特許 5965200 弾性波フィルタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5965200

(24)【登録日】2016年7月8日

(45)【発行日】2016年8月3日

(54)【発明の名称】弾性波フィルタ

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/64 20060101AFI20160721BHJP

   H03H 9/145 20060101ALI20160721BHJP

【ＦＩ】

   H03H9/64 Z

   H03H9/145 Z

【請求項の数】4

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2012-94878(P2012-94878)

(22)【出願日】2012年4月18日

(65)【公開番号】特開2013-223178(P2013-223178A)

(43)【公開日】2013年10月28日

【審査請求日】2015年3月2日

(73)【特許権者】

【識別番号】000232483

【氏名又は名称】日本電波工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091513

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 俊夫

(72)【発明者】

【氏名】津田 忠秋

(72)【発明者】

【氏名】大谷 崇

【審査官】 鬼塚 由佳

(56)【参考文献】

【文献】 特表２００８−５３２３９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−１８１５５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００４−５３７２３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００４／０２４６０７６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０３Ｈ ９／６４

Ｈ０３Ｈ ９／１４５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いに平行な第１のバスバー及び第２のバスバーの一方から他方に向かう一の電極指と、この一の電極指に隣接し、第１のバスバー及び第２のバスバーの他方から一方に向かう他の電極指と、当該他の電極指に隣接する反射電極と、が電極の組になって、弾性波の伝搬方向を左右方向とすると、一の電極の組の左縁から当該一の組に隣接する他の組の左縁までを周期単位として、左右方向に沿って繰り返し配列されると共に、第２のバスバーから第１のバスバーに向かうにつれて電極指及び反射電極の各々の幅寸法及び各々の間隔が狭くなる傾斜型電極部を、弾性波の伝搬方向に互いに離れて配置された入力側ＩＤＴ電極部及び出力側ＩＤＴ電極部として構成した弾性波フィルタにおいて、
前記入力側ＩＤＴ電極部及び出力側ＩＤＴ電極部の少なくとも一方において、回折した弾性波のバスバーによる反射を抑制し、通過周波数帯域の端部のスプリアスを抑制するために、前記電極の組の並びの高域側の端部と前記第１のバスバーとの間、及び前記電極の組の並びの低域側の端部と前記第２のバスバーとの間の少なくとも一方に、ダミー電極の組を電極の組に対応して設け、これにより一のダミー電極の組の左縁から当該一のダミー電極の組に隣接する他のダミー電極の組の左縁までを周期単位として、左右方向に沿って繰り返し配列したことと、
前記ダミー電極の組の各々は、前記一の電極指、前記他の電極指及び反射電極の各延長線上に位置するダミー電極からなることと、
各ダミー電極は、前記第１のバスバー及び第２のバスバーのうちの一方のバスバーに接続されていることと、
前記ダミー電極は、電極指の先端または反射電極の先端から離間して設けられるか、あるいは電極指または反射電極に接続されて設けられることと、
前記ダミー電極の組の周期単位の長さ寸法が前記電極の組の高域側の周期単位の長さ寸法以上であり、かつ前記電極の組の低域側の周期単位の長さ寸法以下に設定されていることを特徴とする弾性波フィルタ。

【請求項2】

前記入力側ＩＤＴ電極部及び出力側ＩＤＴ電極部の各々に前記ダミー電極が設けられ、
前記出力側ＩＤＴ電極部のダミー電極群は、前記入力側ＩＤＴ電極部のダミー電極群から見て弾性波の伝搬方向の延長線側に設けられていることを特徴とする請求項１記載の弾性波フィルタ。

【請求項3】

前記入力側ＩＤＴ電極部及び出力側ＩＤＴ電極部の少なくとも一方において、前記第１のバスバー側及び第２のバスバー側のいずれにもダミー電極が設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の弾性波フィルタ。

【請求項4】

前記入力側ＩＤＴ電極部または出力側ＩＤＴ電極部における第１のバスバーあるいは第２のバスバーに沿って配列されているダミー電極の群をダミー電極配列群と呼ぶとすると、ダミー電極配列群に属するダミー電極の長さ寸法は互に同一であり、
少なくとも一つのダミー電極配列群のダミー電極の長さ寸法は、他のダミー電極配列群のダミー電極の長さ寸法と異なることを特徴とする請求項２または３記載の弾性波フィルタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、弾性波フィルタ例えば、ＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）フィルタに関する。

