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特許5966009パッケージ基板に対するワイヤボンドなしでアセンブリ内の信号端子の２重の組を使用するスタブ最小化
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】5966009
(24)【登録日】2016年7月8日
(45)【発行日】2016年8月10日
(54)【発明の名称】パッケージ基板に対するワイヤボンドなしでアセンブリ内の信号端子の２重の組を使用するスタブ最小化
(51)【国際特許分類】
H01L 25/04 20140101AFI20160728BHJP
H01L 25/18 20060101ALI20160728BHJP
H01L 23/12 20060101ALI20160728BHJP
H01L 21/60 20060101ALI20160728BHJP
H01L 25/065 20060101ALI20160728BHJP
H01L 25/07 20060101ALI20160728BHJP
H01L 27/10 20060101ALI20160728BHJP
G11C 5/00 20060101ALI20160728BHJP
【ＦＩ】
H01L25/04 Z
H01L23/12 Q
H01L21/60 311S
H01L25/08 H
H01L27/10 495
G11C5/00 303A
【請求項の数】10
【全頁数】51
(21)【出願番号】特願2014-534602(P2014-534602)
(86)(22)【出願日】2012年9月26日
(65)【公表番号】特表2014-530507(P2014-530507A)
(43)【公表日】2014年11月17日
(86)【国際出願番号】US2012057204
(87)【国際公開番号】WO2013052324
(87)【国際公開日】20130411
【審査請求日】2015年9月28日
(31)【優先権主張番号】61/542,553
(32)【優先日】2011年10月3日
(33)【優先権主張国】US
(31)【優先権主張番号】13/439,317
(32)【優先日】2012年4月4日
(33)【優先権主張国】US
(31)【優先権主張番号】61/600,483
(32)【優先日】2012年2月17日
(33)【優先権主張国】US
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】309034272
【氏名又は名称】インヴェンサス・コーポレイション
(74)【代理人】
【識別番号】100099623
【弁理士】
【氏名又は名称】奥山 尚一
(74)【代理人】
【識別番号】100096769
【弁理士】
【氏名又は名称】有原 幸一
(74)【代理人】
【識別番号】100107319
【弁理士】
【氏名又は名称】松島 鉄男
(74)【代理人】
【識別番号】100114591
【弁理士】
【氏名又は名称】河村 英文
(74)【代理人】
【識別番号】100125380
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 綾子
(74)【代理人】
【識別番号】100142996
【弁理士】
【氏名又は名称】森本 聡二
(74)【代理人】
【識別番号】100154298
【弁理士】
【氏名又は名称】角田 恭子
(74)【代理人】
【識別番号】100166268
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 祐
(74)【代理人】
【識別番号】100170379
【弁理士】
【氏名又は名称】徳本 浩一
(74)【代理人】
【識別番号】100161001
【弁理士】
【氏名又は名称】渡辺 篤司
(74)【代理人】
【識別番号】100179154
【弁理士】
【氏名又は名称】児玉 真衣
(74)【代理人】
【識別番号】100180231
【弁理士】
【氏名又は名称】水島 亜希子
(74)【代理人】
【識別番号】100184424
【弁理士】
【氏名又は名称】増屋 徹
(72)【発明者】
【氏名】クリスプ，リチャード・デューイット
(72)【発明者】
【氏名】ゾーニ，ワエル
(72)【発明者】
【氏名】ハーバ，ベルガセム
(72)【発明者】
【氏名】ランブレクト，フランク
【審査官】
石坂 博明
(56)【参考文献】
【文献】
特開平１１−０８７６４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００７−０１３１４６（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００８−０１６６６６（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０００−３１５７７６（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００２−０８３８９７（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００７−１４９９７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００３−０５１５４５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｈ０１Ｌ ２１／６０
２３／１２−２３／１５
２５／００−２５／０７
２５／１０−２５／１１
２５／１６−２５／１８
２７／１０
Ｇ１１Ｃ ５／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
超小型電子パッケージであって、
面と該面上の複数の素子コンタクトとを有する超小型電子素子であって、メモリ記憶アレイ機能を有する超小型電子素子と、
互いに反対側の第１の表面及び第２の表面を有する基板であって、前記超小型電子素子の前記素子コンタクトに向きかつ該素子コンタクトに接合される、前記第１の表面上の基板コンタクトの組を有する、基板と、
前記超小型電子パッケージを該超小型電子パッケージの外部にある少なくとも１つの構成要素に接続させるように構成される、前記基板の前記第２の表面上の複数の端子であって、該端子は、前記基板コンタクトに電気的に接続され、平行な第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置された第１の端子を含み、それぞれのグリッドは、軸のそれぞれの側に配置され、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドのそれぞれの前記第１の端子は、前記超小型電子素子内のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置の中からアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに前記超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報を運ぶように構成され、前記端子は、平行な第３のグリッド及び第４のグリッド内の場所に配置されかつ第２の情報を運ぶように構成された第２の端子を含み、該第２の情報は、前記第１の端子によって運ばれる情報以外の情報であり、該第２の情報は、データ信号を含み、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドは、前記第３のグリッド及び前記第４のグリッドを互いから分離する、複数の端子と、
を備え、
前記第１の端子は、信号割当てを有し、前記第１のグリッド内の前記第１の端子の信号割当ては、アドレス情報を運ぶように構成された該第１のグリッドの該第１の端子の信号割り当てのような、前記第２のグリッド内の前記第１の端子の信号割当てと、前記軸に関して対称であり、当該第１の端子のそれぞれは、当該第１の端子に関し、前記軸に関して対称な位置における前記第２のグリッドの前記第１の端子のうちの対応する端子と同じアドレス情報を運ぶように構成される、超小型電子パッケージ。
面と該面上の複数の素子コンタクトとを有する超小型電子素子であって、メモリ記憶アレイ機能を有する超小型電子素子と、
互いに反対側の第１の表面及び第２の表面を有する基板であって、前記超小型電子素子の前記素子コンタクトに向きかつ該素子コンタクトに接合される、前記第１の表面上の基板コンタクトの組を有する、基板と、
前記超小型電子パッケージを該超小型電子パッケージの外部にある少なくとも１つの構成要素に接続させるように構成される、前記基板の前記第２の表面上の複数の端子であって、該端子は、前記基板コンタクトに電気的に接続され、平行な第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置された第１の端子を含み、それぞれのグリッドは、軸のそれぞれの側に配置され、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドのそれぞれの前記第１の端子は、前記超小型電子素子内のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置の中からアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに前記超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報を運ぶように構成され、前記端子は、平行な第３のグリッド及び第４のグリッド内の場所に配置されかつ第２の情報を運ぶように構成された第２の端子を含み、該第２の情報は、前記第１の端子によって運ばれる情報以外の情報であり、該第２の情報は、データ信号を含み、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドは、前記第３のグリッド及び前記第４のグリッドを互いから分離する、複数の端子と、
を備え、
前記第１の端子は、信号割当てを有し、前記第１のグリッド内の前記第１の端子の信号割当ては、アドレス情報を運ぶように構成された該第１のグリッドの該第１の端子の信号割り当てのような、前記第２のグリッド内の前記第１の端子の信号割当てと、前記軸に関して対称であり、当該第１の端子のそれぞれは、当該第１の端子に関し、前記軸に関して対称な位置における前記第２のグリッドの前記第１の端子のうちの対応する端子と同じアドレス情報を運ぶように構成される、超小型電子パッケージ。
【請求項2】
前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドのそれぞれの前記第１の端子は、前記アドレス指定可能メモリ位置を決定するのに前記超小型電子パッケージ内の前記回路によって使用可能な前記アドレス情報の全てを運ぶように構成される、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項3】
前記第１のグリッド及び前記第２のグリッド内の端子の列は、前記基板の対向する第１の縁部及び第２の縁部に平行な方向に延在し、前記軸は、前記基板の前記第１の縁部及び前記第２の縁部に平行でかつ前記基板の前記第１の縁部及び前記第２の縁部から等距離のラインから、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッド内の前記端子の任意の２つの隣接する列間の最小ピッチの３．５倍以下の距離である、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項4】
前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドのそれぞれは、前記第１の端子の平行な第１の列及び第２の列を含む、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項5】
前記第３のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ては、前記第４のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ての鏡像である、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項6】
前記第２の端子の或る部分は第５のグリッド内に配置され、前記第２の端子の別の部分は第６のグリッド内に配置され、前記第５のグリッド及び前記第６のグリッド内の端子の列は、互いに平行であり、前記第１の端子及び前記第２の端子内の端子列が延在する第１の方向を横切る第２の方向に延在し、
前記第５のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ては、前記第１のグリッドと前記２のグリッドとの間の軸について対称であり、前記第６のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ては、前記第１のグリッドと前記２のグリッドとの間の前記軸に関して対称であり、前記軸は、前記基板の対向する第１の縁部及び第２の縁部から等距離にある、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
前記第５のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ては、前記第１のグリッドと前記２のグリッドとの間の軸について対称であり、前記第６のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ては、前記第１のグリッドと前記２のグリッドとの間の前記軸に関して対称であり、前記軸は、前記基板の対向する第１の縁部及び第２の縁部から等距離にある、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項7】
前記超小型電子素子は第１の超小型電子素子であり、前記基板コンタクトの組は基板コンタクトの第１の組であり、
前記超小型電子パッケージは、面と該面上の複数の素子コンタクトとを有する第２の超小型電子素子を更に備え、該第２の超小型電子素子は、メモリ記憶アレイ機能を有し、
前記基板は、前記第２の超小型電子素子の素子コンタクトに向きかつ該素子コンタクトに接合される、前記第１の表面上の基板コンタクトの第２の組を有し、前記端子は、基板コンタクトの前記第２の組に電気的に接続され、
前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドのそれぞれの前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子及び前記第２の超小型電子素子内のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置の中からアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに前記超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報を運ぶように構成される、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
前記超小型電子パッケージは、面と該面上の複数の素子コンタクトとを有する第２の超小型電子素子を更に備え、該第２の超小型電子素子は、メモリ記憶アレイ機能を有し、
前記基板は、前記第２の超小型電子素子の素子コンタクトに向きかつ該素子コンタクトに接合される、前記第１の表面上の基板コンタクトの第２の組を有し、前記端子は、基板コンタクトの前記第２の組に電気的に接続され、
前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドのそれぞれの前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子及び前記第２の超小型電子素子内のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置の中からアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに前記超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報を運ぶように構成される、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項8】
前記第１のグリッドの前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子に電気的に接続され、前記第２のグリッドの前記第１の端子は、前記第２の超小型電子素子に電気的に接続される、請求項７に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項9】
前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドの前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子及び前記第２の超小型電子素子のそれぞれに電気的に接続される、請求項８に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項10】
前記第１のグリッドの前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子に電気的に接続され、前記第２の超小型電子素子には電気的に接続されず、前記第２のグリッドの前記第１の端子は、前記第２の超小型電子素子に電気的に接続され、前記第１の超小型電子素子には電気的に接続されない、請求項７に記載の超小型電子パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
（関連出願の相互参照）本出願は、２０１１年１０月３日に出願された米国仮特許出願第６１／５４２，５５３号及び２０１２年２月１７日に出願された米国仮特許出願第６１／６００，４８３号の出願日の利益を主張する２０１２年４月４日に出願された米国特許出願第１３／４３９，３１７号の継続出願であり、それらの特許文献の開示は参照することにより本明細書の一部をなすものとする。
【0002】
本出願の主題は、超小型電子パッケージ及び超小型電子パッケージを組み込んだアセンブリに関する。
【背景技術】
【0003】
半導体チップは、一般に、個々のパッケージされたユニットとして提供される。標準的なチップは、平坦な方形の本体を有し、この本体は、チップの内部回路部に接続されたコンタクトを有する大きな前面を備えている。個々の各チップは、通常、チップのコンタクトに接続された外部端子を有するパッケージ内に含まれている。また、端子、すなわちパッケージの外部接続点は、プリント回路基板等の回路パネルに電気的に接続するように構成されている。多くの従来の設計では、チップパッケージは、チップ自体の面積よりもかなり大きな回路パネルの面積を占有する。「チップの面積」とは、この開示において、前面を有する平坦なチップに関して用いられるとき、前面の面積を指すものとして理解されるべきである。
【0004】
「フリップチップ」設計では、チップの前面は、パッケージ誘電体素子、すなわち、パッケージの基板の面に向き合い、チップ上のコンタクトは、はんだバンプ又は他の接続素子によってこの基板の面上のコンタクトに直接ボンディングされる。また、この基板は、当該基板の上に重なる外部端子を通じて回路パネルにボンディングすることができる。「フリップチップ」設計は、比較的コンパクトな構成を提供する。いくつかのフリップチップパッケージは一般に「チップスケールパッケージ」と呼ばれる。「チップスケールパッケージ」では、各パッケージは、例えば、本願と同一の譲受人に譲渡された米国特許第５，１４８，２６５号、同第５，１４８，２６６号、及び同第５，６７９，９７７号の或る特定の実施形態に開示されているように、チップの前面の面積に等しいか又はそれよりも僅かに大きな回路パネルの面積を占有する。これらの米国特許の開示内容は、参照することによって本明細書の一部をなすものとする。或る特定の革新的な実装技法が、従来のフリップチップボンディングのコンパクト性に匹敵するコンパクト性又はそれに等しいコンパクト性を提供する。
【0005】
チップのいかなる物理的構成においても、サイズは重要な考慮事項である。チップのより小型の物理的構成に対する要求は、携帯型電子デバイスの急速な発展により、更に強くなってきている。単に例として、一般に「スマートフォン」と呼ばれるデバイスは、携帯電話の機能を、強力なデータプロセッサ、メモリ、並びに全地球測位システム受信機、電子カメラ及びローカルエリアネットワーク接続等の補助デバイスと、高解像度ディスプレイ及び関連する画像処理チップとともに一体化している。こうしたデバイスは、完全なインターネット接続、最大解像度の映像を含むエンターテイメント、ナビゲーション、電子銀行等の機能を、全てポケットサイズのデバイスで提供することができる。複雑な携帯型デバイスでは、多数のチップを小さい空間に詰め込む必要がある。さらに、チップのうちのいくつかは、一般に「Ｉ／Ｏ」と呼ばれる多くの入出力接続を有している。これらのＩ／Ｏを、他のチップのＩ／Ｏと相互接続しなければならない。相互接続を形成する構成要素は、アセンブリのサイズを大幅に増大させるべきではない。同様の必要性は、例えば、インターネット検索エンジンで使用されるもの等の、性能の増大及びサイズの低減が必要とされるデータサーバにおける用途等の、他の用途でも発生する。
【0006】
メモリ記憶アレイ、特にダイナミックランダムアクセスメモリチップ（ＤＲＡＭ）及びフラッシュメモリチップを含む半導体チップは、一般に、単一チップ又は複数チップのパッケージ及びアセンブリにパッケージされる。各パッケージは、端子と、その中のチップとの間で信号を運び、電源及び接地を接続するために数多くの電気的接続を有する。それらの電気的接続は、チップのコンタクト支持面に対して水平方向に延在する水平導体、例えば、トレース、ビームリード等、及びチップの表面に対して垂直方向に延在するビア等の垂直導体、並びにチップの表面に対して水平及び垂直の両方向に延在するワイヤボンド等の、異なる種類の導体を含むことができる。
