ光パルスとは繰り返し周波数が異なるスレーブレーザ光パルスを出力する。スレーブレーザ光パルスの繰り返し周波数はｆ_ｒｅｐ２（＝ｆ_ｒｅｐ１−Δｆ）である。ただし、Δｆは０ではない。Δｆは、例えば、およそ１ｋＨｚ以下の値（例えば、５Ｈｚ程度）である。なお、スレーブレーザ光パルスは、マスタレーザ光パルスと繰り返し周波数が同じであっても、位相が異なればよい。例えば、スレーブレーザ光パルスとマスタレーザ光パルスとの位相のずれが、時間の経過とともに変化するようにすればよい。
スレーブレーザ光パルスは、ハーフミラーＭ１２により、トリガ信号出力器３２へ与えられる光と、被測定信号出力器１６およびモニタ信号出力器１８に与えられる光とに分けられる。被測定信号出力器１６およびモニタ信号出力器１８に与えられる光は、さらに、ハーフミラーＭ２３により、被測定信号出力器１６に与えられる光と、モニタ信号出力器１８に与えられる光とに分けられる。モニタ信号出力器１８に与えられる光は、ミラーＭ２４により反射され、モニタ信号出力器１８に与えられる。
照射光パルス出力器１４は、マスタレーザ光パルスを受けて、照射光パルスを出力する。照射光パルス出力器１４は、例えば、光伝導スイッチであり、バイアス電圧が印加されている。例えば、照射光パルスは、周波数が０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の電磁波であり、テラヘルツ波（例えば、周波数が０．０３［ＴＨｚ］以上１０［ＴＨｚ］以下）であることが考えられる。
照射光パルスは、ハーフミラーＭ２１により、被測定信号出力器１６へ与えられる光と、モニタ信号出力器１８に与えられる光とに分けられる。
被測定信号出力器１６へ与えられる方の照射光パルスは、レンズＬにより集束されながら、被測定物２に照射される。照射光パルスが被測定物２を透過したもの（被測定光パルス）は、レンズＬにより集束されながら、被測定信号出力器１６に与えられる。
モニタ信号出力器１８に与えられる方の照射光パルスは、ミラーＭ２２により反射され、さらに２枚のレンズＬにより集束されながら、モニタ信号出力器１８に与えられる。
被測定信号出力器１６は、照射光パルスを被測定物２に照射して得られた被測定光パルスを受ける。被測定信号出力器１６は、被測定光パルスを受け、さらにスレーブレーザ光パルスを受けた時点で、被測定光パルスのパワーに応じた被測定信号を出力する。被測定信号出力器１６は、例えば、光伝導スイッチである。
モニタ信号出力器１８は、照射光パルスおよびスレーブレーザ光パルスを受けて、モニタ信号を出力する。モニタ信号出力器１８は、例えば、光伝導スイッチである。
第一Ｉ／Ｖアンプ２２は、被測定信号出力器１６の出力する被測定信号（電流信号である）を、増幅しながら、電圧信号に変換し、波形表示器４０に与える。
第二Ｉ／Ｖアンプ２４は、モニタ信号出力器１８の出力するモニタ信号（電流信号である）を、増幅しながら、電圧信号に変換し、波形表示器４０に与える。
トリガ信号出力器３２は、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で、トリガ信号を出力する。トリガ信号は、波形表示器４０に与えられる。
トリガ信号出力器３２は、例えば、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で光パルスを出力する光カプラと、光カプラの出力を光電変換して電気信号であるトリガ信号を出力するフォトディテクタとを有する。
バイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０は、照射光パルス出力器１４にバイアス電圧を印加する。バイアス電圧供給部５０は、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧を、波形表示器４０の補正量導出部４１８の導出結果（バイアス電圧補正量ΔＶｂ）だけ変化させることにより、被測定信号の振幅を補正する。被測定信号の振幅は被測定光パルスの振幅に応じて変化し、被測定光パルスの振幅は照射光パルスの振幅に応じて変化し、照射光パルスの振幅は照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧に応じて変化する。よって、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧を変化させることで、被測定信号の振幅を補正することができる。
波形表示器４０は、被測定信号の波形を表示する。
第１８図は、第五の実施形態にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。第五の実施形態にかかる波形表示器４０は、信号測定部４２、信号表示部４３、モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２、振幅測定部４１４、基準振幅記録部４１５、測定振幅記録部４１６、補正量導出部４１８を有する。
信号測定部４２は、被測定信号およびトリガ信号を受け、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点であるが、出力の開始から終了までの間の時点であればよい）を測定する。しかも、信号測定部４２は、被測定信号の振幅を、トリガ信号を基準とした時間に対応づけて測定する。
信号表示部４３は、信号測定部４２の測定結果を表示する。この表示結果が、被測定信号の波形である。
モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２は、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧に対するモニタ信号の振幅の対応関係を記録する。モニタ信号の振幅は、たとえ照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧が一定であっても、光測定装置１の周囲の温度（環境温度）等の変化により、変化することがある。よって、上記の対応関係は、環境温度等を一定にして、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧を変化させながら、モニタ信号の振幅を測定することにより取得できる。なお、記録される対応関係は、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧とモニタ信号の振幅とのデータであってもよいし、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧とモニタ信号の振幅との関係を表す数式であってもよい。
