特許 5962298 硬化体の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5962298

(24)【登録日】2016年7月8日

(45)【発行日】2016年8月3日

(54)【発明の名称】硬化体の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B29C 65/02 20060101AFI20160721BHJP

   H05K 3/00 20060101ALI20160721BHJP

   B32B 15/08 20060101ALI20160721BHJP

   B32B 17/04 20060101ALI20160721BHJP

   B29C 65/78 20060101ALI20160721BHJP

   B29L 9/00 20060101ALN20160721BHJP

【ＦＩ】

   B29C65/02

   H05K3/00 R

   B32B15/08 105A

   B32B17/04 A

   B29C65/78

   B29L9:00

【請求項の数】8

【全頁数】28

(21)【出願番号】特願2012-167142(P2012-167142)

(22)【出願日】2012年7月27日

(65)【公開番号】特開2014-24269(P2014-24269A)

(43)【公開日】2014年2月6日

【審査請求日】2015年5月19日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002141

【氏名又は名称】住友ベークライト株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100110928

【弁理士】

【氏名又は名称】速水 進治

(72)【発明者】

【氏名】阿部 智行

【審査官】 長谷部 智寿

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−１７４７３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−２８８６４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０２−２９５７３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６１−２１１０１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２１３４８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５８−０１１１３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５７−０５７６５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０３２３２１０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００６−１３７０１１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２９Ｃ ６５／００−６５／８２

Ｂ３２Ｂ １５／０８

Ｂ３２Ｂ １７／０４

Ｈ０５Ｋ ３／００

Ｂ２９Ｌ ９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

繊維基材に熱硬化性の樹脂材料を含浸させたプリプレグと、このプリプレグの表面および裏面のうちの少なくとも一方の面に仮接着されたシートとを備える積層体を用意する工程と、
前記積層体を加圧せずに、加熱して前記熱硬化性の樹脂材料の硬化を進行させて、前記シートと前記プリプレグとを本接着する工程とを含む硬化体の製造方法であって、
積層体を用意する前記工程では、
長尺状の前記繊維基材に対して、前記樹脂材料を含浸させて長尺の前記プリプレグを得るとともに、前記樹脂材料を加熱して硬化を進行させて、プリプレグの表裏面のうち少なくとも一方の面に長尺のシートを仮接着し、長尺の前記プリプレグと前記長尺のシートとを有する長尺の前記積層体を用意し、
この積層体を所定の寸法に裁断し、
本接着する前記工程では、裁断された前記積層体を治具に吊り下げた状態で、加圧を行なわずに、加熱する、硬化体の製造方法。

【請求項2】

繊維基材に熱硬化性の樹脂材料を含浸させたプリプレグと、このプリプレグの表面および裏面のうちの少なくとも一方の面に仮接着されたシートとを備える積層体を用意する工程と、
前記積層体を加圧せずに、加熱して前記熱硬化性の樹脂材料の硬化を進行させて、前記シートと前記プリプレグとを本接着する工程とを含む硬化体の製造方法であって、
積層体を用意する前記工程では、
長尺状の前記繊維基材に対して、前記樹脂材料を含浸させて長尺の前記プリプレグを得るとともに、前記樹脂材料を加熱して硬化を進行させて、プリプレグの表裏面のうち少なくとも一方の面に長尺のシートを仮接着し、長尺の前記プリプレグと前記長尺のシートとを有する長尺の前記積層体を用意し、
この積層体を所定の寸法に裁断し、
本接着する前記工程では、裁断された前記積層体を水平方向に移動するコンベアに搭載し、コンベアで前記積層体を搬送しながら、加圧を行なわずに、加熱する、硬化体の製造方法。

【請求項3】

請求項１または２に記載の硬化体の製造方法において、
当該硬化体は、プリント配線板用である硬化体の製造方法。

【請求項4】

請求項１乃至３のいずれかに記載の硬化体の製造方法において、
前記繊維基材を構成する繊維は、ガラス、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール、アラミド樹脂、ポリエステルのいずれかの材料で構成された硬化体の製造方法。

【請求項5】

請求項１乃至４のいずれかに記載の硬化体の製造方法において、
積層体を用意する前記工程では、前記プリプレグの樹脂材料は、Ｂステージの状態であり、
本接着する前記工程では、前記加熱により、前記プリプレグの樹脂材料をＣステージまで硬化する硬化体の製造方法。

【請求項6】

請求項１乃至５のいずれかに記載の硬化体の製造方法において、
本接着する前記工程では、当該硬化体における前記樹脂材料のガラス転移点未満の温度で、前記積層体を加熱する硬化体の製造方法。

【請求項7】

請求項１乃至６のいずれかに記載の硬化体の製造方法において、
前記シートは、金属箔あるいは金属箔付樹脂基板である硬化体の製造方法。

【請求項8】

請求項１乃至７のいずれかに記載の硬化体の製造方法において、
積層体を用意する前記工程では、
前記樹脂材料で構成された樹脂層とこの樹脂層に設けられた前記シートとを有するシート材の前記樹脂層を、前記繊維基材の少なくとも一方の面に当接させて、前記樹脂層を前記繊維基材に含浸させて前記積層体を構成する硬化体の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、硬化体の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、プリント配線板等には、プリプレグの表面に、銅箔等の金属箔を設けた積層板が使用されている。
このような積層板は、以下のようにして製造されている（たとえば、特許文献１参照）。
シート状の素材に樹脂組成物を含浸させた塗工布に対して、金属箔を仮接着させる。具体的には、一対のロール間に、塗工布と、金属箔とを供給し、仮接着している。
その後、仮接着した塗工布と金属箔とを、一対の熱板間に配置して、熱板で挟圧して本接着している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７−１３６８３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような積層板は、プリント配線板に組み込まれることとなる。そして、プリント配線板には、半導体素子等が搭載され、プリント配線板はリフロー等の工程で加熱されることとなる。本発明者らが検討した結果、上述した製造方法で製造した積層板を使用してプリント配線板を製造した場合、リフロー等の加熱工程前後において、寸法変動が大きくなることがわかった。これは、以下の理由によるものと推測される。
積層板の製造時に、塗工布と金属箔とを一対の熱板で挟圧して本接着している。塗工布と金属箔とが挟圧されて加熱されることで、塗工布は、引っ張られた状態で硬化することとなる。従って、積層体には内部に引っ張り方向の残留応力が存在している。リフロー等の加熱を行なった際、積層体が加熱され、塗工布内部の樹脂組成物がやわらかくなり、塗工布内部の引っ張り応力が緩和される。引っ張り応力が緩和されると、樹脂組成物は収縮しやすくなる。そのため、積層板は、リフロー後において収縮することとなり、積層板に寸法変動が生じる。積層板に寸法変動が生じることで、プリント配線板自体にも、寸法変動が起こる。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明は、以上のような知見に基づいて発案されたものである。
本発明によれば、繊維基材に熱硬化性の樹脂材料を含浸させたプリプレグと、このプリプレグの表面および裏面のうちの少なくとも一方の面に仮接着されたシートとを備える積層体を用意する工程と、前記積層体を加圧せずに、加熱して前記熱硬化性の樹脂材料の硬化を進行させて、前記シートと前記プリプレグとを本接着する工程とを含む硬化体の製造方法であって、積層体を用意する前記工程では、長尺状の前記繊維基材に対して、前記樹脂材料を含浸させて長尺の前記プリプレグを得るとともに、前記樹脂材料を加熱して硬化を進行させて、プリプレグの表裏面のうち少なくとも一方の面に長尺のシートを仮接着し、長尺の前記プリプレグと前記長尺のシートとを有する長尺の前記積層体を用意し、この積層体を所定の寸法に裁断し、本接着する前記工程では、裁断された前記積層体を治具に吊り下げた状態で、加圧を行なわずに、加熱する、硬化体の製造方法が提供される。
また、本発明によれば、繊維基材に熱硬化性の樹脂材料を含浸させたプリプレグと、このプリプレグの表面および裏面のうちの少なくとも一方の面に仮接着されたシートとを備える積層体を用意する工程と、前記積層体を加圧せずに、加熱して前記熱硬化性の樹脂材料の硬化を進行させて、前記シートと前記プリプレグとを本接着する工程とを含む硬化体の製造方法であって、積層体を用意する前記工程では、長尺状の前記繊維基材に対して、前記樹脂材料を含浸させて長尺の前記プリプレグを得るとともに、前記樹脂材料を加熱して硬化を進行させて、プリプレグの表裏面のうち少なくとも一方の面に長尺のシートを仮接着し、長尺の前記プリプレグと前記長尺のシートとを有する長尺の前記積層体を用意し、この積層体を所定の寸法に裁断し、本接着する前記工程では、裁断された前記積層体を水平方向に移動するコンベアに搭載し、コンベアで前記積層体を搬送しながら、加圧を行なわずに、加熱する、硬化体の製造方法が提供される。

【0006】

ここで、シートとしては、金属箔、樹脂シート等のいずれかを使用できる。
また、積層体を加圧せずに加熱するとは、大気圧を超える圧力が外部から積層体にかからない状態で積層体の加熱を行なうことを意味する。

【0007】

この発明によれば、シートとプリプレグとを本接着する際に、シートとプリプレグとの積層体を加圧せずに、加熱して熱硬化性の樹脂層の硬化を進行させている。
これにより、本接着時にプリプレグが加圧されないため、プリプレグ内部に応力が発生しにくくなり、硬化体内部に発生する残留応力を低減できる。
このような硬化体は、加熱した場合であっても、加熱前後で寸法変動が生じにくく、信頼性の高い硬化体となる。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、寸法変動が生じにくい硬化体を製造できる硬化体の製造方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施形態にかかる積層シートの断面図である。

【図2】積層シート製造装置の一部を示す模式図である。

【図3】積層シート製造装置の一部の積層シート搬送方向に沿った断面図である。

【図4】図３中のＡ−Ａ線断面図である。

【図5】図３中のＢ−Ｂ線断面図である。

【図6】図３中の一点鎖線で囲まれた領域［Ｃ］の拡大図である。

【図7】第二の加熱手段を示す図である。

【図8】積層シート製造装置の一部を示す模式図である。

【図9】積層シート製造装置の一部を示す模式図である。

【図10】図３のＤ-Ｄ方向の断面図である。

【図11】実施例および比較例の結果を示す図であり、硬化体のＴＤ方向の寸法変化率を示す図である。

【図12】実施例および比較例の結果を示す図であり、硬化体のＭＤ方向の寸法変化率を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同一符号を付し、その詳細な説明は重複しないように適宜省略される。
<積層シート>
まず、積層シート４０Ｂについて、図１を参照しつつ説明する。