【0007】
従来の超小型電子パッケージは、主としてメモリ記憶アレイ機能を提供するように構成される超小型電子素子、すなわち、メモリ記憶アレイ機能を提供する能動デバイスを他のいずれの機能よりも多く具現化する超小型電子素子を組み込むことができる。この超小型電子素子は、ＤＲＡＭチップ、又はそのような半導体チップを積み重ねて電気的に相互接続したアセンブリとすることもできるし、それらを含むこともできる。通常、そのようなパッケージの端子の全ては、超小型電子素子が実装されるパッケージ基板の１つ又は複数の周縁部に隣接して数組の列に配置される。
【0008】
例えば、図１に見られる１つの従来の超小型電子パッケージ１２において、パッケージ基板２０の第１の周縁部１６に隣接して端子の３つの列１４を配置することができ、パッケージ基板２０の第２の周縁部２２に隣接して端子の別の３つの列１８を配置することができる。従来のパッケージにおけるパッケージ基板２０の中央領域２４には、端子の列は全くない。図１は更に、パッケージ内の、面２８上に素子コンタクト２６を有する半導体チップ１１を示す。素子コンタクト２６は、パッケージ基板２０の中央領域２４における開口部、例えばボンドウインドウ、を通って延在するワイヤボンド３０を通じて、パッケージ１２の端子の列１４、１８と電気的に相互接続されている。場合によっては、超小型電子素子１１の面２８と基板２０との間に接着層３２を配置して、ワイヤボンドが接着層３２の開口部を通って延在する状態で、超小型電子素子と基板との機械的接続を補強することができる。
【0009】
上記に鑑みて、特にそのようなパッケージと、そのようなパッケージを搭載し互いに電気的に相互接続することができる回路パネルとを含むアセンブリにおいて電気的性能を改善するために、超小型電子パッケージ上で端子の配置の改善をいくらか行うことができる。
【発明の概要】
【0010】
本発明の態様によれば、超小型電子パッケージが、面及び該面において露出する複数の素子コンタクトを有する超小型電子素子と、互いに反対側の第１の表面及び第２の表面を有する基板と、前記超小型電子パッケージを該パッケージの外部にある少なくとも１つの構成要素に接続するように構成される、前記第２の表面において露出する複数の端子とを備えることができる。前記超小型電子素子はメモリ記憶アレイ機能を有することができる。前記基板は、前記超小型電子素子の素子コンタクトに向きかつ該素子コンタクトに接合される、第１の表面において露出する１組の基板コンタクトを有することができる。
【0011】
前記端子は、前記基板コンタクトに電気的に接続することができ、複数の第１の端子を含むことができる。前記第１の端子は、理論的軸の第１の側に配置された第１の端子の第１の組と、前記第１の側と反対側の前記軸の第２の側に配置された前記第１の端子の第２の組とを含むことができる。前記第１の組及び前記第２の組のそれぞれは、前記超小型電子素子のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置の中からアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに前記超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報を運ぶように構成することができる。第１の組内の第１の端子の信号割当ては、第２の組内の第１の端子の信号割当ての鏡像とすることができる。
【0012】
一例において、前記超小型電子素子は、メモリ記憶アレイ機能を提供する能動素子の数をいかなる他の機能よりも多く具体化することができる。例示的な実施形態において、第１の組及び第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、前記アドレス指定可能メモリ位置を決定するのに前記超小型電子パッケージ内の前記回路によって使用可能な前記アドレス情報の全てを運ぶように構成することができる。一例において、第１の組及び第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、前記超小型電子素子の動作モードを制御する情報を運ぶように構成することができる。特定の実施形態において、第１の組及び第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、前記超小型電子パッケージに転送されるコマンド信号の全てを運ぶように構成することができ、前記コマンド信号は、ライトイネーブル（書き込み許可）、行アドレスストローブ、及び列アドレスストローブ信号である。
【0013】
一実施形態において、第１の組及び第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、前記超小型電子パッケージに転送されるクロック信号を運ぶように構成することができ、前記クロック信号は、前記アドレス情報を運ぶ信号をサンプリングするのに使用されるクロックである。特定の例において、第１の組及び第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、前記超小型電子パッケージに転送されるバンクアドレス信号の全てを運ぶように構成することができる。一例において、前記素子コンタクトは、前記超小型電子素子の前面において露出する再分配コンタクトを含むことができる。各再分配コンタクトは、トレース又はビアの少なくとも一方を通して前記超小型電子素子のコンタクトパッドに電気的に接続することができる。
【0014】
特定の例において、前記第１の組及び第２の組の前記第１の端子は、それぞれの第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置することができる。前記第１のグリッド及び前記第２のグリッド内の端子の列は、前記基板の対向する第１の縁部及び第２の縁部に平行な方向に延在することができる。前記軸は、前記基板の前記第１の縁部及び前記第２の縁部に平行でかつ前記基板の前記第１の縁部及び前記第２の縁部から等距離のラインから、前記第１の端子の任意の２つの隣接する列間の最小ピッチの３．５倍以下の距離とすることができる。一実施形態において、少なくともいくつかの第１の端子を含む特定の列の大部分の端子の中心を通って延在する列軸は、前記特定の列の端子の１つ又は複数の端子の中心を通って延在しないことができる。
【0015】
一例において、前記列軸は、前記列の中央に置かれない前記１つ又は複数の端子の少なくとも１つの端子を通って延在しないことができる。特定の実施形態において、前記第１の組及び前記第２の組の前記第１の端子は、それぞれの第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置することができ、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドのそれぞれは、前記第１の端子の平行な第１の列及び第２の列を含むことができる。例示的な実施形態において、前記第１のグリッド又は前記第２のグリッドの少なくとも一方のグリッドは、前記少なくとも一方のグリッドの平行な前記第１の列と前記第２の列との間に少なくとも１つの端子を含むことができる。一実施形態において、前記端子は第２の端子を含むことができる。前記第２の端子の少なくともいくつかは、アドレス情報以外の情報を運ぶように構成することができる。特定の例において、前記第１の組及び前記第２の組の前記第１の端子は、それぞれの第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置することができ、前記第２の端子は、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッド内ではなく、前記第２の表面上の場所に配置することができる。一例において、前記第１の組及び前記第２の組の前記第１の端子は、それぞれの第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置することができ、前記第２の端子の少なくともいくつかは、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッド内に配置することができる。
【0016】
特定の実施形態において、前記第１の組及び前記第２の組の前記第１の端子は、それぞれの第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置することができ、前記第２の端子の１つの部分は第３のグリッド内に配置することができ、前記第２の端子の別の部分は第４のグリッド内に配置することができる。前記第３のグリッド及び前記第４のグリッド内の端子の列は、互いに、また、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッド内の端子の列に平行にすることができる。前記第３のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ては、前記第４のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ての鏡像とすることができる。一例において、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドは、前記第３のグリッド及び前記第４のグリッドを互いから分離することができる。
【0017】
例示的な実施形態において、前記第２の端子の或る部分は第５のグリッド内に配置することができ、前記第２の端子の別の部分は第６のグリッド内に配置することができる。前記第５のグリッド及び前記第６のグリッド内の端子の列は、互いに平行とすることができ、前記第１の端子及び前記第２の端子の端子列が延在する第１の方向を横切る第２の方向に延在することができる。前記第５のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ては、前記第１のグリッドと前記２のグリッドとの間の軸について対称とすることができ、前記第６のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ては、前記第１のグリッドと前記２のグリッドとの間の軸について対称とすることができる。前記軸は、前記基板の対向する第１の縁部及び第２の縁部から等距離にあることができる。一例において、前記パッケージの外部にある前記少なくとも１つの構成要素は回路パネルとすることができる。特定の例において、超小型電子パッケージは、前記基板の前記第１の表面に向く表面を有するバッファチップを更に備えることができる。前記バッファチップは、前記第１の組及び前記第２の組の少なくとも一方の組の前記第１の端子に電気的に接続することができる。前記バッファチップは、前記第１の端子で受信された前記アドレス情報の少なくとも一部を再生し、前記再生された信号を前記超小型電子素子に出力するように構成することができる。
【0018】
一実施形態において、前記超小型電子素子は第１の超小型電子素子とすることができ、基板コンタクトの前記組は基板コンタクトの第１の組とすることができる。前記超小型電子パッケージは、面及び該面において露出する複数の素子コンタクトを有する第２の超小型電子素子を更に備えることができる。前記第２の超小型電子素子はメモリ記憶アレイ機能を有することができる。前記基板は、前記第２の超小型電子素子の素子コンタクトに向きかつ該第２の超小型電子素子の該素子コンタクトに接合される、前記第１の表面において露出する基板コンタクトの第２の組を有することができる。前記端子は、基板コンタクトの前記第２の組に電気的に接続することができる。前記第１の組及び前記第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子及び前記第２の超小型電子素子の少なくとも一方の超小型電子素子のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置の中からアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに前記超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報を運ぶように構成することができる。
【0019】
特定の例において、前記第１の超小型電子素子及び前記第２の超小型電子素子の前記面は、前記基板の前記第１の表面に平行な単一平面内に配置することができる。一実施形態において、前記第１の組の前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子に電気的に接続することができ、前記第２の組の前記第１の端子は、前記第２の超小型電子素子に電気的に接続することができる。特定の実施形態において、前記第１の組及び前記第２の組の前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子及び前記第２の超小型電子素子のそれぞれに電気的に接続することができる。
【0020】
一例において、前記第１の組の前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子に電気的に接続することができ、前記第２の超小型電子素子に電気的に接続しないことができる。前記第２の組の前記第１の端子は、前記第２の超小型電子素子に電気的に接続することができ、前記第１の超小型電子素子に電気的に接続しないことができる。例示的な実施形態において、前記基板は、誘電体素子の平面において３０パーツパーミリオン／摂氏温度（「ｐｐｍ／℃」）未満の熱膨張率（「ＣＴＥ」）を有する、前記誘電体素子を含むことができる。一例において、前記基板は、１２ｐｐｍ／℃未満のＣＴＥを有する素子を含むことができる。
【0021】
本発明の別の態様によれば、超小型電子パッケージが、面及び該面上の複数の素子コンタクトを有する超小型電子素子と、互いに反対側の第１の表面及び第２の表面を有する基板と、超小型電子パッケージを該パッケージの外部にある少なくとも１つの構成要素に接続させるために構成される前記第２の表面において露出する複数の端子とを備えることができる。前記超小型電子素子は、メモリ記憶アレイ機能を提供する能動素子の数をいかなる他の機能よりも多く具体化することができる。前記基板は、前記超小型電子素子の素子コンタクトに向きかつ素子コンタクトに接合される、第１の表面上の基板コンタクトの組を有することができる。
【0022】
前記端子は、前記基板コンタクトに電気的に接続することができ、平行な第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置された第１の端子を含むことができる。第１のグリッド及び第２のグリッドのそれぞれの前記第１の端子は、前記超小型電子素子内のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置の中からアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報の大部分を運ぶように構成することができる。前記第１のグリッド内の前記第１の端子の信号割当ては、前記第２のグリッド内の前記第１の端子の信号割当ての鏡像とすることができる。特定の実施形態では、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドのそれぞれの前記第１の端子は、前記アドレス指定可能メモリ位置を決定するのに超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報の少なくとも３／４を運ぶように構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【0023】
【図1】ＤＲＡＭチップを含む従来の超小型電子パッケージを示す断面図である。
【図2】回路パネルと、互いに反対側の第１の表面及び第２の表面に互いに対向して搭載された複数の超小型電子パッケージとを組み込んだ、超小型電子アセンブリ、例えばＤＩＭＭモジュールを示す概略図である。
【図5】本発明の一実施形態による超小型電子パッケージにおける端子の配列と信号割り当てとを示す概略平面図である。
【図8A】本発明の一実施形態による超小型電子アセンブリ及びそれと電気的に相互接続された第１の超小型電子パッケージ及び第２の超小型電子パッケージを示す断面図である。
【図8B】本発明の一実施形態による超小型電子アセンブリ及びそれと電気的に相互接続された第１の超小型電子パッケージ及び第２の超小型電子パッケージを示す断面図である。
【図8C】本発明の一実施形態による超小型電子アセンブリ及びそれと電気的に相互接続された４つの超小型電子パッケージを示す断面図である。
【図8D】本発明の一実施形態による、回路パネルを備える超小型電子アセンブリ及びそれと電気的に相互接続された超小型電子パッケージ、例えばなかでもメモリモジュールを示す断面図である。
【図9】本発明の一実施形態による超小型電子パッケージにおける端子の配列と信号割り当てとを示す概略平面図である。
【図10】本発明の一実施形態による超小型電子パッケージにおける端子の配列と信号割り当てとを示す概略平面図である。
【図12】本発明の一実施形態による超小型電子アセンブリ及びそれと電気的に相互接続された第１の超小型電子パッケージ及び第２の超小型電子パッケージを示す断面図である。
【図21】本発明の一実施形態による、スタックした電気的に接続した半導体チップのアセンブリを含む超小型電子パッケージを示す断面図である。
【図22A】本発明の一実施形態による、スタックした電気的に接続した半導体チップのアセンブリを含む超小型電子パッケージを示す断面図である。
【図26A】本発明の一実施形態による超小型電子パッケージにおける端子の配列と信号割り当てとを示す概略平面図である。
【図27】本発明の一実施形態による超小型電子アセンブリ及びそれと電気的に相互接続された第１の超小型電子パッケージ及び第２の超小型電子パッケージを示す断面図である。
【図28】本発明の一実施形態によるシステムを示す概略断面図である。
【図29】本発明の一実施形態によるシステムを示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0024】
図１に関して説明する例示的な従来の超小型電子パッケージ１２に鑑みて、本発明者らは、メモリ記憶アレイチップを組み込む超小型電子パッケージ及びそのような超小型電子パッケージを組み込む超小型電子アセンブリの電気的性能を改善するのに役立てることができる、行うことができる改善を認識した。
【0025】
特に、図２〜図４に示すもの等のアセンブリ内に設けられた場合の超小型電子パッケージの使用に関して改善を行うことができる。図２〜図４において、パッケージ１２Ａが回路パネルの表面に搭載され、別の同様なパッケージ１２Ｂが回路パネルの反対側の表面上に、それに向き合って搭載される。パッケージ１２Ａ、１２Ｂは通常、機能的及び機械的に互いに同等である。機能的及び機械的に同等なパッケージの他の対１２Ｃと１２Ｄ、及び１２Ｅと１２Ｆもまた、通常同じ回路パネル３４に搭載される。回路パネルとそれに取り付けられたパッケージとは、一般にデュアルインラインメモリモジュール（「ＤＩＭＭ」）と呼ばれるアセンブリの一部を形成することができる。対向して搭載されたパッケージの対それぞれにおけるパッケージ、例えばパッケージ１２Ａ、１２Ｂは、回路パネルの反対に位置する表面上のコンタクトに接続し、それぞれの対におけるパッケージ同士が通常それぞれの面積の９０％よりも多く互いに重なるようになっている。回路パネル３４内のローカル配線は、端子、例えばそれぞれのパッケージ上の「１」、「５」とラベルがついた端子を回路パネル上のグローバル配線に接続する。グローバル配線は、位置Ｉ、ＩＩ、及びＩＩＩ等の回路パネル３４上の接続位置にいくつかの信号を伝えるのに用いる、バス３６の信号導体を含む。例えば、パッケージ１２Ａ、１２Ｂは、接続位置Ｉに結合したローカル配線によってバス３６に電気的に接続され、パッケージ１２Ｃ、１２Ｄは、接続位置ＩＩに結合したローカル配線によってバスに電気的に接続され、パッケージ１２Ｅ、１２Ｆは、接続位置ＩＩＩに結合したローカル配線によってバスに電気的に接続される。
【0026】
回路パネル３４は、パッケージ１２Ａの一方の縁部１６近くの「１」とラベルがついた端子が回路パネル３４を貫いてパッケージ１２Ｂの同じ縁部１６近くのパッケージ１２Ｂの「１」とラベルがついた端子に接続する、十文字すなわち「シューレース（靴ひも）」パターンと同様に見えるローカル相互接続配線を用いて、パッケージ１２Ａ、１２Ｂそれぞれの端子を電気的に相互接続する。しかし、回路パネル３４に取り付けたパッケージ１２Ｂの縁部１６は、パッケージ１２Ａの縁部１６から遠い。図２〜図４は、パッケージ１２Ａの縁部２２近くの「５」とラベルがついた端子が回路パネル３４を貫いてパッケージ１２Ｂの同じ縁部２２近くのパッケージ１２Ｂの「５」とラベルがついた端子に接続するということを更に示す。アセンブリ３８において、パッケージ１２Ａの縁部２２はパッケージ１２Ｂの縁部２２から遠い。
【0027】
回路パネルを貫く、各パッケージ、例えばパッケージ１２Ａ上の端子と、その反対側に搭載されたパッケージ、すなわちパッケージ１２Ｂ上の対応する端子との間の接続は、かなり長いものである。図３において更にわかるように、同様の超小型電子パッケージ１２Ａ、１２Ｂのそのようなアセンブリにおいて、回路パネル３４は、バス３６の信号導体を、バスからの同じ信号がそれぞれのパッケージに送信されることになっている場合には、「１」と印がついたパッケージ１２Ａの端子及び「１」と印がついたパッケージ１２Ｂの対応する端子と電気的に相互接続することができる。同様に回路パネル３４は、バス３６の別の信号導体を、「２」と印がついたパッケージ１２Ａの端子及び「２」と印がついたパッケージ１２Ｂの対応する端子と電気的に相互接続することができる。同じ接続の仕組みを、バスの他の信号導体及びそれぞれのパッケージの対応する端子にも当てはめることができる。
