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特許第5965841号(P5965841)
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特許
5965841
HOT(hybridorientationtechnology)を選択的エピタキシーに関連して用いて移動度を改善する方法およびそれに関連する装置
書誌
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請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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