第２０図は、モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２の記録内容の一例を示す図である。照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧が高くなるにつれ、モニタ信号の振幅Ｖｍが変化（例えば、単調増加）する。なお、第２０図においては、モニタ信号の振幅Ｖｍを曲線で図示しているが、直線となる場合も考えられる。以下、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧を、単に「バイアス電圧」と記載することがある。
振幅測定部４１４は、モニタ信号の振幅を、複数回測定する。
測定振幅記録部４１６は、振幅測定部４１４による測定結果（例えば、モニタ信号の振幅Ｖｍ（２）、Ｖｍ（３））を記録する（第２１図を参照）。
基準振幅記録部４１５は、振幅測定部４１４による測定結果（測定振幅記録部４１６に記録されたもの）が得られた時点より前の振幅測定部４１４による測定結果（例えば、モニタ信号の振幅Ｖｍ（１）、Ｖｍ（２）’）を記録する（第２１図を参照）。
例えば、測定振幅記録部４１６は、モニタ信号の振幅の２回目の測定結果Ｖｍ（２）を記録し、基準振幅記録部４１５は、モニタ信号の振幅の１回目の測定結果Ｖｍ（１）を記録する（第２１図（ａ）を参照）。
例えば、測定振幅記録部４１６は、モニタ信号の振幅の３回目の測定結果Ｖｍ（３）を記録し、基準振幅記録部４１５は、モニタ信号の振幅の２回目の測定結果Ｖｍ（２）’を記録する（第２１図（ｂ）参照）。
補正量導出部４１８は、モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２の記録内容に基づき、振幅測定部４１４による測定結果（測定振幅記録部４１６の記録内容）を、その測定結果が得られた時点より前の振幅測定部４１４による測定結果（基準振幅記録部４１５の記録内容）に一致させるための、バイアス電圧の補正量ΔＶｂを導出する。
例えば、補正量導出部４１８は、振幅測定部４１４による測定結果（測定振幅記録部４１６の記録内容Ｖｍ（２）、Ｖｍ（３））と、前回の振幅測定部４１４による測定結果（基準振幅記録部４１５の記録内容Ｖｍ（１）、Ｖｍ（２）’）とに基づき、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（２）、ΔＶｂ（３）を導出する（第２１図を参照）。
第２１図の実線の曲線は、第２０図に図示したモニタ・バイアス振幅特性記録部４１２の記録内容である。第２１図の点線の曲線は、実際のバイアス電圧に対するモニタ信号の振幅の対応関係である。第２１図の点線の曲線は、環境温度等の変動により、モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２の記録内容からずれてはいるが、第２１図の実線の曲線と、形状は同一とみなすことができる。
第２１図（ａ）を参照して、Ｖｍ（２）をＶｍ（１）に一致させるためには、バイアス電圧Ｖｂ（１）を、ΔＶｂ（２）（＜０）だけ変化させ、Ｖｂ（２）とすればよい。
例えば、補正量導出部４１８は、振幅測定部４１４による測定結果（測定振幅記録部４１６の記録内容Ｖｍ（３））と、前回の振幅測定部４１４による測定結果であって、バイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０による補正後の測定結果（基準振幅記録部４１５の記録内容Ｖｍ（２）’）とに基づき、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（３）を導出する（第２１図（ｂ）を参照）。
第２１図（ｂ）を参照して、Ｖｍ（３）をＶｍ（２）’に一致させるためには、バイアス電圧Ｖｂ（２）を、ΔＶｂ（３）（＞０）だけ変化させ、Ｖｂ（３）とすればよい。
次に、第五の実施形態の動作を説明する。
第１９図は、第五の実施形態の動作を示すフローチャートである。第２１図は、補正量導出部４１８の導出するバイアス電圧の補正量を示す図である。
まず、マスタレーザ１１から出力されたマスタレーザ光パルスが、ハーフミラーＭ１１を介して、照射光パルス出力器１４に与えられる。照射光パルス出力器１４には、バイアス電圧Ｖｂ（１）が印加されている。照射光パルス出力器１４からは照射光パルスが出力される。照射光パルスは、ハーフミラーＭ２１を透過して、さらに被測定物２を透過し、被測定光パルスとなって、被測定信号出力器１６に与えられる。また、照射光パルスは、ハーフミラーＭ２１により反射され、さらにミラーＭ２２により反射され、モニタ信号出力器１８に与えられる。
また、スレーブレーザ１２から出力されたスレーブレーザ光パルスが、ハーフミラーＭ１２、Ｍ２３を介して、被測定信号出力器１６に与えられる。スレーブレーザ光パルスは、ハーフミラーＭ１２を透過し、ハーフミラーＭ２３およびミラーＭ２４により反射され、モニタ信号出力器１８に与えられる。
被測定信号出力器１６からは被測定信号（電流信号である）が出力され、第一Ｉ／Ｖアンプ２２により増幅されながら、電圧信号に変換され、波形表示器４０に与えられる。モニタ信号出力器１８からはモニタ信号（電流信号である）が出力され、第二Ｉ／Ｖアンプ２４により増幅されながら、電圧信号に変換され、波形表示器４０に与えられる。
なお、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとは、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２により反射されて、トリガ信号出力器３２に与えられる。トリガ信号出力器３２は、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で、トリガ信号を出力する。なお、トリガ信号は、波形表示器４０に与えられる。
被測定信号およびトリガ信号が信号測定部４２に与えられ、モニタ信号およびトリガ信号が振幅測定部４１４に与えられる。
ここで、振幅測定部４１４が、モニタ信号の振幅Ｖｍ（１）を測定する（Ｓ１１０：１回目の測定）（第２１図（ａ）参照）。なお、モニタ信号の振幅Ｖｍ（１）の測定時における環境温度等が、モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２の記録内容の取得時の環境温度等と等しいものとする。かかる場合、第２１図（ａ）を参照して、座標（Ｖｂ（１），Ｖｍ（１））は、モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２の記録内容である実線の曲線上にある。
さらに、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の振幅を測定する（Ｓ１１２：１回目の測定）。
振幅測定部４１４の測定結果Ｖｍ（１）は、基準振幅記録部４１５に記録される。信号測定部４２の測定結果は、信号表示部４３により表示される。
被測定信号の測定（Ｓ１１２：１回目の測定）から、ある程度の時間が経過してから、振幅測定部４１４が、モニタ信号の振幅Ｖｍ（２）を測定する（Ｓ１２２：２回目の測定）（第２１図（ａ）参照）。ただし、バイアス電圧Ｖｂ（１）はそのままである。