【0028】
回路パネル３４上のバス３６と、パッケージのそれぞれの対、例えば、基板の接続位置Ｉにおけるパッケージ１２Ａ、１２Ｂ（図２）、のそれぞれのパッケージとの間のローカル配線は、非終端スタブの形とすることができる。そのようなローカル配線は、比較的長い場合には、場合によっては後述するようにアセンブリ３８の性能に影響を及ぼす場合がある。さらに、回路パネル３４はまたローカル配線に、他のパッケージ、すなわちパッケージの対１２Ｃ及び１２Ｄ並びにパッケージの対１２Ｅ及び１２Ｆの或る特定の端子をバス３６のグローバル配線に電気的に相互接続するよう求め、そのような配線も、同じようにアセンブリの性能に影響を及ぼす可能性がある。
【0029】
図４は更に、信号「１」、「２」、「３」、「４」、「５」、「６」、「７」、及び「８」を運ぶよう割り当てられた端子のそれぞれの対の超小型電子パッケージ１２Ａと１２Ｂとの間の相互接続を示す。図４においてわかるように、端子の、基板の表面の中央領域２４内ではなく、列１４、１８の全ては各パッケージ１２Ａ、１２Ｂそれぞれの縁部１６、２２の近くに露出するので、端子の列１４、１８が延在する方向４２を横切る方向４０に回路パネル３４を横切るのに必要な配線は、非常に長くなる可能性がある。ＤＲＡＭチップの長さは、それぞれの辺において１０ミリメートルの範囲にすることができるということを認識すれば、或る信号が、２つの対向して搭載されるパッケージ１２Ａ、１２Ｂの対応する端子に同じ信号をルーティングするのに必要な、図２〜図４に見られるアセンブリ３８における回路パネル３４内のローカル配線の長さは、５ミリメートルから１０ミリメートルの間に及ぶ可能性があり、通常約７ミリメートルとすることができる。
【0030】
場合によっては、パッケージの端子同士を接続する回路パネル上の非終端配線が比較的長くても、アセンブリ３８の電気的性能にひどく影響を及ぼすことはない場合がある。しかし、図２に示すように、回路パネルのバス３６から回路パネルに接続されたパッケージの多数の対のそれぞれに信号を転送する場合、バス３６からそこに接続されたそれぞれのパッケージ上の端子まで延在するスタブ、すなわちローカル配線の電気長がアセンブリ３８の性能に潜在的に影響を及ぼすということを本発明者らは認識している。非終端スタブ上の信号反射は、それぞれのパッケージの接続された端子から戻ってバス３６上へと逆方向に伝わり、したがってバス３６からパッケージに転送される信号を劣化させてしまう可能性がある。この影響は、現在製造される超小型電子素子を含むいくつかのパッケージについては許容できる場合がある。しかし、増大する信号スイッチング周波数もしくは低電圧スイング信号又はその両方で動作する現在又は将来のアセンブリにおいては、この影響は甚だしくなる可能性がある、ということを本発明者は認識している。これらのアセンブリについては、送信信号のセトリングタイム（整定時間）、リンギング、ジッタ、又は符号間干渉が受け入れがたい程度まで増大する場合がある。
【0031】
本発明者らは、非終端スタブの電気長は通常、回路パネルのバス３６を、そこに搭載されたパッケージの端子と接続するローカル配線よりも長いということを更に認識している。それぞれのパッケージ内の、パッケージ端子から内部の半導体チップまでの非終端配線によって、スタブ長さが増加する。
【0032】
特定の例において、バス３６は、ＤＩＭＭ等の主流のメモリ記憶アレイ機能を有するアセンブリのコマンド−アドレスバスである。コマンド−アドレスバス３６は、パッケージ内の回路、例えば、行アドレス及び列アドレスのデコーダ、並びにもしある場合にはバンク選択回路が使用して、パッケージにおける超小型電子素子内のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置からアドレス指定可能メモリ位置を決定することができる、超小型電子パッケージに転送されるアドレス情報を運ぶように構成することができる。コマンド−アドレスバス３６は、接続位置、例えば、図２に示す位置Ｉ、ＩＩ、及びＩＩＩに上述のアドレス情報を運ぶように構成することができる。これらの上述のアドレス情報は次に、ローカル配線によって、そこにパッケージ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ、１２Ｅ及び１２Ｆが接続される回路パネルの互いに反対側の表面上のパネルコンタクトのそれぞれの組に分配することができる。
【0033】
特定の例において、超小型電子素子がＤＲＡＭチップであるかＤＲＡＭチップを含む場合、コマンド−アドレスバス３６は、超小型電子パッケージに転送される超小型電子素子のコマンド−アドレスバスの１群の信号、すなわちコマンド信号、アドレス信号、バンクアドレス信号、及びクロック信号の全てを運ぶように構成することができ、このコマンド信号は、ライトイネーブル、行アドレスストローブ、及び列アドレスストローブ信号を含み、このクロック信号は、アドレス信号をサンプリングするのに用いるクロックである。クロック信号はさまざまなタイプとすることができるが、一実施形態において、これらの端子が運ぶクロック信号は、差動、すなわち、真の及び相補クロック信号として受け取られる差動クロック信号の１つ又は複数の対とすることができる。
【0034】
したがって、本明細書において説明する本発明の或る特定の実施形態は、そのような第１のパッケージ及び第２のパッケージが回路パネル、例えば回路基板、モジュール基板若しくはカード、又はフレキシブル回路パネルの互いに反対側の表面上に互いに対向して搭載される場合にスタブの長さを短くできるように構成した、超小型電子パッケージを提供する。回路パネル上に互いに対向して搭載される第１の超小型電子パッケージ及び第２の超小型電子パッケージを組み込むアセンブリは、それぞれのパッケージ間のスタブ長さを著しく低減することができる。こうしたアセンブリ内のスタブ長を低減することは、なかでも、整定時間、リンギング、ジッタ、又は符号間干渉のうちの１つ又は複数を低減すること等によって電気性能を改善することができる。さらに、回路パネルの構造の単純化、又は回路パネルの設計若しくは製造の複雑性及びコストの低減、又は回路パネルの設計及び製造双方の複雑性及びコストの低減等、他の利点もまた得ることを可能にすることができる。
【0035】
本発明の或る特定の実施形態は、超小型電子素子、例えば半導体チップ又は半導体チップの積み重ねた配列が主としてメモリ記憶アレイ機能を提供するように構成された、パッケージ又は超小型電子アセンブリを提供する。そのような超小型電子素子において、メモリ記憶アレイ機能を提供するように構成され、すなわち組み立てられ他のデバイスと相互接続された、内部の能動素子、例えばトランジスタの数は、いかなる他の機能を提供するように構成された能動素子の数よりも多い。したがって、一例において、ＤＲＡＭチップ等の超小型電子素子は、その主要な又は唯一の機能としてメモリ記憶アレイ機能を有することができる。代替的に、別の例において、そのような超小型電子素子は、混合した使用法を有することができ、メモリ記憶アレイ機能を提供するように構成した能動素子を組み込むことができ、また、なかでもプロセッサ機能又は信号プロセッサもしくはグラフィックスプロセッサの機能等、別の機能を提供するように構成された他の能動素子も組み込むことができる。この場合、超小型電子素子は依然として、メモリ記憶アレイ機能を提供するように構成された能動素子の数を超小型電子素子のいかなる他の機能よりも多く有することができる。
【0036】
超小型電子素子は、面上に素子コンタクトの複数の列を有する面を有する。いくつかの実施形態では、超小型電子素子はそれぞれ、基板にフリップチップ実装され、それにより、第１の超小型電子素子及び第２の超小型電子素子の素子コンタクトは、基板の第１の表面上の基板コンタクトのそれぞれの第１の組及び第２の組に向き、それぞれの第１の組及び第２の組に接合される。他の実施形態では、超小型電子素子は、基板に隣接し、基板に電気的に接続された第１の半導体チップと、第１の半導体チップに載り、第１の半導体チップに電気的に接続された１つ又は複数の第２の半導体チップとを備えることができ、第２の半導体チップはメモリ記憶アレイ機能を主に提供するように構成される。
【0037】
超小型電子パッケージをパッケージの外部にある少なくとも１つの構成要素に接続するように構成される複数の端子を、基板の第２の表面上に設けることができる。基板コンタクトに電気的に接続される端子は、平行な第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置される第１の端子を含む。
【0038】
本発明の或る特定の実施形態において、第１のグリッド及び第２のグリッドは、超小型電子パッケージに転送される超小型電子素子のコマンド−アドレスバスの１群の信号、すなわちコマンド信号、アドレス信号、バンクアドレス信号、及びクロック信号の全てを運ぶように構成され、このコマンド信号は、ライトイネーブル、行アドレスストローブ、及び列アドレスストローブ信号を含み、このクロック信号は、アドレス信号をサンプリングするのに用いるクロックである。クロック信号はさまざまなタイプとすることができるが、一実施形態において、これらの端子が運ぶクロック信号は、差動、又は、真の及び相補クロック信号として受け取られる差動クロック信号の１つ又は複数の対とすることができる。
【0039】
回路パネル、例えばプリント回路基板、モジュールカード等の上で、コマンド−アドレスバスのこれらの上述の信号、すなわちコマンド信号、アドレス信号、バンクアドレス信号、及びクロック信号を、並列でそこに接続された多数の超小型電子パッケージに、バスにより伝達することができる。１つのグリッド内の信号割当てが他のグリッド内の信号割当ての鏡像である平行な第１のグリッド及び第２のグリッド内に第１の端子の２重の組を設けることによって、互いに対向して回路パネルに実装される第１の超小型電子パッケージ及び第２の超小型電子パッケージのアセンブリにおいてスタブの長さを低減することができる。
【0040】
第１の超小型電子パッケージ及び第２の超小型電子パッケージが回路パネルの互いに反対側の実装表面に実装され、回路パネルがそれらのパッケージを電気的に相互接続すると、第１のパッケージの第１のグリッドの第１の端子のそれぞれは、第１のグリッドの第１の端子が接続する第２のパッケージの第２の鏡像グリッドの対応する第１の端子の１ボールピッチの距離以内で位置合わせすることができる。すなわち、対応するグリッドは、回路パネルの実装表面の１つの実装表面に平行な直交するｘ及びｙ方向に、互いの１ボールピッチの距離以内で位置合わせすることができる。ボールピッチは、両方のパッケージ上の端子の任意の２つの隣接する平行な列間の最小ピッチより大きくない。加えて、第２のパッケージの第１のグリッドの第１の端子のそれぞれは、第１のグリッドの第１の端子が接続する第１のパッケージの第２の鏡像グリッドの対応する第１の端子の１ボールピッチの距離以内で位置合わせすることができる。結果として、第１のパッケージのそれぞれの第１の端子は、第２のパッケージの対応する第１の端子に電気的に接続することができ、反対側の回路パネル表面上の端子の各対の実装位置は、回路パネルの表面の１つの表面に平行な直交するｘ及びｙ方向に、互いの１ボールピッチの距離以内で位置合わせされる。
【0041】
場合によっては、互いに反対側の回路パネル表面上の接続された端子の各対の実装位置は、更に互いに一致する場合がある。したがって、第１のパッケージ及び第２のパッケージの電気的に接続された第１の端子の対間の回路パネルを通る電気接続の長さは、電気的に接続された第１の端子のこれらの対のそれぞれの対内の端子が、互いの上に載るか又は第１の回路パネル表面に沿って直交するｘ及びｙ方向に互いの１ボールピッチ以内で少なくとも位置合わせされることができる点で、大幅に低減することができる。
【0042】
回路パネル構成を、この構成を有するアセンブリにおいて同様に簡略化することができる。その理由は、第１の端子の電気的に接続された各対間のルーティングが、主に垂直方向、すなわち回路パネルの厚さを通る方向にあることができるからである。すなわち、回路パネルの互いに反対側の表面に実装されるパッケージの対応する第１の端子の各対を電気的に接続するには、回路パネル上の真っ直ぐな貫通ビア接続があれば十分とすることができる。
【0043】
さらに、超小型電子パッケージのそれぞれの対が接続される接続位置間の、第１の端子によって運ばれる上述の信号、例えばコマンド−アドレスバス信号から信号をルーティングするのに必要な回路パネル上の配線のルーティング層の数を減らすことを可能にすることができる。具体的には、そのような信号を回路パネルに沿ってルーティングするのに必要なルーティング層の数は、場合によっては、２つ以下のルーティング層まで減らすことができる。しかし、回路パネル上に、上述のアドレス又はコマンド−アドレスバス信号を運ぶルーティング層の数よりも多い数の、他の信号を運ぶルーティング層が存在することができる。
【0044】
超小型電子パッケージはまた、第１の端子以外の第２の端子も有することができ、そのような端子は通常、上述のアドレス又はコマンド−アドレスバス信号以外の信号を運ぶように構成されている。一例において、第２の端子は、データマスク及び並列終端をオン又はオフするのに用いる終端レジスタへのＯＤＴすなわち「オンダイターミネーション（オンダイ終端）」信号だけではなく、超小型電子素子への及び／又はそこからの一方向又は双方向のデータ信号、ならびにデータストローブ信号を運ぶのに用いる端子を含むことができる。チップセレクト、リセット、電源電圧、例えばＶｄｄ、Ｖｄｄｑ、及び接地、例えばＶｓｓ及びＶｓｓｑ等の信号又は基準電位は、第２の端子によって運ぶことができる。これらの信号又は基準電位のいずれも、第１の端子によって運ぶ必要はない。いくつかの実施形態において、上述のアドレス又はコマンド−アドレスバス信号以外の信号を運ぶように構成したいくつかの又は全ての端子を第２の端子として配置することが可能であり、パッケージ上のどちらの位置であっても配置することができる。
【0045】
代替的に、いくつかの実施形態では、上記で述べたアドレス信号又はコマンド−アドレスバス信号以外の信号を運ぶように構成される一部又は全ての端子を、パッケージ上の端子の第１のグリッド及び第２の鏡像グリッド内に配置することが可能である。こうして、上述したように、対応する端子間で回路パネル上に設けられる電気接続のスタブ長を低減することを可能にすることができる。
【0046】
他の実施形態では、上記で述べたアドレス信号又はコマンド−アドレスバス信号以外の信号を運ぶように構成される端子の一部又は全ては、パッケージ表面上の第３のグリッド内の第２の端子の組及び同じパッケージ表面上の第４のグリッド内の第２の端子の別の組として配置することができ、第３のグリッド内の第２の端子の信号割当ては第４のグリッド内の第２の端子の信号割当ての鏡像である。こうして、上述した第１のパッケージ及び第２のパッケージの対応する第１の端子間の接続と同様に、第１のパッケージ及び第２のパッケージの電気的に接続された第２の端子の対間の回路パネルを通る電気接続の長さは、大幅に低減することができる。或る例では、電気的に接続された第２の端子の対は、互いの１ボールピッチ以内で位置合わせされることができる。特定の例では、電気的に接続された第２の端子のこれらの対のそれぞれの対内の端子は、互いの上に載る、すなわち、互いに一致することができる。さらに、スタブ長を低減し、第１のパッケージと第２のパッケージとの間の接続のための回路パネルの構成を簡略化するための上述した利益と同様の利益を、超小型電子パッケージの第２の端子がこうして配置されるときに得ることができる。
【0047】
そのため、本発明の或る実施形態による超小型電子パッケージ１００は、図５、図６、及び図７に示される。図に見られるように、一例では、パッケージ１００は、それぞれがメモリ記憶アレイ機能を有する第１の超小型電子素子１０１及び第２の超小型電子素子１０３を含むことができる。しかし、特定の例では、各超小型電子素子を、メモリ記憶アレイ機能を主に提供するように構成することができる。後者の場合、第１の超小型電子素子及び第２の超小型電子素子のそれぞれは、メモリ記憶アレイ機能を提供する能動素子、例えばトランジスタの数をいかなる他の機能よりも多く有することができる。
【0048】
第１の超小型電子素子及び第２の超小型電子素子は、そのそれぞれの面１０５に素子コンタクト１１１、１１３を有する。１つのタイプのこうした超小型電子素子１０１、１０３では、素子コンタクト１１１、１１３のいくつかのコンタクトの各コンタクトは、超小型電子素子に供給される複数のアドレス信号のそれぞれのアドレス信号を受信することに専用にされる。この場合、こうしたコンタクト１１１、１１３のそれぞれは、外部から超小型電子素子１０１、１０３に供給される複数のアドレス信号のそれぞれの１つのアドレス信号を受信することができる。
【0049】
このタイプの超小型電子素子１０１、１０３の特定の一例において、それぞれの超小型電子素子が用いるクロックの縁部に対して、すなわち、異なる第１の電圧状態と第２の電圧状態との間でのクロックの遷移で、素子コンタクト１１１、１１３において存在する複数のアドレス信号のそれぞれをサンプリングすることができる。すなわち、それぞれのアドレス信号は、クロックのより低電圧の状態とより高電圧の状態との間の立ち上がり遷移において、又は、クロックのより高電圧の状態とより低電圧の状態との間の立ち下がり遷移においてサンプリングすることができる。したがって、複数のアドレス信号はクロックの立ち上がり遷移において全てサンプリングすることもできるし、そのようなアドレス信号はクロックの立ち下がり遷移において全てサンプリングすることもできるし、又は、別の例において、素子コンタクト１１１、１１３のうちの１つにおけるアドレス信号は、クロックの立ち上がり遷移においてサンプリングすることができ、別の１つの外部のコンタクトにおけるアドレス信号は、クロックの立ち下がり遷移においてサンプリングすることができる。
【0050】
主としてメモリ記憶アレイ機能を提供するように構成した、別のタイプの超小型電子素子１０１、１０３において、その上のアドレスコンタクトのうちの１つ又は複数を多重方式で用いることができる。この例において、それぞれの超小型電子素子１０１、１０３の特定の素子コンタクト１１１、１１３は、外部から超小型電子素子に供給される２つ以上の互いに異なる信号を受け取ることができる。したがって、第１のアドレス信号は異なる第１の電圧状態と第２の電圧状態との間のクロックの第１の遷移（例えば、立ち上がり遷移）において、特定のコンタクト１１１、１１３においてサンプリングすることができ、第１のアドレス信号以外の信号は、第１の電圧状態と第２の電圧状態との間のクロックの、第１の遷移と反対の第２の遷移（例えば、立ち下がり遷移）において、特定のコンタクトにおいてサンプリングすることができる。
【0051】
そのような多重方式において、それぞれの超小型電子素子１０１、１０３の同じ素子コンタクト１１１、１１３上で、クロックの同じサイクル内で２つの異なる信号を受け取ることができる。特定の場合において、この方法での多重化によって、それぞれの超小型電子素子１０１、１０３の同じ素子コンタクト１１１、１１３上で、同じクロックサイクル内で第１のアドレス信号とそれとは異なる信号とを受け取ることができる。更に別の例において、この方法での多重化によって、第１のアドレス信号と、異なる第２のアドレス信号とを、それぞれの超小型電子素子１０１、１０３の同じ素子コンタクト１１１、１１３上で同じクロックサイクル内で受け取ることができる。
【0052】
基板１０２は、誘電体素子１２２を含むことができ、誘電体素子は、場合によっては、本質的に、ポリマ材料、例えば、なかでも樹脂又はポリイミドからなることができる。代替的に、基板は、例えばＢＴ樹脂又はＦＲ−４構成のガラス繊維強化エポキシ等の複合構成を有する誘電体素子を含むことができる。いくつかの例では、誘電体素子は、誘電体素子の平面内で、すなわち、基板１０２の第１の表面１０８に平行な方向に、最大３０パーツパーミリオン／摂氏温度（以降で「ｐｐｍ／℃」）の熱膨張率を有する。別の例では、基板は、端子及び他の導電性構造がその上に配置される、１２パーツパーミリオン／摂氏温度未満の熱膨張率（「ＣＴＥ」）を有する材料の支持要素を含むことができる。例えば、こうした低ＣＴＥ素子は、本質的に、ガラス材料、セラミック材料、半導体材料、若しくは液晶ポリマ材料、又はこうした材料の組合せからなることができる。
【0053】
図６に見られるように、基板コンタクトの第１の組１２１及び第２の組１２３は、基板の第１の表面１０８において露出する。本明細書で使用されるように、導電性素子が、構造の表面「において露出する」という記述は、導電性素子が、構造の外側から表面に向かって表面に垂直な方向に移動する理論的な点に接触するために利用可能であることを示す。そのため、構造の表面において露出する端子又は他の導電性素子は、こうした表面から突出することができるか、こうした表面と同一平面上にあることができるか、又は、こうした表面に対して凹み、構造内の穴又は窪みを通して露出することができる。
【0054】
基板コンタクトの第１の組１２１は、第１の超小型電子素子の素子コンタクト１１１に向き、ボンドメタル、例えば、なかでもはんだ、錫、インジウム、共晶物、又は金か、他の導電性ボンド材料か、又はおそらくは考えられる構造の中でもとりわけ導電性バンプ又はマイクロピラー等の他の構造等によって、１３８にて素子コンタクト１１１に接合される。場合によっては、ダイ取付（ダイアタッチ）接着剤又はアンダーフィルを、超小型電子素子の面１０５と基板１０２の表面１０８との間に配置することができ、ダイ取付接着剤又はアンダーフィルは、超小型電子素子と基板との間の接続を機械的に強化することができ、超小型電子素子と基板との間の接合を機械的に支持することができる。
【0055】
基板コンタクトの第２の組１２３は、第２の超小型電子素子の素子コンタクト１１３に向き、素子コンタクト１１３に接合される。図６に特に示す実施形態では、第１の超小型電子素子１０１及び第２の超小型電子素子１０３の面１０５は、基板１０２の第１の平面１０８に平行な単一平面１１２内に配置することができる。