【0011】

図１に示す積層シート４０Ｂは、薄板状（平板状）の繊維基材（基材）２と、繊維基材２の一方の面（上面）側に位置し、固形または半固形の第１の樹脂組成物で構成される第１樹脂層（樹脂層）３と、繊維基材２の他方の面（下面）側に位置し、固形または半固形の第２の樹脂組成物で構成される第２樹脂層（樹脂層）４と、第１樹脂層３および第２樹脂層４上にそれぞれ形成された金属層１２とを有する。
なお、積層シート４０Ｂにおいて、各樹脂層３，４は完全硬化しており、Ｃステージ状態である。
この積層シート４０Ｂは、多層プリント配線板（回路基板）に使用されるものであり、コア材として使用されるものである。積層シート４０Ｂの金属層を選択的に除去して回路層を形成し、さらに、この積層シート４０Ｂの表裏面に、プリプレグと回路層とを交互に積層することで、多層プリント配線板（回路基板）が得られる。

【0012】

繊維基材２は、積層シート４０Ｂの機械的強度を向上する機能を有する。
この繊維基材２としては、例えば、ガラス織布、ガラス不織布等のガラス繊維基材、ポリアミド樹脂繊維、芳香族ポリアミド樹脂繊維や全芳香族ポリアミド樹脂繊維等のアラミド繊維等のポリアミド系樹脂繊維、ポリエステル樹脂繊維、芳香族ポリエステル樹脂繊維、全芳香族ポリエステル樹脂繊維等のポリエステル系樹脂繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール、ポリイミド樹脂繊維、フッ素樹脂繊維等を主成分とする織布または不織布で構成される合成繊維基材、クラフト紙、コットンリンター紙、リンターとクラフトパルプの混抄紙等を主成分とする紙繊維基材等の有機繊維基材等の繊維基材等が挙げられる。
なお、繊維基材は、上述した繊維のいずれか１種を使用してもよいし、２種以上を使用したものであってもよい。

【0013】

これらの中でも、繊維基材２は、ガラス繊維基材であるのが好ましい。かかるガラス繊維基材を用いることにより、積層シート４０Ｂの機械的強度をより向上することができる。また、積層シート４０Ｂの熱膨張係数を小さくすることもできるという効果もある。

【0014】

このようなガラス繊維基材を構成するガラスとしては、例えば、Ｅガラス、Ｃガラス、Ａガラス、Ｓガラス、Ｄガラス、ＮＥガラス、Ｔガラス、Ｈガラス、Ｑガラス、石英ガラス等のいずれかが挙げられる。これらの中でも、ガラスは、Ｓガラス、Ｔガラス、石英ガラスまたはＱガラスであるのが好ましい。これにより、ガラス繊維基材の熱膨張係数を比較的小さくすることができ、このため、積層シート４０Ｂをその熱膨張係数ができる限り小さいものとすることができる。

【0015】

繊維基材２の平均厚さＴは、特に限定されないが、１５０μｍ以下であるのが好ましく、１００μｍ以下であるのがより好ましく、１０〜５０μｍ程度であるのがさらに好ましい。かかる厚さの繊維基材２を用いることにより、積層シート４０Ｂの機械的強度を確保しつつ、その薄型化を図ることができる。さらには、積層シート４０Ｂの加工性・寸法安定性を向上することもできる。

【0016】

この繊維基材２の一方の面側には、第１樹脂層３が設けられ、また、他方の面側には、第２樹脂層４が設けられている。また、第１樹脂層３は、第１の樹脂組成物で構成され、一方、第２樹脂層４は、第２の樹脂組成物で構成されている。第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とは同じ組成物であってもよく、異なるものであってもよい。本実施形態では同じ組成物とする。

【0017】

本実施形態では、第１樹脂層３および第２樹脂層４上にそれぞれ金属層１２が形成されている。この金属層１２は、例えばエッチングやレーザ加工を施すことにより、配線部（導体パターン）となる。このため、第１の樹脂組成物、第２の樹脂組成物は、金属との密着性に優れるような組成に設定されている。

【0018】

図１に示すように、本実施形態では、繊維基材２の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物（第１樹脂層３）が含浸され（以下この部分を「第１の含浸部３１」と言う）、繊維基材２の第１の樹脂組成物が含浸されていない残り部分に、第２の樹脂組成物（第２樹脂層４）が含浸されている（以下この部分を「第２の含浸部４１」と言う）。これにより、第１樹脂層３の一部である第１の含浸部３１と第２樹脂層４の一部である第２の含浸部４１とが繊維基材２内に位置する。そして、繊維基材２内において、第１の含浸部３１（第１樹脂層３の下面）と第２の含浸部４１（第２樹脂層４の上面）とが接触している。換言すれば、第１の樹脂組成物が、繊維基材２の上面側から、繊維基材２に含浸され、第２の樹脂組成物が、繊維基材２の下面側から、繊維基材２に含浸され、これらの樹脂組成物で繊維基材２内の空隙が充填されている。
なお、第１樹脂層３のうち、繊維基材２に含浸されていない領域は、非含浸部３２であり、第２樹脂層４のうち、繊維基材２に含浸されていない領域は、非含浸部４２である。
本実施形態では、第１の含浸部３１の厚みと、第２の含浸部４１の厚みは等しい。
さらに、第１樹脂層３の第１の含浸部３１を除く部分（第１の非含浸部３２）の厚みと、第２樹脂層４の第２の含浸部４１を除く部分（第２の非含浸部４２）の厚みとは等しい。第１の非含浸部３２の厚み、第２の非含浸部４２の厚みは、たとえば、２〜２０μｍである。なお、第１の含浸部３１の厚みと、第２の含浸部４１の厚みは異なっていてもよく、また、第１の非含浸部３２の厚みと、第２の非含浸部４２の厚みとが異なっていてもよい。
なお、符号２０は、第１の含浸部３１と第２の含浸部４１との境界線を模式的に示している。

【0019】

図２に示すように、第１樹脂層３は、金属層１２が積層された状態で、長尺の薄板状の第１シート５ａとして積層シート製造装置３０の製造装置３０Ａに供給される。第２樹脂層４も、金属層１２が積層された状態で、長尺の薄板状の第２シート５ｂとして積層シート製造装置３０に供給される。
なお、第１シート５ａの第１樹脂層３の金属層１２と反対側の面には、第１樹脂層３を支持するための支持基体５１が設けられている（図３参照）。同様に、第２シート５ｂの第２樹脂層４の金属層１２と反対側の面には、第２樹脂層４を支持するための支持基体５１が設けられている（図３参照）。なお、図２においては、見易さを考慮して、支持基体５１の図示は省略している。
支持基体５１としては、例えば、樹脂フィルムが好ましい。樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、例えば、フッ素系樹脂、ポリイミド樹脂、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂等のいずれかが挙げられる。そして、樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、これらの中でも、耐熱性に優れ、安価であることから、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。また、樹脂フィルムは、その樹脂フィルムの樹脂層側の面に剥離可能な処理が施されたものであることが好ましい。これにより、後述するように支持基体５１と樹脂層とを容易に分離することができる。

【0020】

支持基体５１の厚さは、特に限定されないが、８〜７０μｍ程度であるのが好ましく、１２〜４０μｍ程度であるのがより好ましい。
なお、シート５ａ、５ｂにおける各樹脂層３,４の厚みは、たとえば、３〜６０μｍ、好ましくは５〜３０μｍである。

【0021】

金属層１２は、前述したように配線部に加工される部分であり、導電性を有する金属材料で構成された、例えば、銅箔あるいはアルミ箔等の金属箔を、対応する樹脂層に接合すること、銅、あるいはアルミニウムを、対応する樹脂層の表面にメッキすること等により形成される。また、本実施形態では、第１樹脂層３や第２樹脂層４は、前述したような特性を有するため、高い密着性で金属層１２を保持することができるとともに、高い加工精度で金属層１２を配線部に形成することができるようになっている。
この金属層１２の厚みは、たとえば、１〜７０μｍである。

【0022】

さて、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物は、次のような組成とするのが好ましい。

【0023】

各樹脂組成物は、例えば、熱硬化性樹脂を含み、必要に応じて、硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）および無機充填材のうちの少なくとも１種を含んで構成される。

【0024】

熱硬化性樹脂としては、例えば、ユリア（尿素）樹脂、メラミン樹脂、マレイミド化合物、ポリウレタン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、ビスアリルナジイミド化合物、ビニルベンジル樹脂、ビニルベンジルエーテル樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、シアネート樹脂、エポキシ樹脂等のいずれか１種以上を使用することができる。これらの中でも、熱硬化性樹脂は、ガラス転移温度が２００℃以上になる組合せが好ましい。例えば、スピロ環含有、複素環式、トリメチロール型、ビフェニル型、ナフタレン型、アントラセン型、ノボラック型の２または３官能以上のエポキシ樹脂、シアネート樹脂（シアネート樹脂のプレポリマーを含む）、マレイミド化合物、ベンゾシクロブテン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂のいずれかを用いるのが好ましい。

【0025】

熱硬化性樹脂を用いることにより、さらに、後述する基板を作製した後において、硬化後の第１樹脂層３中において架橋密度が増加するので、硬化後の第１樹脂層３の耐熱性の向上を図ることができる。

【0026】

前記熱硬化性樹脂と充填材を併用することにより、積層シート４０Ｂの熱膨張係数を小さくすること（以下、「低熱膨張化」と言うこともある）ができる。さらに、積層シート４０Ｂの電気特性（低誘電率、低誘電正接）等の向上を図ることもできる。

【0027】

前記エポキシ樹脂としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アリールアルキレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂としては、これらのうち、１種以上を使用できる。

