特許5963298基板処理装置およびヒータ洗浄方法

発明の名称　基板処理装置およびヒータ洗浄方法

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 59 位（428件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 69 位（333件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5963298

公報発行日　2016年8月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5963298

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