【0056】
図５に特に示すように、いくつかの実施形態では、超小型電子素子のコンタクトは、コンタクト１１１について示すように単一列で配置することができるか、又は、コンタクト１１３について示すように複数の列で配置することができる。各列は、方向１３４に沿う列の各垂直レイアウト位置にコンタクトを含むことができるか、又は、コンタクトは、コンタクト１１３の複数の列のうちの１つの列の場合のように、列の１つ又は複数の位置から欠落することができる。特定の実施形態では、コンタクトを、超小型電子素子の面１０５を覆ってエリアアレイで配置することができる。別の例では、超小型電子素子のコンタクトは、図５で超小型電子素子１０１、１０３の境界をマーク付けする破線で示す超小型電子素子の１つ又は複数の周辺縁部に隣接してコンタクトの１つ又は複数の組で配置することができる。特定の例では、超小型電子素子は単一半導体チップとすることができ、超小型電子素子上のコンタクト１１１又は１１３は、半導体チップのコンタクトである「チップコンタクト」とすることができる。別の例では、特定の超小型電子素子は、それぞれがチップコンタクトを有する１つ又は複数の半導体チップを含むことができ、コンタクト１１１又は１１３は、再分配コンタクトを含むことができ、再分配コンタクトは、超小型電子素子の面１０５上に形成され、また、例えばトレース及びビア等の導電性素子によってチップコンタクトに電気的に接続される。こうした超小型電子素子の例は、図２６Ｄを参照して以下で述べられる。特に断らない限り、本明細書の例のそれぞれにおける超小型電子素子の「コンタクト」は、述べたこれらの方法の任意の方法で配置することができる。
【0057】
超小型電子素子１０１、若しくは超小型電子素子１０３、又はそれらの両方は、素子コンタクトの列内に配置されない場合がある更なるコンタクトも含むことができる。これらの更なるコンタクトを、電源、グラウンドに接続するために、又は、試験をするために使用することができるようなプロービングデバイスとの接触のために利用可能なコンタクトとして使用することができる。
【0058】
図５に見られるように、パッケージ１００は、例えば回路パネル等の、パッケージ１００の外部の構成要素にパッケージ１００を電気的かつ機械的に接続する、表面１１０において露出する第１の端子１０４及び第２の端子１０６を有することができる。端子１０４、１０６は、導電性パッド、ポスト、又は他の導電性構造とすることができる。図６に見られる例では、端子は、場合によっては、なかでもはんだ、錫、インジウム、金、若しくは共晶材料等のボンドメタル又は他の導電性ボンド材料を含むことができるような接合要素１３０を含むことができ、また場合によっては、導電性パッド又はポスト等の基板の導電性構造に取り付けられる導電性バンプ等の更なる構造も含むことができる。第１の端子１０４及び第２の端子１０６は、例えばトレース及びビア等の基板上の導電性構造を通して基板コンタクト１２１、１２３に電気的に接続することができる。
【0059】
第１の端子１０４の第１の組は、第１の表面１０８から反対の基板１０２の第２の表面１１０において露出する第１のグリッド１１４内の場所に配置することができる。第１の表面１０８及び第２の表面１１０は、反対方向に向き、したがって、互いに対して反対側にあり、「互いに反対側の表面」である。第１の端子１０４の第２の組は、基板の第２の表面１１０において露出する第２のグリッド１２４内の位置に配置することができる。図のいくつかでは、第１のグリッド及び第２のグリッドは、超小型電子素子の前面の外側境界を越えて延在するように示されるが、それは、必ずしも当てはまらない。本発明の或る特定の実施形態では、第１の端子の第１のグリッド及び第２のグリッド１１４、１２４のそれぞれは、コマンド−アドレスバスの或る特定の信号、すなわち、超小型電子パッケージ１００内で動的メモリ記憶機能を提供するように構成される超小型電子素子１０１、１０３のアドレス信号の組の特に全ての信号を運ぶように構成することができる。
【0060】
例えば、超小型電子素子１０１、１０３がＤＲＡＭ半導体チップを含むかＤＲＡＭ半導体チップである場合、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４のそれぞれにおける第１の端子は、パッケージ内の回路が、例えば、行アドレス及び列アドレスのデコーダ、並びにもしある場合にはバンク選択回路が使用して、パッケージにおける超小型電子素子内のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置からアドレス指定可能メモリ位置を決定することができる、超小型電子パッケージ１００に転送される十分なアドレス情報を運ぶように構成される。特定の実施形態において、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４のそれぞれにおける第１の端子は、そのようなメモリ記憶アレイ内のアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに超小型電子パッケージ１００内のそのような回路が用いるアドレス情報の全てを運ぶように構成することができる。
【0061】
そのような実施形態の変形形態において、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４のそれぞれにおける第１の端子は、そのようなメモリ記憶アレイ内のアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに超小型電子パッケージ１００内のそのような回路が用いるアドレス情報の大部分を運ぶように構成することができ、その場合には、超小型電子パッケージ上の上述の第２の端子１０６のうちの少なくともいくつか等、他の端子が、アドレス情報の残りの部分を運ぶように構成される。そのような変形形態において、特定の実施形態において、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４のそれぞれは、そのようなメモリ記憶アレイ内のアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに超小型電子パッケージ１００内のそのような回路が用いるアドレス情報の３／４以上を運ぶように構成される。
【0062】
特定の実施形態において、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４のそれぞれはチップセレクト情報、例えば、チップ内のメモリ記憶位置にアクセスするために超小型電子パッケージ１００内の特定のチップを選択するのに利用できる情報を運ぶように構成されない場合がある。別の実施形態において、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４のうちの少なくとも１つは、実際にチップセレクト情報を運ぶことができる。
【0063】
通常、超小型電子パッケージ１００内の超小型電子素子１０１、１０３がＤＲＡＭチップを含む場合には、一実施形態におけるアドレス信号は、パッケージの外部の構成要素、例えば、後述の回路パネル１５４等の回路パネルからパッケージに転送される全てのアドレス信号を含むことができ、それを用いて超小型電子パッケージ内のランダムアクセスアドレス指定可能メモリ位置を決定してそこに読み取りアクセス、又は読み取りアクセス又は書き込みアクセスのどちらかを行う。
【0064】
第２の端子１０６のうちの少なくともいくつかは、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４の第１の端子１０４によって運ばれるアドレス信号以外の信号を運ぶように構成することができる。チップセレクト、リセット、電源電圧、例えばＶｄｄ、Ｖｄｄｑ、並びに接地、例えばＶｓｓ及びＶｓｓｑ等の信号又は基準電位は、第２の端子１０６によって運ぶことができる。本明細書において参照される実施形態のいずれにおいても、別段の記載がないがない限り、これらの信号又は基準電位のいずれも、第１の端子１０４によって運ぶ必要はない。
【0065】
特定の実施形態において、各超小型電子パッケージの第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４のそれぞれは、第１の超小型電子素子１０１及び第２の超小型電子素子１０３のうちの少なくとも１つの超小型電子素子の動作モードを制御する情報を運ぶように構成することができる。より具体的には、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４のそれぞれは、超小型電子パッケージ１００に転送されるコマンド信号及び／又はクロック信号の特定の１組の全てを運ぶように構成することができる。そのような実施形態において、第１の端子１０４は、外部の構成要素から超小型電子パッケージ１００に転送されるコマンド信号、アドレス信号、バンクアドレス信号、及びクロック信号の全てを運ぶように構成することができ、このコマンド信号は、行アドレスストローブ、列アドレスストローブ、及びライトイネーブルを含む。こうした実施形態では、例えば、図２１に示す超小型電子素子９０１の１つの超小型電子素子等の複合構造を有する超小型電子素子内の第１のチップは、動作モードを制御する情報を再生するように構成することができる。それに対して代替的に又は付加的に、こうした複合超小型電子素子内の第１のチップは、超小型電子素子の動作モードを制御する情報を部分的に又は完全に復号化するように構成することができる。こうした実施形態では、それぞれの第２のチップは、アドレス情報、コマンド情報、又は、超小型電子素子の動作モードを制御する情報の１つ又は複数を完全に復号化するように構成することもしないこともできる。
【0066】
超小型電子素子のうちの１つ又は複数がダイナミックランダムアクセスメモリ（「ＤＲＡＭ」）半導体チップ又はＤＲＡＭチップのアセンブリによって提供されるもの等のダイナミックメモリ記憶アレイ機能を提供するように構成される一実施形態においては、コマンド信号は、ライトイネーブル、行アドレスストローブ、及び列アドレスストローブ信号である。ＯＤＴ（オンダイターミネーション）、チップセレクト、クロックイネーブル等の他の信号は、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４が運ぶ必要のあるコマンド信号の一部ではない。クロック信号は、アドレス信号をサンプリングするのに超小型電子素子のうちの１つ又は複数が用いるクロックとすることができる。例えば、図７において見られるように、 第１の端子１０４は、アドレス信号Ａ０〜Ａ１５（Ａ０及びＡ１５を含む）、及びバンクアドレス信号ＢＡ０、ＢＡ１及びＢＡ２だけでなく、クロック信号ＣＫ及びＣＫＢ、行アドレスストローブＲＡＳ、列アドレスストローブＣＡＳ、及びライトイネーブル信号ＷＥも含むことができる。
【0067】
この実施形態において、第２の端子１０６のうちの少なくともいくつかは、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４の第１の端子１０４によって運ばれる信号（コマンド信号、アドレス信号、及びクロック信号）以外の信号を運ぶように構成することができる。チップセレクト、リセット、電源電圧、例えばＶｄｄ、Ｖｄｄｑ、並びに接地、例えばＶｓｓ及びＶｓｓｑ等の信号又は基準電位は、第２の端子１０６によって運ぶことができる。本明細書において参照される実施形態のいずれにおいても、別段の記載がないがない限り、これらの信号又は基準電位のいずれも、第１の端子１０４によって運ぶ必要はない。
【0068】
別の実施形態において、超小型電子素子のうちの１つ又は複数が、例えばＮＡＮＤフラッシュメモリ等、ＤＲＡＭ以外についての技術において実施されるメモリ記憶アレイ機能を提供するように構成される場合には、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４が運ぶ必要のある特定のコマンド信号は、ＤＲＡＭの場合に運ぶ必要のある信号（ライトイネーブル、行アドレスストローブ、及び列アドレスストローブ信号）の群以外の、信号の異なる１組とすることができる。
【0069】
一実施形態では、アドレス信号以外の信号を運ぶように構成される第２の端子１０６の少なくともいくつかは、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４内の位置に配置することができる。一例では、コマンド信号、アドレス信号、及びクロック信号以外の信号を運ぶように構成される第２の端子１０６の少なくともいくつかは、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４内の位置に配置することができる。図面において、第２の端子１０６の特定の構成を示すが、図示の特定の構成は例示の目的のためであり、限定するよう意図するものではない。例えば、第２の端子１０６は、電源又は接地信号に接続するように構成される端子も含むことができる。
【0070】
パッケージの第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４内の第１の端子の配置構成は、図５〜図７に特に示される。一例では、各グリッド１１４、１２４は、端子の平行な第１の列及び第２の列１３６を含むことができる。各グリッド内の端子の平行な列１３６は互いに隣接することができる。代替的に、図５〜図７に示さないが、少なくとも１つの端子を、端子の第１の列と第２の列との間に配置することができる。図５Ａに見られる等の別の例では、グリッドは、列軸１１９が、列の端子１０４の大部分を通って延在する、すなわち、列の端子１０４の大部分に対して中央に置かれる、端子の列を含むことができる。しかし、こうした列では、端子の１つ又は複数は、端子１０４’の場合と同様に、列軸１１９に対して中央に置かれない場合がある。この場合、これらの１つ又は複数の端子は、たとえこうした端子（複数可）が軸１１９に対して中央に置かれなくても、特定の列の一部と考えられる。その理由は、こうした端子が、任意の他の列の軸より、その特定の列の軸１１９に近いからである。列軸１１９は、列軸に対して中央に置かれないこれらの１つ又は複数の端子を通して延在することができるか、又は場合によっては、中央に置かれない端子は、列軸１１９が、列の中央に置かれないこれらの端子を通過しないように、列軸からより遠くにあることができる。１つの列内に、又は更に、グリッド内のそれぞれの列の列軸に対して中央に置かれない２つ以上の列内に、１つの、いくつかの、又は多くの端子が存在する場合がある。
【0071】
さらに、端子のグリッドが、端子のリング、多角形、又は更に散乱分布のように形作られた配置構成等、列以外のグループ化で端子の配置構成を含むことが可能である。図６に示すように、封止剤１４６が、基板の第１の表面１０８上に載ることができ、そこで超小型電子素子１０１、１０３に接触することができる。場合によっては、封止剤は、基板１０２から離れる方を向く超小型電子素子の表面１４５上に載ることができる。
【0072】
図７に見られるように、第２のグリッド１２４内の位置にある第１の端子の第２の組内の第１の端子の信号割当ては、第１のグリッド１１４内のそれぞれの位置にある第１の端子の第１の組の信号割当て１２４の鏡像である。第１の組内の第１の端子の信号割当ては、第２の組内の対応する第１の端子の信号割当てに対応し、その鏡像である。換言すれば、第１のグリッド及び第２のグリッド内の第１の端子の信号割当ては、第１のグリッド１１４と第２のグリッド１２４との間の理論的軸１３２について対称であり、軸１３２は、この場合、第１の端子の列１３６が延在する方向１３４に延在する。第２のグリッド１２４内の信号割当てが第１のグリッド１１４内の信号割当ての鏡像である状態で、信号ＣＫ（クロック）を運ぶように割当てられる第１のグリッド１１４の第１の端子１０４は、信号ＣＫを運ぶように割当てられる第２のグリッド１２４の対応する第１の端子１０４とグリッド内で同じ相対的垂直位置に（方向１３４に）ある。しかし、第１のグリッド１１４が２つの列１３６を含み、信号ＣＫを運ぶように割当てられる第１のグリッド１１４の端子が、第１のグリッドの２つの列の中の左列内にあるので、鏡像配置構成は、信号ＣＫを運ぶように割当てられる第２のグリッド１２４の対応する端子が、第２のグリッドの２つの列の中の右列１３６内にあることを要求する。
【0073】
それに従った別の例において、第１の端子の第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４のそれぞれの「Ａ３」として示す、アドレス情報を運ぶように割り当てられた端子は、パッケージ１００（図６）内の１つ又は複数の超小型電子素子の対応する「Ａ３」と名前のついた素子コンタクトを指定するということが明白である。したがって、情報が同じ名前、例えば「Ａ３」を有する素子コンタクトに転送される場合に通る第１の端子の第１の組及び第２の組のそれぞれにおけるパッケージの外部のそのような対応する第１の端子は、たとえ第１の組及び第２の組における対応する第１の端子の名前が異なっていようとも、鏡像の信号割り当てを有すると考えられる。したがって、一例において、第１の端子の第１の組及び第２の組のそれぞれにおいて、鏡像の信号割り当て、例えば、「Ａ３」と指定された信号割り当てを有する第１の端子のそれぞれの組に割り当てられた信号が、超小型電子素子上の「Ａ３」という名前を有する素子コンタクトに入力される情報を運ぶ端子を特定することが可能である。ただし、第１の組及び第２の組のそれぞれにおける対応する端子の名前は、例えば第１の組においてＡ３Ｌ（Ａ３左）という名前を与え、第２の組においてＡ３Ｒ（Ａ３右）と言う名前を与えることができる等、互いに異なることができる。
【0074】
さらに、図７において「Ａ３」で示す第１の端子の対応する対においてパッケージに提供されるアドレス情報は、場合によっては、超小型電子構造の外部の場所でのドライバ回路の同一の出力から生じることができる。その結果、信号「Ａ３」を運ぶように割り当てられた（すなわち、上述のように、情報を超小型電子素子の「Ａ３」と名前のついた素子コンタクトに転送するための）第１のグリッド１１４の第１の端子１０４は、信号「Ａ３」を運ぶように割り当てられた第２のグリッド１２４の対応する第１の端子１０４と同じ、グリッド内での相対的垂直位置（方向１３４）にある。
【0075】
この配列のもうひとつの結果は、信号ＷＥ（ライトイネーブル）を運ぶように割り当てられた端子もまた、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４のそれぞれにおいて同じ、グリッド内での相対的垂直位置にあるということである。しかし、第１のグリッド１１４において、ＷＥを運ぶように割り当てられた端子は、第１のグリッドの２つの列１３６のうちの右側の列にあり、配列が鏡像であるためには、信号ＷＥを運ぶように割り当てられた第２のグリッド１２４の対応する端子は、第２のグリッド１２４の２つの列のうちの左側の列１３６になければならない。図７においてわかることができるように、第１のグリッド及び第２のグリッドのそれぞれにおけるそれぞれの第１の端子について、少なくとも、上述のコマンド−アドレスバス信号を運ぶように割り当てられたそれぞれの第１の端子について、同じ関係が当てはまる。
【0076】
第１の端子の信号割当てがその回りで対称である軸１３２は、基板上の種々の場所に位置することができる。特定の実施形態では、軸は、パッケージの中心軸であることができ、その中心軸は、特に、第１の端子の列１３６が縁部１４０、１４２に平行な方向に延在し、第１のグリッド及び第２のグリッドが、この中心軸について対称である位置に配置されるとき、基板の対向する第１の縁部及び第２の縁部１４０、１４２から等距離に位置付けられる。
【0077】
代替的に、この対称軸１３２は、縁部１４０と１４２との間で等距離である中心軸から水平方向１３５にオフセットすることができる。一例では、軸１３２は、基板１０２の第１の縁部１４０及び第２の縁部１４２に平行でかつそれらから等距離にある中心軸又はラインからオフセットすることができ、オフセット距離は、第１の端子１０４の任意の２つの隣接する列間の最小ピッチの３．５倍以下の距離である。特定の実施形態では、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４のそれぞれグリッドの端子の少なくとも１つの列は、基板１０２の第１の縁部１４０及び第２の縁部１４２に平行でかつそれらから等距離にある中心軸又はラインからオフセット距離内に配置することができ、オフセット距離は、第１の端子１０４の任意の２つの隣接する列間の最小ピッチの３．５倍の距離である。
【0078】
特定の例において、第１のグリッド１１４の第１の端子１０４は、第１の超小型電子素子１０１と電気的に接続することができ、第２のグリッド１２４の第１の端子１０４は、第２の超小型電子素子１０３と電気的に接続することができる。そのような場合、第１のグリッド１１４の第１の端子１０４はまた、第２の超小型電子素子１０３と電気的に接続しないことができ、パッケージ１００の第２のグリッド１２４の第１の端子１０４はまた、第１の超小型電子素子１０１と電気的に接続しないことができる。更に別の例において、第１のグリッド１１４及び第２のグリッドのそれぞれの第１の端子１０４は、第１の超小型電子素子１０１及び第２の超小型電子素子１０３のそれぞれと電気的に接続することができる。
【0079】