バイアス電圧Ｖｂ（１）はそのままであるが、環境温度等の変動により、モニタ信号の振幅がＶｍ（１）からＶｍ（２）に変動している。これは、バイアス電圧に対するモニタ信号の振幅の対応関係は、実線の曲線から点線の曲線に平行移動したものと考えられる。
振幅測定部４１４による２回目の測定結果Ｖｍ（２）は、測定振幅記録部４１６に記録される。
補正量導出部４１８は、モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２の記録内容に基づき、振幅測定部４１４による測定結果（測定振幅記録部４１６の記録内容Ｖｍ（２））を、その測定結果が得られた時点より前の振幅測定部４１４による測定結果（基準振幅記録部４１５の記録内容Ｖｍ（１））に一致させるための、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（２）を導出する（Ｓ１２４：２回目の測定）。
第２１図（ａ）を参照して、バイアス電圧に対するモニタ信号の振幅の対応関係が、点線の曲線になったとすれば、バイアス電圧をＶｂ（１）からＶｂ（２）にすれば、モニタ信号の振幅をＶｍ（１）に一致させることができる。ここで、第２１図の点線の曲線と実線の曲線とは、その形状が同一とみなすことができるので、Ｖｂ（２）−Ｖｂ（１）はΔＶｂ（２）（実線の曲線において、モニタ信号の振幅をＶｍ（２）からＶｍ（１）に変動させるために必要なバイアス電圧の変動量）に等しい。
よって、補正量導出部４１８は、モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２の記録内容（第２１図（ａ）の実線の曲線）、Ｖｍ（２）およびＶｍ（１）に基づき、ΔＶｂ（２）を導出し、導出したΔＶｂ（２）をバイアス電圧の補正量とする。
バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（２）は、波形表示器４０の補正量導出部４１８から、バイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０に与えられる。バイアス電圧供給部５０は、バイアス電圧を、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（２）だけ変化させる。すなわち、バイアス電圧供給部５０は、バイアス電圧Ｖｂ（１）に、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（２）を加えて、バイアス電圧をＶｂ（２）（＝Ｖｂ（１）＋ΔＶｂ（２））とする（Ｓ１２６：２回目の測定）。
その後、振幅測定部４１４が、モニタ信号の振幅Ｖｍ（２）’を測定する（Ｓ１２７：２回目の測定）。Ｖｍ（２）’は、Ｖｍ（１）に実質的には等しくなる。振幅測定部４１４の測定結果Ｖｍ（２）’は、基準振幅記録部４１５に記録される。
しかも、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の振幅を測定する（Ｓ１２８：２回目の測定）。この被測定信号の振幅の測定結果は、バイアス電圧供給部５０により被測定信号の振幅が補正された被測定信号について得られたものである。
さらに、被測定信号の測定（Ｓ１２８：２回目の測定）から、ある程度の時間が経過してから、振幅測定部４１４が、モニタ信号の振幅Ｖｍ（３）を測定する（Ｓ１２２：３回目の測定）（第２１図（ｂ）参照）。ただし、バイアス電圧Ｖｂ（２）はそのままである。
バイアス電圧Ｖｂ（２）はそのままであるが、環境温度等の変動により、モニタ信号の振幅がＶｍ（２）’からＶｍ（３）に変動している。バイアス電圧に対するモニタ信号の振幅の対応関係は、点線の曲線（左側のもの）から点線の曲線（右側のもの）に平行移動したものと考えられる。
振幅測定部４１４による３回目の測定結果Ｖｍ（３）は、測定振幅記録部４１６に記録される。
補正量導出部４１８は、モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２の記録内容に基づき、振幅測定部４１４による測定結果（測定振幅記録部４１６の記録内容Ｖｍ（３））を、その測定結果が得られた時点より前の振幅測定部４１４による測定結果（基準振幅記録部４１５の記録内容Ｖｍ（２）’）に一致させるための、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（３）を導出する（Ｓ１２４：３回目の測定）。
第２１図（ｂ）を参照して、バイアス電圧に対するモニタ信号の振幅の対応関係が、点線の曲線（右側のもの）になったとすれば、バイアス電圧をＶｂ（２）からＶｂ（３）にすれば、モニタ信号の振幅をＶｍ（２）’に一致させることができる。ここで、第２１図の点線の曲線と実線の曲線とは、その形状が同一とみなすことができるので、Ｖｂ（３）−Ｖｂ（２）はΔＶｂ（３）（実線の曲線において、モニタ信号の振幅をＶｍ（３）からＶｍ（２）’に変動させるために必要なバイアス電圧の変動量）に等しい。
よって、補正量導出部４１８は、モニタ・バイアス振幅特性記録部４１２の記録内容（第２１図（ｂ）の実線の曲線）、Ｖｍ（３）およびＶｍ（２）’に基づき、ΔＶｂ（３）を導出し、導出したΔＶｂ（３）をバイアス電圧の補正量とする。
バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（３）は、波形表示器４０の補正量導出部４１８から、バイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０に与えられる。バイアス電圧供給部５０は、バイアス電圧を、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（３）だけ変化させる。すなわち、バイアス電圧供給部５０は、バイアス電圧Ｖｂ（２）に、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（３）を加えて、バイアス電圧をＶｂ（３）（＝Ｖｂ（２）＋ΔＶｂ（３））とする（Ｓ１２６：３回目の測定）。
その後、振幅測定部４１４が、モニタ信号の振幅Ｖｍ（３）’を測定する（Ｓ１２７：３回目の測定）。Ｖｍ（３）’はＶｍ（２）’に実質的には等しくなる。Ｖｍ（２）’はＶｍ（１）に実質的には等しいので、Ｖｍ（３）’はＶｍ（１）に実質的には等しいということになる。振幅測定部４１４の測定結果Ｖｍ（３）’は、基準振幅記録部４１５に記録される。
しかも、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の振幅を測定する（Ｓ１２８：３回目の測定）。この被測定信号の振幅の測定結果は、バイアス電圧供給部５０により被測定信号の振幅が補正された被測定信号について得られたものである。