【0028】

これらの中でも、エポキシ樹脂は、ナフタレン型あるいは、アリールアルキレン型エポキシ樹脂であるのが好ましい。ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂を用いることにより、硬化後の樹脂層３、４（得られる基板）において、吸湿半田耐熱性（吸湿後の半田耐熱性）および難燃性を向上させることができる。ナフタレン型エポキシとしては、ＤＩＣ（株）製のＨＰ−４７００、ＨＰ−４７７０、ＨＰ−４０３２Ｄ、ＨＰ−５０００、ＨＰ-６０００、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられ、アリールアルキレン型エポキシ樹脂としては、日本化薬（株）製のＮＣ−３０００、ＮＣ−３０００Ｌ、ＮＣ−３０００−ＦＨ、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられる。アリールアルキレン型エポキシ樹脂とは、繰り返し単位中に芳香族基とメチレン等のアルキレン基の組合せが一つ以上含むエポキシ樹脂のことをいい、耐熱性、難燃性、および機械的強度が優れる。また、ハロゲンフリーの配線板に対応する上では、実質的にハロゲンを含まないエポキシ樹脂を用いることが好ましい。

【0029】

前記シアネート樹脂は、例えば、ハロゲン化シアン化合物とフェノール類やナフトール類とを反応させ、必要に応じて加熱等の方法でプレポリマー化することにより得ることができる。また、このようにして調製された市販品を用いることもできる。

【0030】

前記シアネート樹脂は、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂、及びナフトールアラルキル型シアネート樹脂等を挙げることができる。これらのうち、１種以上を使用できる。

【0031】

また、前記シアネート樹脂は、分子内に２個以上のシアネート基（−Ｏ−ＣＮ）を有することが好ましい。例えば、２，２'−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、１，１'−ビス（４−シアナトフェニル）エタン、ビス（４−シアナト−３，５−ジメチルフェニル）メタン、１，３−ビス（４−シアナトフェニル−１−（１−メチルエチリデン））ベンゼン、ビス（４−シアナトフェニル）チオエーテル、ビス（４−シアナトフェニル）エーテル、１，１，１−トリス（４−シアナトフェニル）エタン、トリス（４−シアナトフェニル）ホスファイト、ビス（４−シアナトフェニル）スルホン、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）プロパン、１，３−、１，４−、１，６−、１，８−、２，６−又は２，７−ジシアナトナフタレン、１，３，６−トリシアナトナフタレン、４，４−ジシアナトビフェニル、及びフェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、ジシクロペンタジエン型等の多価フェノール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂、ナフトールアラルキル型の多価ナフトール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂等のいずれかを使用することができる。これらの中で、フェノールノボラック型シアネート樹脂が難燃性、及び低熱膨張性に優れ、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、及びジシクロペンタジエン型シアネート樹脂が架橋密度の制御、及び耐湿信頼性に優れている。特に、フェノールノボラック型シアネート樹脂が低熱膨張性の点から好ましい。また、更に他のシアネート樹脂を１種類あるいは２種類以上併用したりすることもでき、特に限定されない。

【0032】

前記シアネート樹脂は、単独で用いてもよいし、重量平均分子量の異なるシアネート樹脂を併用したり、前記シアネート樹脂とそのプレポリマーとを併用したりすることもできる。

【0033】

これらシアネート樹脂を用いることにより、効果的に耐熱性、及び難燃性を発現させことができる。

【0034】

また、前記硬化性樹脂は、２種以上を併用して用いることもできる。例えば、硬化性樹脂として前記エポキシ樹脂を用いる場合、より難燃性を向上させる上で、前記シアネート樹脂を併用することができ、また、より耐熱性を向上させる上で、前記マレイミド化合物を併用することができる。さらに、硬化性樹脂として、前記シアネート樹脂を用いる場合は、より耐熱性や難燃性などを向上させる上で、前記エポキシ樹脂を併用することができる。

【0035】

硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物全体の５〜７０質量％であるのが好ましく、１０〜５０質量％であるのがより好ましい。硬化性樹脂の含有量が前記下限値未満であると、硬化性樹脂の種類等によっては、樹脂組成物のワニスの粘度が低くなりすぎ、積層シート４０Ｂを形成するのが困難となる場合がある。一方、硬化性樹脂の含有量が前記上限値を超えると、他の成分の量が少なくなり過ぎるため、硬化性樹脂の種類等によっては、積層シート４０Ｂの機械的強度が低下する場合がある。

【0036】

また、樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。これにより、プリプレグを薄型化（例えば、厚さ３５μｍ以下）しても、機械的強度に優れる基板を得ることができる。さらに、基板の低熱膨張化を向上することもできる。

【0037】

無機充填材としては、例えば、タルク、アルミナ、ガラス、溶融シリカのようなシリカ、マイカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等を挙げることができる。また、機充填材の使用目的に応じて、破砕状、球状のものが適宜選択される。これらの中でも、低熱膨張性に優れる観点からは、無機充填材は、シリカであるのが好ましく、溶融シリカ（特に球状溶融シリカ）であるのがより好ましい。

【0038】

また、樹脂組成物は、以上に説明した成分のほか、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて他の成分を配合することができる。他の成分としては、例えば、オルベン、ベントン等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤又はレベリング剤、カップリング剤等の密着性付与剤、難燃剤、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック、アントラキノン類等の着色剤等を挙げることができる。

【0039】

<積層シート製造装置>
次に、上述した積層シート４０Ｂを製造するための製造装置３０について説明する。
図２〜１０を参照して、製造装置３０の概要について説明する。
この製造装置３０は、樹脂層３，４と繊維基材２とで構成されるプリプレグの表面および裏面の少なくとも一方の面に、シート（金属層）１２が仮接着された積層体（積層シート）４０Ａを製造する装置３０Ａ（図２参照）と、積層シート４０Ａを裁断する裁断装置３０Ｂ（図８参照）と、裁断された積層シート４０Ａを硬化させる硬化装置３０Ｃ（図９参照）とを備える。

【0040】

積層シート製造装置３０について詳細に説明する。
図２，３に示すように、積層シート製造装置３０は、積層シート４０Ａを製造する装置３０Ａを有する。
この装置３０Ａは、熱硬化性の樹脂層（たとえば、樹脂層３）とこの樹脂層に設けられた金属層１２とを備えるシート（たとえば、シート５ａ）の前記樹脂層を、繊維基材２の表面および裏面の少なくとも一方の面に当接させて、前記シートと前記繊維基材２とを積層して積層シート４０Ａを得る積層手段７０と、
積層シート４０Ａを加熱して繊維基材２内部への前記樹脂層の含浸を進行させる第一の加熱手段６０と、積層シート４０Ａを加熱して、繊維基材２内部への前記樹脂層の含浸を進行させる第二の加熱手段９０とを含む。
なお、積層シート４０Ａは、その長手方向に沿って搬送される。

【0041】

図３に示すように、積層手段７０は、ハウジング７５と、ハウジング７５内に収納された第１のローラ７１ａ、７１ｂ、第２のローラ７２ａ、７２ｂおよび第３のローラ７３ａ、７３ｂと、ハウジング７５内を減圧する減圧手段７６とを備えている。以下、各部の構成について説明する。

【0042】

図４に示すように、ハウジング７５は、間隔をおいて互いに対向配置された一対の壁部７５１を有する、例えば箱状をなすものである。壁部７５１の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、鉄、ステンレス鋼、アルミニウム等の各種金属、またはこれらを含む合金が挙げられる。また、このような金属材料の他に、例えば、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン等のような樹脂材料も壁部７５１の構成材料として用いることができる。
ここで、壁部７５１は、平板状のものであることが好ましいが、これに限られるものではない。第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとで、シート搬送方向に沿った両端面が開口した筒状体が構成される。壁部７５１は、この筒状体の前記開口を閉鎖するものであればよい。なお、一対の壁部７５１は、各ローラ７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７２ｂ、７３ａ、７３ｂが架け渡されるものであることが特に好ましい。

【0043】

ハウジング７５の２つの壁部７５１間には、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとがそれぞれ架設されている。これらのローラは、回転軸が互いに平行となっている。そして、これらのローラは、例えば、多数の歯車が配置された歯車機構（図示せず）を介してモータ（図示せず）と連結されている。そして、このモータが作動すると、その動力が歯車機構を介して伝達され、各ローラがそれぞれ回転することとなる。言うまでもないが、各ローラの駆動は歯車機構に限定されず、必要に応じ、各ローラに対して個別にモータを接続して駆動させてもよい。

【0044】

なお、これらのローラは、太さが異なること以外は同一の構成である。以下、第１のローラ７１ａの構成について代表的に説明するが、他のローラも同様の構造である。

【0045】

図４に示すように、第１のローラ７１ａは、外形形状が円柱状をなし、その長手方向の中間部に位置する本体部７１１と、本体部７１１の両端側にそれぞれ位置する軸７１２とで構成されている。各軸７１２は、それぞれ、その外径が本体部７１１の外径よりも縮径している。

【0046】

この第１のローラ７１ａは、各軸７１２がそれぞれ壁部７５１に設置された軸受け（ベアリング）７７１に挿入されており、当該軸受け７７１により回転可能に壁部７５１に支持されている。

【0047】

なお、第１のローラ７１ａは、本実施形態では、中実体のものであるが、これに限定されず、例えば、中空体のものであってもよい。中空体を用いる場合は、必要に応じて各ローラに熱媒を循環させてローラを加熱することができるためさらに好ましい。この場合の熱媒は、特に限定されないが例えば水、油等が挙げられる。

【0048】

また、第１のローラ７１ａの構成材料としては、特に限定されず、例えば、壁部７５１の構成材料で挙げた材料を用いることができる。第１のローラ７１ａの本体部７１１の外周面７１１Ａには、外周面７１１Ａが摩耗するのを防止する処理が施されていてもよい。この処理としては、例えば、外周面７１１ＡにＤＬＣ（Diamond Like Carbon）の被膜を形成する方法が挙げられる。また、第１のローラ７１ａの構成材料としては、壁部７５１の構成材料で挙げた材料の他に、例えば、ニトリルゴム、ブチルゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料も用いることができる。

【0049】

第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとは、水平方向に互いに平行に配置され、本体部７１１の外周面７１１Ａ同士が、繊維基材２を介して、互いに当接し（圧接し）合っている（図３参照）。そして、第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとが回転すると、これらの間で長尺状の繊維基材２を図３中の左側から右側へ搬送することができる。これにより、シート状の長尺の繊維基材２が後述する空間Ｓ内部に搬送されることとなる。