【背景技術】

【0002】

ＳＡＷデバイスは、弾性表面波を利用したものであり、圧電基板上にＩＤＴ（インターディジタルトランスデューサ）と呼ばれる電極を入力側電極部及び出力側電極部として弾性波の伝搬方向に沿って配置し、これらの２つの電極部間にて電気信号と弾性波との間の電気―機械相互変換を行って周波数選択（帯域フィルタ）特性を持たせたものである。ＳＡＷデバイスの一つであるＳＡＷフィルタは、高機能化、小型化が進められている各種通信機器例えば携帯電話等のバンドパスフィルタとして使用されており、近年のワイヤレスデータ通信の高速化、大容量化に伴い、周波数選択性が優れ、通過周波数帯がおいて減衰特性の平坦性が高いことが求められている。

【0003】

上記のように通過周波数帯を広帯域化する手法としては、例えばテーパー型ＩＤＴ電極部を用いたフィルタが知られている。このフィルタは、図１３に示すように、圧電基板１０上に、一方側のバスバー１４ａから他方側のバスバー１４ｂに向かって電極指１５及び反射電極１６各々の幅寸法及び間隔寸法が広がるように配置されたテーパー型ＩＤＴ電極部を入力側ＩＤＴ電極部１１及び出力側ＩＤＴ電極部１２として用いている。これらの電極１１、１２の間には例えばシールド電極をなす角型の金属膜３６が配置される。

【0004】

このフィルタの電極指１５及び反射電極１６の幅寸法及び間隔寸法は所定の間隔で繰り返される周期単位λであり、伝搬される弾性波の波長に対応する。この周期単位λは弾性波の伝搬方向の沿って一定の周期となるように、また一方向のバスバー１４ａから他方側のバスバー１４ｂに向かって波長の短いトラック（伝搬路）の弾性波から波長の長いトラックの弾性波まで伝搬するように、つまり通過周波数帯域が広くなるように構成されている。そのため、このフィルタでは、各電極の弾性波の伝搬方向における両端部において電極指１５がバスバー１４ａ〜１４ｄに対して傾斜して接続されている。つまり当該端部における電極指１５とバスバー１４ａ〜１４ｄとのなす角度が９０°よりも小さくなっているので、弾性波の回折により弾性波が漏洩する。漏洩した弾性波がバスバー１４ａ〜１４ｄによって反射されることにより、通過周波数帯域内の減衰特性を劣化させるため、通過周波数帯域の端部にスプリアスが発生していた。

【0005】

近年の弾性表面波フィルタにおいては、通過周波数特性の一層の広帯域化が求められている。このためテーパー角が益々小さくなり回折効果の影響が大きくなってきている。従来はフィルタのインピーダンスを５０Ω付近から外すことでスプリアスを抑えるようにしていたが、このようなフィルタでは挿入損失が劣化してしまう。また反射特性においても通過帯域全般での規格が厳しくなっているため、インピーダンスを外すこともできなくなってきている。
特許文献１にはテーパー型の電極について周波数特性の調整法が記載されているが、周波数帯域に出現するスプリアスの抑制については示唆されていない。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開平２−７２７０９号公報 図９

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明はこのような事情の下になされたものであり、入力側ＩＤＴ電極部及び出力側ＩＤＴ電極部をテーパー型に構成した弾性波フィルタにおいて、通過帯域端に発生するスプリアスを抑制し、優れた通過特性を有する弾性波フィルタを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の弾性波フィルタは、互いに平行な第１のバスバー及び第２のバスバーの一方から他方に向かう一の電極指と、この一の電極指に隣接し、第１のバスバー及び第２のバスバーの他方から一方に向かう他の電極指と、当該他の電極指に隣接する反射電極と、が電極の組になって、弾性波の伝搬方向を左右方向とすると、一の電極の組の左縁から当該一の組に隣接する他の組の左縁までを周期単位として、左右方向に沿って繰り返し配列されると共に、第２のバスバーから第１のバスバーに向かうにつれて電極指及び反射電極の各々の幅寸法及び各々の間隔が狭くなる傾斜型電極部を、弾性波の伝搬方向に互いに離れて配置された入力側ＩＤＴ電極部及び出力側ＩＤＴ電極部として構成した弾性波フィルタにおいて、
前記入力側ＩＤＴ電極部及び出力側ＩＤＴ電極部の少なくとも一方において、回折した弾性波のバスバーによる反射を抑制し、通過周波数帯域の端部のスプリアスを抑制するために、前記電極の組の並びの高域側の端部と前記第１のバスバーとの間、及び前記電極の組の並びの低域側の端部と前記第２のバスバーとの間の少なくとも一方に、ダミー電極の組を電極の組に対応して設け、これにより一のダミー電極の組の左縁から当該一のダミー電極の組に隣接する他のダミー電極の組の左縁までを周期単位として、左右方向に沿って繰り返し配列したことと、
前記ダミー電極の組の各々は、前記一の電極指、前記他の電極指及び反射電極の各延長線上に位置するダミー電極からなることと、
各ダミー電極は、前記第１のバスバー及び第２のバスバーのうちの一方のバスバーに接続されていることと、
前記ダミー電極は、電極指の先端または反射電極の先端から離間して設けられるか、あるいは電極指または反射電極に接続されて設けられることと、
前記ダミー電極の組の周期単位の長さ寸法が前記電極の組の高域側の周期単位の長さ寸法以上であり、かつ前記電極の組の低域側の周期単位の長さ寸法以下に設定されていることを特徴とする。