第五の実施形態によれば、テラヘルツ光（照射光パルス）などの光による被測定物２の測定結果（被測定信号の振幅）の、光測定装置１の周囲の温度（環境温度）等の変化による誤差を、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧をΔＶｂだけ変化させることで解消し、被測定信号の振幅を正確に得ることができる。
なお、第五の実施形態においては、バイアス電圧をΔＶｂだけ変化させることで被測定信号の振幅誤差を補正したが、バイアス電圧を変化させないで振幅誤差を補正することも可能である。第２６図は、第五の実施形態の変形例（バイアス電圧を変化させないで振幅誤差の補正を行う）にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。
第五の実施形態の変形例にかかる波形表示器４０は、第五の実施形態の波形表示器４０に、さらに振幅誤差補正部４１９、デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０を付加した構成となっている。
デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０は、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧に対する被測定信号出力器１６の出力の振幅の対応関係を記録する。被測定信号出力器１６の出力の振幅は、たとえ照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧が一定であっても、光測定装置１の周囲の温度（環境温度）等の変化により、変化することがある。よって、上記の対応関係は、環境温度等を一定にして、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧を変化させながら、被測定物２を光測定装置１から外して、被測定信号出力器１６の出力の振幅を測定することにより取得できる。なお、記録される対応関係は、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧と被測定信号出力器１６の出力の振幅とのデータであってもよいし、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧と被測定信号出力器１６の出力の振幅との関係を表す数式であってもよい。
第２７図は、デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０の記録内容の一例を示す図である。照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧が高くなるにつれ、被測定信号出力器１６の出力の振幅Ｖｄ（ただし、被測定物２は光測定装置１から外してある）が変化（例えば、単調増加）する。なお、第２７図においては、被測定信号出力器１６の出力の振幅Ｖｄを曲線で図示しているが、直線となる場合も考えられる。
振幅誤差補正部４１９は、補正量導出部４１８からバイアス電圧の補正量ΔＶｂを受ける。さらに、振幅誤差補正部４１９は、デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０の記録内容に基づき、バイアス電圧の補正量ΔＶｂに対応する被測定信号の振幅の変動量ΔＶｄだけ、信号測定部４２による測定結果を補正する。
第２８図は、振幅誤差補正部４１９が導出する被測定信号の振幅の変動量ΔＶｄを示す図である。なお、第２８図における実線の曲線は、デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０の記録内容（第２７図参照）である。
第２８図（ａ）は、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（２）に対応する被測定信号の振幅の変動量ΔＶｄ（２）を示す図である。
振幅誤差補正部４１９は、補正量導出部４１８から、バイアス電圧をＶｂ（１）からＶｂ（２）に変化させることに対応するバイアス電圧の補正量ΔＶｂ（２）を受ける。すると、振幅誤差補正部４１９は、Ｖｂ（２）に対応する被測定信号の振幅と、Ｖｂ（１）に対応する被測定信号の振幅との間の差分ΔＶｄ（２）（＜０）を導出する。振幅誤差補正部４１９は、さらに、信号測定部４２による被測定信号の振幅の測定結果にΔＶｄ（２）を加え、被測定信号の振幅の測定結果を補正する。これにより、バイアス電圧をＶｂ（１）からＶｂ（２）に変化させることに対応する被測定信号の振幅の測定結果の補正を、バイアス電圧を変更することなく行える。
なお、被測定信号の振幅の測定結果の補正の直前に、振幅測定部４１４がモニタ信号の振幅を測定する。その測定結果に、振幅誤差補正部４１９は、Ｖｍ（１）−Ｖｍ（２）を加えてＶｍ（２）’とする。振幅誤差補正部４１９は、Ｖｍ（１）およびＶｍ（２）を補正量導出部４１８から受けるようにすればよい。
第２８図（ｂ）は、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ（３）に対応する被測定信号の振幅の変動量ΔＶｄ（３）を示す図である。
振幅誤差補正部４１９は、補正量導出部４１８から、バイアス電圧をＶｂ（２）からＶｂ（３）に変化させることに対応するバイアス電圧の補正量ΔＶｂ（３）を受ける。すると、振幅誤差補正部４１９は、Ｖｂ（３）に対応する被測定信号の振幅と、Ｖｂ（２）に対応する被測定信号の振幅との間の差分ΔＶｄ（３）（＞０）を導出する。振幅誤差補正部４１９は、さらに、信号測定部４２による被測定信号の振幅の測定結果（すでに、ΔＶｄ（２）を加える補正が行われているもの）にΔＶｄ（３）を加え、被測定信号の振幅の測定結果を補正する。これにより、バイアス電圧をＶｂ（２）からＶｂ（３）に変化させることに対応する被測定信号の振幅の測定結果の補正を、バイアス電圧を変更することなく行える。
なお、被測定信号の振幅の測定結果の補正の直前に、振幅測定部４１４がモニタ信号の振幅を測定する。その測定結果に、振幅誤差補正部４１９は、Ｖｍ（２）’−Ｖｍ（３）を加えてＶｍ（３）’とする。振幅誤差補正部４１９は、Ｖｍ（２）’およびＶｍ（３）を補正量導出部４１８から受けるようにすればよい。
第六の実施形態
第六の実施形態にかかる光測定装置１は、被測定信号出力器１６が、モニタ信号出力器を兼ねている点が、第五の実施形態にかかる光測定装置１とは異なる。
第２２図は、本発明の第六の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。第六の実施形態にかかる光測定装置１は、マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２３、ミラーＭ２２、Ｍ２４、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６、Ｉ／Ｖアンプ２６、トリガ信号出力器３２、波形表示器４０、バイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０を備える。以下、第五の実施形態と同様な部分は、第五の実施形態と同じ番号を付して説明を省略する。
マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、トリガ信号出力器３２、波形表示器４０およびバイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０は、第五の実施形態と同様であり説明を省略する。
スレーブレーザ１２が出力するスレーブレーザ光パルスは、ハーフミラーＭ１２を透過して、被測定信号出力器１６に与えられる。
照射光パルスは、ハーフミラーＭ２１により、被測定物２に向かう光と、被測定物２には向かわない光とに分けられる。前者（被測定物２に向かう光）は、被測定物２を透過して（被測定光パルス）、被測定信号出力器１６に与えられる。被測定信号出力器１６は、被測定光パルスを受けて、被測定信号を出力する。後者（被測定物２には向かわない光：照射光パルス）は、ミラーＭ２２、Ｍ２４およびハーフミラーＭ２３により反射され、被測定信号出力器１６に与えられる。被測定信号出力器１６は、後者（照射光パルス）を受けて、モニタ信号を出力する。
このように、被測定信号出力器１６は、被測定信号の出力も、モニタ信号の出力も行う。すなわち、被測定信号出力器１６が、モニタ信号出力器を兼ねている。
Ｉ／Ｖアンプ２６は、被測定信号出力器１６の出力した被測定信号およびモニタ信号を増幅しながら、電圧信号に変換し、波形表示器４０に与える。
第２３図は、第六の実施形態にかかるＩ／Ｖアンプ２６の出力する被測定信号およびモニタ信号の波形を示す図である。なお、第２３図において、縦軸は電圧、横軸は時間を示す。第２３図を参照して、被測定信号およびモニタ信号が時間領域において重ならない。このためには、被測定信号出力器１６に、被測定光パルスと照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達すればよい。第六の実施形態においては、照射光パルス出力器１４から被測定信号出力器１６への、被測定物２が存在する光路（被測定物２を透過する光路）と、被測定物２が存在しない光路（ミラーＭ２２、Ｍ２４により反射される光路）との光路差を大きくして、被測定信号出力器１６に、被測定光パルスと照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達するようにしている。
第六の実施形態の動作は、第五の実施形態と同様である。
第六の実施形態によれば、第五の実施形態と同様な効果を、モニタ信号出力器１８を用いないで奏することができる。
なお、第六の実施形態においても、第五の実施形態の変形例（第２６図参照）と同様に、バイアス電圧を変化させないで振幅誤差の補正を行うことが可能である。
第七の実施形態
第七の実施形態にかかる光測定装置１は、被測定信号出力器１６へ被測定光パルスおよび照射光パルスのいずれか一方を選択して与える光学系（ミラーＭ２１、Ｍ２２、Ｍ２３、Ｍ２４、ステージＳｔｇ１、Ｓｔｇ２）を備えた点が、第六の実施形態にかかる光測定装置１とは異なる。
第２４図は、本発明の第七の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である（モニタ信号取得時）。第２５図は、本発明の第七の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である（被測定信号取得時）。第七の実施形態にかかる光測定装置１は、マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、ミラーＭ２１、Ｍ２３、Ｍ２２、Ｍ２４、ステージＳｔｇ１、Ｓｔｇ２、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６、Ｉ／Ｖアンプ２６、トリガ信号出力器３２、波形表示器４０、バイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０を備える。以下、第六の実施形態と同様な部分は、第六の実施形態と同じ番号を付して説明を省略する。
マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６、Ｉ／Ｖアンプ２６、トリガ信号出力器３２、波形表示器４０およびバイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０は、第六の実施形態と同様であり説明を省略する。
第六の実施形態において、Ｍ２１、Ｍ２３はハーフミラーであるが、第七の実施形態においては、Ｍ２１、Ｍ２３はミラーである。ミラーＭ２１、Ｍ２２は、ステージＳｔｇ１に載せられている。ミラーＭ２３、Ｍ２４は、ステージＳｔｇ２に載せられている。
ステージＳｔｇ１はミラーＭ２１を、照射光パルスを反射する位置（第２４図参照）または照射光パルスを反射しない位置（第２５図参照）に移動できる。ステージＳｔｇ２はミラーＭ２３を、照射光パルスを反射する位置（第２４図参照）または照射光パルスを反射しない位置（第２５図参照）に移動できる。なお、第２４図および第２５図において、点線の矢印は、ステージＳｔｇ１およびステージＳｔｇ２を移動できる方向を示す。
第２４図を参照して、ステージＳｔｇ１がミラーＭ２１を、ステージＳｔｇ２はミラーＭ２３を、照射光パルスを反射する位置に移動させた場合は、照射光パルス出力器１４から被測定信号出力器１６へ照射光パルスが与えられる。よって、被測定信号出力器１６はモニタ信号を出力する。
第２５図を参照して、ステージＳｔｇ１がミラーＭ２１を、ステージＳｔｇ２はミラーＭ２３を、照射光パルスを反射しない位置に移動させた場合は、被測定信号出力器１６へ被測定光パルスが与えられる。よって、被測定信号出力器１６が被測定信号を出力する。
これにより、被測定信号出力器１６に、被測定光パルスと照射光パルスとが時間領域において重ならないように到達する。第七の実施形態においては、照射光パルス出力器１４から被測定信号出力器１６への、被測定物２が存在する光路（第２５図参照）と、被測定物２が存在しない光路（第２４図参照）との光路差は一定値であれば、０であってもよい。
第七の実施形態の動作は、第五の実施形態と同様である。
第七の実施形態によれば、第五の実施形態と同様な効果を、モニタ信号出力器１８を用いないで奏することができる。
なお、第七の実施形態においても、第五の実施形態の変形例（第２６図参照）と同様に、バイアス電圧を変化させないで振幅誤差の補正を行うことが可能である。
第八の実施形態
第八の実施形態は、モニタ信号を用いないで、光測定装置１の周囲の温度（環境温度）を測定することにより、被測定信号の振幅の測定誤差を補正する点が、第五の実施形態と異なる。