【0050】

第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとは、第１のローラ７１ａ、７１ｂと異なる位置、すなわち、第１のローラ７１ａ、７１ｂに対し繊維基材２の搬送方向前方（下流側）に配置されている。また、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとは、水平方向に互いに平行に配置され、本体部７１１の外周面７１１Ａ同士が、繊維基材２、第１樹脂層３および第２樹脂層４を介して、互いに当接し（圧接し）合っている。そして、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとが回転すると、これらの間で繊維基材２に第１樹脂層３と第２樹脂層４とをそれぞれ圧着することができる（図３参照）。この場合、前述したように、第２のローラ７２ａ、７２ｂに熱媒を循環させることにより加熱圧着させることが可能となる。これにより、繊維基材２に対して第１樹脂層３と第２樹脂層４の密着性が向上する。
また、第２のローラ７２ａ、７２ｂを加熱ローラとすることで、繊維基材２に対して第１樹脂層３と第２樹脂層４とを含浸させやすくすることができる。なお、第２のローラ７２ａ、７２ｂの温度は、樹脂層３，４の溶融温度よりも高いことが好ましい。
第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、積層シート４０Ａは後述する空間Ｓ外部に送り出される。ここで、第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、積層シート４０Ａは大気圧以上の雰囲気下に送り出されることが好ましい。本実施形態では、第２のローラ７２ａ、７２ｂのシート搬送方向下流側は大気圧であり、第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、積層シート４０Ａは大気圧下に搬送されることとなる。

【0051】

第３のローラ７３ａ、７３ｂは、繊維基材２を挟んで配置されている。第３のローラ７３ａは、繊維基材２の一方の面側（表面側）に配置された第１のローラ７１ａのシート搬送方向下流側であり、繊維基材２の一方の面側（表面側）に配置された第２のローラ７２ａのシート搬送方向上流側に配置されている。
第３のローラ７３ｂは、繊維基材２の他方の面側（裏面側）に配置された第１のローラ７１ｂのシート搬送方向下流側であり、繊維基材２の他方の面側（裏面側）に配置された第２のローラ７２ｂのシート搬送方向上流側に配置されている。
第３のローラ７３ａと第３のローラ７３ｂとは、互いに上下方向（鉛直方向）に離間し、水平方向には平行に対向配置されている。そして、第３のローラ７３ａが回転すると、第１シート５ａの第１樹脂層３から支持基体５１を剥離する（巻き取る）ことができる（図３参照）。これと同様に、第３のローラ７３ｂが回転すると、第２シート５ｂの第２樹脂層４から支持基体５１を剥離することができる（図３参照）。

【0052】

さらに、第３のローラ７３ａは、その本体部７１１の外周面７１１Ａが、第１のローラ７１ａの本体部７１１の外周面７１１Ａと、第２のローラ７２ａの本体部７１１の外周面７１１Ａとにそれぞれ当接している。一方、第３のローラ７３ｂは、その本体部７１１の外周面７１１Ａが、第１のローラ７１ｂの本体部７１１の外周面７１１Ａと、第２のローラ７２ｂの本体部７１１の外周面７１１Ａとにそれぞれ当接している。このような配置により、製造装置３０Ａでは、ハウジング７５の各壁部７５１と、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとで囲まれた空間Ｓが形成される。空間Ｓは、減圧手段７６の作動により減圧される（図３参照）。

【0053】

再度、図４に示すように、第１のローラ７１ａおよび７１ｂ（第２のローラ７２ａおよび７２ｂ、第３のローラ７３ａおよび７３ｂについても同様）のそれぞれの本体部７１１の両端と、各壁部７５１との間には、シール材７７が介在している。各シール材７７は、それぞれ、リング状の弾性体で構成され、壁部７５１に形成されたリング状の凹部７５１Ａに圧縮状態で挿入されている。これにより、空間Ｓの気密性が確実に維持され、よって、減圧手段７６で空間Ｓを減圧した際、その減圧が迅速かつ確実に行なわれる。

【0054】

シール材７７の構成材料としては、特に限定されず、例えば、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、アクリルゴム、エチレン−プロピレンゴム、ヒドリンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料（特に加硫処理したもの）や、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。

【0055】

図３に示すように、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとは、互いに本体部７１１の外径（大きさ）が異なっている。本実施形態では、その大小関係は、（第３のローラ）<（第１のローラ）<（第２のローラ）となっている。また、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとの各ローラの大きさは任意であるが、例えばローラに可撓性を有するシート材を沿わせたときに当該シート材に皺が生じない程度に、できる限り小さいのが好ましい。具体的には、直径が７５〜３００ｍｍであるのが好ましく、１００〜２００ｍｍであるのがより好ましい。

【0056】

また、第１のローラ７１ａと第２のローラ７２ａと第３のローラ７３ａとの中心同士を結んで形成された三角形を想定したとき、当該三角形の第３のローラ７３ａの中心を頂点とする角度は、６０°を超え、１８０°未満であるのが好ましい。第１のローラ７１ｂと第２のローラ７２ｂと第３のローラ７３ｂとの中心同士を結んで形成された三角形についても同様である。

【0057】

図５に示すように、減圧手段７６は、ポンプ７６１と、ポンプ７６１と各壁部７５１にそれぞれ形成された開口部７５１Ｂとを接続する接続管７６２とを有している。ポンプ７６１は、ハウジング７５の外側に設置され、例えば真空ポンプが適用される。
減圧手段７６は、ローラで囲まれた空間Ｓ内部を、空間Ｓ外部の領域よりも低い気圧とする。減圧手段７６を駆動することで、第１のローラ７１ａ、７１ｂよりもシート搬送方向上流側の領域、第２のローラ７２ａ、７２ｂよりも、シート搬送方向下流側の領域よりも空間Ｓの気圧は低くなる。第１のローラ７１ａ、７１ｂを境界とし、この第１のローラ７１ａ、７１ｂよりもシート搬送方向上流側の領域は、大気圧以上（本実施形態では、大気圧下）である。
同様に、第２のローラ７２ａ、７２ｂを境界とし、第２のローラ７２ａ、７２ｂよりも、シート搬送方向下流側の領域は、大気圧以上（本実施形態では、大気圧下）である。

【0058】

各接続管７６２は、それぞれ、例えばステンレス鋼等のような金属材料で構成された硬質管である。

【0059】

各開口部７５１Ｂは、それぞれ、空間Ｓに向かって開口し、空間Ｓに連通している。なお、図５に示す構成では双方の壁部７５１にそれぞれ開口部７５１Ｂが形成されているが、これに限定されず、例えば、一方の壁部７５１にのみ開口部７５１Ｂが形成されていてもよい。

【0060】

そして、ポンプ７６１を作動させることにより、各開口部７５１Ｂから空間Ｓ内の気体（空気Ｇ）を吸引することができ、よって、空間Ｓを減圧することができる。また、これにより、隣接するローラ同士が互いに近づこうとする力が生じてさらに圧接し合い、よって、空間Ｓの気密性がより確実に維持される。

【0061】

なお、図１０に、図３のＤ-Ｄ方向の繊維基材２、樹脂層３，４の断面図を示す。繊維基材２の搬送方向と直交する方向の幅寸法は、第１樹脂層３および第２樹脂層４の搬送方向と直交する方向の幅寸法よりも小さい。
前述したように、一対の第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、繊維基材２、第１樹脂層３および第２樹脂層４が圧着される。このとき、第１樹脂層３の幅方向の一方の端部と、第２樹脂層４の幅方向の一方の端部とが溶融して、圧着（熱圧着）されるとともに、第１樹脂層３の幅方向の他方の端部と、第２樹脂層４の幅方向の他方の端部とが溶融して、圧着（熱圧着）される。これにより、樹脂層３，４の端部同士が直接接合されて、接合部が形成され、繊維基材２が第１樹脂層３および第２樹脂層４内に内包される形となる。すなわち、積層シート４０Ａの幅方向の両端部は密閉された状態となる。
繊維基材２は、複数の孔が形成された多孔質材である。繊維基材２に形成された孔は、他の孔を介して、シート搬送方向に連通し、さらに、繊維基材２表裏面に連通する。そのため、空間Ｓ外部に位置する繊維基材２であっても、その内部は、空間Ｓに連通することとなる。空間Ｓ外部に位置する繊維基材２内部の気体（空気）は、繊維基材２内部の孔および空間Ｓを介して、減圧手段により吸引されることとなる。

【0062】

次に、図２，３を参照して、積層手段７０のシート搬送方向下流側に配置される第一の加熱手段６０について説明する。
積層手段７０のローラ７２ａ、７２ｂから、金属層１２、樹脂層４、繊維基材２、樹脂層３、金属層１２で構成される積層シート４０Ａが連続的に送出される。ここで、ローラ７２ａ、７２ｂにより、樹脂層３，４は繊維基材２に圧着されるが、このとき、樹脂層３，４の一部が、繊維基材２内部に含浸される。ただし、ローラ７２ａ、７２ｂにより、繊維基材２内部が完全に樹脂層３,４で埋まってしまうことはない。
第一の加熱手段６０には、連続的に積層シート４０Ａが供給され、積層シート４０Ａを加熱して繊維基材２内部への樹脂層３，４の含浸をさらに、進行させる。
第一の加熱手段６０は、たとえば、少なくとも一対の加熱ローラ６１ａ、６１ｂを備える。本実施形態では、第一の加熱手段６０は複数対の加熱ローラ６１ａ、６１ｂを有している。加熱ローラ６１ａ、６１ｂ間に、積層シート４０Ａが供給され、積層シート４０Ａは、加熱ローラ６１ａ、６１ｂで挟圧されるとともに、加熱されることとなる。
加熱ローラ６１ａ、６１ｂは、回転することで、積層シート４０Ａを搬送する機能も有する。
なお、ここでは、第一の加熱手段６０は、加熱ローラを備えるとしたが、これに限らず、第一の加熱手段は、積層シートの搬送方向に沿って延在するヒータ等の加熱部を有していてもよい。
第一の加熱手段６０により、積層シート４０Ａは搬送されながら、加熱されることとなる。
第一の加熱手段６０により、積層シート４０Ａを加熱する際の加熱温度は、後述する第二の加熱手段９０による加熱温度よりも低いことが好ましい。また、積層シート４０Ａを加熱する際の加熱温度は、ローラ７２ａ、７２ｂによる加熱温度よりも低いことが好ましい。たとえば、第一の加熱手段６０による積層シート４０Ａの加熱温度は、８０〜１８０℃であることが好ましく、第二の加熱手段９０による積層シート４０Ａの加熱温度は、８０〜２００℃であることが好ましい。第一の加熱手段６０では、主として樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸を進行させる。第二の加熱手段９０での加熱温度よりも低い温度で、第一の加熱手段６０により、積層シート４０Ａを加熱することで、樹脂層３，４の硬化が進行しすぎることを防止するとともに含浸を進行させている。
一方で、第二の加熱手段９０では、第一の加熱手段６０よりも高い温度で加熱することで、樹脂層３，４の硬化を進行させて、硬化の程度を調整し、所望の硬化率とする。ただし、第二の加熱手段９０において、樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸を進行させてもよい。

