特許5962979成膜装置

発明の名称　成膜装置

出願人　株式会社不二越　（識別番号 5197）

　　　　特許公開件数ランキング 203 位（163件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 528 位（43件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5962979

公報発行日　2016年8月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5962979

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