第２９図は、本発明の第八の実施形態にかかる光測定装置１の構成を示す図である。第八の実施形態にかかる光測定装置１は、マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、Ｍ１３、Ｍ１４、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６、Ｉ／Ｖアンプ２８、トリガ信号出力器３２、波形表示器４０、バイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０、光パワー測定器５２を備える。以下、第五の実施形態と同様な部分は、第五の実施形態と同じ番号を付して説明を省略する。
マスタレーザ１１、スレーブレーザ１２、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２、レンズＬ、照射光パルス出力器１４、被測定信号出力器１６およびトリガ信号出力器３２は、第五の実施形態と同様であり、説明を省略する。
Ｉ／Ｖアンプ２８は、被測定信号出力器１６の出力する被測定信号（電流信号である）を、増幅しながら、電圧信号に変換し、波形表示器４０に与える。
バイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０は、照射光パルス出力器１４にバイアス電圧を印加する。バイアス電圧供給部５０は、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧を、波形表示器４０の補正量導出部４２６の導出結果（バイアス電圧補正量ΔＶｂ）だけ変化させることにより、被測定信号の振幅を補正する。被測定信号の振幅は被測定光パルスの振幅に応じて変化し、被測定光パルスの振幅は照射光パルスの振幅に応じて変化し、照射光パルスの振幅は照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧に応じて変化する。よって、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧を変化させることで、被測定信号の振幅を補正することができる。
なお、バイアス電圧供給部５０は、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧を測定し、波形表示器４０の補正量導出部４２６に与える。
ハーフミラーＭ１３は、ハーフミラーＭ１１からトリガ信号出力器３２に向かうマスタレーザ光パルスの一部を光パワー測定器５２に導く。
ハーフミラーＭ１４は、ハーフミラーＭ１２からトリガ信号出力器３２に向かうスレーブレーザ光パルスの一部を光パワー測定器５２に導く。
光パワー測定器５２は、マスタレーザ光パルスおよびスレーブレーザ光パルスのパワーを測定し、波形表示器４０に与える。
波形表示器４０は、被測定信号の波形を表示する。
第３０図は、第八の実施形態にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。第八の実施形態にかかる波形表示器４０は、温度計４１、信号測定部４２、信号表示部４３、振幅誤差導出部４１７、デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０、デバイス振幅特性記録部４２２、補正量導出部４２６を有する。信号測定部４２および信号表示部４３は、第五の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、信号測定部４２は、被測定信号を複数回測定し、被測定信号の測定を開始する旨を温度計４１に伝達する。
温度計４１は、信号測定部４２から被測定信号の測定を開始する旨の伝達を受けると、その時点の光測定装置１の周囲の温度（環境温度Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，…）を測定し、振幅誤差導出部４１７に与える。例えば、被測定信号の１回目の測定時の環境温度がＴ１、被測定信号の２回目の測定時の環境温度がＴ２、被測定信号の３回目の測定時の環境温度がＴ３となる。温度計４１による環境温度の測定は、厳密には、被測定信号の測定の直前に行われる。しかし、一般的には環境温度が瞬間的に大きく変動するわけではないので、被測定信号の測定の直前（または直後）に測定した環境温度も、被測定信号の測定時の環境温度であるとみなすことができる。
なお、波形表示器４０内に温度計４１があるものとして説明したが、温度計４１の位置を波形表示器４０内に限定するものではない。例えば、温度計４１はバイアス電圧供給部５０の近傍に配置されていてもよい。すなわち、温度計４１は、環境温度を測定できるような位置にあればよい。
デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０は、第五の実施形態の変形例（第２６図参照）と同様であり、説明を省略する。
デバイス振幅特性記録部４２２は、振幅変動要因に対する被測定信号出力器１６の出力の振幅の対応関係を記録する。ただし、振幅変動要因とは、照射光パルス出力器１４に印加されるバイアス電圧、マスタレーザ光パルスのパワー、スレーブレーザ光パルスのパワーおよび環境温度のいずれか一つ以上である。
被測定信号出力器１６の出力の振幅は、振幅変動要因の変化により、変化することがある。よって、上記の対応関係は、振幅変動要因のうちの一つ（例えば、環境温度）を変化させながら、他の振幅変動要因（例えば、バイアス電圧、マスタレーザ光パルスのパワーおよびスレーブレーザ光パルスのパワー）を一定にして、被測定物２を光測定装置１から外して、被測定信号出力器１６の出力の振幅を測定することにより取得できる。なお、記録される対応関係は、振幅変動要因と被測定信号出力器１６の出力の振幅とのデータであってもよいし、振幅変動要因と被測定信号出力器１６の出力の振幅との関係を表す数式であってもよい。
第３１図は、デバイス振幅特性記録部４２２の記録内容の一例を示す図である。デバイス振幅特性記録部４２２は、照射光パルス出力器１４に印加されるバイアス電圧と被測定信号出力器１６の出力の振幅Ｖｄとの対応関係（第３１図（ａ）参照）、マスタレーザ光パルスのパワーと被測定信号出力器１６の出力の振幅Ｖｄとの対応関係（第３１図（ｂ）参照）、スレーブレーザ光パルスのパワーと被測定信号出力器１６の出力の振幅Ｖｄとの対応関係（第３１図（ｃ）参照）、環境温度と被測定信号出力器１６の出力の振幅Ｖｄとの対応関係（第３１図（ｄ）参照）を記録する。ただし、いずれも、被測定物２を光測定装置１から外した状態で測定したものである。
振幅変動要因が高くなるにつれ、被測定信号出力器１６の出力の振幅Ｖｄ（ただし、被測定物２は光測定装置１から外してある）が変化（例えば、単調増加）する。なお、第３１図においては、被測定信号出力器１６の出力の振幅Ｖｄを曲線で図示しているが、直線となる場合も考えられる。