【0063】

さらには、第一の加熱手段６０により、積層シート４０Ａを加熱する際に、積層シート４０Ａには、搬送方向に所定の張力が加わっていることが好ましい。ただし、第一の加熱手段６０により、積層シート４０Ａを加熱する際に、積層シート４０Ａにかかる張力は、第二の加熱手段９０により、積層シート４０Ａを加熱する際に、積層シート４０Ａにかかる張力よりも大きいことが好ましい。第一の加熱手段６０により、積層シート４０Ａを加熱する際に、積層シート４０Ａにかかる張力は、たとえば５０〜５００Ｎであり、第二の加熱手段９０により、積層シート４０Ａを加熱する際に、積層シート４０Ａにかかる張力は１０〜２００Ｎであることが好ましい。
このようにすることで、第一の加熱手段６０で積層シート４０Ａの加熱を行ない、繊維基材２内部へ樹脂層３，４を十分に含浸させることができる。
第一の加熱手段６０のシート搬送方向下流側には、第一の加熱手段６０から送出されたローラを後段の第二の加熱手段９０へ搬送するための搬送ローラＲ１が配置されている。

【0064】

さらに、図２に示すように、第一の加熱手段６０の積層シート搬送方向下流側には、第二の加熱手段９０が配置されている。第一の加熱手段６０で加熱された積層シート４０Ａは、第二の加熱手段９０で加熱される。この第二の加熱手段９０は、図２、図７に示すように、縦型加熱炉９１を含んで構成される。本実施形態は、第二の加熱手段９０は、複数の縦型加熱炉９１を備えている。搬送ローラＲ２，３により、縦型加熱炉９１内に連続的に積層シート４０Ａが供給される。一方の縦型加熱炉９１内部では、積層シート４０Ａが、鉛直方向下方側から上方側に向かって搬送される。また、搬送ローラＲ３、Ｒ２により、他方の縦型加熱炉９１内部では、積層シート４０Ａが、鉛直方向上方側から下方側に向かって搬送される。
搬送ローラＲ２，Ｒ３間の距離はたとえば、５ｍ程度である。
各加熱炉９１内部には、積層シート４０Ａをその長手方向に沿って搬送するとともに、積層シート４０Ａを厚み方向から挟圧する少なくとも一対の加圧ローラ９２（本実施形態では複数対の加圧ローラ）が配置されている。
この加圧ローラ９２は内部にヒータが配置されており、積層シート４０Ａを加圧するとともに加熱する。
また、加圧ローラ９２とは別に、加熱炉９１内部にはヒータ等の加熱手段が配置されており、加熱炉９１内部を通過することで、積層シート４０Ａが加熱されることとなる。
なお、本実施形態では、第二の加熱手段９０は、縦型加熱炉９１を備えるとしたが、これに限らず、横型の加熱炉であってもよい。たとえば、エアーにより、積層シート４０Ａを裏面側から支持しながら、横型の加熱炉内を搬送してもよい。
また、繊維基材２の一方の面にのみ、シート５ａあるいはシート５ｂを設ける場合には、加圧ローラ９２はなくてもよく、また、加圧ローラ９２の位置を移動させて、繊維基材２に触れないようにしてもよい。
第二の加熱手段９０のシート搬送方向下流側には、巻き取りローラＲ４が配置されており、巻き取りローラＲ４により、積層シート４０Ａが巻き取られる。
なお、本実施形態では、巻き取りローラＲ４で積層シート４０Ａを巻き取るとしたが、積層シート４０Ａを巻き取らずに、所定の長さに裁断してもよい。
この製造装置３０Ａで製造された積層シート４０Ａの樹脂層３，４はいずれも、半硬化であり、Ｂステージの状態である。この製造装置３０Ａで製造されたプリプレグである積層シート４０Ａでは、繊維基材２内部は、樹脂層３，４により完全に埋め込まれている。ただし、繊維基材２内部が樹脂層３，４に完全に埋め込まれておらず、繊維基材２内部に空隙が形成されていてもよい。

【0065】

次に、図８を参照して、裁断装置３０Ｂについて説明する。
この裁断装置３０Ｂは、積層シート４０Ａの平坦化を行う平坦化手段８１と、積層シート４０Ａを所定の寸法に裁断する裁断手段８２とを備える。
平坦化手段８１は、巻きとりローラから送出される積層シート４０Ａを挟んで配置された一対のローラ８１１であり、積層シート４０Ａの巻き癖をなおし、積層シート４０Ａを平坦化する。平坦化手段８１には、積層シート４０Ａがその長手方向に沿って連続的に供給される。
この平坦化手段８１よりも、積層シート搬送方向下流側には、裁断手段８２が配置されている。この裁断手段８２は、ブレードを有し、積層シート４０Ａを所定の寸法に裁断する。
裁断手段８２で裁断された積層シート４０Ａは、ベルトコンベアＢ１により、載置台Ｄまで搬送される。このようにして裁断された積層シート４０Ａの樹脂層３，４はいずれも、半硬化であり、Ｂステージの状態である。

【0066】

次に、図９を参照して、硬化装置３０Ｃについて説明する。硬化装置３０Ｃは、裁断装置３０Ｂで裁断された積層シート４０Ａの樹脂層３,４の硬化を行い、積層シート４０Ｂとするものである。
図９（Ａ）に示すように、硬化装置３０Ｃは、裁断された積層シート４０Ａを加熱して、硬化させる。このとき、積層シート４０Ａを外部から加圧せずに、積層シート４０Ａを加熱して硬化させる。具体的には、硬化装置３０Ｃは、加熱炉８５と、この加熱炉８５内に配置されたヒータ８６である加熱手段と、積層シート４０Ａをつりさげる治具８７とを備える。
治具８７は、積層シート４０Ａをその表裏面が鉛直方向と平行となるように、積層シート４０Ａをつりさげるためのものである。治具８７により、積層シート４０Ａは、水平方向に延在する支持材８８に取り付けられ、吊り下げられた状態となる。そして、治具８７により、積層シート４０Ａの端部を把持した状態で、積層シート４０Ａの加熱硬化を行う。これにより、積層シート４０Ａは完全硬化（Ｃステージ）し、金属層１２と樹脂層３,４とが本接着されることとなる。これにより積層シート４０Ｂが得られる。
加熱炉８５内には複数の積層シート４０Ａがつりさげられて、複数の積層シート４０Ａの加熱硬化が同時に行われる。なお、この加熱炉８５内から、積層シート４０Ｂを取り出し、冷却をおこなう。冷却も、図９（Ｂ）に示すように、積層シート４０Ｂをその表裏面が鉛直方向と平行となるように、積層シート４０Ｂをつりさげて行うことが好ましい。

【0067】

<製造方法>
次に、積層シート製造装置３０による積層シート４０Ｂの製造方法について説明する。
はじめに、製造方法の概要について説明する。
本実施形態の製造方法は、繊維基材２に対して、熱硬化性の樹脂材料が含浸したプリプレグと、このプリプレグの表面および裏面のうちの少なくとも一方の面に仮接着されたシート（金属層１２）とを備える積層体（積層シート４０Ａ）を用意する工程と、前記積層体を加圧せずに、加熱して前記熱硬化性の樹脂層の硬化を進行させて、前記シートと前記プリプレグとを本接着する工程とを含む。

【0068】

次に製造方法について、詳細に説明する。
はじめに、装置３０Ａにより、積層シート４０Ａを製造する。
まず、シート５ａ、５ｂを用意する。
長尺の金属層１２を用意して、この金属層１２に対し、第１樹脂層３となる樹脂ワニスを塗布する。そして、乾燥装置で乾燥させて、所望の厚みの第１樹脂層３を形成する。
第１樹脂層３は、長尺であり、金属層１２とともに、延在する。
さらに、第１樹脂層３を被覆する支持基体５１を第１樹脂層３にラミネートする。
これにより、長尺のシート５ａが得られる。
同様の方法で、シート５ｂも用意する。長尺の金属層１２を用意して、この金属層１２に対し、第２樹脂層４となる樹脂ワニスを塗布する。そして、乾燥装置で乾燥させて、所望の厚みの第２樹脂層４を形成する。第２樹脂層４は、長尺であり、金属層１２とともに、延在する。さらに、第２樹脂層４を被覆する支持基体５１を第２樹脂層４にラミネートする。
本実施形態では、あらかじめ金属層１２上に第１樹脂層３となる樹脂ワニス（あるいは第２樹脂層４となる樹脂ワニス）を塗布しており、この樹脂ワニスを乾燥させて、第１樹脂層３（第２樹脂層４）を形成している。そのため、金属層１２と、樹脂層とを加圧で張り合わせる場合に比べて、樹脂層と金属層との接着性を高めることができる。

【0069】

次に、第１のローラ７１ａ、７１ｂと、第２のローラ７２ａ、７２ｂと、第３のローラ７３ａ、７３ｂとが回転するのに先立ち、減圧手段７６を作動させ、空間Ｓ内の気体を吸引して、空間Ｓ内を減圧しておく（図３参照）。
空間Ｓ内の気圧は、たとえば、８００Ｐａ以下、１００Ｐａ以上である。

【0070】

図３に示すように、第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとが回転すると、これらのローラ間から繊維基材２が空間Ｓ内に送り出される（連続的に供給される）。

【0071】

また、第２のローラ７２ａと第３のローラ７３ａとが回転すると、これらのローラ間から第１シート５ａが空間Ｓ内に送り出される（連続的に供給される）。
ここで、第１シート５ａは、前述したように、支持基体５１、第１樹脂層３、金属層１２をこの順に積層してなるものである。
この第１シート５ａは、支持基体５１が第３のローラ７３ａの外周面に沿って巻き取られ（引張られ）、これにより、第１樹脂層３から支持基体５１が剥離される。支持基体５１が剥離した第１樹脂層３は、第２のローラ７２ａに沿って徐々に繊維基材２に接近していく。また、剥離された支持基体５１は、第１のローラ７１ａと第３のローラ７３ａとにより、第２のローラ７２ａ、７２ｂとは異なる方向に送出される。具体的には、第１のローラ７１ａと第３のローラ７３ａとの間から外側（空間Ｓ外）に向かって送り出される。また、第１樹脂層３は、Ｂステージの状態であり、固形、半固形、あるいは液体の状態である。