上記で述べたように、第２の端子１０６は、コマンド−アドレスバスの上記で述べた信号以外の信号を運ぶように構成することができる。一例では、第２の端子１０６は、超小型電子素子への及び／又は超小型電子素子からの単方向又は双方向データ信号及びデータストローブ信号、並びに、データマスク信号及び終端抵抗に対して並列終端をオン又はオフにするために使用されるＯＤＴ信号すなわち「オンダイ終端（on die termination）」信号を運ぶために使用される端子を含むことができる。チップセレクト、リセット、クロックイネーブル等の信号、並びに、電源電圧等の基準電位、例えばＶｄｄ、Ｖｄｄｑ、又はグラウンド、例えばＶｓｓ及びＶｓｓｑは、第２の端子１０６によって運ぶことができ、信号又は基準電位はいずれも、第１の端子１０４によって運ばれる必要はない。いくつかの実施形態では、コマンド−アドレスバス信号以外の信号を運ぶように構成される一部又は全ての端子が、適切に設置することができる場所であればどこへでも、パッケージ上に第２の端子１０６として配置されることが可能である。例えば、第２の端子１０６の一部又は全ては、第１の端子１０４が配置される基板１０２上の同じグリッド１１４、１２４内に配置することができる。第２の端子１０６の一部又は全ては、第１の端子１０４の一部又は全てと同じ列内に又は異なる列内に配置することができる。場合によっては、１つ又は複数の端子は、その同じグリッド又は列内の第１の端子と散在することができる。
【0080】
特定の例では、第２の端子１０６の一部又は全ては、基板の第２の表面１１０上の第３のグリッド１１６内に配置することができ、第２の端子の別の組は、パッケージ表面１１０上の第４のグリッド１２６内に配置することができる。特定の場合、第３のグリッド１１６内の第２の端子の信号割当ては、第１のグリッド及び第２のグリッドについて上述した方法と同様な方法で、第４のグリッド１２６内の第２の端子の信号割当ての鏡像とすることができる。第３のグリッド１１６及び第４のグリッド１２６は、場合によっては、第１のグリッド及び第２のグリッドが延在する方向１３４に延在することができ、また、互いに平行にすることができる。第３のグリッド及び第４のグリッドも、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４に平行とすることができる。代替的に、第３のグリッド１１６及び第４のグリッド１２６のそれぞれは、方向１３４を横切るか又は更にそれに直交する別の方向１３５に延在することができる。
【0081】
一例では、基板１０２の第２の表面１１０は、第１の縁部１４０及び第２の縁部１４２に隣接する第１の周辺領域及び第２の周辺領域をそれぞれ有することができ、中央領域が第１の周辺領域及び第２の周辺領域を分離する。こうした例では、第１のグリッド１１４及び第２のグリッド１２４は、第２の表面１１０の中央領域内に配置され、第３のグリッド１１６及び第４のグリッド１２６は、それぞれの第１の周辺領域及び第２の周辺領域内に配置することができる。
【0082】
図８Ａは、第１の超小型電子パッケージ１００Ａ及び第２の超小型電子パッケージ１００Ｂのアセンブリ２００を示し、超小型電子パッケージはそれぞれ、回路パネル１５４の互いに反対側の第１の表面１５０及び第２の表面１５２に実装された、上記図５〜図７を参照して述べたような超小型電子パッケージ１００である。回路パネルは、なかでも、デュアルインラインメモリモジュール（「ＤＩＭＭ」）で使用されるプリント回路基板、システム内の他の構成要素と接続される回路基板若しくはパネル、又はマザーボード等の種々のタイプとすることができる。第１の超小型電子パッケージ１００Ａ及び第２の超小型電子パッケージ１００Ｂは、回路パネル１５４の第１の表面１５０及び第２の表面１５２において露出される対応するコンタクト１６０、１６２に実装することができる。
【0083】
図８Ａに特に示すように、各パッケージの第２のグリッド１２４内の第１の端子の信号割当てが、各パッケージの第１のグリッド１１４内の第１の端子の信号割当ての鏡像であるため、パッケージ１００Ａ、１００Ｂが互いに対向する回路パネルに実装されると、第１のパッケージ１００Ａの第１のグリッド１１４Ａ内のそれぞれの第１の端子は、第２のパッケージ１００Ｂの第２のグリッド１２４Ｂ内の同じ信号割当てを有する対応する第１の端子と位置合わせされ、その対応する第１の端子に電気的に接続される。さらに、第１のパッケージ１００Ａの第２のグリッド１２４Ａ内のそれぞれの第１の端子は、第１のグリッド１１４Ｂ内の同じ信号割当てを有する対応する第１の端子に位置合わせされ、その対応する第１の端子に電気的に接続される。
【0084】
確かに、接続された端子の各対の位置合わせは、或る許容誤差以内にあり、それにより、接続された端子の各対は、回路パネル１５４の第１の表面１５０に沿って直交するｘ及びｙ方向に互いの１ボールピッチ以内で位置合わせすることができる。代替的に、回路パネルの対向する表面上の接続された端子は互いに一致することができる。特定の例では、それぞれの第１のパッケージ１００Ａ及び第２のパッケージ１００Ｂの位置合わせしたグリッド（例えば、第１のパッケージの第１のグリッド１１４Ａ及び第２のパッケージの第２のグリッド１２４Ｂ）の位置の大部分は、回路パネル１５４の第１の表面１５０に沿って直交するｘ及びｙ方向に互いに位置合わせすることができる。
【0085】
そのため、図８Ａに更に示すように、第１のパッケージ１００Ａのグリッド１１４Ａ内で「Ａ」と記号が付いた信号を運ぶ特定の第１の端子は、同じ信号「Ａ」を運ぶ第２のパッケージ１００Ｂのグリッド１２４Ｂの対応する第１の端子に位置合わせされる。同じことが、第１のパッケージ１００Ａのグリッド１２４Ａ内で「Ａ」と記号が付いた信号を運ぶ特定の第１の端子に関して同様に当てはまり、この第１の端子は、同じ信号「Ａ」を運ぶ第２のパッケージ１００Ｂのグリッド１１４Ｂの対応する第１の端子に位置合わせされる。
【0086】
こうして、図８Ａに更に見られるように、第１のパッケージ１００Ａ及び第２のパッケージ１００Ｂの電気的に接続された第１の端子の各対間の回路パネルを通る電気接続の長さは、電気的に接続された第２の端子のこれらの対のそれぞれの対内の端子が、互いの上に載るか又は互いの１ボールピッチ以内で少なくとも位置合わせされることができる点で、大幅に低減することができる。これらの電気接続の長さの低減により、回路パネル及びアセンブリのスタブ長を低減することができ、スタブ長を低減することは、第１の端子によって運ばれ、第１のパッケージ及び第２のパッケージの両方のパッケージ内の超小型電子素子に転送される上記で述べた信号について、なかでも、整定時間、リンギング、ジッタ、又は符号間干渉を低減すること等、電気性能を改善するのに役立つことができる。さらに、回路パネルの構造を簡略化すること、又は、回路パネルを設計若しくは製造する複雑さ及びコストを低減すること等の他の利益も得ることを可能にすることができる。
【0087】
図８Ｂに更に示すように、各パッケージ１００Ａ、１００Ｂの第２の端子が、図５〜図７に関して上述した特定の鏡像配置構成を有する第３のグリッド及び第４のグリッド内に配置されるとき、各パッケージの第３のグリッドのそれぞれの第２の端子は、他のパッケージの第４のグリッドの同じ信号割当てを有する対応する第２の端子に位置合わせすることができ、その対応する第２の端子に電気的に接続される。そのため、図８Ｂに見られるように、第１のパッケージ１００Ａの第３のグリッド１１６Ａ内のそれぞれの第２の端子は、第２のパッケージ１００Ｂの第４のグリッド１２６Ｂ内の同じ信号割当てを有する対応する第１の端子に位置合わせされ、その対応する第１の端子に電気的に接続される。さらに、第１のパッケージ１００Ａの第４のグリッド１２６Ａ内のそれぞれの第１の端子は、第３のグリッド１１６Ｂ内の同じ信号割当てを有する対応する第１の端子に位置合わせされ、その対応する第１の端子に電気的に接続される。ここでもまた、接続された端子の各対の位置合わせは、或る許容誤差以内にあり、それにより、接続された端子の各対は、回路パネル１５４の第１の表面１５０に沿って直交するｘ及びｙ方向に互いの１ボールピッチ以内で位置合わせすることができる。
【0088】
そのため、図８Ｂに更に示すように、第１のパッケージ１００Ａのグリッド１１６Ａ内で「Ｂ」と記号が付いた信号を運ぶ特定の第１の端子は、第２のパッケージ１００Ｂのグリッド１２６Ｂの同じ信号「Ｂ」を運ぶ対応する第１の端子に位置合わせされ、その対応する第１の端子に電気的に接続される。同じことが、第１のパッケージ１００Ａのグリッド１２６Ａ内で「Ｂ」と記号が付いた信号を運ぶ特定の第１の端子に関して同様に当てはまり、その特定の第１の端子は、第２のパッケージ１００Ｂのグリッド１１６Ｂの同じ信号「Ｂ」を運ぶ対応する第１の端子に位置合わせされ、その対応する第１の端子に電気的に接続される。
【0089】
上述した第１のパッケージ及び第２のパッケージの対応する第１の端子１０４間の接続と同様に、この実施形態では、第１のパッケージ及び第２のパッケージの電気的に接続された第２の端子１０６の対間の回路パネルを通る電気接続の長さは、電気的に接続された第２の端子のこれらの対のそれぞれの対内の端子が、互いに一致するか、又は回路パネル表面に平行な、直交するｘ及びｙ方向に互いの１ボールピッチ以内で少なくとも位置合わせされることができる点で、大幅に低減することができる。本明細書で使用されるとき、回路パネルの対向する表面におけるパッケージの端子のグリッドが、互いに「一致する（coincident）」とき、位置合わせは、通例の製作許容誤差以内とすることができるか、又は第１の回路パネル表面及び第２の回路パネル表面に平行な直交するｘ及びｙ方向に互いの１ボールピッチの１／２未満の許容誤差以内とすることができる。ボールピッチは上述したとおりである。
【0090】
さらに、スタブ長を低減し、第１のパッケージと第２のパッケージとの間の接続のために回路パネルの構成を簡略化することに関して上述した利益と同様の利益を、超小型電子パッケージの第２の端子、すなわち、コマンド−アドレスバスの上記で述べた信号以外の信号を運ぶように割り当てることができる端子がこうして配置されるときに得ることができる。
【0091】
図８Ｃは、それぞれが上記で又は以降で述べる構成を有する超小型電子パッケージの２つ以上の対が、パッケージ１００Ａ、１００Ｂと同様な配向で、回路パネル１５４、例えばデュアルインラインメモリモジュール（「ＤＩＭＭ」）のボード上のそれぞれのパネルコンタクトと電気的に相互接続することができることを更に示している。そのため、図８Ｃは、上述したように、互いに向き合う対向する配向で回路パネル１５４と電気的に相互接続されたパッケージ１００Ａ、１００Ｂの更なる対を示す。パッケージ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、及び１００Ｄに加えて、パッケージの１つ又は複数の他の対も、上述したように、回路パネルと電気的に相互接続することができる。
【0092】
図８Ｄは、回路パネル、及び、回路パネルの互いに反対側の第１の表面及び第２の表面に対して互いに対向して実装された複数の超小型電子パッケージを組込む、例えば、なかでもＤＩＭＭ等の超小型電子アセンブリを示す。図８Ｄに見られるように、上記で述べたアドレス信号又はコマンド−アドレスバス信号は、超小型電子パッケージ１００Ａ、１００Ｂのそれぞれの対がそこで回路パネルの反対側に接続される接続部位Ｉ、ＩＩ、又はＩＩＩ間で、少なくとも一方向１４３に、回路パネル又は回路ボード３５４上のバス３６、例えばアドレスバス又はコマンド−アドレスバス上でルーティングすることができる。こうしたバス３６の信号は、わずかに異なる時刻にそれぞれの接続部位Ｉ、ＩＩ、又はＩＩＩでパッケージの各対に達する。少なくとも１つの方向１４３は、各パッケージ１００Ａ又は１００Ｂ内の少なくとも１つの超小型電子素子上の複数のコンタクトの少なくとも１つの列１３８が延在する方向１４２を横切るか又は方向１４２に直交することができる。こうして、回路パネル３５４上の（すなわち、その上の又はその内の）バス３６の信号導体は、場合によっては、回路パネルに接続されたパッケージ１００Ａ又は１００Ｂ内の超小型電子素子上のコンタクトの少なくとも１つの列１３８に平行である方向１４２に互いから離間することができる。
【0093】
そのような構成は、特に各超小型電子パッケージの第１の端子１０４Ａ、１０４Ｂがそのような方向１４２に延在する１つ又は複数の列に配列される場合には、バス３６の信号をルーティングするのに用いる回路パネル上の１つ又は複数のグローバルルーティング層の信号導体のルーティングを簡単にするのに役立つことができる。例えば、比較的少数の第１の端子がそれぞれのパッケージ上の同じ垂直レイアウト場所に配置される場合には、回路パネル上のコマンド−アドレスバス信号のルーティングを簡単にすることを可能にすることができる。したがって、図７に示す例において、アドレス信号Ａ３及びＡ１を受け取るように構成された各グリッド１１４、１２４内の第１の端子等、それぞれのパッケージ上の同じ垂直レイアウト場所には、第１の端子が４つのみ配置される。
【0094】
一実施形態では、超小型電子アセンブリ３５４は、アセンブリ３５４の超小型電子パッケージ１００Ａ、１００Ｂに転送される少なくとも一部の信号のバッファリングを実施するように構成される半導体チップを含むことができる超小型電子素子３５８を有することができる。バッファリング機能を有するこうした超小型電子素子３５８は、超小型電子アセンブリ３５４の外部の構成要素に関して超小型電子パッケージ１００Ａ及び１００Ｂ内の超小型電子素子のそれぞれについてインピーダンス分離（インピーダンスアイソレーション）を提供するのに役立つように構成することができる。
【0095】
例示的な実施形態では、超小型電子アセンブリ３５４は、固体ドライブコントローラ等の論理機能を実施するように主に構成される半導体チップを含むことができる超小型電子素子３５８を有することができ、超小型電子パッケージ１００Ａ及び１００Ｂ内の超小型電子素子の１つ又は複数はそれぞれ、不揮発性フラッシュメモリ等のメモリ記憶要素を含むことができる。超小型電子素子３５８は、システム１２００（図２８）等のシステムの中央処理ユニットを超小型電子素子に含まれるメモリ記憶素子への及びそこからのデータ転送の監視から解放するように構成された、専用プロセッサを含むことができる。ソリッドステートドライブコントローラを含むそのような超小型電子素子３５８は、システム１２００等のシステムのマザーボード（例えば、図２８に示す回路パネル１２０２）上のデータバスへの及びそこからの直接メモリアクセスを提供することができる。
【0096】
コントローラ機能及び／又はバッファリング機能を含む超小型電子素子３５８を有する超小型電子アセンブリ３５４のそのような実施形態において、コマンド−アドレスバス信号はそれぞれの接続位置Ｉ、ＩＩ、又はＩＩＩにおいて超小型電子素子３５８とパッケージ１００Ａ、１００Ｂのそれぞれの対との間でルーティングすることができる。図８Ｄに示す特定の例において、接続位置Ｉ、ＩＩ、又はＩＩＩを通り越して延在するコマンド−アドレスバス３６の一部は、方向１４３又は方向１４３を横切る別の方向に延在して超小型電子素子３５８のコンタクトに達することができる。一実施形態において、コマンド−アドレスバス３６は、方向１４３に延在して超小型電子素子３５８のコンタクトに達することができる。
【0097】
図９は、パッケージ２５０のそれぞれの第１のグリッド２１４、２２４及び第２のグリッド２１６、２２６内の端子の特定の配置構成を示し、各グリッド内の隣接する列２３６、２３８内の同じ相対的垂直位置の端子を、実際には、パッケージの垂直レイアウト方向１３４に多少オフセットされた位置に配置することができることを示す。
【0098】
図１０は、それぞれが端子の３つの隣接する列を含むことができる第１の並列グリッド２４４及び第２の並列グリッド２５４内の第１の端子の特定の配置構成を示す。図１０に示すように、列は、素子コンタクト１１１、１１３が配置される超小型電子素子の面の部分に載ることができる。上記で述べたように、いくつかの実施形態では、上記で述べたコマンド−アドレスバス信号以外の信号が、特定のコマンド−アドレスバス信号を運ぶ同じグリッド内の端子にも割り当てられることが可能とすることができる。図１０はその１つの可能な構成を示す。
【0099】
図５〜図７に関して上記で示し述べた実施形態の変形形態である更なる実施形態（図示せず）では、上記で述べたコマンド−アドレスバス信号を運ぶように配置される第１の端子が、端子の第１及び第２の個々の列内に設けられることが可能であり、それぞれの個々の列は、上記で述べたコマンド−アドレスバス信号の全てを運ぶように構成される第１の端子の組を含む。第１の端子は、第１の列及び第２の列と同じ方向でかつ個々の列間に延在する軸について信号割当てが対称であるという点で、第１の列内の信号割当てが第２の列内の信号割当ての鏡像であるように更に配置することができる。こうして、第１の列内の第１の端子の信号割当ては、パッケージ上での第２の列内の同じ相対的垂直位置における第１の端子の信号割当てと同じである。
【0100】
図１１は、上記の実施形態の変形形態を示し、パッケージ３００は、超小型電子素子１０１、１０３の面１０５上に形成される誘電体層３０２を有するウェハレベルパッケージとしてパッケージ３００を実装することができることを除いて、図５〜図７に関して上述したパッケージと全ての点で同様とすることができる。金属化ビア３０８は、例えば、各超小型電子素子の素子コンタクト１１１、１１３と接触状態で、導電性ペースト、導電性マトリクス材料等の金属材料又は導電性材料をめっきすること又は堆積させることによって形成される。ビア３０８は、誘電体層３０２の表面３１０に平行な方向に延在する導電性トレース３０９と一体的に形成することができる。ビア及びパッケージの導電性トレースの一部又は全ては、モノリシック金属層の一体部分とすることができる。特定の例では、１つの金属層又は２つ以上のこうした金属層は、超小型電子素子上に誘電体層３０２を形成した後に、めっき、印刷、分注（dispensing）、スクリーン印刷、刷込み、又は他の適切な技法のビルドアッププロセスによって形成することができる。ウェハレベルパッケージ３００の構造及びそれを作るための技法は、本出願で示すか又は述べる他の実施形態の任意の実施形態に適用することができる。
【0101】
図１２は、第１のパッケージ４００Ａ及び第２のパッケージ４００Ｂのアセンブリを示し、各パッケージ内の第１のグリッド４１４及び第２のグリッド４２４は、ここでは、各超小型電子素子の素子コンタクト１１１、１１３に近い位置に配置される。上述した第３のグリッド及び第４のグリッド内に配置される場合があるか又はされない場合がある第２の端子の位置は、以下で述べる他の実施形態を示す図の場合にそうであるように、明確にするために図１２から省略される。この場合、素子コンタクトに関するグリッド４１４、４２４内の第１の端子の近接性は、各パッケージ４００Ａ、４００Ｂ内のスタブの長さを低減するのに同様に役立つことができる。パッケージ内の超小型電子素子の素子コンタクトに近接して中央領域内にパッケージ端子が配置されるパッケージ内でスタブ長を低減する種々の方法は、その開示が参照することにより本明細書の一部をなす、２０１１年１０月３日に出願された「Stub Minimization for Assemblies without Wire bonds to Package Substrate」と題するRichard D.Crisp、Belgacem Haba、及びWael Zohniの本出願人の同時係属中の米国仮特許出願第６１／５４２，４８８号（代理人整理番号ＴＩＰＩ３．８−６８８）に記載されている。
【0102】
図１３〜図１４は、図５〜図７の上述した実施形態の変形形態による超小型電子パッケージ５００を示し、第１の超小型電子素子５０１、第２の超小型電子素子５０３、第３の超小型電子素子５０５、及び第４の超小型電子素子５０７が超小型電子パッケージ５００内に組み込まれる。パッケージは、コマンド−アドレスバス信号の上記で述べた信号を運ぶように割り当てられる第１の端子の４つのグリッド５１４、５２４、５３４、５４４を更に示す。グリッド５１６、５２６、５３６、及び５４６として図１４に示される第２の端子は、明確にするために、図１３から省略される。上述した例の場合と同様に、第１の端子の各グリッドは、超小型電子素子のうちの１つのみに電気的に接続することができる、又は超小型電子素子の２つ以上に接続することができる。図１４は、第１の端子のグリッド５１４、５２４、５３４、５４４を示すパッケージ５００の１つの考えられる配置構成並びに第２の端子のグリッド５１６、５２６、５３６、及び５４６の１つの考えられる配置構成を示す。
【0103】
図１４に示すように、超小型電子素子のそれぞれは、通常、超小型電子素子上のコンタクトの１つ又は複数の列が延在する同じ方向又は異なる方向に延在することができる２つの第１の平行縁部５１０を有する。一例では、これらの第１の縁部はそれぞれ、各超小型電子素子の２つの第２の平行縁部５１２より長くすることができる。別の例では、これらの第１の縁部５１０は単にコンタクトの１つ又は複数の列と同じ方向に延在することができるが、実際には同じ超小型電子素子の第２の縁部５１２より短い。以下で述べるパッケージのそれぞれのパッケージ内の超小型電子素子の第１の縁部及び第２の縁部に対する参照はこれらの定義を組込む。
【0104】
図１３及び図１４に更に見られるように、この特定の変形形態では、第１の端子のグリッド５２４、５３４の２つは、超小型電子素子５０３、５０５を分離するパッケージの中心ライン５３０の近くに配置することができ、一方、第１の端子の他のグリッド５１４、５４４は、パッケージの周辺縁部５５０、５５２の近くに配置することができる。図１３及び図１４に示す実施形態では、第１の端子のグリッド５２４及び５３４を互いに分離させる端子が全く存在しない。
【0105】
認識されるように、上述した超小型電子素子５０１、５０３、５０５、及び５０７のうちの３つだけを含み、パッケージを回路パネル等のパッケージの外部の構成要素に接続する適切な数の第１の端子のグリッド及び第２の端子のグリッドを含むパッケージ（図示せず）を提供することが可能である。
【0106】
図１５は、図１４に示すパッケージの変形形態によるパッケージ５６０を示す平面図であり、パッケージ上の第１の端子のグリッドの位置が変動する。この場合、パッケージ５６０と図１４のパッケージ５００との差を観察すると、パッケージ５６０内のグリッド５３４の場所が、第２の端子のグリッド５３６の場所と交換され、それにより、グリッド５３６はこのとき、第１の端子のグリッド５２４と５３４との間に配置される。加えて、パッケージ５６０内のグリッド５４４の場所が、第２の端子のグリッド５４６の場所と交換され、それにより、グリッド５４６はこのとき、第１の端子のグリッド５３４と５４４との間に配置される。