【0009】

また本発明の弾性波フィルタは、前記入力側ＩＤＴ電極部及び出力側ＩＤＴ電極部の各々に前記ダミー電極が設けられ、
前記出力側ＩＤＴ電極部のダミー電極群は、前記入力側ＩＤＴ電極部のダミー電極群から見て弾性波の伝搬方向の延長線側に設けられていることを特徴としてもよい。

【0010】

あるいは本発明の弾性波フィルタは前記入力側ＩＤＴ電極部及び出力側ＩＤＴ電極部の少なくとも一方において、前記第１のバスバー側及び第２のバスバー側のいずれにもダミー電極が設けられていることを特徴としてもよい。

【0011】

さらに本発明の弾性波フィルタは前記入力側ＩＤＴ電極部または出力側ＩＤＴ電極部における第１のバスバーあるいは第２のバスバーに沿って配列されているダミー電極の群をダミー電極配列群と呼ぶとすると、ダミー電極配列群に属するダミー電極の長さ寸法は互に同一であり、
少なくとも一つのダミー電極配列群のダミー電極の長さ寸法は、他のダミー電極配列群のダミー電極の長さ寸法と異なることを特徴としてもよい。

【発明の効果】

【0012】

本発明においては、テーパー型櫛型電極を形成した弾性波フィルタにおいて、入力側ＩＤＴ電極部及び出力側ＩＤＴ電極部の少なくとも一方において、各々の高域側と低域側に設けたバスバーのうちの一方のバスバーから伸びだす電極指の先端部と他方のバスバーとの間に、当該先端部から離れてダミー電極を設けている。そのため回折した弾性波のバスバーによる反射を抑制し、通過周波数帯域の端部のスプリアスを抑制することができ、通過周波数帯域の優れた弾性波フィルタを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタの一例を示す平面図である。

【図2】本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタの一部を拡大した平面図である。

【図3】本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタについて得られた特性を示す特性図である。

【図4】本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタについて得られた特性を示す特性図である。

【図5】他の実施の形態に係る弾性波フィルタについて得られた減衰特性を示す特性図である。

【図6】他の実施の形態に係る弾性波フィルタについて得られた減衰特性を示す特性図である。

【図7】他の実施の形態に係る弾性波フィルタについて得られた減衰特性を示す特性図である。

【図8】他の実施の形態に係る弾性波フィルタについて得られた減衰特性を示す特性図である。

【図9】本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタの一例を示す平面図である。

【図10】本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタの一例を示す平面図である。

【図11】本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタの一例を示す平面図である。

【図12】本発明の実施の形態に係るＩＤＴ電極部の構成の一例を示す説明図である。

【図13】従来の実施の形態に係る弾性波フィルタの一例を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本発明の実施の形態の弾性波フィルタについて、図１、図２を参照して説明する。本発明の弾性波フィルタは入力側ＩＤＴ電極部１１および出力側ＩＤＴ電極部１２を備えており、例えばＬｉＮｂＯ_３（リチュームナイオベート）などの圧電基板１０上に形成されている。これらのＩＤＴ電極部１１，１２は弾性波の伝搬方向に沿って間隔をおいて設けられており、ＩＤＴ電極部１１，１２間には、接地電位に接続された角型のシールド電極３６が配置されている。この弾性波フィルタは例えば圧電基板１０上に全面に亘って金属膜、例えばアルミニウムを成膜して、次いでこの金属膜上に積層したマスク層を介して上記の電極以外の領域をエッチングするフォトリソグラフィーにより形成される。なお図中の３５はＩＤＴ電極部を介して圧電基板１０の端部領域に伝搬する不要な弾性波を吸収するための吸音材（ダンパー）である。