【0072】

また、第２のローラ７２ｂと第３のローラ７３ｂとが回転すると、これらのローラ間から第２シート５ｂが空間Ｓ内に送り出される（連続的に供給される）。ここで、第２シート５ｂは、前述したように、支持基体５１、第２樹脂層４、金属層１２をこの順に積層してなるものである。
この第２シート５ｂは、支持基体５１が第３のローラ７３ｂに巻き取られ、これにより、第２樹脂層４から支持基体５１が剥離される。支持基体５１が剥離した第２樹脂層４は、第２のローラ７２ｂに沿って徐々に繊維基材２に接近していく。また、剥離された支持基体５１は、第１のローラ７１ｂと第３のローラ７３ｂとにより、第２のローラ７２ａ、７２ｂとは異なる方向に送出される。具体的には、第１のローラ７１ｂと第３のローラ７３ｂとの間から外側に向かって送り出される。
また、第２樹脂層４は、Ｂステージの状態であり、固形、半固形、あるいは液体の状態である。

【0073】

このように第１樹脂層３および第２樹脂層４がそれぞれ繊維基材２と圧着される直前（以前）に空間Ｓ内で支持基体５１が剥離することができることにより、当該支持基体５１が各樹脂層の圧着の邪魔になるのを防止することができるとともに、圧着直前まで支持基体５１で各樹脂層を保護することができる。

【0074】

そして、繊維基材２と、第１樹脂層３と、第１樹脂層３に設けられた金属層１２と、第２樹脂層４と、第２樹脂層４に設けられた金属層１２とは、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間を一括して通過することとなる。これらは、その長手方向に沿って搬送される。このとき、図６に示すように、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間の圧接力（当接力）Ｆ１により、第１樹脂層３が上側から繊維基材２に押圧される（押し付けられる）とともに、第２樹脂層４が下側から繊維基材２に押圧される。これにより、積層シート４０Ａが得られる。積層シート４０Ａは、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間から連続的に排出されて、第一の加熱手段６０に供給されることとなる。
なお、ここで、繊維基材２等が連続的に供給される、あるいは排出されるとは、枚葉式のように、繊維基材等が間欠的に供給、あるいは排出されるものを除く趣旨である。たとえば、空間Ｓ内に繊維基材２等が存在する状態と、存在しない状態とが短期間で交互にいれかわるものを除く趣旨である。ただし、必要に応じて、繊維基材２等の搬送を停止してもよい。

【0075】

また、製造装置３０Ａでは、減圧すべき空間を、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとで囲まれた空間Ｓとして、できる限り小さくすることができる。これにより、製造装置３０Ａが小型のものとなる。また、減圧手段７６を作動させた際、その減圧を迅速に行なうことができる。また、高真空化も可能である。

【0076】

また、前述したように、空間Ｓは、減圧手段７６の作動により減圧されている。これにより、図６に示すように、空間Ｓ内に生じた減圧力Ｆ２が、第１樹脂層３の繊維基材２への押圧と、第２樹脂層４の繊維基材２への押圧とを補助することができる。

【0077】

また、繊維基材２と第１樹脂層３とが接合する際、これらの間に空気が溜まっていたとしても圧接力Ｆ１によりその空気を押し出すことができ、よって、空気が溜まったまま接合がなされてしまうのを確実に防止することができる（繊維基材２と第２樹脂層４との接合時についても同様）。

【0078】

このような圧接力Ｆ１による押圧と減圧力Ｆ２による押圧とが相まって、樹脂層３,４を繊維基材２に強く圧着することができる。これにより、繊維基材２内部に樹脂層３,４を含浸させることができる。これに加え、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂを加熱ローラとすることで、樹脂層３，４を繊維基材２内部に含浸させやすくすることができる。
さらに、空間Ｓ内を減圧することで、繊維基材２内部の気体が吸引されることとなり、繊維基材２内部に含浸した樹脂層中にボイドが発生しにくくなる。
なお、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂにより、樹脂層３，４の一部が繊維基材２内部に含浸するものの、完全に含浸することはない。この工程において、樹脂層３，４は、繊維基材２に含浸するものの、第２のローラ７２ａ、７２ｂから送り出された積層シート４０Ａの繊維基材２内部は、空間Ｓ内に位置する繊維基材２内部と連通している。
また、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂにより、樹脂層３，４を繊維基材２内部に含浸させることで、所望の含浸度の積層シート４０Ｂを得ることができる。
すなわち、第二の加熱手段９０による加熱後に、樹脂層３，４の含浸が不十分となってしまうことを防止できる。

【0079】

第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂにより、積層シート４０Ａは、空間Ｓの外部に連続的に送出され、第一の加熱手段６０に供給される。
第一の加熱手段６０では、前述したように、加熱ローラ６１ａ、６１ｂで加熱されるとともに、加圧される。これにより、樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸が進行することとなる。また、第一の加熱手段６０により、樹脂層３，４の硬化も進行する。ただし、第一の加熱手段６０による加熱終了後においても、樹脂層３，４はＢステージの状態である。第一の加熱手段６０により積層シート４０Ａへの加熱を実施することで、樹脂層３，４の硬化を進行させる

【0080】

前述したように、一対の第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、繊維基材２、第１樹脂層３および第２樹脂層４が圧着される。このとき、第１樹脂層３の幅方向の一方の端部と、第２樹脂層４の幅方向の一方の端部とが熱圧着されるとともに、第１の樹脂層３の幅方向の他方の端部と、第２の樹脂層４の幅方向の他方の端部とが熱圧着される。樹脂層３，４の幅方向の端部同士が溶融接合されて、繊維基材２が第１樹脂層３および第２樹脂層４内に内包される形となる。すなわち、積層シート４０Ａの幅方向の両端部は密閉された状態となる（図１０参照）。
繊維基材２は、複数の孔が形成された多孔質材である。繊維基材２に形成された孔は、他の孔を介して、シート搬送方向に連通し、さらに、繊維基材２表裏面に連通する。そのため、空間Ｓ外部に位置する繊維基材２であっても、その内部は、空間Ｓに連通することとなる。空間Ｓ外部に位置する繊維基材２内部の気体は、繊維基材２内部の孔および空間Ｓを介して、減圧手段により吸引されることとなる。第一の加熱手段６０による加熱の際、加熱されている積層シート４０Ａの繊維基材２の内部は、空間Ｓ内部に存在する繊維基材２の内部と連通している。従って、空間Ｓ内を減圧することで、空間Ｓ内に位置する繊維基材２を介して、第一の加熱手段６０により加熱されている積層シート４０Ａの繊維基材２内部が減圧されることとなる。すなわち、第一の加熱手段６０では、繊維基材２内部の気体が減圧手段７６に吸引されている間に、樹脂層３,４の繊維基材２への含浸が進行することとなる。これにより、樹脂層３，４が繊維基材２内部へ含浸する際に、繊維基材２内部に気体が残存してしまうことを抑制できて、繊維基材２内でボイドが発生することを抑制できる。
これに加えて、積層シート４０Ａにおいて、繊維基材２の搬送方向側の端面は、樹脂層３，４に被覆されており、露出していない。そのため、積層シート４０Ａの繊維基材２の前記端面側から気体が積層シート４０Ａの繊維基材２内部に流入してしまうことが防止され、積層シート４０Ａの繊維基材２内部を確実に減圧できる。これによっても、第一の加熱手段６０で積層シート４０Ａを加熱して、樹脂層３，４が繊維基材２内部へ含浸する際に、繊維基材２内部に気体が残存してしまうことを抑制できる。

【0081】

さらには、積層シート４０Ａの繊維基材２内部が減圧されるので、これにより、樹脂層３,４が繊維基材２内部側に引っ張られて、樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸がさらに進行することとなる。

【0082】

さらに、積層シート４０Ａ内部の繊維基材２内は、減圧されるものの、積層シート４０Ａは、大気圧以上（本実施形態では、大気圧下）の雰囲気下に存在している。これにより、第一の加熱手段６０で加熱される積層シート４０Ａには、外部から大気圧以上の力がかかる。これによっても、樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸を促進させることができる。
また、第一の加熱手段６０により、繊維基材２内部に繊維基材２の搬送方向に沿った端面に連通する孔が存在しないように、繊維基材２内部へ樹脂層３，４を十分に含浸させる。

【0083】

第一の加熱手段６０では、積層シート４０Ａを搬送しながら、繊維基材２への樹脂層３，４の含浸が進行することとなる。その後、積層シート４０Ａは、第一の加熱手段６０を通り、搬送ローラＲ１により、第二の加熱手段９０へと搬送される。次に、積層シート４０Ａは、第二の加熱手段９０により加熱されることとなる（図２、７参照）。
具体的には、搬送ローラＲ２により、積層シート４０Ａは、一方の縦型加熱炉９１内を鉛直方向上向きに搬送されながら、加熱される。その後、一方の縦型加熱炉９１から積層シート４０Ａが送り出されて、その後、他方の縦型加熱炉９１内に積層シート４０Ａが送り込まれる。積層シート４０Ａは、他方の縦型加熱炉９１内を鉛直方向下向きに搬送されながら、加熱される。
この加熱工程では、積層シート４０Ａを縦型加熱炉内で搬送している間に、樹脂層３，４の硬化が進行する。
第二の加熱手段９０を縦型加熱炉９１で構成することで、製造装置の設置スペースを省スペース化できる。

【0084】

なお、第二の加熱手段９０による加熱終了後においても、樹脂層３，４はＢステージの状態である。

【0085】

第二の加熱手段９０による加熱が終了した後、図２に示すように、積層シート４０Ａは、巻き取りローラＲ４に巻きとられることとなる
以上のようにして積層シート４０Ａが得られる。以上の工程が、プリプレグ（繊維基材２、樹脂層３,４とで構成される）と、プリプレグに対して仮接着された金属層１２とを備える積層シート４０Ａを用意する工程である。
以上の工程では、ローラ７２ａ、７２ｂ、第一の加熱手段６０、第二の加熱手段９０の加熱により樹脂層３，４の硬化が進行し、樹脂層３と金属層１２との接着強度、樹脂層４と金属層１２との接着強度が高まる。これにより、金属層１２が、プリプレグに対して、仮接着された積層シート４０Ａが得られる。以上の工程では、後段で積層シート４０Ａを裁断し、裁断した積層シート４０Ａを吊り下げた際に、金属層１２がプリプレグから剥離しないように金属層１２がプリプレグに仮接着されている。