【0107】
図１６は、図１４に示すパッケージの別の変形形態によるパッケージ５７０を示す平面図であり、第１の端子のグリッドの場所が変動する。この場合、パッケージ５７０と図１４のパッケージ５００との差を観察すると、パッケージ５７０内の第１の端子のグリッド５２４の場所が、第２の端子のグリッド５２６の場所と交換され、それにより、グリッド５２４はこのとき、グリッド５１４と５２６との間でかつそれらに隣接して配置される。加えて、パッケージ５７０内のグリッド５３４の場所が、第２の端子のグリッド５３６の場所と交換され、それにより、グリッド５３４はこのとき、グリッド５３６と５４４との間でかつそれらに隣接して配置される。
【0108】
図１７は、図５〜図７の上述した実施形態の更なる変形形態によるパッケージ６００を示す平面図であり、第１の超小型電子素子６０１、第２の超小型電子素子６０３、第３の超小型電子素子６０５、及び第４の超小型電子素子６０７は基板上にマトリクスで配置され、各超小型電子素子は、通常、平行でありかつ基板に沿う第１の方向に延在する第１の縁部６１０と、通常、平行でありかつ基板に沿う第２の方向に延在する第２の縁部６１２とを有する。図１７に見られるように、超小型電子素子は、超小型電子素子６０１、６０３の第１の縁部６１０が互いに隣接しかつ平行であり、超小型電子素子６０５、６０７の第１の縁部が同様に互いに隣接しかつ平行である状態で配置することができる。超小型電子素子を、超小型電子素子６０１の１つの第２の縁部６１２が他の超小型電子素子６０７の第２の縁部６１２に隣接しかつ平行であり、超小型電子素子６０３の１つの第２の縁部６１２が他の超小型電子素子６０５の１つの第２の縁部６１２に隣接しかつ平行であるように配置することができる。超小型電子素子６０１の第１の縁部６１０のそれぞれは、場合によっては、超小型電子素子６０７の第１の縁部６１０と同一直線上にあることができる。同様に、超小型電子素子６０３の第１の縁部６１０のそれぞれは、場合によっては、超小型電子素子６０５の第１の縁部６１０と同一直線上にあることができる。
【0109】
それぞれの超小型電子素子６０１、６０３、６０５、６０７の所定部分の上に載ることができ、それらに電気的に接続される第２の端子のグリッド６５１、６５３、６５５、６５７は、任意の適した配置構成で配置された端子を有することができ、これらの第２の端子をグリッド内に設置する必要が全く存在せず、グリッド６５１、６５３、６５５、又は６５７のうちの任意のグリッド内の信号割当ては、他のグリッド６５１、６５３、６５５、又は６５７のうちの任意のグリッド内の端子の信号割当ての鏡像である。
【0110】
特定の例では、グリッド６５１、６５３、６５５、又は６５７のうちの任意のグリッド内の第２の端子の信号割当ては、グリッドのうちの任意の１つのグリッドの信号割当てが別のグリッドの信号割当てに対して垂直軸６８０について対称とすることができる、及び／又は、グリッドのうちの任意の１つのグリッドの信号割当てが別のグリッドの信号割当てに対して水平軸６８２について対称とすることができるという点で、グリッド６５１、６５３、６５５、又は６５７のうちの１つ又は２つの他のグリッド内の第２の端子の信号割当ての鏡像とすることができる。
【0111】
例えば、図１７に示すように、第３のグリッド６５１の信号割当ては、第４のグリッド６５３の信号割当てに対して垂直軸６８０について対称であり、垂直軸６８０は、示す例ではグリッド６５１と６５３との間にあって方向６２０に延在する。同様に、第３のグリッド６５１の信号割当ては、第６のグリッド６５７の信号割当てに対して水平軸６８２について対称であり、水平軸６８２は、示す例ではグリッド６５１と６５７との間にあって方向６２２に延在する。代替の配置構成では、グリッド６５１及び６５７のそれぞれは、水平軸６８２の両側で基板表面の部分まで延在することができ、上述した関係が別の形で存在することができる。
【0112】
図１７に示す特定の例では、第１のグリッド６５１及び第４のグリッド６５７の信号割当ては、それぞれの第２のグリッド６５３及び第３のグリッド６５５の信号割当てに対して垂直軸６８０について対称である。同様に、第１のグリッド６５１及び第２のグリッド６５３の信号割当ては、それぞれの第４のグリッド６５７及び第３のグリッド６５５の信号割当てに対して水平軸６８２について対称である。
【0113】
図１８は、上述した実施形態（図１３〜図１４）の別の変形形態による超小型電子パッケージ７００を示す平面図であり、第１の超小型電子素子７０１及び第２の超小型電子素子７０３の第１の縁部７１０は、端子担持基板表面７０４の縁部７０２に平行な第１の方向７２０に延在し、超小型電子素子７０１、７０３の第２の縁部７１２は、基板の端子担持基板表面７０４に平行な第２の方向７２２に延在する。パッケージ７００は、第３の超小型電子素子７０５及び第４の超小型電子素子７０７を更に備える。一方、第３の超小型電子素子７０５及び第４の超小型電子素子７０７の第１の縁部７３０は第２の方向７２２に延在し、第３の超小型電子素子７０５及び第４の超小型電子素子７０７の第２の縁部７３２は第１の方向７２０に延在する。
【0114】
図１８に更に見られるように、一例では、上記で述べたコマンド−アドレスバス信号を運ぶように配置される第１の端子の第１のグリッド７１４及び第２のグリッド７２４は、基板の周辺縁部７４０から離れた基板表面上の位置に設けることができる。第２のグリッド７２４内の第１の端子の信号割当ては、上述したように、第１のグリッド内の第１の端子の信号割当ての鏡像とすることができる。図１８に示す一例では、第１の端子の第１のグリッド７１４及び第２のグリッド７２４は、第１の超小型電子素子７０１及び第２の超小型電子素子７０３の隣接する第１の縁部７１０間に配置することができ、第３の超小型電子素子７０５及び第４の超小型電子素子７０７の一部分の上に載ることができる。第２の端子のグリッド７５１、７５３、７５５、７５７は、第２の端子が電気的に接続されるそれぞれの超小型電子素子７０１、７０３、７０５、７０７の上に少なくとも部分的に載ることができる。
【0115】
図１８に見られるように、第４のグリッド７５３内の第２の端子の信号割当ては第３のグリッド７５１内の第２の端子の信号割当ての鏡像とすることができ、第３のグリッド７５１及び第４のグリッド７５３の信号割当ては、方向７２０に延在する垂直軸７８０について対称である。
【0116】
超小型電子素子７０５、７０７の一部分の上に載り、それらに電気的に接続されることができる第２の端子の第５のグリッド７５５及び第６のグリッド７５７は、任意の適した配置構成で配置された端子を有することができ、これらの第２の端子をグリッド内に設置する必要が全く存在せず、グリッド７５５の１つグリッド内の信号割当ては、他のグリッド７５７内の端子の信号割当ての鏡像である。図１８に示す特定の例では、第５のグリッド７５５内の信号割当ては第６のグリッド７５７の信号割当てに対して水平軸７８２について対称であり、水平軸７８２は、グリッド７５５と７５７との間で方向７２２に延在する。
【0117】
また、図１８に示すように、第５のグリッド７５５における第２の端子の信号クラス割り当ては、垂直軸７８０について対称とすることができ、第６のグリッド７５７における第２の端子の信号クラス割り当ては、垂直軸７８０について対称とすることができる。本明細書において用いられるとき、２つの信号クラス割り当ては、それらの信号割り当てが同じ割り当てのクラスにある場合には、たとえそのクラス内での数値インデックスが異なっていようと、互いに関して対称とすることができる。例示的信号クラス割り当ては、データ信号、データストローブ信号、データストローブ相補信号、及びデータマスク信号を含むことができる。特定の例において、第５のグリッド７５５において信号割り当てＤＱＳＨ＃及びＤＱＳＬ＃を有する第２の端子は、たとえそれらの第２の端子が異なる信号割り当てを有していようと、データストローブ相補である自らの信号クラス割り当てについて垂直軸７８０について対称である。
【0118】
図１８に更に示すように、例えばデータ信号ＤＱ０、ＤＱ１、...等についてのデータ信号の超小型電子パッケージ上の第２の端子の空間的位置への割り当ては、垂直軸７８０についてモジュロＸ対称性を有することができる。このモジュロＸ対称性は、１つ又は複数の対の第１のパッケージ及び第２のパッケージが互いに対向して回路パネルに搭載され、回路パネルは、対向して搭載されるパッケージの対の各々における第１のパッケージ及び第２のパッケージの対応する第２の端子の対を電気的に接続する、図８Ａにおいて見られるようなアセンブリ３００における信号インテグリティ（signal integrity）を保つのに役立つことができる。端子の信号割り当てが或る軸について「モジュロＸ対称性」を有する場合には、同じ指数（インデックス値）の「モジュロＸ」を有する信号を運ぶ端子が、その軸について対称である位置に配置される。したがって、図８Ａ等におけるそのようなアセンブリ３００において、モジュロＸ対称性によって回路パネルを介した電気的接続を行うことができ、第１のパッケージの端子ＤＱ０が回路パネルを介して同じ指数のモジュロＸ（この場合、Ｘは８）を有する第２のパッケージの端子ＤＱ８に電気的に接続し、回路パネルの厚さを本質的に真っ直ぐ貫く、すなわちそれに垂直な方向に接続を行うことができるようになっている。
【0119】
一例において、「Ｘ」は２ｎ（２のｎ乗）という数字とすることができる。ただしｎは２以上である。又は、Ｘは８×Ｎとすることができる。ただしＮは２以上である。したがって一例において、Ｘは１／２バイトにおけるビット数（４ビット）、１バイトにおけるビット数（８ビット）、複数バイトにおけるビット数（８×Ｎ、ただしＮは２以上）、ワードにおけるビット数（３２ビット）、又は複数ワードにおけるビット数と等しくすることができる。そのようにして、一例において、図１８に示すようにモジュロ８対称性がある場合には、データ信号ＤＱ０を運ぶように構成されたグリッド７５５におけるパッケージ端子ＤＱ０の信号割り当ては、データ信号ＤＱ８を運ぶように構成された別のパッケージ端子の信号割り当てと垂直軸７８０について対称である。さらに、グリッド７５７におけるパッケージ端子ＤＱ０及びＤＱ８の信号割り当てについても同じことが当てはまる。図１８において更にわかるように、グリッド７５５におけるパッケージ端子ＤＱ２及びＤＱ１０の信号割り当ては、垂直軸についてモジュロ８対称性を有し、グリッド７５７についても同じことが当てはまる。本明細書において説明するもの等のモジュロ８対称性は、パッケージ端子ＤＱ０〜ＤＱ１５の信号割り当てのそれぞれに関してグリッド７５５、７５７において見ることができる。
【0120】
図示してはいないが、モジュロ数「Ｘ」は２ｎ（２のｎ乗）以外の数字とすることができ、２よりも大きい任意の数とすることができることに注意することが重要である。したがって、対称性が基づくモジュロ数Ｘは、パッケージが組み立てられる又は構成される対象のデータサイズにおいて存在するビット数によって決まることができる。例えば、データサイズが８ビットの代わりに１０ビットである場合には、信号割り当てはモジュロ１０対称性を有することができる。データサイズが奇数ビットを有する場合には、モジュロ数Ｘはそのような数を有することができる場合さえあってよい。
【0121】
グリッド７１４、７２４及びグリッド７５１、７５３及びグリッド７５５、７５７における端子の鏡像信号割当ては、図５〜図７に対して上述した回路パネル内のスタブ長の上述した低減が、同様の構成の２つのパッケージ７００が回路パネルの対向する表面上に互いに対向して実装されるときに達成されることを可能にすることができる。
【0122】
図１８は、第１の超小型電子素子７０１、第２の超小型電子素子７０３、第３の超小型電子素子７０５、及び第４の超小型電子素子７０７の隣接する縁部７３０と７１０との間のパッケージ７００の領域内に配置される超小型電子素子として、１つ又は複数のバッファ要素７５０を設けることができることを示す。それぞれのこうしたバッファ要素は、特にパッケージの第１の端子で受信される上記で述べたコマンド−アドレスバス信号用のパッケージの端子と、パッケージ内の超小型電子素子の１つ又は複数との間に信号分離（信号アイソレーション）を提供するのに使用することができる。通常、１つ又は複数のバッファ要素は、第１の端子で受信されるか又は第２の端子で受信される信号を再生し、再生された信号をパッケージ内の超小型電子素子に転送する。
【0123】
それに対して代替的に又は付加的に、超小型電子素子の隣接する縁部７１０と７３０との間の基板７０２のエリアは、１つ又は複数のデカップリング（減結合）キャパシタが、パッケージ上で又はパッケージ内でこうしたエリア内に設けられることを可能にすることができ、１つ又は複数の減結合キャパシタは、パッケージの内部電源又はグラウンドバスに接続される。
【0124】
図１９は、図１８に見られる実施形態の変形形態を示し、第１のグリッド７１４及び第２のグリッド７２４の位置は、第１の超小型電子素子７０１及び第２の超小型電子素子７０３の少なくとも所定部分の上に載るように変動することができる。こうした場合、第３の超小型電子素子７０５及び第４の超小型電子素子７０７の位置も、第３の超小型電子素子７０５及び第４の超小型電子素子７０７の第１の縁部７３０の部分がパッケージの中心から離れて移動することができるように変化することができる。この場合、第３の超小型電子素子及び第４の超小型電子素子の第１の縁部７３０は、第１の超小型電子素子及び第２の超小型電子素子の第２の縁部７１２の部分に平行に延びかつその部分から離間し、それにより、１つ又は複数のバッファ要素か、減結合キャパシタか、又は他のデバイスの接続に利用可能なパッケージの中心のエリア７６０の量を図１８に示す量より大きくすることができる。
【0125】
図２０は、上述した実施形態（図１９）の変形形態による超小型電子パッケージ８００を示す。この変形形態では、超小型電子素子８０１、８０３、８０５、及び８０７は、風車のような構成で配置され、超小型電子素子８０１、８０３の第１の縁部８１０は、超小型電子素子８０５、８０７の第２の縁部と同じ方向８２０に延在する。加えて、超小型電子素子８０５、８０７の第１の縁部８３０は、超小型電子素子８０１、８０３の第２の縁部８１２と同じ方向８２２に延在する。超小型電子素子８０１の第１の縁部８１０のうちの１つの第１の縁部の一部分は、超小型電子素子８０７の第２の縁部８３２のうちの１つの第２の縁部の一部分から離間しかつその部分に平行である。同様に、超小型電子素子８０５の第１の縁部のうちの１つの第１の縁部の一部分は、超小型電子素子８０１の第２の縁部のうちの１つの第２の縁部の一部分から離間しかつその部分に平行である。これらの関係は、超小型電子素子８０３の第１の縁部８１０のうちの１つの第１の縁部の一部分及び超小型電子素子８０５の第２の縁部８３２のうちの１つの第２の縁部の一部分並びに超小型電子素子８０７の第１の縁部のうちの１つの第１の縁部の一部分及び超小型電子素子８０３の第２の縁部のうちの１つの第２の縁部の一部分について、パッケージ内で繰り返すことができる。
【0126】
加えて、超小型電子素子８０１の第１の縁部８１０のうちの１つの第１の縁部を含み、別の超小型電子素子８０５の第１の縁部８３０に交差する、基板に垂直な平面８４０が存在することが更に見られる。同様に、超小型電子素子８０５の第１の縁部８３０のうちの１つの第１の縁部を含み、別の超小型電子素子８０３の第１の縁部８１０に交差する、基板に垂直な平面８４２が存在する。図２０を点検することによって、超小型電子素子８０７の第１の縁部のうちの１つの第１の縁部を含む同様な平面が超小型電子素子８０１の第１の縁部に交差し、超小型電子素子８０３の第１の縁部のうちの１つの第１の縁部を含む同様な平面が超小型電子素子８０７の第１の縁部に交差することを見ることができる。
【0127】
図２０は、鏡像信号割当てを有する第１の端子のグリッド８１４、８２４がそれぞれ、パッケージ８００内の超小型電子素子の１つ又は複数の上に部分的に又は完全に載ることができることを更に示す。加えて、超小型電子素子の隣接する縁部間に配置され、かつ、超小型電子素子の面が上に全く配置されない基板の中央領域８５０は、図１８〜図１９に関して述べた１つ又は複数のバッファ要素か、減結合キャパシタか、又は両方を収容することができる。
【0128】
図２１は、上述したパッケージの任意のパッケージと同様の超小型電子パッケージ９００を示し、パッケージ９００内の超小型電子素子９０１は、複合構造であり、複合構造のそれぞれは、上下にスタックされかつ互いに電気的に相互接続される２つ以上の半導体チップを含むことができ、それぞれ基板コンタクト９０８によって接続されることができる。そのため、図２１に見られる実施形態では、各超小型電子素子９０１は、基板の対応する基板コンタクト９０８に向きかつそれに接合したコンタクト９０６を有する第１の半導体チップ９３２と、シリコン貫通ビア（「ＴＳＶ」）９５０によって、第１の半導体チップ９３２及び基板９０２に電気的に接続されたコンタクト９１０を有する第２の半導体チップ９３４とを備えることができる。ＴＳＶ９５０は、第１の半導体チップ９３２の厚さ９５２の方向に、すなわち、チップ９３２の互いに反対側の第１の面９３８と第２の面９４２との間の方向に延在する。
【0129】
特定の実施形態では、ＴＳＶ９５０は、第１の半導体チップ９３２の面９４２に沿って延在するトレース等によって、第１の半導体チップ９３２の素子コンタクト９０８に電気的に接続することができる。第１の半導体チップと第２の半導体チップとの間の任意の電気接続をこうして作製することができるが、こうした接続は、電力及びグラウンドを第１の半導体チップ及び第２の半導体チップに分配するのに好適である。別の例では、ＴＳＶ９５０は、第１の半導体チップの厚さを部分的にのみ通って延在し、第１の半導体チップ９３２の面９４２上のトレースに接続されるか又は第１の半導体チップのコンタクトに直接接続されるのではなく、第１の半導体チップ９３２内の内部回路に接続されることができる。
【0130】
図２１において見られる超小型電子パッケージ９００において、第１の半導体チップ９３２及び第２の半導体チップ９３４のそれぞれは、そのような半導体チップがそれぞれ、メモリ記憶アレイ機能を提供する能動素子の数をいかなる他の機能よりも多く具体化するように構成することができる。例えば、第１の半導体チップ及び第２の半導体チップのそれぞれは、メモリ記憶アレイと、メモリ記憶アレイにデータを入力しメモリ記憶アレイからデータを出力するのに必要な全ての回路とを含むことができる。例えば、それぞれの半導体チップにおけるメモリ記憶アレイが書き込み可能な場合、それぞれの半導体チップは、パッケージの端子から外部データ入力を受け取るように構成された回路、及びそのような半導体チップからパッケージの端子にデータ出力を転送するように構成された回路を含むことができる。
【0131】
したがって、それぞれの第１の半導体チップ９３２及びそれぞれの第２の半導体チップ９３４は、そのような半導体チップ内のメモリ記憶アレイからデータを入出力しそのようなデータを受け取って超小型電子パッケージの外部の構成要素に送信することができる、ダイナミックランダムアクセスメモリ（「ＤＲＡＭ」）チップ又は他のメモリチップとすることができる。言い換えれば、そのような場合、それぞれのＤＲＡＭチップ又は他のメモリチップ内のメモリ記憶アレイへの及びそこからの信号は、超小型電子パッケージ内の更なる半導体チップによるバッファリングを必要としない。
【0132】
代替的に、別の例において、１つ又は複数の第２の半導体チップ９３４は、メモリ記憶アレイ機能を提供する能動素子の数をいかなる他の機能よりも多く具体化することができるが、第１の半導体チップ９３２は異なるタイプのチップとすることができる。こうした場合、第１の半導体チップ９３２は、信号をバッファする、すなわち１つ又は複数の第２の半導体チップ９３４に転送するように端子で受け取った信号を再生するか、又は端子に転送するように第２の半導体チップ９３４のうちの１つ若しくは複数から受け取った信号を再生するか、又は端子から１つ若しくは複数の第２の半導体チップ９３４へ、及び１つ若しくは複数の半導体チップから超小型電子パッケージの端子への両方の方向に転送される信号を再生するように構成、例えば設計、組み立て、又は準備することができる。バッファ要素として動作する第１の半導体チップ９３２によって再生され、その後、１つ又は複数の第１の半導体チップに転送される信号は、例えば内部回路に接続されたＴＳＶを通してルーティングすることができる。
【0133】
代替的に、又は上述のように信号を再生することに加えて、特定の例において、第１の半導体チップ９３２は、第１の端子等の端子で受け取られるアドレス情報又はコマンド情報のうちの少なくとも一方を部分的に又は完全に復号化するように構成することができる。次に、第１のチップはそのような部分的な又は完全な復号化の結果を出力して、１つ又は複数の第２の半導体チップ９３４に転送することができる。
【0134】
特定の例において、第１の半導体チップ９３２は、アドレス情報、又は一例において、１つ又は複数の第２の半導体チップ９３４に転送されるコマンド信号、アドレス信号、及びクロック信号をバッファするように構成することができる。例えば第１の半導体チップ９３２は、信号の他のデバイスへの、例えば１つ又は複数の第２の半導体チップ９３４への転送においてバッファリング機能を提供する能動素子の数をいかなる他の機能よりも多く具体化するバッファチップとすることができる。このとき、その１つ又は複数の第２の半導体チップ９３４は、メモリ記憶アレイは有するがなかでもバッファ回路、デコーダ、プレデコーダ、又はワード線ドライバ等のＤＲＡＭチップに共通の回路は省くことができる、機能を減らしたチップとすることができる。
【0135】