【0015】

入力側ＩＤＴ電極部１１において１４ａ、１４ｂは夫々一方側のバスバー、他方側のバスバーであり、互いに弾性波の伝搬方向に沿って平行になるように、図１中の夫々一方及び他方に形成されている。また、一方側のバスバー１４ｂは接地されており、他方側のバスバー１４ａは入力ポート３１に接続されている。図１中の１５は上記入力側ＩＤＴ電極部１１に設けられた、各々のバスバー１４ａ，１４ｂから互いに交互に櫛歯状となるように伸びだす電極指である。ここで、この入力側ＩＤＴ電極部１１においては、入力側ＩＤＴ電極部１１から出力側ＩＤＴ電極部１２に向かう方向を順方向とし、また出力側ＩＤＴ電極部１２においては、出力側ＩＤＴ電極部１２から入力側ＩＤＴ電極部１１に向かう方向を順方向、入力側ＩＤＴ電極部１１から出力側ＩＤＴ電極部１２に向かう方向を逆方向とする。

【0016】

この入力側ＩＤＴ電極部１１には、当該入力側ＩＤＴ電極部１１における逆方向に伝搬しようとする弾性波を出力側ＩＤＴ電極部方向１１に向けて反射するために、電極指１５の長さ方向に沿うように、一方側のバスバー１４ａから他方側のバスバー１４ｂに向かって伸びる反射電極１６が複数箇所に設けられている。従って、このＩＤＴ電極部は一方向性電極（ＳＰＵＤＴ：Ｓｉｎｇｌｅ Ｐｈａｓｅ Ｕｎｉ−Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）例えばＤＡＲＴ（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）として構成されている。

【0017】

図２に示すようにこれらの電極指１５及び反射電極１６の配列パターンは、一方のバスバー１４ａ及び他方のバスバー１４ｂの各々から伸ばされて、互いに隣り合うように形成された一対の電極指１５と、これらの電極指１５に隣接するように一方のバスバー１４ａから伸びる１つの反射電極１６と、が１組になって所定の周期単位λで弾性波の伝搬方向に沿って周期的に繰り返されるように配置されている。この弾性波フィルタでは、図２に示すように各電極指１５は周期単位λに対して、λ／８の幅寸法を持つように構成され、反射電極１６は、３λ／８の幅寸法になるように構成される。各々の電極指１５および反射電極１６の間隔寸法は夫々λ／８になるように構成されている。

【0018】

また、電極指１５及び反射電極１６は、一方のバスバー１４ａから他方のバスバー１４ｂに向かうにつれて、各々の間隔寸法と幅寸法とが、徐々に広がるように設定される。従って、これら間隔寸法及び幅寸法に応じた周期単位λのトラックをＴｒの群が、一方のバスバー１４ａと他方のバスバー１４ｂとの間に形成され、周期単位λが最も狭いトラックＴｒ１と、周期単位λが最も広いトラックＴｒ２とによりフィルタの通過帯域が決定される。なお、図１では、電極指１５及び反射電極１６の幅寸法については、図示の困難性のため一定として示している。

【0019】

この実施の形態ではトラックＴｒ１からトラックＴｒ２の区間の外側のバスバー１４ａ、１４ｂ側の部位に、夫々のバスバー１４ａ，１４ｂからトラックＴｒの方向に櫛歯状に伸ばされるダミー電極１３を設ける。この弾性波フィルタは、トランスバーサル型の弾性波フィルタとして構成されるため、弾性波フィルタの設けられている電極指１５及び反射電極１６の部位の規格及び配列パターンは変更せず、図９に示す従来型の弾性波フィルタの電極指１５及び反射電極１６と同一の構成となる。なお、以後トラックＴｒ１側に位置する一方のバスバー１４ａを高域側のバスバー１４ａ、トラックＴｒ２側に位置する他方のバスバー１４ｂを低域側のバスバー１４ｂと呼ぶことにする。