【0086】

次に、図８に示すように、巻きとりローラＲ４から積層シート４０Ａが装置３０Ｂに連続的に供給される。そして装置３０Ｂの平坦化手段８１により、積層シート４０Ａが挟圧されて、積層シート４０Ａが平坦化される。その後、裁断手段８２により、積層シート４０Ａが所定の寸法に裁断される。
次に、図９（Ａ）に示す硬化装置３０Ｃの治具８７で積層シート４０Ａの端部を把持し、加熱炉８５内に複数の積層シート４０Ａをつりさげる。そして、大気圧下で外部から加圧せずに、無加圧の状態で、積層シート４０Ａの加熱硬化を行う。加熱硬化時において、積層シート４０Ａは、その厚さ方向および厚さ方向と直交する方向から、挟圧されることがない。
積層シート４０Ａは完全硬化（Ｃステージ）し、金属層１２と樹脂層３,４とが本接着されることとなる。これにより積層シート４０Ｂである硬化体が得られる。この本接着工程における積層シート４０Ａの加熱温度は、硬化体である積層シート４０Ｂのガラス転移点未満であることが好ましい。このようにすることでリフロー工程時の寸法変化を小さくできる、という効果がある。また、前記ガラス転移点以下で積層シート４０Ａを加熱することで、樹脂層３、４、金属層１２の変色や、樹脂層３，４の劣化を抑制することができる。なお、加熱硬化する際に、積層シート４０Ａのふらつきや、そりの発生を防止するために、積層シート４０Ａを固定する冶具を使用してもよい。
ただし、硬化体である積層シート４０Ｂ内部に発生する残留応力を低減する観点からは、積層シート４０Ａには、自重を超える荷重や張力をかけないことが好ましい。
なお、Ｃステージとは、ＤＳＣにて加熱硬化した場合に、発熱がほとんど観察できない場合であり、硬化率が９０％以上の状態である。
本実施形態では、加熱炉８５内で積層シート４０Ａを吊り下げて、積層シート４０Ａの硬化を行なっている。このようにすることで、積層シート４０Ａの硬化を行なうスペースの省スペース化を図ることができる。また、積層シート４０Ａを吊り下げるため、積層シート４０Ａの端部のみが治具に接触するだけであり、積層シート４０Ａの表裏面の大部分は、治具等に接触しない。そのため、積層シート４０Ａの表裏面に積層シート４０Ａを支持する部材の痕が生じてしまうことを防止できる。

【0087】

その後、図９（Ｂ）に示すように、この加熱炉８５内から、積層シート４０Ｂを取り出し、冷却をおこなう。この本接着工程における樹脂層３,４の硬化率をβとし、前述した積層シート４０Ａを用意する工程の積層シート４０Ａの樹脂層３,４の硬化率をαとした場合、β-αは、５％〜９０％である。なかでも、好ましくは、β-αは２０〜８０％である。
硬化率はＤＳＣにより発熱ピークを計測することで算出することができる。また、硬化率を算出する際には、シート５ａ、５ｂの状態の樹脂層の硬化率を０％とする。
以上の工程により積層シート４０Ｂが得られるが、積層シート４０Ｂにおけるプリプレグと金属層１２との接着強度は、プリプレグに対して仮接着された金属層１２を有する積層シート４０Ａにおけるプリプレグと金属層１２との接着強度よりも高い。
ここでいう接着強度は、ピール強度であり、ＪＩＳ Ｃ ６４８１の９０度引き剥がし法に準じて測定できる。具体的には、金属層をプリプレグの樹脂層に対して９０度方向に引き剥がして測定することができる。
プリプレグに対して仮接着された金属層１２を有する積層シート４０Ａにおけるピール強度は、たとえば、０．２〜０．４Ｎ／ｍm^２であることが好ましく、積層シート４０Ｂにおけるプリプレグと金属層１２との接着強度は、たとえば、０．８〜１．０Ｎ／ｍm^２であることが好ましく、上述した積層シート４０Ａにおけるピール強度の２〜５倍となることが好ましい。

【0088】

本実施形態では、積層シート４０Ａを加圧せずに、加熱して熱硬化性の樹脂層３,４の硬化を進行させている。
これにより、樹脂層３,４および繊維基材２で構成されるプリプレグが加圧されないため、プリプレグ内部に応力が発生しにくくなり、硬化体である積層シート４０Ｂ内部に発生する残留応力を低減できる。
また、仮接着工程では、積層シート４０Ａを加圧して、熱硬化性の樹脂層３，４を硬化させている。このとき、積層シート４０Ａ内部には、加圧による残留応力が発生するが、本接着工程において、積層シート４０Ａが再度加熱されるため、前記残留応力は開放されることなる。そして、前述したように、本接着工程において、積層シート４０Ａを加圧せずに、加熱して熱硬化性の樹脂層３,４の硬化を進行させることで、硬化体である積層シート４０Ｂ内部に発生する残留応力を低減できる。
また、本実施形態では、本接着工程における樹脂層３,４の硬化率をβとし、前述した積層シート４０Ａを用意する工程の積層シート４０Ａの樹脂層３,４の硬化率をαとした場合、β-αは５％〜９０％である。すなわち、本接着工程で樹脂層３,４の硬化が比較的大きく進行することとなる。このように硬化が比較的大きく進行する本接着工程にて、プリプレグを加圧した場合には、加圧により加わった力がプリプレグ内に残留しやすくなるが、本実施形態では、本接着工程において、プリプレグが加圧されないため、プリプレグ内部に応力が残留しにくくなり、硬化体である積層シート４０Ｂ内部に発生する残留応力を確実に低減できる。
このような積層シート４０Ｂは、残留応力が低減されているため、加熱により樹脂層が軟化して、残留応力が緩和されても、加熱前後での寸法変動が生じにくくなり、信頼性の高いシートとなる。

【0089】

次に、以上のようにして製造された積層シート４０Ｂの接合部を必要に応じて、裁断する。そして、このようにして得られた積層シート４０Ｂは、多層プリント配線板のコア材として使用することができる。すなわち、積層シート４０Ｂの金属層１２を選択的に除去して回路層を形成し、この回路層を被覆するように、プリプレグや樹脂層を積層し、多層プリント配線基板とすることができる。

【0090】

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
たとえば、前記実施形態では、硬化装置３０Ｃの治具で積層シート４０Ａの端部を把持し、加熱炉内で複数の積層シート４０Ａをつりさげて、積層シート４０Ａの加熱硬化を行なったが、これに限られるものでない。たとえば、裁断された積層シート４０Ａをベルトコンベア上に載せて、加熱炉内を搬送しながら、大気圧下で積層シート４０Ａの加熱硬化を行なってもよい。この場合にも、積層シート４０Ａは外部から加圧されずに、硬化することとなる。

【0091】

さらに、前記実施形態では、長尺の繊維基材２に対して、長尺の金属層１２付樹脂層３および、長尺の金属層１２付樹脂層４を圧着し、長尺の金属層付プリプレグである積層シート４０Ａを製造したが、これに限らず、たとえば、繊維基材２に対して、樹脂層３，４を含浸させて、プリプレグを製造し、このプリプレグに対して、金属層１２を圧着して、積層シート４０Ａを製造してもよい。
ただし、プリプレグを製造する際、繊維基材２にワニス状の第１樹脂層３、第２樹脂層４を含浸させるが、このとき、繊維基材２を、ワニスが充填された槽に浸し、この槽から引き上げる必要があるので繊維基材２に非常に大きな張力をかける必要がある。本実施形態のように、予め、樹脂層と金属層とを有するシート５ａ（５ｂ）を用意し、樹脂層を繊維基材２に含浸させる方が、繊維基材２にかかる張力を小さくすることが可能となる。

【0092】

さらに、前記実施形態では、樹脂層３，４にシート状の金属層１２が設けられていたが、これに限らず、樹脂層３，４に樹脂シートが設けられていてもよい。さらには、樹脂層３，４と繊維基材２とで構成されるプリプレグとは別のプリプレグを、樹脂層３，４と繊維基材２とで構成されるプリプレグ上に積層してもよい。そして、複数のプリプレグを仮接着して積層体を構成した後、無加圧で加熱して本接着してもよい。
さらに、たとえば、金属層１２に樹脂基板が設けられたものを使用してもよい。この場合には、樹脂層３，４に対して前記実施形態と同様に金属層１２を仮接着することとなる。この場合、硬化体として、回路基板用のコア材にビルドアップ層が設けられたビルドアップ層付コア材が得られる。

【0093】

また、前記実施形態では、ローラで囲まれた空間Ｓ内を減圧し、空間Ｓ内で繊維基材２と、金属層１２付の樹脂層３、４を積層していたが、これに限られるものではない。たとえば、容器内を減圧し、この容器内で繊維基材２と、金属層１２付の樹脂層３、４を積層してもよい。

【0094】

また、前記実施形態では、繊維基材２、シート５ａ、５ｂは、長尺状であり、第一の加熱手段６０等に、連続的に積層シート４０Ａが供給されたが、これに限られるものではない。枚葉式で積層体を製造してもよい。たとえば、前述したように、内部が減圧される容器を用意し、この容器内に一対のプレス板等の挟圧部材を配置しておく。そして、一対のプレス板間に、あらかじめ、裁断された繊維基材、樹脂層、金属層の積層体を配置して、プレスした後、容器から積層体を取り出す。このように、枚葉式で、積層体を形成してもよい。そして、第一の加熱手段６０や第二の加熱手段９０では、複数の積層体を同時に加熱してもよい。

【実施例】

【0095】

次に、本発明の実施例について説明する。
（実施例１）
１.樹脂層のワニスの調整
熱硬化性樹脂としてノボラック型シアネート樹脂（ロンザジャパン社製、プリマセット ＰＴ−３０、重量平均分子量約２，６００）１５重量％、エポキシ樹脂としてビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂（日本化薬社製、ＮＣ−３０００、エポキシ当量２７５）１２．７重量％、フェノール樹脂としてビフェニルジメチレン型フェノール樹脂（日本化薬社製、ＧＰＨ−６５、水酸基当量２００）２．３重量％をメチルエチルケトンに溶解させた。さらに、無機充填材として球状溶融シリカ（アドマテックス社製、ＳＯ−２５Ｈ、平均粒径０．５μｍ）６９．７重量％とエポキシシラン型カップリング剤（日本ユニカー社製、Ａ−１８７）０．３重量％を添加して、高速攪拌装置を用いて６０分間攪拌して、固形分７０重量％の樹脂層のワニスを調製した。