こうした例において、第１のチップ９３２はスタックにおいて「マスター」チップとして第２の半導体チップ９３４のそれぞれにおける動作を制御するよう機能することができる。特定の例において、第２の半導体チップ９３４は、バッファリング機能を果たすことができないように構成することができる。その場合、第１の半導体チップ及び第２の半導体チップのスタックした配列は、超小型電子パッケージにおいて必要なバッファリング機能を第１の半導体チップ９３２によって果たすことができるよう、かつスタックした配列における第２の半導体チップ９３４のいずれによっても果たすことができないように構成することができる。
【0136】
本明細書において説明した実施形態のいずれかにおいて、１つ又は複数の第２の半導体チップは、なかでも、以下の技術：ＤＲＡＭ、ＮＡＮＤフラッシュメモリ、ＲＲＡＭ（登録商標）（「抵抗性ＲＡＭ」、又は「抵抗性ランダムアクセスメモリ」）、相変化メモリ（「ＰＣＭ」）、例えば、トンネル接合デバイスを具現できるような磁気抵抗性ランダムアクセスメモリ、静的ランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）、スピントルクＲＡＭ、又は連想メモリのうちの１つ又は複数において実現することができる。
【0137】
図２２Ａに示す実施形態に更に見られるように、超小型電子パッケージは、第２の半導体チップ９３４の１つ又は複数を部分的に又は完全に通って延在し且つ第１の半導体チップ９３２をも通って延在することができるシリコン貫通ビア９６０を含むことができる。特定の例では、第２の半導体チップ９３４のそれぞれは、第２の半導体チップの任意の他の第２の半導体チップと機能的かつ機械的に同等とすることができる。特定の例では、第１の半導体チップ９３２は、受信される情報又は信号を再生するか又は少なくとも部分的に復号化し、その後、再生された情報又は信号を、例えば、第１のチップ９３２と第２のチップ９３４との間のＴＳＶ９６０並びに第２のチップ９３４のスタック内のＴＳＶ９６０を通して、第２の半導体チップ９３４の１つ又は複数に転送する。
【0138】
図２２Ｂは、図２２Ａに示す超小型電子パッケージの変形形態を示す。図２２Ａに示すパッケージとは異なり、アドレス情報又は他の情報を再生又は少なくとも部分的に復号化する、例えば、パッケージ内の他の半導体チップに転送する信号を再生するように構成することができる半導体チップ９６４は、基板９０２の第１の表面１０８に隣接して配置されない。むしろこの場合、半導体チップ９６４は１つ又は複数の他の半導体チップ上に重なるパッケージ内の場所に配置することができる。例えば図２２Ｂに示すように、チップ９６４は、基板９０２の第１の表面１０８に隣接して配置された半導体チップ９６２上に少なくとも部分的に重なるとともに、半導体チップ９６２の上に配置された半導体チップ９６３Ａ及び９６３Ｂ上に少なくとも部分的に重なる。
【0139】
一例において、半導体チップ９６２、９６３Ａ、及び９６３Ｂはメモリ記憶アレイを含むことができる。上述の例においてのように、そのようなチップ９６２、９６３Ａ、及び９６３Ｂはそれぞれ、そのようなチップに書き込むデータ若しくはそのようなチップから読み出すデータ又はその両方をバッファする、例えば一時的に記憶するように構成された回路を組み込むことができる。代替的に、チップ９６２、９６３Ａ、及び９６３Ｂは機能的により限定されている場合があり、そのようなチップに書き込むデータ若しくはそのようなチップから読み出すデータ又はその両方を一時的に記憶するように構成された少なくとも１つの他のチップと一緒に用いることが必要である場合がある。
【0140】
半導体チップ９６４は、導電性構造、例えば、基板９０２の第１の表面１０８において露出したコンタクトに接続するＴＳＶ９７２ａ及び９７２ｂ（総称してＴＳＶ９７２）を介して、超小型電子パッケージの端子、例えば、第１の端子９０４及び第２の端子９０６が配置されるグリッドに電気的に接続することができる。導電性構造、例えばＴＳＶ９７２は、チップ９６４上のコンタクト９３８を介して、及びチップ９６４の面９４３に沿って若しくはチップ９６３Ａの対向する面９３１に沿って又はチップ９６３Ａ、９６４の両方の面９３１、９４３に沿って延在する導体（図示せず）を介して半導体チップ９６４に電気的に接続することができる。上述のように、半導体チップ９６４は導電性構造、例えばＴＳＶ９７２を介して受け取る信号又は情報を再生するか又は少なくとも部分的に復号化するように構成することができ、チップ９６２、９６３Ａ、及び９６３Ｂ等、パッケージ内の他のチップにその再生した又は少なくとも部分的に復号化した信号又は情報を転送するように構成することができる。
【0141】
図２２Ｂにおいて更にわかるように、半導体チップ９６２、９６３Ａ、及び９６３Ｂは、そのようなチップのうちの１つ、２つ、又は３つ以上を貫いて延在することができる複数のシリコン貫通ビア（「ＴＳＶ」）９７２、９７４、及び９７６によって、半導体チップ９６４と及び互いと電気的に接続することができる。そのようなＴＳＶはそれぞれ、パッケージ内の配線、例えば、半導体チップ９６２、９６３Ａ、９６３Ｂ、及び９６４のうちの２つ以上の導電性パッド又はトレースと電気的に接続することができる。特定の例において、信号又は情報は、ＴＳＶ９７２ａの第１のサブセットに沿って基板９０２からチップ９６４に転送することができ、信号又は情報は、ＴＳＶ９７２ｂの第２のサブセットに沿ってチップ９６４から基板に転送することができる。一実施形態において、ＴＳＶ９７２の少なくとも一部は、信号又は情報をチップ９６４と基板９０２との間で、その特定の信号又は情報によって決まるどちらか一方の方向に転送させるように構成することができる。一例（図示せず）において、シリコン貫通ビアは、全ての半導体チップ９６２、９６３Ａ、９６３Ｂの厚さを貫いて延在することができるが、ただしそれぞれのシリコン貫通ビアは、該ビアが貫いて延在するそれぞれのそのような半導体チップと電気的に接続しない場合がある。
【0142】
図２２Ｂにおいて更にわかるように、複数のフィン９７１を含むことができるヒートシンク又はヒートスプレッダ９６８が、なかでも熱接着剤、熱伝導性グリース、又ははんだ等の熱伝導性材料９６９等を介して、半導体チップ９６４の面、例えばその裏面９３３に熱的に結合することができる。
【0143】
図２２Ｂに示す超小型電子アセンブリ９９５は、サイクル当たり指定数のデータビットを、基板上にそのために設けられた第１の端子及び第２の端子を介して超小型電子パッケージ上へ又はそこから転送することができるメモリモジュールとして動作するように構成することができる。例えば超小型電子アセンブリは、可能な構成の中でもとりわけ３２データビット、６４データビット、又は９６データビット等の複数データビットを、端子９０４、９０６と電気的に接続することができる回路パネル等の外部構成要素に又はそこから転送するように構成することができる。別の例において、パッケージに及びそこから転送されたビットがエラー訂正コードビットを含む場合には、サイクル当たりパッケージへ又はそこから転送されるビット数は、例えば３６ビット、７２ビット、又は１０８ビットとすることができる。ここで具体的に説明するもの以外のデータ幅も可能である。
【0144】
図２３は更に、図２２Ａにおいて見られる実施形態の変形形態による超小型電子パッケージ９９０を示す。この場合、第１の半導体チップ９３２は、図２１に対して上述したのと同じ方法で基板９０２と相互接続される。一方、１つ又は複数の第２の半導体チップ９３４は、ワイヤボンド９２５を介して第１の半導体チップ９３２と電気的に相互接続することができる。ワイヤボンドは、図２３に示すように、それぞれの第２のチップ９３４を第１の半導体チップ９３２に直接接続することができる。代替的に、場合によっては、ワイヤボンドは、一部のワイヤボンドが、隣接する第２のチップ９３４をともに接続し、他のワイヤボンドが、第１のチップに隣接する第２のチップ９３４に第１のチップを接続するが、第１のチップ９３２を第２のチップ９３４のそれぞれに必ずしも直接接続しない状態で縦続接続することができる。
【0145】
図２３に示す例において、第２の半導体チップ９３４は、その前面とその上のコンタクト９３１とが上向き、すなわち、第１の半導体チップ９３２から遠い向きの状態で配置される。しかし、図２４において見られる別の変形形態において、第１の半導体チップ９３２及び第２の半導体チップ９３４を一緒に超小型電子パッケージ内に搭載することができる別の方法は、第１の半導体チップ９３２及び第２の半導体チップ９３４それぞれが、それらの前面とコンタクト９３１とが下向き、すなわち、基板９０２に向く状態で配置される、というものである。そのようにして、コンタクト９３１はワイヤボンド９３６を介して第１の半導体チップ９３２の前面９４２上の対応するコンタクト９４１と電気的に接続することができる。この場合、素子コンタクト９３９と基板コンタクト９０８の間の接続が図２１に対して上述したような状態で、コンタクト９４１は、第１の半導体チップ９３２の前面９４２に沿って延在するトレース９３８等によって、第１の半導体チップ９３２上の素子コンタクト９３９に電気的に接続することができる。図２４に示すパッケージ内のそれぞれの第２のチップ９３４は、上述したように、第１のチップ９３２と第２のチップとの間に延在するワイヤボンドによって直接、又は、一連の縦続接続式ワイヤボンドを通して間接的に接続することができる。
【0146】
図２５は、１つ又は複数の第２の半導体チップ９３４のコンタクトと第１の半導体チップ９３２との間の接続が、超小型電子素子９３０の１つ又は複数の縁部に沿って、すなわち半導体チップ９３２、９３４の縁部に沿って、超小型電子素子内で延在するトレース９４０を含むことができる、図２２Ａに対して上述した実施形態の更なる変形形態による超小型電子パッケージを示す。半導体チップ９３２と９３４との間の電気的接続は、それぞれ第１の半導体チップ９３２及び第２の半導体チップ９３４の前面に沿って延在するトレース９４４、９４６を更に含むことができる。図２５において更に示すように、第２の半導体チップの前面９４２は、基板９０２から遠い上向きとすることもできるし、基板９０２に向いて下向きとすることもできる。
【0147】
本発明の実施形態による超小型電子パッケージ１０００が図２６Ａ〜図２６Ｃに示される。図で見られるように、パッケージ１０００は、上記で示したように、超小型電子素子が、メモリ記憶アレイ機能を提供するように構成された能動素子、例えばトランジスタの数をいかなる他の機能よりも多く有する点で、メモリ記憶アレイ機能を主に提供するように構成される超小型電子素子１００１を含むことができる。図２６Ａ〜図２６Ｃに示す超小型電子パッケージ１０００は、メモリ記憶アレイ機能を主に提供するように構成される単一の超小型電子素子１００１のみを超小型電子パッケージ１０００が含むことを除いて、図５〜図７に示す超小型電子パッケージ１００と同様である。
【0148】
図２６Ａに見られるように、第２のグリッド１０２４内の第１の端子の信号割当ては、第１のグリッド１０１４内の第１の端子の信号割当ての鏡像である。換言すれば、第１のグリッド及び第２のグリッド内の第１の端子の信号割当ては、第１のグリッド１０１４と第２のグリッド１０２４との間の軸１０３２について対称であり、軸１０３２は、この場合、第１の端子の列１０３６が延在する方向１０４２に延在する。
【0149】
図２６Ａに示すように、第２の端子１０６の一部又は全ては、基板１００２の第２の表面１０１０上の第３のグリッド１０１６、第４のグリッド１０１７、第５のグリッド１０１８、及び第６のグリッド１０１９内に配置することができる。特定の場合、第３のグリッド１０１６内の第２の端子の信号割当ては、第１のグリッド及び第２のグリッドについて上述した方法と同様の方法で、第４のグリッド１０１７内の第２の端子の信号割当ての鏡像とすることができる。一例では、第５のグリッド１０１８及び第６のグリッド１０１９のそれぞれは、第１のグリッド、第２のグリッド、第３のグリッド、及び第４のグリッドが延在する方向１０４２を横切るか又は更にそれに直交する別の方向１０３５に延在することができる。図２６Ａ〜図２６Ｃに示す実施形態では、第３のグリッド１０１６、第４のグリッド１０１７、第５のグリッド１０１８、及び第６のグリッド１０１９はそれぞれ、基板１００２の第２の表面１０１０の周辺１０２５に隣接して配置される。
【0150】
超小型電子パッケージが、基板１００２に隣接して配置され、基板１００２に電気的に接続される単一の超小型電子素子１００１を含むことができる図２６Ａ〜図２６Ｃに示す配置構成は、超小型電子素子１００１を、２つ以上のスタック式半導体チップを含むことができる複合構造にすることによって修正されて、図２１〜図２５に関して上記で示され述べられたような超小型電子パッケージを生成することができる。単一の複合超小型電子素子を含むこうした実施形態は、図２１〜図２５に示す２つの複合超小型電子素子構造ではなく、１つの複合超小型電子素子構造のみが存在することができることを除いて、図２１〜図２５に示す実施形態と同じとすることができる。
【0151】
例えば、図２６Ａ〜図２６Ｃの超小型電子素子１００１は、図２１に示す超小型電子素子９０１の１つであることができ、超小型電子素子は、基板の対応する基板コンタクト９０８に向きかつそれに接合したコンタクト９０６を有する第１の半導体チップ９３２と、第１の半導体チップ９３２の厚さ９５２の方向に延在するシリコン貫通ビア（「ＴＳＶ」）９５０によって、第１の半導体チップ９３２及び基板９０２に電気的に接続されたコンタクト９１０を有する第２の半導体チップ９３４とを備えることができる複合超小型電子素子である。
【0152】
別の例では、図２６Ａ〜図２６Ｃの超小型電子素子１００１は、図２２Ａに示す複合超小型電子素子の１つであることができ、超小型電子パッケージは、第２の半導体チップ９３４の１つ又は複数を部分的に又は完全に通って延在し、第１の半導体チップ９３２も通って延在するシリコン貫通ビア９６０を含むことができる。
【0153】
特定の実施形態では、図２６Ａ〜図２６Ｃの超小型電子素子１００１は、図２３に示す複合超小型電子素子の１つであることができ、第１の半導体チップ９３２は、図２１に関して上述したのと同じ方法で基板９０２に相互接続される。しかし、１つ又は複数の第２の半導体チップ９３４を、ワイヤボンド９２５を通して第１の半導体チップ９３２に電気的に相互接続することができる。ワイヤボンドは、図２３に示すように、それぞれの第２のチップ９３４を第１の半導体チップ９３２に直接接続することができる。
【0154】
一例では、図２６Ａ〜図２６Ｃの超小型電子素子１００１は、図２４に示す複合超小型電子素子の１つであることができ、第１の半導体チップ９３２及び第２の半導体チップ９３４を半導体パッケージ内にともに実装することができる別の方法は、第１の半導体チップ９３２及び第２の半導体チップ９３４のそれぞれが、それらの前面及びコンタクト９３１が下方に、すなわち、基板９０２の方に向いた状態で設置されることである。こうして、コンタクト９３１は、ワイヤボンド９３６を通して第１の半導体チップ９３２の前面９４２上の対応するコンタクト９４１に電気的に接続することができる。
【0155】
例示的な実施形態では、図２６Ａ〜図２６Ｃの超小型電子素子１００１は、図２５に示す複合超小型電子素子の１つであることができ、１つ又は複数の第２の半導体チップ９３４のコンタクトと第１の半導体チップ９３２のコンタクトとの間の接続は、超小型電子素子９３０の１つ又は複数の縁部に沿って、すなわち、超小型電子素子内の半導体チップ９３２、９３４の縁部に沿って延在するトレース９４０を含むことができる。
【0156】
図２６Ｄは、超小型電子素子１０９０のコンタクトパッド１０８５を超小型電子素子の中央近くの、例えば超小型電子素子の中心軸１０８０に隣接する、１つ又は２つの列１０９２、１０９４内に配置することができる、図２６Ａ〜図２６Ｃに示す超小型電子素子１００１の変形形態を示す。この例において、基板の対応するコンタクト１０２１（図２６Ｃ）に接合される素子コンタクトは、超小型電子素子上の再分配コンタクト１０８８、１０８９とすることができる。コンタクトパッド１０８５に電気的に接続された再分配コンタクト１０８８、１０８９のうちの一部又は全ては、超小型電子素子の面に沿った１つ又は複数の方向１０９５、１０９６にコンタクトパッド１０８５からずらすことができる。
【0157】
一例において、再分配コンタクト１０８８、１０８９は、コンタクトパッド１０８５の列１０９２、１０９４よりも超小型電子素子の縁部１０７０、１０７２に近い複数の列１０９８、１０９９に配置することができる。特定の例において、再分配コンタクト１０８８、１０８９は超小型電子素子１０９０の表面１０９１において露出したエリアアレイに分配することができる。他の特定の例において、再分配コンタクト１０８８、１０８９は、第１の方向１０９５に延在する超小型電子素子の１つ又は複数の周縁部１０７０、１０７２に沿って分配することもできるし、方向１０９５を横切る第２の方向１０９６に延在する超小型電子素子の１つ又は複数の周縁部１０７１、１０７３に沿って分配することもできる。
【0158】
更に別の例において、再分配コンタクト１０８８、１０８９は超小型電子素子の周縁部１７０、１７１、１７２、１７３のうちの２つ以上に沿って分配することができる。このような例のいずれにおいても、再分配コンタクト１０８８、１０８９はコンタクトパッド１０８５と同じ超小型電子素子１０９０の面１０９１に配置することもできるし、コンタクトパッドと反対側の超小型電子素子の面に配置することもできる。一例において、それぞれのコンタクトパッド１０８５は再分配コンタクト１０８８、１０８９に接続することができる。別の例において、１つ又は複数のコンタクトパッドに接続する再分配コンタクトはない場合がある。そのような、再分配コンタクトに接続しない１つ又は複数のコンタクトパッド１０８５は、超小型電子素子１０９０が配置されるパッケージの１つ又は複数の対応する端子と電気的に接続することもしないこともできる。
【0159】
図２７は、第１の超小型電子パッケージ１０００Ａ及び第２の超小型電子パッケージ１０００Ｂのアセンブリ１１００を示し、超小型電子パッケージ１０００Ａ、１０００Ｂはそれぞれ、回路パネル１０５４の対向する第１の表面１０５０及び第２の表面１０５２に実装された、上記図２６Ａ〜図２６Ｃに関して述べた超小型電子パッケージ１０００である。回路パネルは、なかでも、デュアルインラインメモリモジュール（「ＤＩＭＭ」）で使用されるプリント回路基板、システム内の他の構成要素と接続される回路基板若しくはパネル、又はマザーボード等の種々のタイプとすることができる。第１の超小型電子パッケージ１０００Ａ及び第２の超小型電子パッケージ１０００Ｂは、回路パネル１０５４の第１の表面１０５０及び第２の表面１０５２において露出される対応するコンタクト１０６０、１０６２にそれぞれ実装することができる。図２７に示す超小型電子アセンブリ１１００は、超小型電子パッケージ１０００Ａ、１０００Ｂのそれぞれが、メモリ記憶アレイ機能を主に提供するように構成される単一の超小型電子素子のみを含むことを除いて、図８Ａに示す超小型電子パッケージ２００と同様である。
【0160】
図５〜図２７を参照して上述した超小型電子パッケージ及び超小型電子アセンブリは、図２８に示すシステム１２００等、さまざまな電子システムの構造において利用することができる。例えば、本発明の更なる実施形態によるシステム１２００は、他の電子構成要素１２０８及び１２１０とともに上述した超小型電子パッケージ及び／又は超小型電子アセンブリ等、１つ又は複数のモジュール又は構成要素１２０６を含むことができる。
【0161】
図示の例示的システム１２００において、システムは、フレキシブルプリント回路基板等の、回路パネル、マザーボード、又はライザーパネル１２０２を含むことができ、回路パネルは、モジュール又は構成要素１２０６、１２０８及び／又は１２１０を互いに相互接続する多数の導体１２０４を含むことができる。多数の導体１２０４のうち、１つのみを図２８に示す。そのような回路パネル１２０２は、システム１２００に含まれる超小型電子パッケージ及び／又は超小型電子アセンブリのそれぞれに又はそこから信号を伝達することができる。しかしこれは単に例示的なものであり、モジュール又は構成要素１２０６同士の間の電気的接続を行う任意の適切な構造も用いることができる。
【0162】
特定の実施形態では、システム１２００は、半導体チップ１２０８等のプロセッサも備えることができ、各モジュール又は構成要素１２０６は、クロックサイクルにおいてＮ個のデータビットを並列に転送するように構成することができ、プロセッサは、クロックサイクルにおいてＭ個のデータビットを並列に転送するように構成することができるようになっている。ＭはＮ以上である。
【0163】
図２８に示す例では、構成要素１２０８は半導体チップであり、構成要素１２１０はディスプレイスクリーンであるが、他の任意の構成要素をシステム１２００において用いることができる。もちろん、説明を明瞭にするために、図２８には２つの追加の構成要素１２０８及び１２１０しか示されていないが、システム１２００は、任意の数のそのような構成要素を備えることができる。
【0164】
モジュール又は構成要素１２０６並びに構成要素１２０８及び１２１０は、破線で概略的に示す共通のハウジング１２０１内に実装することができ、必要に応じて互いに電気的に相互接続して所望の回路を形成することができる。ハウジング１２０１は、例えば、携帯電話又は携帯情報端末において使用可能なタイプのポータブルハウジングとして示され、スクリーン１２１０は、このハウジングの表面において露出することができる。構造１２０６が撮像チップ等の光感知素子を備える実施形態では、光をこの構造体に送るレンズ１２１１又は他の光学デバイスも設けることができる。ここでも、図２８に示す単純化したシステムは単なる例示にすぎず、デスクトップコンピュータ、ルータ等の固定構造と一般に考えられるシステムを含む他のシステムを、上記で議論した構造体を用いて作製することができる。
【0165】
図５〜図２７を参照して上述した超小型電子パッケージ及び超小型電子アセンブリはまた、図２９に示すシステム１３００等の電子システムの構造においても利用することができる。例えば、本発明の更なる実施形態によるシステム１３００は、構成要素１２０６を複数の構成要素１３０６と取り替えたということを除き、図２８に示すシステム１２００と同じである。