【0020】

ダミー電極１３は、例えば従来型の弾性波フィルタから、高域側及び低域側のバスバー１４ａ，１４ｂの位置を、平行に離間した隙間に設ける。ダミー電極１３は各々の電極指１５および反射電極１６に対して、高域側、低域側のバスバー１４ａ，１４ｂに１つづつ設けられる。
また電極指１５、反射電極１６にはテーパーがつけられているため、夫々高域側と低域側では幅寸法が異なる。それゆえ高域側と低域側では、設置されるダミー電極１３の幅寸法が異なり、入力側ＩＤＴ電極部１１における高域側のダミー電極１３は、最短周期に対応する電極指１５及び反射電極１６の最小幅寸法に設定され、一方低域側のダミー電極１３は電極指１５及び反射電極１６の最大幅寸法で設定される。ダミー電極１３は夫々のバスバー１４ａ、１４ｂから電極指１５、反射電極１６に向かって伸びるように設けられるが、ダミー電極１３にはテーパーは設けられず、またバスバー１４ａ、１４ｂから直交するように伸ばされ、同じバスバー１４ａ（１４ｂ）に設置されているダミー電極１３の長さはすべて同一となる。

【0021】

この例では、入力側ＩＤＴ電極部１１の反射電極１６は、高域側のバスバー１４ａに設置したダミー電極１３から連続して、低域側のバスバー１４ｂに向かって伸び、先端側が低域側のダミー電極１３と隙間を介して離間するように設けられる。電極指１５は、第１の電極指１５と第２の電極指１５とが交互に配列され、第１の電極指１５は、高域側のダミー電極１３から連続して、低域側のバスバー１４ｂに向かって伸び、先端が低域側のダミー電極１３と隙間を介して配置される。また第２の電極指１５は、低域側のダミー電極１３から連続して、高域側のバスバー１４ｂに向かって伸び、先端が高域側のダミー電極１３と隙間を介して配置される。こうして電極指１５が櫛歯状に配列され、反射電極１６と交互に配置された電極指１５とで一周期の単位を構成し、同様の周期が繰り返されることとなる。

【0022】

出力側ＩＤＴ電極部１２の電極指１５及び反射電極１６、各々の幅寸法及び間隔寸法は、前述の入力側ＩＤＴ電極部１１と同様に形成されている。出力側のＩＤＴ電極部１２は図１に示すように一方側（一方）にバスバー１４ｃ及び他方側にバスバー１４ｄを備えている。一方のバスバー１４ｃは接地されており、他方側のバスバー１４ｄは出力ポート３２に接続されている。出力側ＩＤＴ電極部１２は、入力側ＩＤＴ電極部と同様に弾性波の伝搬方向に沿って、周期単位λが一定となり、また一方側のバスバー１４ｃから他方側のバスバー１４ｄに向かって、周期単位λがトラックＴｒ１からトラックＴｒ２まで広がる配列パターンとなるように配置された電極指１５及び反射電極１６を備えている。出力側ＩＤＴ電極部１２では、反射電極１６は他方側のバスバー１４ｄから伸びだしている。出力側ＩＤＴ電極部１２にも、入力側ＩＤＴ電極部１１と同様に電極指１５及び反射電極１６の配列パターンに合わせてダミー電極１３が設けられる。

【0023】

次に上述実施の形態の作用について説明する。入力ポート３１を介して入力側ＩＤＴ電極部１１に高周波信号が入力されると、弾性波である弾性表面波（ＳＡＷ）が発生する。この弾性波は入力側ＩＤＴ電極部１１において、その波長の長さに対応する周期単位λが形成されたトラックＴｒにて順方向に向かって伝搬していく。そして、各々のトラックＴｒにおいて弾性波は、入力側ＩＤＴ電極部１１から出力側ＩＤＴ電極部１２に向かって伝搬していく（互いに交差する電極指１５間の領域を通過する）につれて、次第に各々の周期単位λに対応する波長の弾性波が強められて、あるいは各々の周期単位λとは異なる波長の弾性波が弱められていくことになる。

【0024】

従って、出力側ＩＤＴ電極部１２に向かって伝搬していくにつれて、各々のトラックＴｒでは通過周波数帯域であるメインローブ（絶対帯域）が狭まっていくことになる。その後弾性波は例えば出力側ＩＤＴ電極部１２において出力ポート３２を介して取り出されて、機械―電気相互変換が行われて電気信号である高周波信号として取り出される。