【0096】

２．キャリア材料の製造
厚み１２μｍ、幅４８０ｍｍの銅箔（古河電工社製・F2WS−12）上に、上述したワニスをコンマコーター装置で塗工し、１７０℃の乾燥装置で３分間乾燥させ、厚さ２９〜３３μｍになるように形成した（第１樹脂層３を形成した）。尚、幅４１０ｍｍの樹脂層が、幅４８０ｍｍの銅箔の中心になるようにした。さらに、この樹脂層３上に支持基体５１となるポリエチレンテレフタレートフィルム（パナック社製、ＴＰ−０１、厚さ３８μｍ、幅４８０ｍｍ）を設けて第１シート５ａを得た。
また、同様の方法で塗工するワニスの量を調整して、厚さ２９〜３３μｍ、幅４１０ｍｍの樹脂層が、幅４８０ｍｍの銅箔（古河電工社製・F2WS−12）の幅方向の中心に位置するように形成した（第２樹脂層４を形成した）。この樹脂層４上に支持基体５１を設けて、第２シート５ｂを得た。

【0097】

３．硬化体の製造
前記実施形態の製造装置３０を使用して、硬化体を製造した。
繊維基材としてＴガラス織布（クロスタイプ♯２１１６、幅３６０ｍｍ、厚さ８７μｍ、坪量１０４ｇ／ｍ²）を用いた。
はじめに、空間Ｓ内を１０ｔｏｒｒ（１３３３Ｐａ）に減圧し、空間Ｓ内に、第１シート５ａ、第２シート５ｂを供給した。前記実施形態と同様、第１シート５ａの支持基体５１、第２シート５ｂの支持基体５１は、ローラ７３ａ、７３ｂにより、剥離された。
そして、７０℃のローラ７２ａ、７２ｂで、第１樹脂層３に設けられた金属層１２と、第１樹脂層３と、繊維基材２と、第２樹脂層４と、第２樹脂層４に設けられた金属層１２とを挟圧した。
その後、第一の加熱手段６０により、積層シート４０Ａを加熱した。このとき、加熱ローラの温度は、１００℃であり、積層シート４０Ａにかかる張力は３００Ｎであった。
その後、積層シート４０Ａを、第二の加熱手段９０により加熱した。第二の加熱手段９０のヒータの温度は１５０℃であり、縦型加熱炉９１を積層シート４０Ａが通過する際の、積層シート４０Ａにかかる張力は５０Ｎであった。
さらに、積層シート４０Ａが第二の加熱手段９０を通過するのにかかった時間は２分であった。
以上のようにして、厚さ１０２μｍ（第１樹脂層の非含浸部の厚さ：７．５μｍ、繊維基材：８７μｍ、第２樹脂層のの非含浸部の厚さ：７．５μｍ）の積層シート４０Ａを得た。積層シート４０Ａの樹脂層３，４の硬化率は５％〜３０％であり、Ｂステージとなっていた。
次に、積層シート４０Ａを裁断し、硬化装置３０Ｃの治具８７で裁断された積層シート４０Ａの端部を把持し、加熱炉８５内で複数の積層シート４０Ａをつりさげて、積層シート４０Ａの加熱硬化を行なった。加熱時間は２時間、加熱温度は２２５℃（後述する硬化体のガラス転移点未満）であった。このとき、積層シート４０Ａを加圧せずに、積層シート４０Ａの加熱硬化を行なった。
以上のようにして得られた硬化体（積層シート４０Ｂ）の樹脂層３，４の硬化率は９０％以上であり、Ｃステージとなっていた。すなわち、積層シート４０Ｂにおける樹脂層３，４と金属層１２との接着強度は、積層シート４０Ａにおける樹脂層３，４と金属層１２との接着強度よりも高くなっていた。

【0098】

（比較例１）
裁断された積層シート４０Ａを一対のプレス板で加圧加熱して、積層シート４０Ａの加熱硬化を行なった。加圧力は、０．２〜４．０ＭＰａ、加熱時間は２時間、加熱温度は２２５℃であった。他の点は実施例１と同じである。

【0099】

実施例１で得られた硬化体（積層シート４０Ｂ）、比較例１で得られた硬化体の寸法変化をＩＰＣ−ＴＭ−６５０の２．４．３９に準拠して室温で測定した。尚、得られた硬化体の初期値寸法をＡとし、エッチングにより両面の金属箔を除去後、１０５℃で４時間の予備加熱処理と、表面温度が２６０〜２６５℃で３０秒のリフロー処理とからなる加熱処理をおこなった後の寸法をＢとした際、寸法変化率は下記式で表される。
寸法変化率（％）＝（Ｂ−Ａ）／Ａ×１００
ここで、縦方向は硬化体の搬送方向（いわゆるＭＤ）を指し、横方向は、硬化体の搬送方向と直交方向（いわゆるＴＤ）を指す。なお、予備加熱処理の温度は雰囲気温度であり、リフロー処理の温度は硬化体の表面の温度である。
結果を図１１，１２に示す。図１１，１２においてリフロー×１は、上述したリフロー処理を１回行なったことを意味し、リフロー×３は、上述したリフロー処理を３回行なったことを意味する。また、図１１，１２の縦軸は％である。
実施例１に比べて、比較例１のリフロー前後における硬化体の寸法変化率は大きかった。
以下、参考形態の例を付記する。
１．繊維基材に熱硬化性の樹脂材料を含浸させたプリプレグと、このプリプレグの表面および裏面のうちの少なくとも一方の面に仮接着されたシートとを備える積層体を用意する工程と、前記積層体を加圧せずに、加熱して前記熱硬化性の樹脂材料の硬化を進行させて、前記シートと前記プリプレグとを本接着する工程とを含む硬化体の製造方法。
２．１に記載の硬化体の製造方法において、当該硬化体は、プリント配線板用である硬化体の製造方法。
３．１または２に記載の硬化体の製造方法において、前記繊維基材を構成する繊維は、ガラス、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール、アラミド樹脂、ポリエステルのいずれかの材料で構成された硬化体の製造方法。
４．１乃至３のいずれかに記載の硬化体の製造方法において、前記積層体を用意する前記工程では、前記プリプレグの樹脂材料は、Ｂステージの状態であり、本接着する前記工程では、前記加熱により、前記プリプレグの樹脂材料をＣステージまで硬化する硬化体の製造方法。
５．１乃至４のいずれかに記載の硬化体の製造方法において、
積層体を用意する前記工程では、
長尺状の前記繊維基材に対して、前記樹脂材料を含浸させて長尺の前記プリプレグを得るとともに、前記樹脂材料を加熱して硬化を進行させて、プリプレグの表裏面のうち少なくとも一方の面に長尺のシートを仮接着し、長尺の前記プリプレグと前記長尺のシートとを有する長尺の前記積層体を用意し、
この積層体を所定の寸法に裁断し、
本接着する前記工程では、裁断された前記積層体を治具に吊り下げた状態で、加圧を行なわずに、加熱する硬化体の製造方法。
６．１乃至４のいずれかに記載の硬化体の製造方法において、長尺状の前記繊維基材に対して、前記樹脂材料を含浸させて長尺の前記プリプレグを得るとともに、前記樹脂材料を加熱して硬化を進行させて、プリプレグの表裏面のうち少なくとも一方の面に長尺のシートを仮接着し、長尺の前記プリプレグと前記長尺のシートとを有する長尺の前記積層体を用意し、この積層体を所定の寸法に裁断し、本接着する前記工程では、裁断された前記積層体を水平方向に移動するコンベアに搭載し、コンベアで前記積層体を搬送しながら、加圧を行なわずに、加熱する硬化体の製造方法。
７．１乃至６のいずれかに記載の硬化体の製造方法において、本接着する前記工程では、当該硬化体における前記樹脂材料のガラス転移点未満の温度で、前記積層体を加熱する硬化体の製造方法。
８．１乃至７のいずれかに記載の硬化体の製造方法において、前記シートは、金属箔あるいは金属箔付樹脂基板である硬化体の製造方法。
９．１乃至８のいずれかに記載の硬化体の製造方法において、積層体を用意する前記工程では、前記樹脂材料で構成された樹脂層とこの樹脂層に設けられた前記シートとを有するシート材の前記樹脂層を、前記繊維基材の少なくとも一方の面に当接させて、前記樹脂層を前記繊維基材に含浸させて前記積層体を構成する硬化体の製造方法。

【符号の説明】

【0100】

２ 繊維基材
３ 第１樹脂層
４ 第２樹脂層
５ａ 第１シート
５ｂ 第２シート
１２ 金属層
３０ 積層シート製造装置
３０Ａ 製造装置
３０Ｂ 裁断装置
３０Ｃ 硬化装置
３１ 含浸部
３２ 非含浸部
４０Ａ 積層シート
４０Ｂ 積層シート
４１ 含浸部
４２ 非含浸部
５１ 支持基体
６０ 第一の加熱手段
６１ａ 加熱ローラ
６１ｂ 加熱ローラ
７０ 積層手段
７１ａ 第１のローラ
７１ｂ 第１のローラ
７２ａ 第２のローラ
７２ｂ 第２のローラ
７３ａ 第３のローラ
７３ｂ 第３のローラ
７５ ハウジング
７６ 減圧手段
７７ シール材
８１ 平坦化手段
８２ 裁断手段
８５ 加熱炉
８６ ヒータ
８７ 治具
８８ 支持材
９０ 第二の加熱手段
９１ 縦型加熱炉
９２ 加圧ローラ
７１１ 本体部
７１１Ａ 外周面
７１２ 軸
７５１ 壁部
７５１Ａ 凹部
７５１Ｂ 開口部
７６１ ポンプ
７６２ 接続管
７７１軸受け
８１１ ローラ
Ｆ１ 圧接力
Ｆ２ 減圧力
Ｇ 空気
Ｓ 空間
Ｄ 載置台
Ｂ１ ベルトコンベア

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】