第３３図は、振幅誤差導出部４１７の導出する振幅誤差を説明するための図である。第３３図は、バイアス電圧の変動による振幅誤差（第３３図（ａ）参照）、マスタレーザ光パルスのパワーの変動による振幅誤差（第３３図（ｂ）参照）、スレーブレーザ光パルスのパワーの変動による振幅誤差（第３３図（ｃ）参照）、環境温度の変動による振幅誤差（第３３図（ｄ）参照）を示す。なお、第３３図における実線の曲線は、第３１図における実線の曲線（デバイス振幅特性記録部４２２の記録内容）と同じものである。
振幅誤差導出部４１７は、デバイス振幅特性記録部４２２の記録内容に基づき、基準振幅変動要因（Ｖｂ１，ＭＰ１，ＳＰ１，Ｔ１）（Ｖｂ２’，ＭＰ２，ＳＰ２，Ｔ２）と被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因（Ｖｂ２，ＭＰ２，ＳＰ２，Ｔ２）（Ｖｂ３，ＭＰ３，ＳＰ３，Ｔ３）との間の被測定信号の振幅の誤差を導出する。なお、振幅誤差導出部４１７は、環境温度の取得と同時に、他の振幅変動要因も取得する。
基準振幅変動要因は、前回に被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因としてもよい。
例えば、振幅誤差導出部４１７は、１回目に被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因（基準振幅変動要因：Ｖｂ１，ＭＰ１，ＳＰ１，Ｔ１）と、２回目に被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因（Ｖｂ２，ＭＰ２，ＳＰ２，Ｔ２）との間の被測定信号の振幅の誤差を導出する。
第３３図（ａ）を参照して、バイアス電圧がＶｂ１からＶｂ２に変動することによる被測定信号の振幅の変動は、ΔＶｄ１ｂである。第３３図（ｂ）を参照して、マスタレーザ光パルスのパワーがＭＰ１からＭＰ２に変動することによる被測定信号の振幅の変動は、ΔＶｄ１ｍである。第３３図（ｃ）を参照して、スレーブレーザ光パルスのパワーがＳＰ１からＳＰ２に変動することによる被測定信号の振幅の変動は、ΔＶｄ１ｓである。第３３図（ｄ）を参照して、環境温度がＴ１からＴ２に変動することによる被測定信号の振幅の変動は、ΔＶｄ１Ｔである。この場合、被測定信号の振幅の誤差ΔＶｄ１は、ΔＶｄ１ｂ＋ΔＶｄ１ｍ＋ΔＶｄ１ｓ＋ΔＶｄ１Ｔである。
例えば、振幅誤差導出部４１７は、２回目に被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因（基準振幅変動要因：Ｖｂ２’，ＭＰ２，ＳＰ２，Ｔ２）と、３回目に被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因（Ｖｂ３，ＭＰ３，ＳＰ３，Ｔ３）との間の被測定信号の振幅の誤差を導出する。ただし、バイアス電圧Ｖｂ２’は、振幅誤差を補正するために、バイアス電圧Ｖｂ２をＶｂ２’に変化させたものである。
第３３図（ａ）を参照して、バイアス電圧がＶｂ２’からＶｂ３に変動することによる被測定信号の振幅の変動は、ΔＶｄ２ｂである。第３３図（ｂ）を参照して、マスタレーザ光パルスのパワーがＭＰ２からＭＰ３に変動することによる被測定信号の振幅の変動は、ΔＶｄ２ｍである。第３３図（ｃ）を参照して、スレーブレーザ光パルスのパワーがＳＰ２からＳＰ３に変動することによる被測定信号の振幅の変動は、ΔＶｄ２ｓである。第３３図（ｄ）を参照して、環境温度がＴ２からＴ３に変動することによる被測定信号の振幅の変動は、ΔＶｄ２Ｔである。この場合、被測定信号の振幅の誤差ΔＶｄ２は、ΔＶｄ２ｂ＋ΔＶｄ２ｍ＋ΔＶｄ２ｓ＋ΔＶｄ２Ｔである。
補正量導出部４２６は、デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０の記録内容に基づき、振幅誤差導出部４１７により導出された被測定信号の振幅の誤差ΔＶｄ１、ΔＶｄ２を打ち消す分だけ被測定信号の振幅を変動させるために必要なバイアス電圧の補正量ΔＶｂ１、ΔＶｂ２を導出する。
第３４図は、補正量導出部４２６によるバイアス電圧の補正量の導出を説明するための図である。第３４図における実線の曲線は、デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０の記録内容（第２７図参照）である。
被測定信号の振幅の誤差ΔＶｄ１（＞０）は、上述のとおり、ΔＶｄ１ｂ＋ΔＶｄ１ｍ＋ΔＶｄ１ｓ＋ΔＶｄ１Ｔである。このときのバイアス電圧は、Ｖｂ２である。振幅誤差ΔＶｄ１を打ち消す（減らす）ためには、バイアス電圧Ｖｂ２をＶｂ２’に減らせばよい。バイアス電圧Ｖｂ２’は、バイアス電圧Ｖｂ２に対応する被測定信号出力器１６の出力の振幅から、振幅誤差ΔＶｄ１を減じた値に対応するバイアス電圧である。バイアス電圧の補正量ΔＶｂ１は、Ｖｂ２’−Ｖｂ２となる。
バイアス電圧供給部（振幅誤差補正部）５０は、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧を、補正量導出部４２６の導出したバイアス電圧の補正量ΔＶｂだけ変化させる。なお、補正量導出部４２６は、振幅誤差導出部４１７により導出された被測定信号の振幅の誤差ΔＶｄに基づき、バイアス電圧の補正量ΔＶｂを導出している。よって、バイアス電圧供給部５０は、振幅誤差導出部４１７の導出結果に基づき、被測定信号の振幅を補正する。
次に、第八の実施形態の動作を説明する。
第３２図は、第八の実施形態の動作を示すフローチャートである。
まず、マスタレーザ１１から出力されたマスタレーザ光パルスが、ハーフミラーＭ１１を介して、照射光パルス出力器１４に与えられる。照射光パルス出力器１４からは照射光パルスが出力される。照射光パルスは、被測定物２を透過し、被測定光パルスとなって、被測定信号出力器１６に与えられる。
また、スレーブレーザ１２から出力されたスレーブレーザ光パルスが、ハーフミラーＭ１２を介して、被測定信号出力器１６に与えられる。
被測定信号出力器１６からは被測定信号（電流信号である）が出力され、Ｉ／Ｖアンプ２８により増幅されながら、電圧信号に変換され、波形表示器４０に与えられる。
なお、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとは、ハーフミラーＭ１１、Ｍ１２により反射されて、トリガ信号出力器３２に与えられる。トリガ信号出力器３２は、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとを同時に受けた時点で、トリガ信号を出力する。なお、トリガ信号は、波形表示器４０に与えられる。
ここで、温度計４１が、環境温度Ｔ１を測定する（Ｓ１３０：１回目の測定）。なお、環境温度以外の振幅変動要因の測定も行われる。測定された環境温度Ｔ１は振幅誤差導出部４１７に与えられ、これと同時に、光パワー測定器５２が測定したマスタレーザ光パルスのパワーおよびスレーブレーザ光パルスのパワーＭＰ１、ＳＰ１と、バイアス電圧供給部５０が測定したバイアス電圧Ｖｂ１とが振幅誤差導出部４１７に与えられる。