【0025】

既述のように（図９参照）テーパー型ＩＤＴ電極部では、電極指１５がバスバー１４ａ〜１４ｄに対して直角に接続されていないため電極指１５の端部から漏出した弾性波がバスバー１４ａ〜１４ｄによって反射され、通過周波数帯域の減衰特性に影響を与えてしまう。本発明の弾性波フィルタでは電極指１５とバスバー１４ａ〜１４ｄの間にダミー電極１３を設けており、回折した弾性波がバスバー１４ａ〜１４ｄによって反射されることを抑制している。

【0026】

弾性波フィルタの減衰特性に出現するスプリアスの位置や大きさは、図３、図４に示すように、弾性波フィルタによって異なる。即ち、高域側（Ｔｒ１側）と低域側（Ｔｒ２側）では周期単位λは異なっており、どちらのトラック側で弾性波の回折及びバスバーによる反射が強く起こるかによってスプリアスの出現する位置が変わる。このため設計された弾性波フィルタによって、ダミー電極１３をＩＤＴ電極部１１、１２の高域側のバスバー１４ａ、１４ｃに設けるべきか、低域側のバスバー１４ｂ、１４ｄに設けるべきかが異なってくる。

【0027】

例えば図３に示すように通過周波数帯の低域側の端部にスプリアスが出現する弾性波フィルタの場合には、入力側ＩＤＴ電極部１１及び出力側ＩＤＴ電極部１２のトラックＴｒ２側（低域側）にダミー電極１３を設けることで、低域側に発生していたスプリアスを抑制することができる。一方高域側の端部にスプリアスの出現する弾性波フィルタの場合には、入力側ＩＤＴ電極部１１及び出力側ＩＤＴ電極部１２のトラックＴｒ１側（高域側）にダミー電極１３を設けることにより、図４に示すように通過周波数帯の高域側に発生していたスプリアスを抑制することができる。

【0028】

上述の実施の形態によれば、テーパー型（傾斜型）の両ＩＤＴ電極部１１，１２の各々の高周波側及び低周波側に設けられたバスバー１４ａ〜１４ｄのいずれにも，既述のようにダミー電極１３を設けている。そのため回折により漏出した弾性波のバスバー１４ａ〜１４ｄによる反射を抑制することができ、弾性波の通過周波数帯域内にスプリアスが発生するのを抑制することができる。

【0029】

ここで本発明の発明者は設置するダミー電極１３の長さを変化させたところ、長さによって、通過周波数帯域に発生するスプリアスを抑制する効果が異なることを見出した。ダミー電極１７の長さを伸ばした弾性波フィルタを設計した所、スプリアスの抑制の効果が異なった。図５には、夫々１λ、３λ、５λの長さのダミー電極１３を設けた場合の、減衰特性を示す特性図を、図６には夫々の条件で発生しているスプリアスの大きさ（通過帯域内にて減衰量の極大値がある場合の極大損失と極小損失との差のうち最大の値）を表す特性図を示す。ダミー電極１７の長さを、夫々１λ、３λ、５λに設定したときに出現するスプリアスの大きさは、夫々０．６２ｄＢ、０．５３ｄＢ、０．５９ｄＢであり、ダミー電極１７の設置する長さによって、抑制の効果が異なっていることが分かる。

【0030】

また図７は、夫々１λ、３λ、５λの長さのダミー電極１３を設けた際の減衰特性を示す特性図を、図８は図７中の夫々の長さのダミー電極１３を設けた際の減衰量３０ｄＢにおける減衰特性の周波数幅を示す。ダミー電極１３の長さを夫々１λ、３λ、５λに設定したときの、減衰量３０ｄＢの周波数幅は３４．２８ＭＨｚ、３４．２３ＭＨｚ、３３．３９ＭＨｚとなっている。図５、図６に示したように、ダミー電極１３の長さを変更した場合、スプリアス抑制の効果は変化している。一方で、ダミー電極１３の長さを変えることよって図７、図８に示すように通過周波数帯域の幅が変動している。したがって弾性波フィルタの設計条件によって設けるべき、ダミー電極１３の最適な長さは異なっており、予めシミュレーションや、実際に弾性波フィルタを駆動することにより決定する必要がある。