【0166】
構成要素１３０６のそれぞれは、図５〜図２７を参照して上述した超小型電子パッケージ又は超小型電子アセンブリのうちの１つ又は複数とすることができ、又はそれを含むことができる。特定の例において、構成要素１３０６のうちの１つ又は複数は、図８Ａに示す超小型電子アセンブリ２００の変形形態とすることができ、回路パネル１５４は露出した縁部のコンタクトを含み、それぞれの超小型電子アセンブリ２００の回路パネル１５４は、ソケット１３０５に挿入するのに適切とすることができる。
【0167】
それぞれのソケット１３０５は、ソケットの片側又は両側に複数のコンタクト１３０７を含むことができ、それにより、それぞれのソケット１３０５が、超小型電子アセンブリ２００の上述の変形形態等、対応する構成要素１３０６の対応する露出した縁部のコンタクトとかみ合うのに適切となることができる。図示の例示的システム１３００において、システムは、フレキシブルプリント回路基板等の第２の回路パネル１３０２又はマザーボードを含むことができ、第２の回路パネルは、構成要素１３０６を互いに相互接続する多数の導体１３０４を含むことができる。多数の導体１３０４のうち、１つのみを図２９に示す。
【0168】
特定の例において、システム１３００等のモジュールは複数の構成要素１３０６を含むことができ、それぞれの構成要素１３０６は超小型電子アセンブリ２００の上述の変形形態である。それぞれの構成要素１３０６は、それぞれの構成要素１３０６に又はそこから信号を伝達するように、第２の回路パネル１３０２に搭載され電気的に接続することができる。システム１３００の具体的な例は単に例示的なものであり、構成要素１３０６間の電気的接続を行う任意の適切な構造も用いることができる。
【0169】
上記で説明した超小型電子パッケージのいずれか又は全てにおいて、超小型電子素子のうちの１つ又は複数の背面は、製造の完了後に超小型電子パッケージの外表面において少なくとも部分的に露出させることができる。したがって、図５〜図７に関して上述した超小型電子パッケージ１００において、超小型電子素子のうちの１つ又は複数の背面は、完成した超小型電子パッケージ１００内の封入材１４６の外表面において部分的又は全面的に露出させることができる。
【0170】
上述した実施形態のいずれかにおいて、超小型電子パッケージ及び超小型電子アセンブリは、任意の適した熱伝導性材料から部分的又は全体的に作製されるヒートスプレッダを備えることができる。適した熱伝導性材料の例には、金属、グラファイト、熱伝導性接着剤、例えば、熱伝導性エポキシ樹脂、はんだ等、又はそのような材料の組み合わせが含まれるが、これらに限定されるものではない。一例では、ヒートスプレッダは、実質的に連続した金属シートとすることができる。
【0171】
一実施形態では、ヒートスプレッダは、超小型電子素子のうちの１つ又は複数に隣接して配置された金属層を備えることができる。この金属層は、超小型電子パッケージの背面において露出することができる。代替的に、ヒートスプレッダは、超小型電子素子のうちの１つ又は複数の、少なくとも背面をカバーするオーバモールド又は封入材を含むことができる。一例では、ヒートスプレッダは、図６に示す超小型電子素子１０１及び１０３等の超小型電子素子のうちの１つ又は複数の、前面及び背面のうちの少なくとも一方と熱連通することができる。いくつかの実施形態では、ヒートスプレッダは、超小型電子素子のうちの隣接するものの隣接する縁部間に延在することができる。ヒートスプレッダは、周囲環境への放熱を改善することができる。
【0172】
特定の実施形態では、金属製又は他の熱伝導性材料製の事前に形成されたヒートスプレッダを、熱伝導性接着剤又は熱伝導性グリース等の熱伝導性材料を用いて、超小型電子素子のうちの１つ又は複数の背面に取り付けるか又は配置することができる。接着剤が存在する場合、この接着剤は、例えば、コンプライアントに取り付けられた素子間の熱膨張差を吸収するように、ヒートスプレッダと、このヒートスプレッダが取り付けられた超小型電子素子との間の相対的な移動を可能にするコンプライアント材料（柔軟材）とすることができる。ヒートスプレッダは、モノリシック構造とすることができる。代替的に、ヒートスプレッダは、互いに離間した複数のスプレッダ部を備えることができる。特定の実施形態では、ヒートスプレッダは、図６に示す超小型電子素子１０１及び１０３等の超小型電子素子のうちの１つ又は複数の背面の少なくとも一部分に直接接合されたはんだの層とすることができるか、又はこのはんだの層を含むことができる。
【0173】
上記の実施形態は、上記で明示的に述べるか又は示した以外の方法で組み合わせることができる。例えば、各パッケージは、ベア半導体チップか、垂直にスタックされ電気的に相互接続された半導体チップか、又は、再分配層をその上に有する１つ若しくは複数の半導体チップである、図５〜図７、図９、図１０、図２６Ａ〜図２６Ｃ、又は、図２１、図２２、図２３、図２４、若しくは図２５の任意のものに関して上記で示し述べたタイプの超小型電子素子の任意のものを組み込むことができる。
【0174】
上記で論じた特徴のこれらの及び他の変形形態及び組合せが、本発明から逸脱することなく利用することができるので、好ましい実施形態の上記の説明は、特許請求の範囲によって規定される本発明の制限としてではなく例証として考えられるべきである。
【0175】
様々な従属請求項及びそこに記載した特徴を、初期の請求項に提示したものとは異なる方法で組み合わせることができることが認識されるであろう。個々の実施形態に関して説明した特徴は、説明した実施形態の他のものと共有することができることも認識されるであろう。
【産業上の利用可能性】
【0176】
本発明は、超小型電子パッケージ及び超小型電子パッケージを製造する方法を含むが、これらに限定されるものではない幅広い産業上の利用可能性を享有する。なお、出願当初の特許請求の範囲は以下の通りである。
（請求項１）
超小型電子パッケージであって、
面及び該面において露出する複数の素子コンタクトを有する超小型電子素子であって、メモリ記憶アレイ機能を有する、超小型電子素子と、
互いに反対側の第１の表面及び第２の表面を有する基板であって、前記超小型電子素子の前記素子コンタクトに向きかつ該素子コンタクトに接合される、前記第１の表面において露出する基板コンタクトの組を有する、基板と、
該超小型電子パッケージを該パッケージの外部にある少なくとも１つの構成要素に接続させるように構成される、前記第２の表面において露出する複数の端子であって、該端子は、前記基板コンタクトに電気的に接続され、複数の第１の端子を含み、前記第１の端子は、理論的軸の第１の側に配置された前記第１の端子の第１の組と、前記第１の側と反対側の前記軸の第２の側に配置された前記第１の端子の第２の組とを含み、前記第１の組及び前記第２の組のそれぞれは、前記超小型電子素子のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置の中からアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに該超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報を運ぶように構成される、複数の端子と、
を備え、
前記第１の組内の前記第１の端子の信号割当ては、前記第２の組内の前記第１の端子の信号割当ての鏡像である、超小型電子パッケージ。
（請求項２）
前記超小型電子素子は、メモリ記憶アレイ機能を提供する能動素子の数をいかなる他の機能よりも多く具体化する、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項３）
請求項１に記載の超小型電子パッケージであって、前記第１の組及び前記第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、前記アドレス指定可能メモリ位置を決定するのに該超小型電子パッケージ内の前記回路によって使用可能な前記アドレス情報の全てを運ぶように構成される、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項４）
前記第１の組及び前記第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、前記超小型電子素子の動作モードを制御する情報を運ぶように構成される、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項５）
請求項３に記載の超小型電子パッケージであって、前記第１の組及び前記第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、該超小型電子パッケージに転送されるコマンド信号の全てを運ぶように構成され、前記コマンド信号は、ライトイネーブル、行アドレスストローブ、及び列アドレスストローブ信号である、請求項３に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項６）
請求項１に記載の超小型電子パッケージであって、前記第１の組及び前記第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、該超小型電子パッケージに転送されるクロック信号を運ぶように構成され、前記クロック信号は、前記アドレス情報を運ぶ信号をサンプリングするのに用いられるクロックである、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項７）
請求項１に記載の超小型電子パッケージであって、前記第１の組及び前記第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、該超小型電子パッケージに転送されるバンクアドレス信号の全てを運ぶように構成される、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項８）
前記素子コンタクトは、前記超小型電子素子の前面において露出する再分配コンタクトを含み、各再分配コンタクトは、トレース又はビアの少なくとも一方を通して前記超小型電子素子のコンタクトパッドに電気的に接続される、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項９）
前記第１の組及び前記第２の組の前記第１の端子は、それぞれの第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置され、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッド内の端子の列は、前記基板の対向する第１の縁部及び第２の縁部に平行な方向に延在し、前記軸は、前記基板の前記第１の縁部及び前記第２の縁部に平行でかつ前記基板の前記第１の縁部及び前記第２の縁部から等距離のラインから、前記第１の端子の任意の２つの隣接する列間の最小ピッチの３．５倍以下の距離である、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項１０）
少なくともいくつかの第１の端子を含む特定の列の大部分の端子の中心を通って延在する列軸は、前記特定の列の端子の１つ又は複数の端子の中心を通って延在しない、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項１１）
前記列軸は、前記列の中央に置かれない前記１つ又は複数の端子の少なくとも１つの端子を通って延在しない、請求項１０に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項１２）
前記第１の組及び前記第２の組の前記第１の端子は、それぞれの第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置され、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドのそれぞれは、前記第１の端子の平行な第１の列及び第２の列を含む、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項１３）
前記第１のグリッド又は前記第２のグリッドの少なくとも一方のグリッドは、前記少なくとも一方のグリッドの平行な前記第１の列と前記第２の列との間に少なくとも１つの端子を含む、請求項１２に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項１４）
前記端子は第２の端子を含み、前記第２の端子の少なくともいくつかは、アドレス情報以外の情報を運ぶように構成される、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項１５）
前記第１の組及び前記第２の組の前記第１の端子は、それぞれの第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置され、前記第２の端子は、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッド内ではなく、前記第２の表面上の場所に配置される、請求項１４に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項１６）
前記第１の組及び前記第２の組の前記第１の端子は、それぞれの第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置され、前記第２の端子の少なくともいくつかは、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッド内に配置される、請求項１４に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項１７）
前記第１の組及び前記第２の組の前記第１の端子は、それぞれの第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置され、前記第２の端子の１つの部分は第３のグリッド内に配置され、前記第２の端子の別の部分は第４のグリッド内に配置され、前記第３のグリッド及び前記第４のグリッド内の端子の列は、互いに平行であり、また、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッド内の端子の列に平行であり、
前記第３のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ては、前記第４のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ての鏡像である、請求項１４に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項１８）
前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドは、前記第３のグリッド及び前記第４のグリッドを互いから分離する、請求項１７に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項１９）
前記第２の端子の或る部分は第５のグリッド内に配置され、前記第２の端子の別の部分は第６のグリッド内に配置され、前記第５のグリッド及び前記第６のグリッド内の端子の列は、互いに平行であり、前記第１の端子及び第２の端子の端子列が延在する第１の方向を横切る第２の方向に延在し、
前記第５のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ては、前記第１のグリッドと前記２のグリッドとの間の軸について対称であり、前記第６のグリッド内の前記第２の端子の信号割当ては、前記第１のグリッドと前記２のグリッドとの間の軸について対称であり、前記軸は、前記基板の対向する第１の縁部及び第２の縁部から等距離にある、請求項１７に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項２０）
請求項１に記載の超小型電子パッケージであって、該パッケージの外部にある前記少なくとも１つの構成要素は回路パネルである、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項２１）
前記基板の前記第１の表面に向く表面を有するバッファチップを更に備え、前記バッファチップは、前記第１の組及び前記第２の組の少なくとも一方の組の前記第１の端子に電気的に接続され、前記バッファチップは、前記第１の端子で受信された前記アドレス情報の少なくとも一部を再生し、前記再生されたアドレス情報を前記超小型電子素子に出力するように構成される、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項２２）
請求項１に記載の超小型電子パッケージであって、前記超小型電子素子は第１の超小型電子素子であり、前記基板コンタクトの組は基板コンタクトの第１の組であり、
該超小型電子パッケージは、面及び該面において露出する複数の素子コンタクトを有する第２の超小型電子素子を更に備え、前記第２の超小型電子素子はメモリ記憶アレイ機能を有し、
前記基板は、前記第２の超小型電子素子の素子コンタクトに向きかつ該第２の超小型電子素子の該素子コンタクトに接合される、前記第１の表面において露出する基板コンタクトの第２の組を有し、前記端子は、基板コンタクトの前記第２の組に電気的に接続され、
前記第１の組及び前記第２の組のそれぞれの前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子及び前記第２の超小型電子素子の少なくとも一方の超小型電子素子のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置の中からアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに該超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報を運ぶように構成される、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項２３）
前記第１の超小型電子素子及び第２の超小型電子素子の前記面は、前記基板の前記第１の表面に平行な単一平面内に配置される、請求項２２に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項２４）
前記第１の組の前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子に電気的に接続され、前記第２の組の前記第１の端子は、前記第２の超小型電子素子に電気的に接続される、請求項２２に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項２５）
前記第１の組及び前記第２の組の前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子及び第２の超小型電子素子のそれぞれに電気的に接続される、請求項２４に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項２６）
前記第１の組の前記第１の端子は、前記第１の超小型電子素子に電気的に接続され、前記第２の超小型電子素子に電気的に接続されず、前記第２の組の前記第１の端子は、前記第２の超小型電子素子に電気的に接続され、前記第１の超小型電子素子に電気的に接続されない、請求項２２に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項２７）
前記基板は、誘電体素子の平面において３０パーツパーミリオン／摂氏温度（「ｐｐｍ／℃」）未満の熱膨張率（「ＣＴＥ」）を有する、前記誘電体素子を含む、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項２８）
前記基板は、１２ｐｐｍ／℃未満のＣＴＥを有する素子を含む、請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
（請求項２９）
超小型電子パッケージであって、
面及び該面上の複数の素子コンタクトを有する超小型電子素子であって、メモリ記憶アレイ機能を提供する能動素子の数をいかなる他の機能よりも多く具体化する、超小型電子素子と、
互いに反対側の第１の表面及び第２の表面を有する基板であって、前記超小型電子素子の前記素子コンタクトに向きかつ該素子コンタクトに接合される、前記第１の表面上の１組の基板コンタクトを有する、基板と、
該超小型電子パッケージを該パッケージの外部にある少なくとも１つの構成要素に接続させるために構成される前記第２の表面上の複数の端子であって、前記端子は、前記基板コンタクトに電気的に接続され、平行な第１のグリッド及び第２のグリッド内の場所に配置された第１の端子を含み、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドのそれぞれの前記第１の端子は、前記超小型電子素子内のメモリ記憶アレイの全ての利用可能なアドレス指定可能メモリ位置の中からアドレス指定可能メモリ位置を決定するのに該超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報の大部分を運ぶように構成される、複数の端子と、
を備え、
前記第１のグリッド内の前記第１の端子の信号割当ては、前記第２のグリッド内の前記第１の端子の信号割当ての鏡像である、超小型電子パッケージ。
（請求項３０）
請求項２９に記載の超小型電子パッケージであって、前記第１のグリッド及び前記第２のグリッドのそれぞれの前記第１の端子は、前記アドレス指定可能メモリ位置を決定するのに該超小型電子パッケージ内の回路によって使用可能なアドレス情報の少なくとも３／４を運ぶように構成される、請求項２９に記載の超小型電子パッケージ。