さらに、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の振幅を測定する（Ｓ１３２：１回目の測定）。
被測定信号の測定（Ｓ１３２：１回目の測定）から、ある程度の時間が経過してから温度計４１が、環境温度Ｔ２を測定する（Ｓ１４２：２回目の測定）。なお、環境温度以外の振幅変動要因の測定も行われる。測定された環境温度Ｔ２は振幅誤差導出部４１７に与えられ、これと同時に、光パワー測定器５２が測定したマスタレーザ光パルスのパワーおよびスレーブレーザ光パルスのパワーＭＰ２、ＳＰ２と、バイアス電圧供給部５０が測定したバイアス電圧Ｖｂ２とが振幅誤差導出部４１７に与えられる。
ここで、振幅誤差導出部４１７は、デバイス振幅特性記録部４２２の記録内容に基づき、１回目に被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因（基準振幅変動要因：Ｖｂ１，ＭＰ１，ＳＰ１，Ｔ１）と、２回目に被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因（Ｖｂ２，ＭＰ２，ＳＰ２，Ｔ２）との間の被測定信号の振幅の誤差ΔＶｄ１を導出する（Ｓ１４４：２回目の測定）。なお、第３３図を参照して、ΔＶｄ１は、ΔＶｄ１ｂ＋ΔＶｄ１ｍ＋ΔＶｄ１ｓ＋ΔＶｄ１Ｔである。
補正量導出部４２６は、デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０の記録内容（第２７図参照）に基づき、振幅誤差導出部４１７により導出された被測定信号の振幅の誤差ΔＶｄ１を打ち消す分だけ被測定信号の振幅を変動させるために必要なバイアス電圧の補正量ΔＶｂ１を導出する（第３４図参照）。バイアス電圧の補正量ΔＶｂ１は、バイアス電圧供給部５０に与えられる。バイアス電圧供給部５０は、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧Ｖｂ２を、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ１だけ変化させることで、Ｖｂ２’（＝Ｖｂ２＋ΔＶｂ１）とし、被測定信号の振幅を振幅誤差ΔＶｄ１の分だけ減じて、被測定信号の振幅誤差を補正する（Ｓ１４６：２回目の測定）。
その後、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の振幅を測定する（Ｓ１４８：２回目の測定）。
被測定信号の測定（Ｓ１４８：２回目の測定）から、ある程度の時間が経過してから温度計４１が、環境温度Ｔ３を測定する（Ｓ１４２：３回目の測定）。なお、環境温度以外の振幅変動要因の測定も行われる。測定された環境温度Ｔ３は振幅誤差導出部４１７に与えられ、これと同時に、光パワー測定器５２が測定したマスタレーザ光パルスのパワーおよびスレーブレーザ光パルスのパワーＭＰ３、ＳＰ３と、バイアス電圧供給部５０が測定したバイアス電圧Ｖｂ３とが振幅誤差導出部４１７に与えられる。
ここで、振幅誤差導出部４１７は、デバイス振幅特性記録部４２２の記録内容に基づき、２回目に被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因（基準振幅変動要因：Ｖｂ２’，ＭＰ２，ＳＰ２，Ｔ２）と、３回目に被測定信号が測定された時点の測定振幅変動要因（Ｖｂ３，ＭＰ３，ＳＰ３，Ｔ３）との間の被測定信号の振幅の誤差ΔＶｄ２を導出する（Ｓ１４４：３回目の測定）。なお、第３３図を参照して、ΔＶｄ２は、ΔＶｄ２ｂ＋ΔＶｄ２ｍ＋ΔＶｄ２ｓ＋ΔＶｄ２Ｔである。
補正量導出部４２６は、デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０の記録内容（第２７図参照）に基づき、振幅誤差導出部４１７により導出された被測定信号の振幅の誤差ΔＶｄ２を打ち消す分だけ被測定信号の振幅を変動させるために必要なバイアス電圧の補正量ΔＶｂ２を導出する。バイアス電圧の補正量ΔＶｂ２の導出法は、ΔＶｂ１の導出法（第３４図参照）と同様である。バイアス電圧の補正量ΔＶｂ２は、バイアス電圧供給部５０に与えられる。バイアス電圧供給部５０は、照射光パルス出力器１４に印加するバイアス電圧Ｖｂ３を、バイアス電圧の補正量ΔＶｂ２だけ変化させることで、Ｖｂ３’（＝Ｖｂ３＋ΔＶｂ２）とし、被測定信号の振幅を振幅誤差ΔＶｄ２の分だけ減じて、被測定信号の振幅誤差を補正する（Ｓ１４６：３回目の測定）。
その後、信号測定部４２が、トリガ信号を基準とした被測定信号の出力時点（例えば、出力開始時点）および被測定信号の振幅を測定する（Ｓ１４８：３回目の測定）。
第八の実施形態によれば、テラヘルツ光（照射光パルス）などの光による被測定物２の測定結果（出力時点）の、光測定装置１の周囲の温度（環境温度）等の振幅変動要因の変化による誤差を、振幅変動要因から振幅誤差導出部４１７が推測して、その誤差をバイアス電圧供給部５０により補正するため、被測定信号の振幅を正確に得ることができる。
なお、第八の実施形態においては、バイアス電圧供給部５０によりバイアス電圧を変化させることで振幅誤差を補正したが、バイアス電圧の変化によらない振幅誤差の補正も可能である。第３５図は、第八の実施形態の変形例（バイアス電圧の変化によらない振幅誤差の補正を行う）にかかる波形表示器４０の構成を示す機能ブロック図である。
第八の実施形態の変形例にかかる波形表示器４０は、第八の実施形態の波形表示器４０から、デバイス・バイアス振幅特性記録部４２０および補正量導出部４２６を削除し、振幅誤差補正部４１９を付加した構成となっている。
第八の実施形態の変形例にかかる波形表示器４０における振幅誤差導出部４１７は、導出した振幅誤差ΔＶｄ１，ΔＶｄ２，…を、バイアス電圧供給部５０にではなく、振幅誤差補正部４１９に与える。振幅誤差補正部４１９は、振幅誤差ΔＶｄ１，ΔＶｄ２，…を、信号測定部４２に与え、信号測定部４２において、−ΔＶｄ１，−ΔＶｄ２，…だけ被測定信号の振幅をずらして、振幅誤差ΔＶｄ１，ΔＶｄ２，…を打ち消すようにする。なお、信号測定部４２は、その測定結果をデジタルデータとしてから出力するものとすれば、このデジタルデータにおける振幅のデータを−ΔＶｄ１，−ΔＶｄ２，…だけ変更してから出力すればよい。このようにして、信号測定部４２による測定結果が補正される。
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータに、上記の各部分、例えば波形表示器４０の各部分を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

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【図6】

【図7】

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【図21】

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