【0031】

このため弾性波フィルタに設けるダミー電極１３の長さ寸法を変えてもよく、例えば図９に示すように、入力側ＩＤＴ電極部１１の高域側のダミー電極１３をＬ２の長さのダミー電極を設け、入力側ＩＤＴ電極部１１の低域側のダミー電極１３及び出力側ＩＤＴ電極部１２の高域側、低域側のダミー電極１３の長さをＬ１に設定してもよく、あるいは図１０に示すように入力側ＩＤＴ電極部１１の高域側のダミー電極１３を出力側ＩＤＴ電極部１２の低域側にＬ２の長さのダミー電極１３を設け、入力側ＩＤＴ電極部１１の低域側のダミー電極１３及び出力側ＩＤＴ電極部１２の高域側のダミー電極の長さをＬ１に設定してもよい。

【0032】

前述のように高域側のバスバー１４ａ、１４ｃにダミー電極１３を設けることにより、周波数と減衰特性との関係図を示す特性図（図４）において、通過帯域の高域側のスプリアスが抑えられる。また低域側のバスバー１４ｂ，１４ｄにダミー電極１３を設けることにより通過帯域の低域側のスプリアスが抑えられる。そのため入力側、出力側の両方のＩＤＴ電極部１１、１２にダミー電極を設けることに限らず、入力側あるいは出力側の一方にダミー電極１３を設けた場合にも反射の抑制により、このような効果は得られる。例えば図１１に示すように入力側、出力側のＩＤＴ電極部１１、１２の高域側のバスバー１４ａ，１４ｃにダミー電極１３を設け、低域側のバスバー１４ｂ，１４ｄにダミー電極１３を設けない構成や入力側、出力側のＩＤＴ電極部１１、１２低域側のバスバー１４ｂ，１４ｄにダミー電極１３を設け、高域側のバスバー１４ａ、１４ｃにダミー電極１３を設けない構成などであってもよい。

【0033】

また入力側のＩＤＴ電極部１１の高域側及び低域側のバスバー１４ａ、１４ｂにダミー電極１３を設け、出力側のＩＤＴ電極部１２にはダミー電極１３を設けない構成や、例えば入力側のＩＤＴ電極部１１の高域側のバスバー１４ａにダミー電極１３を設け、入力側のＩＤＴ電極部１１の低域側のバスバー１４ｂ及び出力側のＩＤＴ電極部１２の高域側及び低域側のバスバー１４ｃ、１４ｄにダミー電極１３を設けない構成であってもスプリアスを抑える効果がある。

【0034】

またダミー電極１３は配列群の中で長さ寸法が揃っている必要は無く、幅寸法が揃っている必要も無い。さらに、ダミー電極１３の幅寸法によって、通過周波数特性に与える影響は変化するため、弾性波フィルタの減衰特性に発生するスプリアスに合わせてダミー電極１３の形状を変化させてもよく、例えば図１２に示すように、設置するダミー電極１３の形状を矩形とすることに代えて、長さ方向にテーパー設けて、幅寸法が変わる台形のダミー電極１８や側縁が曲線で構成されたダミー電極であってもよい。テーパー型の電極部を持つ弾性波フィルタにおいては、電極指１５及び反射電極１６の周期単位λにより、伝搬される波長が決定され、電極指１５及び反射電極１６の配列パターンが示す周期単位λの範囲が通過周波数帯域になる。このためテーパーを設けたダミー電極１８を設置する場合には、ダミー電極１８の周期単位λは、設置したＩＤＴ電極部の電極指１５及び反射電極１６が構成する最大周期単位（図１２に示すｄ２）を超える周期単位λであるか、あるいは最小周期単位（図１２に示すｄ１）未満の周期単位λの配列パターンを含む場合には、通過周波数帯域の高域側、または低域側の周波数帯の減衰特性に影響が出る。そのためダミー電極１８の配列領域においては、当該フィルタの通過帯域の外の周期単位帯域λが成立することを避けなければならない。従って図８に示すように、ダミー電極１８の配列領域における最大周期単位をｄ３、最小周期単位をｄ４とすると、ｄ１≦ｄ４≦ｄ３≦ｄ２に設定する必要がある。即ちダミー電極におけるバスバーと平行な幅寸法は、Ｔｒ１における電極指１５の幅寸法以下であり、Ｔｒ２における電極指１５の幅寸法以上であることが必要である。

【符号の説明】

【0035】

１０ 圧電基板
１１ 入力側ＩＤＴ電極部
１２ 出力側ＩＤＴ電極部
１３、１７、１８ ダミー電極
１４ａ〜１４ｄ バスバー
１５ 電極指
１６ 反射電極
３１ 入力ポート
３２ 出力ポート
３５ 吸音材
３６ シールド電極

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】